CN221551844U - 花篮上料装置及半导体工艺设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开一种花篮上料装置及半导体工艺设备，涉及半导体加工技术领域，所公开的花篮上料装置包括传送机构、上料机构、转运机构和花篮存储区；传送机构包括至少两个间隔设置的传送带，花篮通过传送带传输至上料机构，并通过上料机构进行上料；花篮存储区设于相邻的两个传送带之间，转运机构与传送机构相对设置，且相对于传送机构可沿传送带的传输平面内的两个正交方向平移；转运机构用于抓取位于任一传送带上的花篮，并将花篮转运至花篮存储区，或者，转运机构用于抓取位于花篮存储区的花篮，并将花篮转运至任一传送带上，从而实现了传送带上花篮传输顺序和花篮数量的自动化调整，提升了调整效率和可控性，同时还节约了人工成本。

Description

花篮上料装置及半导体工艺设备

技术领域

本申请涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种花篮上料装置及半导体工艺设备。

背景技术

目前，半导体被广泛应用于光伏器件、显示器、集成电路等领域，在半导体的加工生产过程中，需要利用传送带、上料机等设备对装载有半导体的花篮进行自动化上料工序。在自动化上料过程中，传送带上会同时传输多个花篮，以供上料机按传输顺序进行上料。

相关技术中，在对传送带上的花篮传输顺序或者花篮数量进行调整时，需要利用人工调整的方式实现，存在效率较低且可控性较差的问题。

实用新型内容

本申请公开一种花篮上料装置及半导体工艺设备，以解决相关技术中，利用人工方式对传送带上的花篮传输顺序或者花篮数量进行调整，存在效率较低且可控性较差的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

第一方面，本申请实施例公开了一种花篮上料装置，所公开的花篮上料装置包括传送机构、上料机构、转运机构和花篮存储区；

所述传送机构包括至少两个间隔设置的传送带，花篮通过所述传送带传输至所述上料机构，并通过所述上料机构进行上料；

所述花篮存储区设于相邻的两个所述传送带之间，所述转运机构与所述传送机构相对设置，且相对于所述传送机构可沿所述传送带的传输平面内的两个正交方向平移；

所述转运机构用于抓取位于任一所述传送带上的花篮，并将所述花篮转运至所述花篮存储区，

或者，所述转运机构用于抓取位于所述花篮存储区的花篮，并将所述花篮转运至任一所述传送带上。

可选地，所述转运机构包括抓取臂、至少一个第一滑轨和至少一个第二滑轨，所述第一滑轨和所述第二滑轨互相垂直，且分别与所述传输平面平行；

所述抓取臂设有导轮，所述导轮与所述第一滑轨和所述第二滑轨转动连接，以使所述抓取臂沿所述第一滑轨或所述第二滑轨的延伸方向平移。

可选地，所述抓取臂可沿垂直于所述传输平面的方向进行升降。

可选地，所述抓取臂包括安装架和抓取臂本体；

所述导轮设于安装架，以使所述安装架沿所述第一滑轨或所述第二滑轨的延伸方向平移；

所述安装架还设有第三滑轨，所述第三滑轨垂直于传输平面，所述抓取臂本体设有滑块，所述滑块与所述第三滑轨滑动连接，以使所述抓取臂本体相对于所述安装架沿所述第三滑轨的延伸方向进行升降。

可选地，所述抓取臂设有传感器，所述传感器用于识别所述抓取臂与所述花篮存储区的相对位置。

可选地，所述花篮存储区包括支座和面板，所述面板包括相背的第一表面和第二表面，所述支座连接于所述第一表面，用于支撑所述面板，所述第二表面用于放置所述花篮。

可选地，所述第二表面设有一个或一个以上的花篮放置位，每个所述花篮放置位对应放置一个所述花篮。

可选地，所述花篮放置位的周向设有限位部，所述限位部凸出于所述第二表面。

可选地，所述支座背离所述面板的一侧设置有行走轮，所述行走轮用于驱动所述支座移动。

第二方面，本申请实施例公开了一种半导体工艺设备，包括上述的花篮上料装置。

本申请采用的技术方案能够达到以下技术效果：

本申请实施例公开的花篮上料装置对相关技术进行改进，利用转运机构和花篮存储区的组合，转运机构能够抓取位于任一传送带上的花篮，并将花篮转运至花篮存储区，或者，转运机构还能够抓取位于花篮存储区的花篮，并将花篮转运至任一传送带上，从而实现了传送带上花篮传输顺序和花篮数量的自动化调整，提升了调整效率和可控性，同时还节约了人工成本。

附图说明

图1为本申请实施例公开的花篮上料装置的结构示意图之一；

图2为本申请实施例公开的花篮上料装置的结构示意图之二；

图3为本申请实施例公开的转运机构的结构示意图；

图4为本申请实施例公开的抓取臂的结构示意图。

附图标记说明：

110-传送机构、111-传送带、120-上料机构、130-转运机构、131-抓取臂、132-第一滑轨、133-第二滑轨、134-传感器、140-花篮存储区、141-支座、142-面板、143-限位部、144-行走轮、150-花篮。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。

以下结合附图，详细说明本申请各个实施例公开的技术方案。

在半导体加工制造过程中，为提升生产效率，通常利用花篮150作为载具，将待加工的半导体材料放置于花篮150中，并通过传送带111对花篮150进行转运，配合上料机构120对待加工的半导体材料实现上料工序。以太阳能电池片的加工制造为例，在对电池片进行制绒、丝网印刷、清洗等工序时，需要利用花篮150、传送带111和上料机构120将待处理的电池片转运至对应的工序平台上。

在利用传送带111传输花篮150时，为提升传输效率，会在传送带111上同时传输多个花篮150，多个花篮150沿传送带111的传输方向依次排列，再由上料机构120依次对传送带111上的花篮150执行上料工序。在实际生产时，受多种因素的影响，需要对传送带111上的花篮150的数量或上料顺序进行调整。示例性的，传送带111上可以放置实验花篮和非实验花篮，实验花篮用于承载实验专用电池片，非实验花篮用于承载常规电池片，实验花篮和非实验花篮穿插设置于传送带111上。在产线的产能不足的情况下，要优先保证非实验花篮的上料，则需要对传送带111上的实验花篮和非实验花篮的上料顺序进行调整，以提升非实验花篮的上料优先级；或者在实验计划变更时，也需要对应调整实验花篮的上料顺序。

相关技术中，针对实验花篮和非实验花篮的上料顺序的调整，通常依靠人工完成，需要安排专人值守，根据产线的产能情况以及实验计划，对实验花篮和非实验花篮在传送带111上的位置进行调整。然而，采用人工调整的方式，存在效率较低且可控性较差的问题。

针对上述问题，请参考图1至图4，本申请实施例公开一种花篮上料装置，所公开的花篮上料装置可以包括传送机构110、上料机构120、转运机构130和花篮存储区140。

其中，传送机构110用于传输花篮150，传送机构110可以包括至少两个间隔设置的传送带111，每个传送带111上均可沿传输方向同时放置多个花篮150，每个传送带111上花篮150的具体数量可以为两个或两个以上。至少两个传送带111上的花篮150可以通过上料机构120进行交替上料。

花篮存储区140设于相邻的两个传送带111之间，花篮存储区140和传送带111相互独立，花篮存储区140具有存储平台，存储平台上可以放置花篮150，花篮存储区140的尺寸以及可放置花篮150的数量，可以根据实际需求进行设计。

转运机构130与传送机构110相对设置，并且，转运机构130相对于传送机构110可沿传送带111的传输平面内的两个正交方向平移，从而转运机构130的运动路径可以覆盖整个传送机构110和花篮存储区140。转运机构130可以由机械臂、滑轨、控制器、驱动机构等部件组成。

在需要对花篮150的上料顺序和数量进行调整时，可利用转运机构130抓取位于任一传送带111上的花篮150，并将花篮150转运至花篮存储区140；或者，还可以利用转运机构130抓取位于花篮存储区140的花篮150，并将花篮150转运至任一传送带111上。

通过上文所述可知，本申请实施例公开的花篮上料装置对相关技术进行改进，利用转运机构130和花篮存储区140的组合，转运机构130能够抓取位于任一传送带111上的花篮150，并将花篮150转运至花篮存储区140，或者，转运机构130还能够抓取位于花篮存储区140的花篮150，并将花篮150转运至任一传送带111上，从而实现了传送带111上花篮150传输顺序和花篮150数量的自动化调整，提升了调整效率和可控性，同时还节约了人工成本。

可选地，如图1至图4所示，转运机构130可以包括抓取臂131、至少一个第一滑轨132和至少一个第二滑轨133，第一滑轨132和第二滑轨133互相垂直，且第一滑轨132和第二滑轨133分别与传输平面平行，第一滑轨132和第二滑轨133的延伸方向即为传输平面内的两个正交方向。示例性地，如图3所示，第一滑轨132的数量为四个，第二滑轨133的数量为三个，四个第一滑轨132和三个第二滑轨133互相垂直交叉，交织成网状结构，网状结构覆盖在传送机构110和花篮存储区140的上方，从而使抓取臂131可在传送机构110和花篮存储区140上方的任意位置对花篮150进行抓取和转运。

抓取臂131设有导轮，导轮铰接于抓取臂131，可在抓取臂131上设置安装部以安装导轮，且导轮与第一滑轨132和第二滑轨133转动连接，从而使抓取臂131沿第一滑轨132或第二滑轨133的延伸方向平移。第一滑轨132和第二滑轨133设置有用于容纳导轮的滑槽，能够避免导轮脱出，在需要移动抓取臂131时，可通过驱动机构控制导轮转动，以带动抓取臂131在第一滑轨132或第二滑轨133上移动。

进一步地，如图1至图4所示，在花篮150转的过程中，为避免花篮150与传送带111以及花篮存储区140发生触碰、干涉，可以使抓取臂131沿垂直于传输平面的方向进行升降，具体的升降结构可以包括升降滑轨、折叠杆、伸缩杆等。通过升降抓取臂131，在抓取或放置花篮150时，可将抓取臂131下降至较低的位置处；在转运花篮150时，可以将抓取臂131升高，从而带动花篮150升高，避免与传送带111以及花篮存储区140发生触碰、干涉，提升了安全系数。

进一步地，如图1至图4所示，抓取臂131可以包括安装架和抓取臂131本体，安装支架用于安装导轮，导轮与安装支架转动连接。导轮沿第一滑轨132或第二滑轨133平移时，会带动安装架和抓取臂131本体移动。

抓取臂131本体的升降功能可依靠安装架实现，具体地，可以在安装架上设置第三滑轨，第三滑轨垂直于传输平面，抓取臂131本体上设置有滑块，滑块的至少部分嵌入第三滑轨内，并且滑块与第三滑轨滑动连接，从而能够使抓取臂131本体相对于安装架沿第三滑轨的延伸方向进行升降，实现抓取臂131的升降功能。

需要说明的是，抓取臂131本体相对于安装架进行升降，可以是通过人工控制，也可利用电机、气缸等驱动机构控制。

可选地，如图1至图4所示，抓取臂131设有传感器134，传感器134用于识别抓取臂131与花篮存储区140的相对位置，从而保证抓取臂131所抓取的花篮150能够准确放置于花篮存储区140的预设位置处，避免出现由于放置不到位，导致花篮150倾倒、损坏的问题发生。传感器134可以为图像传感器、霍尔传感器等，只要能够识别抓取臂131与花篮存储区140的相对位置即可，本申请实施例对此不作限定。

进一步地，如图1至图4所示，花篮存储区140包括支座141和面板142，面板142包括相背的第一表面和第二表面，支座141连接于面板142的第一表面，用于支撑面板142，支座141和面板142可采用一体式结构，也可分别制作，然后通过焊接、螺栓连接等方式进行装配。

面板142的第二表面用于放置花篮150，为避免花篮150倾倒，第二表面可以为平面。

可选地，如图1至图4所示，为保证花篮存储区140能够满足花篮150的放置需求，面板142的第二表面设有一个或一个以上的花篮150放置位，每个花篮150放置位对应放置一个花篮150。花篮150放置位的具体数量可以为一个、两个或两个以上，可以根据花篮150的存放数量需求对应选择。

进一步地，如图1至图4所示，花篮150放置位的周向设有限位部143，限位部143凸出于第二表面，限位部143能够对处于花篮150放置位上的花篮150实现限位，避免花篮150发生滑动、偏移，提升了可靠性。

进一步地，如图1至图4所示，支座141背离面板142的一侧设置有行走轮144，行走轮144用于驱动支座141移动，从而带动花篮存储区140移动，一定程度上提升了花篮存储区140的使用灵活性。

本申请实施例公开了一种半导体工艺设备，包括上述的花篮上料装置。

本申请实施例公开的半导体工艺设备，由于采用了上述的花篮上料装置，利用转运机构130和花篮存储区140的组合，转运机构130能够抓取位于任一传送带111上的花篮150，并将花篮150转运至花篮存储区140，或者，转运机构130还能够抓取位于花篮存储区140的花篮150，并将花篮150转运至任一传送带111上，从而实现了传送带111上花篮150传输顺序和花篮150数量的自动化调整，提升了调整效率和可控性，同时还节约了人工成本。

本申请上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的技术特征只要不矛盾，均可以组合形成更具体的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。

上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。

Claims (10)

1.一种花篮上料装置，其特征在于，包括传送机构(110)、上料机构(120)、转运机构(130)和花篮存储区(140)；

所述传送机构(110)包括至少两个间隔设置的传送带(111)，花篮(150)通过所述传送带(111)传输至所述上料机构(120)，并通过所述上料机构(120)进行上料；

所述花篮存储区(140)设于相邻的两个所述传送带(111)之间，所述转运机构(130)与所述传送机构(110)相对设置，且相对于所述传送机构(110)可沿所述传送带(111)的传输平面内的两个正交方向平移；

所述转运机构(130)用于抓取位于任一所述传送带(111)上的花篮(150)，并将所述花篮(150)转运至所述花篮存储区(140)，

或者，所述转运机构(130)用于抓取位于所述花篮存储区(140)的花篮(150)，并将所述花篮(150)转运至任一所述传送带(111)上。

2.根据权利要求1所述的花篮上料装置，其特征在于，所述转运机构(130)包括抓取臂(131)、至少一个第一滑轨(132)和至少一个第二滑轨(133)，所述第一滑轨(132)和所述第二滑轨(133)互相垂直，且分别与所述传输平面平行；

所述抓取臂(131)设有导轮，所述导轮与所述第一滑轨(132)和所述第二滑轨(133)转动连接，以使所述抓取臂(131)沿所述第一滑轨(132)或所述第二滑轨(133)的延伸方向平移。

3.根据权利要求2所述的花篮上料装置，其特征在于，所述抓取臂(131)可沿垂直于所述传输平面的方向进行升降。

4.根据权利要求3所述的花篮上料装置，其特征在于，所述抓取臂(131)包括安装架和抓取臂本体；

所述导轮设于安装架，以使所述安装架沿所述第一滑轨(132)或所述第二滑轨(133)的延伸方向平移；

所述安装架还设有第三滑轨，所述第三滑轨垂直于传输平面，所述抓取臂本体设有滑块，所述滑块与所述第三滑轨滑动连接，以使所述抓取臂本体相对于所述安装架沿所述第三滑轨的延伸方向进行升降。

5.根据权利要求2所述的花篮上料装置，其特征在于，所述抓取臂(131)设有传感器(134)，所述传感器(134)用于识别所述抓取臂(131)与所述花篮存储区(140)的相对位置。

6.根据权利要求1所述的花篮上料装置，其特征在于，所述花篮存储区(140)包括支座(141)和面板(142)，所述面板(142)包括相背的第一表面和第二表面，所述支座(141)连接于所述第一表面，用于支撑所述面板(142)，所述第二表面用于放置所述花篮(150)。

7.根据权利要求6所述的花篮上料装置，其特征在于，所述第二表面设有一个或一个以上的花篮放置位，每个所述花篮放置位对应放置一个所述花篮(150)。

8.根据权利要求7所述的花篮上料装置，其特征在于，所述花篮放置位的周向设有限位部(143)，所述限位部(143)凸出于所述第二表面。

9.根据权利要求6所述的花篮上料装置，其特征在于，所述支座(141)背离所述面板(142)的一侧设置有行走轮(144)，所述行走轮(144)用于驱动所述支座(141)移动。

10.一种半导体工艺设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的花篮上料装置。