JPH06244266A - ウェハ搬送車 - Google Patents
ウェハ搬送車Info
- Publication number
- JPH06244266A JPH06244266A JP5517293A JP5517293A JPH06244266A JP H06244266 A JPH06244266 A JP H06244266A JP 5517293 A JP5517293 A JP 5517293A JP 5517293 A JP5517293 A JP 5517293A JP H06244266 A JPH06244266 A JP H06244266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer carrier
- wafer
- height
- transfer
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ウェハをクリーンルーム内に保持したまま、
ウェハキャリアセット部を有する複数の処理装置に対し
てウェハを的確に搬送し得るウェハ搬送車を提供する。 【構成】 ウェハ３を載せたウェハキャリア４を、プロ
セス装置５側へ移載するためのウェハキャリア移載手段
６を備えている。シャッタ７によって外部と隔絶された
ウェハ格納部２と、ウェハキャリア４の高さをプロセス
装置５に対して調整する高さ調整手段９と、を設けたも
のである。複数のプロセス装置５における特に高さが異
なるウェハキャリアセット部８に対して、ウェハキャリ
ア４を容易且つ的確に移載することができる。またウェ
ハ搬送車１内部のウェハ格納部２は、外気と遮断されて
おり、清浄度が高く保持されているため、クリーンルー
ム全体を必要以上に高い清浄度に保持しないでも済む。
ウェハキャリアセット部を有する複数の処理装置に対し
てウェハを的確に搬送し得るウェハ搬送車を提供する。 【構成】 ウェハ３を載せたウェハキャリア４を、プロ
セス装置５側へ移載するためのウェハキャリア移載手段
６を備えている。シャッタ７によって外部と隔絶された
ウェハ格納部２と、ウェハキャリア４の高さをプロセス
装置５に対して調整する高さ調整手段９と、を設けたも
のである。複数のプロセス装置５における特に高さが異
なるウェハキャリアセット部８に対して、ウェハキャリ
ア４を容易且つ的確に移載することができる。またウェ
ハ搬送車１内部のウェハ格納部２は、外気と遮断されて
おり、清浄度が高く保持されているため、クリーンルー
ム全体を必要以上に高い清浄度に保持しないでも済む。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置製造に用い
るウェハに対する加工工程において、そのウェハを搬送
するために使用する搬送車、特に複数のウェハを収納し
得るウェハキャリアを用いたウェハ搬送車に関する。
るウェハに対する加工工程において、そのウェハを搬送
するために使用する搬送車、特に複数のウェハを収納し
得るウェハキャリアを用いたウェハ搬送車に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、所謂クリーンルーム内でウェハを
移動するために、例えば特開昭６２−１８５３３６号公
報又は特開平１−１３６３４６号公報等に記載されてい
るように、複数枚のウェハを保持し得るウェハキャリア
にウェハを収納し、そしてキャリアボックスに入れた
後、移動台車によって搬送するようにしていた。そし
て、スパッタリング装置等の処理装置に搬送されたウェ
ハは、人手作業又はロボットアーム等によって取り出さ
れ、処理装置内に搬入されていた。
移動するために、例えば特開昭６２−１８５３３６号公
報又は特開平１−１３６３４６号公報等に記載されてい
るように、複数枚のウェハを保持し得るウェハキャリア
にウェハを収納し、そしてキャリアボックスに入れた
後、移動台車によって搬送するようにしていた。そし
て、スパッタリング装置等の処理装置に搬送されたウェ
ハは、人手作業又はロボットアーム等によって取り出さ
れ、処理装置内に搬入されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来、この種のウェハ
搬送車の高さは一定に設定されていた。そのため共通の
ウェハ搬送車を使用して、複数のプロセス装置への搬送
を行う場合、各プロセス装置側のウェハキャリアセット
部とそのウェハ搬送車のウェハキャリア格納部の位置
（特に高さ方向）が必ずしも一致せず、プロセス装置へ
ウェハを移載するためにかなりの手間がかかってしまう
という問題があった。またクリーンルームの清浄度が低
いと、ウェハ移載時において、該クリーンルーム内に発
生するパーティクルがウェハに付着する危険があり、こ
れを防止するためにクリーンルーム内の清浄度を常に高
く維持しておく必要がある。しかしながら、このように
クリーンルームの清浄度を高めるためには、建設費や維
持費が高くなる等のコスト的な問題もあった。
搬送車の高さは一定に設定されていた。そのため共通の
ウェハ搬送車を使用して、複数のプロセス装置への搬送
を行う場合、各プロセス装置側のウェハキャリアセット
部とそのウェハ搬送車のウェハキャリア格納部の位置
（特に高さ方向）が必ずしも一致せず、プロセス装置へ
ウェハを移載するためにかなりの手間がかかってしまう
という問題があった。またクリーンルームの清浄度が低
いと、ウェハ移載時において、該クリーンルーム内に発
生するパーティクルがウェハに付着する危険があり、こ
れを防止するためにクリーンルーム内の清浄度を常に高
く維持しておく必要がある。しかしながら、このように
クリーンルームの清浄度を高めるためには、建設費や維
持費が高くなる等のコスト的な問題もあった。
【０００４】本発明は、上記問題点を解消し、ウェハを
クリーンルーム内に保持したまま、ウェハキャリアセッ
ト部を有する複数の処理装置に対してウェハを的確に搬
送し得るウェハ搬送車を提供することを目的とする。
クリーンルーム内に保持したまま、ウェハキャリアセッ
ト部を有する複数の処理装置に対してウェハを的確に搬
送し得るウェハ搬送車を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のウェハ搬送車
は、ウェハを載せたウェハキャリアを、プロセス装置側
へ移載するためのウェハキャリア移載手段を備えている
が、特にシャッタによって外部と隔絶されたウェハ格納
部と、上記ウェハキャリアの高さを上記プロセス装置に
対して調整する高さ調整手段と、を設けたものである。
は、ウェハを載せたウェハキャリアを、プロセス装置側
へ移載するためのウェハキャリア移載手段を備えている
が、特にシャッタによって外部と隔絶されたウェハ格納
部と、上記ウェハキャリアの高さを上記プロセス装置に
対して調整する高さ調整手段と、を設けたものである。
【０００６】
【作用】本発明によるウェハ搬送車は、ウェハキャリア
をウェハ格納部に収納して、ウェハ処理装置まで移動す
る。また上記ウェハ格納部内はクリーンに保持されてい
る。ウェハ処理装置まで移動したウェハ搬送車は、移載
先のウェハ処理装置におけるウェハキャリアセット部の
高さ位置に応じて、高さ調整手段によりそのウェハキャ
リアの高さが変更・調整される。そしてウェハキャリア
は、上記ウェハキャリア移載手段によって、ウェハ処理
装置側のウェハキャリアセット部に移される。
をウェハ格納部に収納して、ウェハ処理装置まで移動す
る。また上記ウェハ格納部内はクリーンに保持されてい
る。ウェハ処理装置まで移動したウェハ搬送車は、移載
先のウェハ処理装置におけるウェハキャリアセット部の
高さ位置に応じて、高さ調整手段によりそのウェハキャ
リアの高さが変更・調整される。そしてウェハキャリア
は、上記ウェハキャリア移載手段によって、ウェハ処理
装置側のウェハキャリアセット部に移される。
【０００７】これにより複数のプロセス装置における特
に高さが異なるウェハキャリアセット部に対して、ウェ
ハキャリアを容易且つ的確に移載することができる。ま
たウェハ搬送車内部のウェハ格納部は、外気と遮断され
ており、清浄度が高く保持されているため、クリーンル
ーム全体を必要以上に高い清浄度に保持しないでも済
む。
に高さが異なるウェハキャリアセット部に対して、ウェ
ハキャリアを容易且つ的確に移載することができる。ま
たウェハ搬送車内部のウェハ格納部は、外気と遮断され
ており、清浄度が高く保持されているため、クリーンル
ーム全体を必要以上に高い清浄度に保持しないでも済
む。
【０００８】
【実施例】以下、図１乃至図３に基づき、本発明による
ウェハ搬送車の好適な実施例を説明する。図１に示した
ウェハ搬送車１は、その台車部１０において複数枚のウ
ェハ３を載せたウェハキャリア４を格納するためのウェ
ハキャリア格納部２を備えている。上記ウェハキャリア
格納部２には、その対向するプロセス装置５との間で、
ウェハキャリア４を授受するためのウェハキャリア移載
装置６が設けられている。また側壁部には、ウェハキャ
リア４を出入するための窓部と、この窓部を覆って上記
ウェハキャリア格納部２を外気と遮断するシャッタ７が
設けられている。さらにウェハ搬送車１は、上記プロセ
ス装置５のウェハキャリアセット部８の高さに対して、
ウェハキャリア４の高さを調整するための高さ調整機構
９を備えている。
ウェハ搬送車の好適な実施例を説明する。図１に示した
ウェハ搬送車１は、その台車部１０において複数枚のウ
ェハ３を載せたウェハキャリア４を格納するためのウェ
ハキャリア格納部２を備えている。上記ウェハキャリア
格納部２には、その対向するプロセス装置５との間で、
ウェハキャリア４を授受するためのウェハキャリア移載
装置６が設けられている。また側壁部には、ウェハキャ
リア４を出入するための窓部と、この窓部を覆って上記
ウェハキャリア格納部２を外気と遮断するシャッタ７が
設けられている。さらにウェハ搬送車１は、上記プロセ
ス装置５のウェハキャリアセット部８の高さに対して、
ウェハキャリア４の高さを調整するための高さ調整機構
９を備えている。
【０００９】図２は、上記ウェハキャリア移載装置６の
部分拡大図である。このウェハキャリア移載装置６は、
その先端に、ウェハ３を載せた上記ウェハキャリア４を
掴むように、この図示例では二股状に形成された掴み手
段６ａを備えている。この掴み手段６ａによって上記ウ
ェハキャリア４を掴んで、それをプロセス装置５のウェ
ハキャリアセット部８へ移載するようになっている。ウ
ェハ３を載せたウェハキャリア４を搭載したウェハ搬送
車１は、プロセス処理が行われるべきプロセス装置５ま
で移動し、そしてウェハキャリア４の位置をプロセス装
置５のウェハキャリアセット部８の高さに整合させるよ
うに、高さ調整機構９を用いて台車部１０を適宜上下動
させる。
部分拡大図である。このウェハキャリア移載装置６は、
その先端に、ウェハ３を載せた上記ウェハキャリア４を
掴むように、この図示例では二股状に形成された掴み手
段６ａを備えている。この掴み手段６ａによって上記ウ
ェハキャリア４を掴んで、それをプロセス装置５のウェ
ハキャリアセット部８へ移載するようになっている。ウ
ェハ３を載せたウェハキャリア４を搭載したウェハ搬送
車１は、プロセス処理が行われるべきプロセス装置５ま
で移動し、そしてウェハキャリア４の位置をプロセス装
置５のウェハキャリアセット部８の高さに整合させるよ
うに、高さ調整機構９を用いて台車部１０を適宜上下動
させる。
【００１０】ウェハキャリア４を移載する場合、図３に
示したように、ウェハキャリア格納部２を外気と遮断す
るシャッタ７を開き、ウェハキャリア４を掴んだウェハ
キャリア移載装置６を伸長させ、これによりウェハ３を
載せたウェハキャリア４が、プロセス装置５のウェハキ
ャリアセット部８へ移載される。上記のようにウェハ３
を載せたウェハキャリア４を、ウェハ搬送車１からプロ
セス装置５のウェハキャリアセット部８へ容易且つ確実
に移載することができる。
示したように、ウェハキャリア格納部２を外気と遮断す
るシャッタ７を開き、ウェハキャリア４を掴んだウェハ
キャリア移載装置６を伸長させ、これによりウェハ３を
載せたウェハキャリア４が、プロセス装置５のウェハキ
ャリアセット部８へ移載される。上記のようにウェハ３
を載せたウェハキャリア４を、ウェハ搬送車１からプロ
セス装置５のウェハキャリアセット部８へ容易且つ確実
に移載することができる。
【００１１】一方、プロセス装置５におけるプロセス処
理が完了後、上記とは逆の作動順序により、ウェハキャ
リア４がウェハ搬送車１の内部に格納される。そして該
ウェハ搬送車１によって次のプロセス装置に移動させる
ことができる。次工程のプロセス装置では、そのウェハ
キャリアセット部の高さが上記プロセス装置５のウェハ
キャリアセット部８と異なる場合、上記の場合と同様に
高さ調整機構９を用いて台車部１０を適宜上下動させ、
これによりウェハキャリア格納部２の高さをそのウェハ
キャリアセット部の高さと整合させることができる。こ
のようにクリーンルーム内の複数のプロセス装置間にお
いて、的確なウェハ搬送を実現することができる。
理が完了後、上記とは逆の作動順序により、ウェハキャ
リア４がウェハ搬送車１の内部に格納される。そして該
ウェハ搬送車１によって次のプロセス装置に移動させる
ことができる。次工程のプロセス装置では、そのウェハ
キャリアセット部の高さが上記プロセス装置５のウェハ
キャリアセット部８と異なる場合、上記の場合と同様に
高さ調整機構９を用いて台車部１０を適宜上下動させ、
これによりウェハキャリア格納部２の高さをそのウェハ
キャリアセット部の高さと整合させることができる。こ
のようにクリーンルーム内の複数のプロセス装置間にお
いて、的確なウェハ搬送を実現することができる。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
クリーンルーム内の清浄度を必要以上に高くすることな
く、異なる高さ位置のウェハキャリアセット部を備えた
プロセス処理間で、ウェハを容易且つ確実に搬送するこ
とができる等の利点を有している。
クリーンルーム内の清浄度を必要以上に高くすることな
く、異なる高さ位置のウェハキャリアセット部を備えた
プロセス処理間で、ウェハを容易且つ確実に搬送するこ
とができる等の利点を有している。
【図１】本発明のウェハ搬送車の一実施例によるウェハ
キャリアをウェハ搬送装置からプロセス装置に移載する
例を示す縦断面図である。
キャリアをウェハ搬送装置からプロセス装置に移載する
例を示す縦断面図である。
【図２】本発明に係るウェハキャリア移載装置の部分拡
大斜視図である。
大斜視図である。
【図３】本発明の上記ウェハ搬送車によるウェハキャリ
アをウェハ搬送装置からプロセス装置に移載した状態を
示す縦断面図である。
アをウェハ搬送装置からプロセス装置に移載した状態を
示す縦断面図である。
１ ウェハ搬送車 ２ ウェハキャリア格納部 ３ ウェハ ４ ウェハキャリア ５ プロセス装置 ６ ウェハキャリア移載装置 ７ シャッタ ８ ウェハキャリアセット部 ９ 高さ調整機構 １０ 台車部
Claims (1)
- 【請求項１】 ウェハを載せたウェハキャリアを、プロ
セス装置側へ移載するためのウェハキャリア移載手段を
備えたウェハ搬送車において、シャッタによって外部と
隔絶されたウェハ格納部と、上記ウェハキャリアの高さ
を上記プロセス装置に対して調整する高さ調整手段と、
を具備することを特徴とするウェハ搬送車。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5517293A JPH06244266A (ja) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | ウェハ搬送車 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5517293A JPH06244266A (ja) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | ウェハ搬送車 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06244266A true JPH06244266A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12991311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5517293A Withdrawn JPH06244266A (ja) | 1993-02-19 | 1993-02-19 | ウェハ搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06244266A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11222121A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
| US6099241A (en) * | 1997-02-24 | 2000-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Substrate transfer method and substrate transfer cassette |
| US10529609B2 (en) * | 2011-09-05 | 2020-01-07 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Container storage add-on for bare workpiece stocker |
-
1993
- 1993-02-19 JP JP5517293A patent/JPH06244266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6099241A (en) * | 1997-02-24 | 2000-08-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Substrate transfer method and substrate transfer cassette |
| KR100508064B1 (ko) * | 1997-02-24 | 2005-11-11 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 기판반송방법및기판반송카셋트 |
| JPH11222121A (ja) * | 1997-07-10 | 1999-08-17 | Shinko Electric Co Ltd | 無人搬送車 |
| US10529609B2 (en) * | 2011-09-05 | 2020-01-07 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Container storage add-on for bare workpiece stocker |
| US11587816B2 (en) | 2011-09-05 | 2023-02-21 | Brooks Automation (Germany) Gmbh | Container storage add-on for bare workpiece stocker |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |