JP2001519095A - カセットから炉へのウエーハ移送用のシステム及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ウエーハの処理装置である。１区域内に複数の炉を置き、これらの炉の各に、ウエーハで満たされたウエーハラックを導入することが提案される。中央装填／取出し装置内でカセットから充填されたウエーハラックがトロリーに置かれる。中央装填／取出し装置は、全ての炉に対して作業する。

Description

【発明の詳細な説明】 カセットから炉へのウエーハ移送用のシステム及び方法 本発明は、炉へのウエーハの供給及び炉からのウエーハの取出しに関する。 半導体円盤又はウエーハの処理の際は、ウエーハは、従来技術においてはウエ ーハラック内に置かれ、このウエーハラックが炉の中に導かれ、次いで、供給さ れる適宜適切な種類のプロセスガスによる高温での処理が行われる。ＡＳＭイン ターナショナルＮ．Ｖ．に譲渡された米国特許ＵＳ−Ａ−５４０７４４９号にお いては、ウエーハが通常の方法でカセット内に供給されるシステムが説明される 。ウエーハは、中央ロボットによりカセットから取り出され、関連の炉のウエー ハラックに移送される。ウエーハラックは円形コンベヤーを介して炉に送られる 。炉及びその他の処理装置よりなる各クラスターは、それ自身の装填／取出し装 置を持つ。 ウエーハの処理装置の容量を増大させるとき、従来技術においては、複数のか かるシステムを互いに並列に置くことがまず提案された。 続く提案においては、１区域内に２個の炉が置かれ、１台のロボットの助けに より、これらの炉にカセットからのウエーハが提供された。 かかるシステムを設計するときの問題点は、ウエーハをカセットからウエーハ ラックに移送するためのロボットを、ウエーハの移送時間が炉内の最短処理時間 に対しても限定要因を構成しないような寸法にする必要のあることである。この 問題の一解答は、ウエーハラックに同時に装填するように、複数のロボットを互 いに重ねて置くことを含む。 しかし、事実上、かかるロボットが、その容量を完全に使用されるの は稀であることが見いだされた。更に、多数のロボットの設置費用が空間の要求 と同様に認められる。 本発明の目標は、これらの不利を克服すること、及び多数の炉にウエーハを効 果的に供給し得る手段により解を提供することであり、この解により、一方では 、ウエーハをカセットからウエーハラックに移送するに十分な容量があり、他方 では移送容量はその最大可能な量まで利用される。 この目標は、ウエーハの装填／取出し装置と同様に１区域内で互いに並んで配 列された複数の炉を備え、ウエーハを炉に装填し、炉内で処理し、そして炉から 取り出すためのシステムであって、前記装填／取出し装置は、種々の炉のために 作業する中央装填／取出しステーションであって、ウエーハを装填したウエーハ ラック輸送装置に取り付けられたウエーハラックとカセットとの間でウエーハを 往復移送するための手段が設けられた前記ステーションを備え、更に底部と垂直 方向の壁とを有しかつ輸送手段の設けられたホルダー、前記ホルダーに取り付け られた前記ウエーハラックの少なくも底部のための支持具を備え、そしてホルダ ーは、その壁に付近に、前記ウエーハを輸送中把持しかつ前記ウエーハを前記ウ エーハラックから降ろすための手段が設けられるシステムにより達成される。 本発明の基本的な考えは、カセットからウエーハラックへの移送は炉のあるク ラスターでは行われず、これからある距離に置かれた位置で行われることである 。その結果、中央装填／取出しステーションは、１区域内に配列された種々の炉 の作業に使用することができる。炉は３個とすることも３０個とすることもでき る。全ての炉が同時に最大容量に達 することはあり得ないので、装填／取出しのための中央ステーション用の最大容 量は、従来技術による装填／取出し装置のために決られた最大容量よりかなり小 さく選ぶことができる。その結果、一方では費用の節減が、また他方では空間の 節約が得られる。後者は固定費の限定だけでなく、種々の特徴をクリーンルーム 状態下で具体化することも可能にする。 本発明の有利な実施例により、上述のホルダーには、取外し可能な蓋が設けら れる。その結果、前記ホルダー内に、環境に関して保護する雰囲気を作ることが できる。これらの条件はクリーンルーム条件に近似し、或いはクリーンルーム条 件そのものとすることもできる。また、ホルダー内に不活性ガスを導入すること もでき、或いは、送風機の支援により、輸送中、ホルダーを通して清浄な空気又 はその他のガスを動かすことができる。また、ホルダーの内容物を吸い出すこと も可能である。 中央ステーションと炉との間のウエーハラックの輸送については、輸送中に、 ウエーハラックに関するウエーハの運動の結果として粒子の発生しないことが重 要である。このために、輸送中、好ましくはプラスチックフィンガーの支援によ り、ウエーハをウエーハラックから幾分か持ち上げることが提案される。ウエー ハラックが炉内に装填されたときだけ、即ち、温度が上昇したとき、ウエーハラ ックが、再びウエーハの支持機能を担当する。 この方法により、プラスチックフィンガーは常に低温ストレスを受け、粒子の 生成はできるだけ多く防がれる。輸送中、ウエーハラック輸送装置に蓋が適合し ていれば、クリーン条件下の作業が更に助長される。この手段により前記装置は 、中央ステーションと炉との間の運動中、完全 に遮断される。炉において、装置は炉の底部と気密に組み合うようにされ、次い で、装置に適合された蓋が、これのために炉の下方に設けられた別の室内に動か される。かかる室は、ウエーハラック導入用の開口を露出させるために外された 炉の閉鎖体を受け入れるようにも使うことができる。 従来技術において明らかにされたように、ウエーハラックが炉内に導入される とき自動的に炉の閉鎖が提供されるように、ウエーハラックの底部に炉のための 閉鎖板を設けることができる。 炉からの閉鎖体の外しとウエーハラック輸送装置からの蓋の外しを同時に行う ことが特に効果的である。この方法により、装置の蓋の頂部と炉の閉鎖体の底部 とが環境からできるだけ遮断され、従ってここに付着しているいかなる汚染物も 、その環境への通過が防がれる。 ウエーハラック移動装置には、一方ではウエーハラックを充填し、他方ではウ エーハラックを炉内に導くために、ウエーハラック用のリフト手段が設けられる 。更に、ウエーハラック輸送装置を炉の底部と気密接触状態にするために、炉に リフト手段が設けられる。 本発明は、ウエーハの処理方法であって、カセット内の前記ウエーハを中央装 填／取出しステーションに供給し、前記カセットから前記ウエーハを取り出しこ れをウエーハラック内に置き、前記ウエーハラックをウエーハラック輸送装置内 に載せ、前記装置を多数の炉の一つに動かし、ウエーハで満たされた前記ウエー ハラックを前記炉の一つの中に移送し、ウエーハを熱処理し、ウエーハラック内 に収納された前記ウエーハをウエーハラック輸送装置内に取り出し、前記装置を 装填／取出しステーションに動かし、そして前記ウエーハを前記ウエーハラック からカセットに 移送することを含んだ方法にも関連する。 本発明は、図面に示された図解実施例を参照し、以下、より詳細に説明される であろう。図面において、 図１は本発明によるシステムの線図的な平面図を示し、 図２は炉の下方に動かしたときの本発明によるトロリーの線図的な断面図を示 し、 図３は炉と組み合ったときの図２によるトロリーを示し、 図４はウエーハラックを誘導しているときの図２によるトロリーを示し、 図５は図２の線ＶＩ−ＶＩに沿って得られた断面図を示し、そして 図６は炉を通る通路の線図的な平面図を示す。 図１において、本発明によるシステムが、その全体を１により示される。この システムは、室２と移送システム３とを備える。室２はクリーンルーム状態下で 運転することができる。しかし、室内を標準状態とすることも可能である。 例えば、これらの条件下でガスを供給することによりウエーハを高温で処理す る複数の炉が室２内に配列される。ウエーハで満たされたウエーハラックが前記 炉の中に導入される。かかるウエーハラックは、トロリー５内に配列され、これ らは区域３内に配列された装填／取出しステーションから炉４に輸送される。ト ロリー５の装填／取出しはベイ８において行われる。これらベイはクリーンルー ム２及び区域３の両者に対して開口し閉鎖することができる。 ウエーハは、装填／取出しステーションにおいてカセットに供給され詰められ る。従来技術においては、かかるカセットが、ウエーハを短距 離及び長距離の双方にわたって動かす通常の輸送手段である。ウエーハは、ロボ ット７の助けによりカセットから取り出され、トロリー５に取り付けられたウエ ーハラック内に置かれる。次いで、これらトロリー５は炉４の下方に駆動され、 その後、ウエーハラックは、上述の処理のために、以下説明されるであろう方法 により、炉４の中に置かれる。 かかる処理に続いて、トロリー５は装填／取出しステーション、即ちベイ５内 に戻され、ウエーハはカセット６内に置き換えられる。 ウエーハがある一つの炉４の処理に続いて、別の炉４において更なる処理を受 けることも勿論可能である。この更なる処理は、最初の処理の継続とすることも できるが、別の炉における異なったガス又は別の温度状況を使うことも可能であ る。 従来技術と比べ、この構成により、各炉に直列に連結された気閘の使用はもは や不必要である。換言すれば、上述の装填／取出しステーションは、全部の炉を 常に完全稼動状態にさせ得る容量で構成することができる。事実、かかる容量は 、各炉に直列に連結された気閘の容量より何倍も小さく、通常、極めて限定され た範囲で利用されることが見いだされた。結局、この配列により、気閘は、一般 に炉の熱処理中は作動しないであろう。更に、この構成により、各炉に対して個 別的にではなくて全ての炉を一緒にしたピーク負荷に基づいてピーク負荷を決定 することができ、これは、また、区域３の装填／取出しステーションを、より限 定された容量で構築することも可能とする。装填／取出しステーションのより限 定された構成が可能であるので、その設置費用は少なくなり、一方、所要の床面 積も小さくなるであろう。 図２−４は、図１に示されたトロリー５の断面の線図的な側面図を示 す。このトロリーは、車輪１８に取り付けられ、そして蓋２０が設けられたホル ダー状部分を備える。リフト支持体１３の間を伸びる３個のリフト軸１２がトロ リーに取り付けられる。リフト支持体１３はリフト軸の手段により昇降可能であ る。リフト軸はリフトモーター１４により回転される。リフトの構成は線図的に のみ示され、従来技術で知られた適宜の構成となし得ることを理解すべきである 。リフト支持体は、ウエーハラック９を受け入れるように装備される。ウエーハ ラック９は、石英材料の事実上のラックが取り付けられた頂部部分を有し、頂部 部分にはウエーハ１０を担持するための石英の支持体１５が設けられる。ウエー ハラック９の底部には閉鎖板１１が取り付けられる。 リフト支持体１３は、ベイ８においてトロリー５に装填するとき、最も上の石 英の支持具１５がトロリーの上方に突き出すような位置にあるであろう。ウエー ハラックは、ロボット７により満たされると、ゆっくりとトロリーから外に上方 に動かされ、ウエーハで完全に満たされた後、下げられるであろう。次いで蓋２ ０が被せられるであろう。次いで、トロリー５は、内部をクリンルーム状態にす るため、示されない方法でその内部の状況を変えることができる。また、トロリ ー５の内部に不活性ガスを導入し、又は換気を続けることも可能である。 ウエーハラック９が完全にトロリー５内に入れられた後、受け台１７に固定さ れた支持具１６が、石英の支持具１５上にあるウエーハ１０の下に内向きに動か される（図５も参照）。次いで、プラスチック支持具１６を有する受け台１７が 上向きに動かされ、そのとき、ウエーハはプラスチック支持具１６上にくる。石 英支持具１５に関するウエーハの移動の結果として、粒子が生ずるであろうとい う危険なしに輸送を行うこ とができる。 次いで、トロリー５は、より詳細には示されない方法で、図３に示されるよう に炉４の下方に動かされる。この運動は手動で行うことができるが、種々の設備 を自動化することも可能である。トロリー５が車輪１８で走行することは絶対的 な本質的なものではない。トロリー５をベイ８から炉４に送るための従来技術で 知られた適宜の構造を使用することができる。 図２より、炉４は、トロリー５がその下に駆動されるような高さに配置される ことが見られる。ジャッキ２６により作動させ得るリフトプラットフォーム２５ が、炉４の口の下に置かれる。この手段により、トロリー５を、図３に示される ように、炉４の底部１９に押し付けることができる。トロリー５又は炉１９のい ずれかに、この両者を互いに密閉させ得るＯリングシール２４が設けられる。炉 ４は、その底部に、断熱プラグ２２の設けられた炉の閉鎖体２１が設けられる。 この閉鎖体は、詳細には示されない方法で、蓋２０と接触するまで下げられる。 次いで、蓋２０は、詳細には示されない方法で、炉の閉鎖体により把持され、 炉の閉鎖体２１は蓋２０と共に多少上方に動く。 次いで、炉の閉鎖体２１と蓋２０とよりなる組が、図４に示されたように、室 ２３内に右に動く。この方法で、炉の閉鎖体２１の底部又は蓋２０の頂部にある 如何なる汚染された物質も確実に封鎖され飛散しない。炉の閉鎖体２１と蓋２０ とよりなる組が室２３内に完全に動かされた後、ウエーハラック９を炉の中に動 かすことができる。これには、まず、ウエーハがウエーハラック９の石英支持体 １５の上にあるようにすることが必要である。このために、プラスチック支持具 用の受け台１７が、少 し下げられ、次いでプラスチック支持具１６が外向きに動かされる。次いで、プ ラスチック支持具はこの位置に留まる。次に、リフト支持体１３が作動用モータ ー１４により上方に動かされ、ウエーハラックが炉に入る。閉鎖板１１が下方か ら炉を閉鎖するまでこの運動が続けられ、その後、適切な処理を行うことができ る。 次いで、上述の操作が反対の順序で行われる。蓋２０によりトロリー５を閉鎖 した後、トロリーを同じ方向に戻すことができるが、図６に示されるようにトロ リーを真っすぐの動かすことも可能である。その結果、新しいトロリー５を炉４ の下方に真っすぐに位置決めし、これにより、システムの容量をできるだけ大き くさせることができる。 図６において、炉４の電子部品が２８で示され、一方、２９は処理用ガスの制 御装置を示す。この図から、トロリー５は炉の下方を左から右に動かされること が分かる。 上述のシステムの簡単な実施例の場合は、トロリー５は、導入されたと同じ方 向に戻されるであろうことが理解されるであろう。 本発明が好ましい実施例を参照して以上説明されたが、当業者に明らかであり かつ本発明の範囲内に入る変更を上述の概念に適用するための多くの可能性のあ ることが理解されるであろう。例えば、トロリーの蓋２０と相互作用する閉鎖可 能な蓋を室２３に設けることができる。この方法で、炉４の内部を周囲環境から 完全に遮断し、簡単な方法で炉の中の最適の処理条件を維持することができる。 かかる蓋は、炉４へのトロリー５の連結の後でだけ蓋２０と共に外され、従って 汚染物の進入は本質的に防がれる。続いて、又は同時に、蓋２１を炉筒から外す ことができる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１１年６月２３日（１９９９．６．２３） 【補正内容】 請求の範囲 １．ウエーハを処理するための少なくも２個の炉（４）並びにカセットをウエ ーハラックに装填／取出しを行いかつ装填／取出し用の空間を有する装填／取出 しステーション（３）、及びウエーハを装填されかつ装填／取出しステーション （３）と前記炉との間を動き得るウエーハラックを受け入れる移動手段（５）を 具備し、システム内に複数の移動手段（５）があること、及び前記装填／取出し ステーションが複数の装填／取出し空間（８）を備えることを特徴とするウエー ハ処理システム（１）。 ２．炉の一方の側に室（２３）が設けられ、この室は、ウエーハの装填された ウエーハラックを輸送する装置の前記頂部を閉鎖可能な方法で受け入れるための 開口を有する請求項１によるシステム。 ３．前記移動手段がホルダーを備え、前記室（２３）が前記蓋を前記ホルダー から動かすための手段を有することを特徴とする請求項２によるシステム。 ４．炉の閉鎖体を動かすための手段が前記室に適合する請求項２又は３による システム． ５．前記ホルダーの蓋及び前記炉の閉鎖体を動かすための前記手段が、前記ホ ルダーの蓋と前記炉の閉鎖体とを互いに押し付けて置き、かつこれら２者を同時 に動かすように構成される請求項３又は４によるシステム。 ６．前記ホルダー用のリフト手段（２５、２６）が前記炉の位置にある請求項 ２−５の一によるシステム。 ７．ウエーハラックは、底部に板（２１）が設けられ、これが、ウエ ーハラックが炉の中に導かれたときの前記炉（４）の閉鎖板を形成する請求項２ −６の一によるシステム。 ８．中央装填／取出しステーション（３）がクリーンルーム内に配置される先 行請求項の一によるシステム。 ９．前記処理炉がクリーンルーム内に配置される先行請求項の一によるシステ ム。 １０．前記ウエーハラック移動装置が動く中央装填／取出しステーション（３ ）と炉（４）との間の区域がクリーンルームよりなる請求項９によるシステム。 １１．ウエーハ（１０）の装填されたウエーハラック（９）を動かすための装 置９５）であって、底部と垂直方向の壁とを有しかつ輸送手段の設けられたホル ダー、前記ホルダーに取り付けられたウエーハラックの少なくも底部のための支 持具を具備し、前記ホルダーは、粒子を発生させることなく輸送をなし得るよう に、輸送中、前記複数のウエーハを同時に把持しかつ前記ウエーハを前記ウエー ハラックから移動させるための手段（１６、１７）が、その壁の近くに設けられ ることを特徴とする装置。 １２．前記ホルダーが脱着可能な蓋（２０）を有する請求項１１による装置。 １３．内部の状態に影響を与える手段が前記ホルダーに設けられる請求項１１ 又は１２の一による装置。 １４．取り付けられたウエーハラックを動かすためのリフト手段（１２、１３ 、１４）が前記ホルダーに設けられる請求項１１−１３の一による装置。 １５．前記輸送手段が車輪（１８）を備える請求項１１−１４の一による装置 。 １６．炉／ウエーハ（１００の処理方法であって、カセット（６）内の前記ウ エーハを中央装填／取出しステーション（３）に送り、前記カセットから前記ウ エーハを取り出しこれをウエーハラック内に置き、前記ウエーハラックをウエー ハラック移動用装置内に載せ、前記装置を複数の処理炉の一つに動かし、ウエー ハで満たされた前記ウエーハラックを前記処理炉の一つの中に移送し、ウエーハ を処理し、ウエーハラック内に収納された前記ウエーハをウエーハラック移動用 装置内に取り出し、前記装置を取り出すことを含んだ方法であって、ウエーハラ ック移動用装置が複数使用されること、及び中央装填／取出しステーションの少 なくも複数の空間からウエーハラック移動用の前記装置が装填／取出しされるこ とを特徴とする方法。 １７．処理装置内でのウエーハの処理中は、前記ウエーハラック移動装置が前 記処理装置の付近に留まる請求樹１６による方法。 １８．前記ウエーハが、前記ウエーハラック移動装置内での輸送中、前記ウエ ーハラックから解放されてこれに関して上方に移動される請求樹１５又は１６に よる方法。 １９．前記ウエーハの更なる処理のために前記ウエーハラック輸送装置が更な る炉に動かされる請求項１６による方法。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，Ｌ Ｕ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ， ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，Ｍ Ｗ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ， ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，Ｅ Ｓ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ，ＩＤ ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ， ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，Ｍ Ｇ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ， ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，Ｖ Ｎ，ＹＵ，ＺＷ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．ウエーハ（１０）の装填されたウエーハラック（９）を動かすための装置 （５）であって、底部と垂直方向の壁とを有しかつ輸送手段の設けられたホルダ ー、前記ホルダーに取り付けられたウエーハラックの少なくも底部のための支持 具を具備し、ホルダーは、その壁の近くに、輸送中、前記ウエーハを把持しかつ 前記ウエーハを前記ウエーハラックから移動させるための手段（１６、１７）が 設けられた装置。 ２．前記ホルダーが脱着可能な蓋（２０）を有する請求項１による装置。 ３．内部の状態に影響を与える手段が前記ホルダーに設けられる先行請求項の 一による装置。 ４．取り付けられたウエーハラックを動かすためのリフト手段（１２、１３、 １４）が前記ホルダーに設けられる先行請求項の一による装置。 ５．前記輸送手段が車輪（１８）を備える先行請求項の一による装置。 ６．炉（４）及び先行請求項の一によるウエーハの輸送装置（５）を備えたシ ステムであって、前記炉の一方の側に室（２３）が設けられ、この室は、ウエー ハの装填されたウエーハラックを輸送する装置の前記頂部を閉鎖可能な方法で受 け入れるための開口を有する前記システム。 ７．蓋を前記ホルダーから動かすための手段が前記室（２３）に適合する実施 態様２と組み合わせられた請求項６によるシステム。 ８．炉の閉鎖体を動かすための手段が前記室に適合される請求項６又は７によ る装置。 ９．前記ホルダーの蓋及び前記炉の閉鎖体を動かすための前記手段が、前記ホ ルダーの蓋と前記炉の閉鎖体とを互いに押し付けて置きかつこれ ら者を同時に動かすように構成される請求項７又は８による装置。 １０．前記ホルダー用のリフト手段（２５、２６）が前記炉の位置にある請求 項６−９の一によるシステム。 １１．ウエーハラックは底部に板（２１）が設けられ、これがウエーハラック が炉の中に導かれたときの前記炉（４）の閉鎖板を形成する請求項６−１０の一 によるシステム。 １２．ウエーハ（１０）を炉（４）に装填し、炉内で処理し、そして炉から取 り出すためのシステムであって、前記ウエーハの装填／取出し装置と同様に１区 域（２）内で互いに並んで配列された複数の炉を備え、前記装填／取り出し装置 は、種々の炉のために作業する中央装填／取出しステーション（３）であってか つカセットと請求項１−５の一による装置に取り付けられたウエーハラックとの 間でウエーハを往復移送するための手段（７）が設けられた前記ステーションを 備えることを特徴とするシステム。 １３．中央装填／取出しステーション（３）がクリーンルーム内に配置される 請求項１２によるシステム。 １４．前記炉（４）がクリーンルーム内に配置される請求項１２又は１３によ るシステム。 １５．請求項１−５の一つによる装置が動かされる中央装填／取出しステーシ ョン（３）と炉（４）との間の区域がクリーンルームよりなる請求項１４による システム。 １６．ウエーハの処理方法であって、カセット内の前記ウエーハを中央装填／ 取出しステーションに送り、前記カセットから前記ウエーハを取り出しこれをウ エーハラック内に置き、前記ウエーハラックをウエー ハラック輸送用の装置内に載せ、前記装置を多数の前記炉の一つに動かし、ウエ ーハで満たされた前記ウエーハラックを前記炉の一つの中に移送し、ウエーハを 熱処理し、ウエーハラック内に収納された前記ウエーハをウエーハラック輸送装 置内に取り出し、前記装置を装填／取出しステーションに動かし、そして前記ウ エーハを前記ウエーハラックからカセットに移送することを含んだ方法。 １７．前記炉から出された後、前記ウエーハの更なる処理のために前記ウエー ハラック輸送装置が更なる炉に動かされる請求項１６による方法。