JP2010219383A - 基板処理システムおよび基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理システム10は、搬送部15、第1の処理チャンバ16、第2の処理チャンバ18、およびメイン制御部30を備える。搬送部15は、ワーク20を搬送する搬送ロボット22を備える。第1の処理チャンバ16および第2の処理チャンバ18は、搬送部14の周囲に配置される。第1の処理チャンバ16および第2の処理チャンバ18は、それぞれワーク20の搬入時および搬出時に開閉可能な扉162、182を有する。メイン制御部30は、搬送ロボット22が、第1の処理チャンバ16または第2の処理チャンバ18のいずれか一方に連続してアクセスすることなく交互にアクセスするように、搬送ロボット22および扉162、182の動作を制御する。
【選択図】 図5
Description
12−搬入部
14−搬出部
15−搬送部
16−第1の処理チャンバ
18−第2の処理チャンバ
22−搬送ロボット
30−メイン制御部
Claims (2)
- 基板に対して熱処理を行うように構成された複数の処理チャンバと、
基板を搬送する搬送ロボットと、
前記処理チャンバおよび搬送ロボットを制御する制御部と、を備え、基板に対して熱処理を行うように構成された基板処理システムであって、
前記処理チャンバは、各段に基板を支持可能とされた多段ラックと、基板の搬入時および搬出時に多段ラックの所望の段に対応して開閉可能な扉を有し、
前記制御部は、一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を当該一の処理チャンバから搬出し、続いて当該一の処理チャンバ内に未処理の基板を搬入した後、他の一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を当該他の一の処理チャンバから搬出し、続いて当該他の一の処理チャンバ内に未処理の基板を搬入し、以後も前記複数の処理チャンバに対してこのような動作を順次継続することにより、前記複数の処理チャンバ内の多段ラックに支持されたすべての基板に対して所定時間の熱処理が行われるように前記搬送ロボットおよび前記扉の動作を制御する基板処理システム。 - 各段に基板を支持可能とされた多段ラック、および基板の搬入時および搬出時に多段ラックの所望の段に対応して開閉可能な扉を有する複数の処理チャンバと、
基板を搬送する搬送ロボットと、を備え、基板に対して熱処理を行うように構成された基板処理システムに適用される基板処理方法であって、
前記搬送ロボットが、一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を当該処理チャンバから搬出し、続いて当該処理チャンバ内に未処理の基板を搬入した後、他の一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を当該他の一の処理チャンバから搬出し、続いて当該他の処理チャンバ内に未処理の基板を搬入し、
以後も前記複数の処理チャンバに対してこのような動作を順次継続することにより、前記複数の処理チャンバ内の多段ラックに支持されたすべての基板に対して所定時間の熱処理を行う基板処理方法。
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