JP5355808B2 - 基板処理システム - Google Patents
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Description
12−搬入部
14−搬出部
15−搬送部
16−第1の処理チャンバ
18−第2の処理チャンバ
22−搬送ロボット
30−メイン制御部
Claims (2)
- 基板に対して熱処理を行うように構成された複数の処理チャンバと、
一度に単一の基板のみを搬送する搬送ロボットと、
前記処理チャンバに搬入すべき未処理の基板を格納する搬入部と、
前記処理チャンバから搬出した基板を格納する搬出部と、
前記処理チャンバおよび搬送ロボットを制御する制御部と、を備え、基板に対して熱処理を行うように構成された基板処理システムであって、
前記処理チャンバは、各段に基板を支持可能とされた多段ラックと、基板の搬入時および搬出時に多段ラックの所望の段に対応して開閉可能な扉を有し、
前記制御部は、一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を前記搬送ロボットによって当該一の処理チャンバから搬出して前記搬出部に格納し、続いて前記搬送ロボットを前記搬入部に移動させて未処理の基板を把持させて当該一の処理チャンバ内に未処理の基板を搬入した後、他の一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を前記搬送ロボットによって当該他の一の処理チャンバから搬出して前記搬出部に格納し、続いて前記搬送ロボットを前記搬入部に移動させて未処理の基板を把持させて当該他の一の処理チャンバ内に未処理の基板を搬入し、前記搬送ロボットが前記処理チャンバから離れている間は前記扉を閉じるようにしつつ、以後も前記複数の処理チャンバに対してこのような動作を順次継続することにより、前記複数の処理チャンバ内の多段ラックに支持されたすべての基板に対して所定時間の熱処理が行われるように前記搬送ロボットおよび前記扉の動作を制御する基板処理システム。 - 基板に対して熱処理を行うように構成された複数の処理チャンバと、
一度に少なくとも2枚の基板を搬送する搬送ロボットと、
前記処理チャンバに搬入すべき未処理の基板を格納する搬入部と、
前記処理チャンバから搬出した基板を格納する搬出部と、
前記処理チャンバおよび搬送ロボットを制御する制御部と、を備え、基板に対して熱処理を行うように構成された基板処理システムであって、
前記処理チャンバは、各段に基板を支持可能とされた多段ラックと、基板の搬入時および搬出時に多段ラックの所望の段に対応して開閉可能な扉を有し、
前記制御部は、前記搬入部で前記搬送ロボットに少なくとも1枚の未処理の基板を把持させ、一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を前記搬送ロボットによって当該一の処理チャンバから搬出するとともに前記搬送ロボットが把持している未処理の基板を当該一の処理チャンバ内に搬入し、続いて当該一の処理チャンバから搬出した基板を前記搬出部に格納させて前記搬入部で前記搬送ロボットに少なくもと1枚の未処理の基板を把持させ、他の一の処理チャンバ内に搬入された後に所定時間が経過した基板を前記搬送ロボットによって当該他の一の処理チャンバから搬出するとともに前記搬送ロボットが把持している未処理の基板を当該他の一の処理チャンバ内に未処理の基板を搬入し、続いて当該他の一の処理チャンバから搬出した基板を前記搬出部に格納させて前記搬入部で前記搬送ロボットに少なくもと1枚の未処理の基板を把持させ、以後も前記複数の処理チャンバに対してこのような動作を順次継続することにより、前記複数の処理チャンバ内の多段ラックに支持されたすべての基板に対して所定時間の熱処理が行われるように前記搬送ロボットおよび前記扉の動作を制御する基板処理システム。
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