JP3959141B2 - 昇華物対策付き熱処理装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、被処理物を通過するように加熱した空気を循環させて前記被処理物を熱処理する熱処理装置に関し、特に熱処理するときに発生する昇華物対策技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
熱処理装置では、例えばLCDパネルのように、その製造工程においてフォトレジストを用いたフォトリソグラフィ技術を利用するため、熱処理時に高温に加熱されることによってフォトレジスト中に含まれる昇華性成分が気化し、その再凝固と周辺への付着が問題になるような対象物を熱処理するものがある。この問題の対策として、従来では、発生した昇華物をダクト等で吸い出したり、熱処理装置内にトラップを設けてこの部分に意図的に昇華物を凝固させるような装置が用いられていた。
【0003】
しかしながら、昇華物を吸い出す装置では、昇華物の凝固・付着を完全に防止することができなかった。又、トラップを用いる装置でも、昇華物を完全に除去できないと共に、取扱いや保守が面倒であるという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は従来技術に於ける上記問題を解決し、取扱や保守性が良く昇華物の発生・凝固を完全に防止できる熱処理装置を提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題を解決するために、請求項1の発明は、熱処理部と空調部とダクト部とを備えていて液晶ガラス基板から成る被処理物を通過するように前記空調部に設けられた加熱器で加熱した空気を循環させて前記被処理物を熱処理する熱処理装置において、
外気の吸気口を備えていて前記熱処理をするときに常時換気するように吸入した前記外気を加熱して前記加熱器の入口側位置に設けられた空調部の吸気口に導入する加熱空気導入手段と、排気ファンを備えていて前記熱処理をするときに前記被処理物を通過した空気の一部分を前記外気で常時換気するように前記入口側位置より前記循環の上流側に離れた位置に設けられた空調部の排気口から入れて前記外気の吸気口から離れた位置に排出する空気排出手段と、を有することを特徴とする。
【0006】
請求項2の発明は、上記に加えて、前記加熱空気導入手段で導入する加熱空気の温度は前記加熱器で加熱されて循環される空気の温度以下で該空気の温度に近い温度であることを特徴とする。
【0007】
請求項4の発明は、請求項1の発明の特徴に加えて、前記空気排出手段で排出される空気を冷却する冷却手段と該冷却された空気を通過させるフィルタとを有することを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1は本発明を適用した熱処理装置の全体構成の一例を示し、図2及び図3は加熱空気導入部の構造例を示す。又、図4はこのような熱処理装置の断面構造の一例を示す。
まず図1及び図4により熱処理装置の本体部分の構造について説明する。
熱処理装置であるクリーンオーブンは、被処理物としての多段に積載支持された液晶ガラス基板から成るワークWを通過するように加熱器で加熱した空気を循環させてワークWを熱処理する装置であり、断熱壁1、断熱壁で囲われ熱処理部21と空調部22とダクト部23とで構成された内槽2、これに隣接した機械室3、内槽2内にあってワークWを積載して昇降するゴンドラ4、空調部22に配設された前記加熱器5、加熱空気を短い矢印の如く循環させる送風機6、ダクト部23に配設された高性能フィルタ7、機械室3内に設けられゴンドラ4が長い矢印で示す上下方向に動くように支持・ガイドしてこれを昇降させるゴンドラ昇降駆動部4a、ゴンドラ4の昇降と共に巻き出し/巻き込みされ内槽2と機械室3との間の開口部Oをシールするシート状のシール部材4b等によって構成されている。
【0009】
ゴンドラが昇降する熱処理部21には、図4において紙面の直角方向の両側の断熱壁に、ワークWを1枚づつ搬入、搬出するための図示しないワーク搬入口及び搬出口が設けられる。空調部22には、排気口22a及び吸気口22bが設けられる。機械室3内は図示しないファンによって適当に換気される。
【0010】
次に、図1乃至図3により、熱処理装置の附属部分を成す昇華物対策部分について説明する。昇華物対策部分としては、加熱空気導入手段としての外気吸入加熱装置8及び空気排出手段としての排気装置9が設けられている。
【0011】
外気吸入加熱装置8は、金網81aが設けられた吸気口81bを備えた吸気ケーシング81、その中に設けられシャッタ82aを備えた吸気ノズル82、これと連続して加熱室83aを形成するように設けられた断熱ケーシング83、加熱室83a内に配設されたヒータ84、等によって構成されていて、加熱室83aが断熱ケーシング83の空気出口83b及び前記吸気口22bを介して空調部22と連通するように断熱ケーシングの一端側を介してクリーンオーブンの本体部分の断熱壁1に取り付けられる。図1では、外気吸入加熱装置8を、クリーンオーブンから離れた位置に実線で示すと共に、クリーンオーブンに取り付けられた状態として二点鎖線で示している。図示の如く、このような外気吸入装置は極めて簡単な構造のものである。なお、必要によっては、吸気ノズル82部分を外気押し込み用のファンにしてもよい。
【0012】
ヒータ84は、自己温度制御性のある抵抗体を備えたシーズヒータであり、後述するように例えば230°C程度の循環空気温度の場合には、これ以下で且つこれに近い温度として、例えば200°C〜220°C程度に発熱するものが望ましい。但し、このようなヒータでなく、加熱空気の温度を検出してヒータ出力を制御する通常の電気ヒータであってもよい。又、温度を制御することなく、排気装置と連動してオン/オフするヒータを用いることも可能である。
【0013】
外気吸入加熱装置8で加熱された空気は、後述するようにワークWから発生する昇華物ガスの濃度を下げるための換気用空気になる。従って、この空気はワークWを通過する循環空気の上流側位置に導入されればよいが、本例では、図4にも示すように加熱器5の上流側に導入されている。加熱器5は、通常、ワーク処理に適当な温度として例えば230°C程度に温度制御されるので、その前に空気出口83bを接続して換気用空気を導入すれば、循環空気と共にその空気も加熱器5で加熱されるため、導入空気の温度を正確に制御する必要がなくなる。又、加熱器5の出口空気は、換気用空気を含んで温度制御された空気になるので、精度良く且つ均一化された状態で目的とする温度になる。その結果、槽内の温度分布を良好に維持することができる。
【0014】
又、加熱器5が送風機6の吸い込み側にあるため、その前に換気用空気を導入するようにすれば、送風機の吸い込み負圧によって外気吸入加熱装置8の吸気口81bから外気が吸入される。従って、外気吸入加熱装置8にファンを設ける必要がない。但し、換気用空気の温度が循環空気の温度と同程度の温度になるようにヒータ84を精度よく温度制御したり、外気吸入加熱装置8の吸気ノズル82の位置に独立のファンを設けるようにすれば、より応答性のよい熱風加熱が可能になり、大風量の熱風換気が実施できることによって、より多量の昇華物が発生するワークにも対応できる。
【0015】
排気装置9は、ワークWを通過した空気の一部分を排出する装置で、図4にも示す空調部22の排気口22aと導通するように取り付けられた短管91、接続管92、排気ファン93、排気管94等によって構成されている極めて簡単な装置である。短管91には、ハンドル91aで操作されるダンパーが挿入されている。排気ファン93は、ワークWから発生する昇華物ガスの量によっても異なるが、例えば循環用送風機6の風量の10〜20%程度の風量のものである。
【0016】
このように、独立の排気ファン93を設けてワークWを通過した空気を排出するようにすれば、外気吸入加熱装置8により排気ファンの風量とほぼ同じ量の外気が吸引される。その結果、ワークWから発生した直後の濃度の高い昇華物ガスを常に一定量だけ排出し、内槽2内の昇華物の濃度を精度良く且つ効果的に低い値に規制することができる。但し、ダクト部23や熱処理部21の正圧部分に排気口を設け、排気ファン93を省略し、排気装置9をダンパーや排気管等で構成することも可能である。
【0017】
以上のようなクリーンオーブンは次のように運転される。
熱処理系としては、送風機6及び加熱器5が運転され、例えば230°C程度に加熱した空気が内槽2内を循環している。ゴンドラ4は、昇降駆動部4aによって1段づつ上昇される。例えば、ゴンドラ4の各段にワークWが積載されていて、これが図4の二点鎖線で示す最下段の位置にあるとすれば、この位置からゴンドラが1段づつ上昇し、図示しないワーク搬入/搬出装置により、ゴンドラに積載されたワークが搬入/搬出口から1枚づつ出し入れされ、1枚づつ熱処理されると共に1枚づつ新たなワークが投入される。ゴンドラが最上段まで上昇すると、再び2点鎖線の位置まで下降して同じ動作を繰り返す。このようにして、ワークは1タクトに1枚づつ連続的に熱処理される。
【0018】
このような熱処理運転においては、ワークが高温に曝されてそのフォトリソ材料中に含まれる昇華性物質から昇華物ガスが発生するため、昇華物対策部分を運転する。この運転では、外気吸入加熱装置8のヒータ84をオンにして吸気口81bのシャッタ81aを開くと共に、排気ファン93を起動してダンパ91aを開く。このような運転操作は極めて簡単である。これにより、送風機6で循環される空気の一部分として例えばその10%程度の空気が常時換気され、内槽2内で連続的に発生する昇華物ガスの濃度が低い値に押さえられる。その結果、昇華物ガスが冷却されて析出しても、結晶の成長が防止されて微粒子にしかならないため、これを熱排気と共にクリーンオーブンやこれが設置される工場等の外に容易に排出することができる。なお、以上のように常時換気を行えば、安定した運転状態を持続して昇華物を確実に低い濃度に押さえられるが、ワークの種類やサイズによって昇華物の発生量が少ない場合等には、適当な間隔で間欠換気する運転も可能である。
【0019】
上記において、外気吸入加熱装置8の空気が例えば200°〜220°C程度に加熱されているので、これを槽内に導入しても、循環空気を冷却して昇華物を発生させたり付着、堆積させることがない。又、加熱空気の導入により、槽内の温度分布を良好に維持することができる。更に、本例の場合には、加熱空気が加熱器5の上流側に導入されるので、この空気も循環空気と共に加熱器5で加熱されるため、外気を導入しても槽内温度は全く影響を受けない。なお、ワークの大きさや種類等により昇華物ガスの発生量が異なるので、ダンパのハンドル91aを調整し、昇華物の発生・付着の生じない範囲で排気量に従って導入する外気量を少なくし、省エネ運転を行うことが望ましい。
【0020】
図5は、外気吸入加熱装置8の本体部分の出口83bが上方に開口していて、これとオーブンの空調部22とを連通させる連通管84を設けた例を示す。このようにすれば、空調部22の幅方向の中央位置に出口83b−1を設け、これから換気用の補充空気を導入することができる。その結果、循環空気の流れを良くすると共に、外気吸入加熱装置8の空気の吸引力を高めることができる。なお、図1及び図5のような装置は、ワークWが大型で昇華物の発生量の多い場合に有力な装置である。
【0021】
図6は昇華物対策部分の他の例を示す。
この例では、外気吸入加熱装置8が空気導入管85及び空気導入箱86を備え、排気装置9の接続管92は、その中を流れる空気と空気導入管85内を流れる空気とが熱交換可能なように形成されている。即ち、両方の管85、92は互いに接触するように導設され、両方の管が一体として断熱材87で覆われている。このようにすれば、排熱を利用して換気用の加熱空気を送ることができ、昇華物の発生・付着防止に当たって省エネを図ることができる。このような装置は小型の熱処理装置に適している。なお、管85と管92とを二重管として形成してもよい。その場合には、両管の間の熱交換性能を上げることができる。
【0022】
図7は昇華物対策装置の更に他の例を示す。
この例では、外気吸入加熱装置8及び排気装置9に加えて、排気装置で排出される空気を冷却する冷却手段としての外気取入口11及び冷却された空気を通過させるカートリッジ式のフィルタ12を備えた昇華物分離装置10が設けられている。外気吸入加熱装置8及び昇華物分離装置10は、クリーンオーブンの上に配置され、それぞれの空気出口及び入口83b´及び13が空調部22の吸気口22b´及び排気口22a´と連通する。なお、図では外気吸入加熱装置8、昇華物分離装置10及びフィルタ12がそれぞれの装着位置から分離して表されている。
【0023】
この例の昇華物対策装置によれば、外気吸入加熱装置8によって昇華物ガスの濃度規制をして昇華物の槽内における発生・付着を防止できると共に、排気側でも外気取入口11から外気を取り入れて排気と混合し、排気を冷却して積極的に昇華物を析出させ、これをフィルタ12で除去することができる。その結果、昇華物の発生を一層確実に防止することができる。特に排気管94が長く導設される場合等には、昇華物ガスの管内での自然冷却による管内又は管出口における析出・堆積を防止することができる。
【0024】
なお以上では、熱処理装置がゴンドラ昇降式のものである場合の例を上げたが、本発明は、ピッチ昇降搬送式の装置、バッチ式の装置等、各種の熱処理装置に適用できることは勿論である。又、被処理物がLCDパネルである場合について述べたが、電気・電子製品等で昇華物を発生させる他のどのような被処理物に対しても本発明を有効に適用することができる。
【0025】
【発明の効果】
以上の如く本発明によれば、請求項1の発明においては、加熱空気導入手段によって外気を加熱して被処理物を通過する空気の上流側に導入すると共に、空気排出手段によって被処理物を通過した空気の一部分を排出することにより、被処理物を流れる空気の一部分を換気して、高温で熱処理されるときに被処理物から発生する昇華物ガスを排出し、その熱処理装置内における濃度を下げることができる。その結果、昇華物ガスが冷却されたときに析出する昇華物の結晶の成長が阻止され、昇華物が微粒子の状態で存在することになり、これを空気排出手段によって熱処理装置又は熱処理装置が設置される工場等の外に容易に排出することができる。
【0026】
一方、吸入される外気が加熱されているので、これを熱処理空気の循環系に導入しても、その部分で循環空気を冷却して昇華物を発生させ、これを装置内部に付着、堆積させることがない。又、加熱空気の導入により、熱処理装置内の温度分布を維持することができる。この場合、加熱空気を、熱処理のための循環空気の加熱器の上流側に導入すれば、その空気が加熱器によって再加熱されるので、熱処理装置内の温度分布が一層良くなる。
【0027】
又、加熱空気導入手段及び空気排出手段は、通常、ヒータ、ファン、ダクト等によって構成されるので、それらの構造は簡単で取扱いも極めて容易である。そして、両手段により、昇華物の凝固・発生そのものを防止できるので、従来のように発生した昇華物をダクトで吸い取ったり熱処理装置内のトラップに凝集するような方法と異なり、熱処理装置の熱処理室、機械室、被処理物搬入/搬出用の開口部、ロボット等の被処理物搬入/搬出装置部分、排気ダクトやその出口周辺等における昇華物の発生・付着を完全に防止できる。従って、請求項1の発明は、昇華物問題を解決するための簡易且つ根本的な対策を提供することができる。その結果、熱処理装置のクリーン度を維持し、被処理物である製品の品質の維持、向上を図ることができる。又、加熱空気導入手段で加熱空気を導入する位置を循環空気用の加熱器の入口側位置にするので、加熱器では、循環空気と導入空気とを一体として目的とする循環空気温度に制御することが可能になる。
【0028】
請求項2の発明においては、加熱空気導入手段で導入する加熱空気の温度を加熱器で加熱されて循環される空気の温度以下で且つこの空気の温度に近い温度にしているので、加熱器出口温度の制御性が良くなる。その結果、循環空気を目的とする温度に精度良く且つ均一に制御し、熱処理装置内の温度分布を良好に維持し、外気導入による温度乱れを効果的に防止することができる。
【0029】
請求項3の発明においては、請求項1の発明の特徴に加えて、加熱空気導入手段の空気導入管と空気排出手段の空気排出管との間でそれらを流れる空気が相互に熱交換可能なように両手段を形成するので、導入管を流れる空気が排出管を流れる熱処理用の高温空気の熱を受け入れて温度上昇し、加熱された空気となって熱処理装置内に導入される。その結果、排熱を利用し、昇華物の発生・付着の防止に当たって省エネを図ることができる。
【0030】
請求項4の発明においては、請求項1の発明の特徴に加えて、空気排出手段で排出される空気を冷却する冷却手段と冷却された空気を通過させるフィルタとを設けるので、排出される空気中の昇華物を除去することができ、排気管や排気口周辺等における昇華物の付着を一層完全に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用したクリーンオーブンの概略構成を示す斜視図である。
【図2】上記クリーンオーブンの外気吸入加熱装置部分の横断面図である。
【図3】上記外気吸入加熱装置部分の縦断面図である。
【図4】上記クリーンオーブンの縦断面図である。
【図5】本発明を適用したクリーンオーブンの他の例を示す斜視図である。
【図6】本発明を適用したクリーンオーブンの更に他の例を示す斜視図である。
【図7】本発明を適用したクリーンオーブンの更に他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
8 外気吸入加熱装置(加熱空気導入手段)
9 排気装置(空気排出手段)
11 外気取入口(冷却手段)
12 フィルタ
85 空気導入管
92 接続管(空気排出管)
W ワーク、LCDパネル(被処理物)
Claims (4)
- 熱処理部と空調部とダクト部とを備えていて液晶ガラス基板から成る被処理物を通過するように前記空調部に設けられた加熱器で加熱した空気を循環させて前記被処理物を熱処理する熱処理装置において、
外気の吸気口を備えていて前記熱処理をするときに常時換気するように吸入した前記外気を加熱して前記加熱器の入口側位置に設けられた空調部の吸気口に導入する加熱空気導入手段と、排気ファンを備えていて前記熱処理をするときに前記被処理物を通過した空気の一部分を前記外気で常時換気するように前記入口側位置より前記循環の上流側に離れた位置に設けられた空調部の排気口から入れて前記外気の吸気口から離れた位置に排出する空気排出手段と、を有することを特徴とする熱処理装置。 - 前記加熱空気導入手段で導入する加熱空気の温度は前記加熱器で加熱されて循環される空気の温度以下で該空気の温度に近い温度であることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記加熱空気導入手段は空気導入管を備え、前記空気排出手段は空気排出管であって該空気排出管を流れる空気と前記空気導入管を流れる空気とが熱交換可能なように形成された空気排出管と、を有することを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 前記空気排出手段で排出される空気を冷却する冷却手段と該冷却された空気を通過させるフィルタとを有することを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
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