JP4589941B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。この熱処理装置1Aは、例えばFPDの製造工程に用いられるものであり、クリーンルーム内に設置されるいわゆるクリーンオーブンと呼ばれるものである。
図2は、本発明の第2実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。なお、図1と同一部分には、同一符号を付している。
図3は、本発明の第3実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。なお、図2と同一部分には、同一符号を付している。
図4は、本発明の第4実施形態に係る熱処理装置の概略構成図である。なお、図3と同一部分には、同一符号を付している。
図5に示すように熱処理部10に、1組の気体導入部12と気体導出部13の他に、もう1組の気体導入部12aと気体導出部13aを設けておき、気体導入部12と気体導出部13に気体処理部20Aの気体通路21Aを連通連結させ、気体導入部12aと気体導出部13aに、同様の気体処理部20Aの気体通路21Aを連通連結させる構成としてもよい。なお、この構成において、1組の気体導入部12と気体導出部13しか使用しないときは、図6に示すように気体導入部12aと気体導出部13aに対し、蓋18を取付けておけばよい。
10 熱処理部
11 熱処理室
12 気体導入部
13 気体導出部
14、15、25、26 連結用フランジ(連結手段)
20A〜20D 気体処理部
21A〜21D 気体通路
22 導入ダクト
23 導出ダクト
27 第2連結ダクト
28 連結ダクト
30 触媒
31、35 加熱器
32、34 送風機
Claims (6)
- 熱処理室に被熱処理物が出し入れ可能に収容され、かつ熱処理室に共に連通する気体導入部および気体導出部を有する熱処理部と、
前記気体導入部へ熱処理用気体を導入しかつ前記気体導出部から熱処理済みの気体を導出するための気体通路を有し、その気体通路に、前記被熱処理物を熱処理する際に当該被熱処理物から発生する昇華物を分解するための触媒と、少なくとも該触媒を加熱する加熱器と、前記熱処理用気体および前記熱処理済みの気体を所定方向に導く1または2以上の送風機とが設けられた気体処理部とを具備し、
前記気体通路は、前記気体導入部に連結手段を介して着脱可能に出側端が連結される導入ダクトと、前記気体導出部に連結手段を介して着脱可能に入側端が連結される導出ダクトとを有することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記導入ダクトの入側端と前記導出ダクトの出側端とが気体処理ダクトを介して連結されていて、前記気体処理ダクトに、前記触媒と前記加熱器とが設けられていることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記導入ダクトの入側端が開放され、かつ前記導出ダクトの出側端に気体処理ダクトが連結されていて、前記気体処理ダクトに前記触媒と前記加熱器とが設けられ、前記導入ダクトに気体加熱用加熱器が設けられており、前記導出ダクト、前記気体処理ダクトおよび前記導入ダクトのうちの少なくとも一つに前記送風機が設けられていることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1に記載の熱処理装置において、
前記導入ダクトの入側端が開放され、かつ前記導出ダクトの出側端に気体処理ダクトが連結されていて、前記気体処理ダクトに前記触媒と前記加熱器とが設けられるとともに、気体処理ダクトの前記触媒と前記加熱器とが設けられた箇所よりも下流位置と前記導入ダクトの途中が連結ダクトを介して連通連結されていて、導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側に気体加熱用加熱器と前記送風機とが設けられていることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項4に記載の熱処理装置において、
前記導入ダクトの連結ダクトとの合流点よりも下流側であって前記気体加熱用加熱器および前記送風機よりも上流側の位置と、前記導出ダクトの途中とが第2連結ダクトを介して連通連結されていることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1乃至5のいずれか1つに記載の熱処理装置において、
前記熱処理部の前記熱処理室にも別の触媒が設けられていることを特徴とする熱処理装置。
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