CN101314516A

CN101314516A - 热处理装置

Info

Publication number: CN101314516A
Application number: CNA2008101001260A
Authority: CN
Inventors: 手钱永充
Original assignee: Espec Corp
Current assignee: Espec Corp
Priority date: 2007-05-29
Filing date: 2008-05-26
Publication date: 2008-12-03
Anticipated expiration: 2028-05-26
Also published as: JP2008298300A; CN101314516B; JP4589941B2; TWI476356B; TW200907269A; KR20080104972A; KR101450902B1

Abstract

本发明提供一种热处理装置，可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下清洗热处理部，包括：热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，热处理室用于收容被热处理物，被热处理物可从热处理室取出；以及气体处理部，具有气体通道，该气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部，并从气体导出部导出进行热处理后的气体，在气体通道中设置有：催化剂，分解在对被热处理物进行热处理时从该被热处理物产生的升华物；加热器，至少加热催化剂；以及鼓风机。相对于热处理部的气体导入部及气体导出部，具有连接用凸缘及螺栓、螺母，用于可以拆卸地连接气体通道。

Description

热处理装置

技术领域

本发明涉及对被热处理物进行热处理的热处理装置。

背景技术

以往的热处理装置，一边使热处理室内的空气发生循环一边对热处理室内进行加热，由此对收容于热处理室内的被热处理物进行热处理。这种热处理装置例如在平板显示器(FPD：Flat Display Panel)的制造过程中用于对光刻胶或有机薄膜的预烘(pre-bake)工序、后烘(post-bake)工序。在这些工序中，对玻璃基板等被热处理物进行热处理时，光刻胶等中所含有的挥发性成分气化，生成大量升华物，存在所述升华物重新结晶，飞散或附着到热处理装置内等的问题。

作为解决所述问题的对策，例如日本专利公开公报特开平10-141868号中公开这样一种方案，即，一边将外部气体加热并送入所述热处理室内，一边使所述热处理室内的空气经导出管排出，以对所述热处理室内进行换气。如此对热处理室内进行换气，可抑制升华物重新结晶并附着到热处理装置内。

然而，在日本专利公开公报特开平10-141868号公报的热处理装置中，由于在热处理部的外壁和热处理室之间设置有气体处理部，该气体处理部具有加热器及用于使空气在热处理室的内外循环的鼓风机，其中存在的问题是，在要清洗并除去附着在热处理室的内壁等的升华物的情况下，因清洗用的清洗液，可能使所述气体处理部的鼓风机或加热器等电气设备出现故障。

发明内容

本发明的目的在于提供一种热处理装置，可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下，清洗热处理部的热处理室内。

本发明提供的热处理装置包括：热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，所述热处理室用于收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从所述热处理室取出；以及气体处理部，具有气体通道，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部，并从所述气体导出部导出进行热处理后的气体，其中，在所述气体通道中设置有：催化剂，分解在对所述被热处理物进行热处理时从该被热处理物产生的升华物；加热器，至少加热所述催化剂；以及一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及所述进行热处理后的气体向规定方向引导。由此，可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下，清洗热处理部的热处理室内。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的热处理装置的简图。

图2是本发明的第二实施方式的热处理装置的简图。

图3是本发明的第三实施方式的热处理装置的简图。

图4是本发明的第四实施方式的热处理装置的简图。

图5是本发明的其它实施方式的热处理装置的简图。

图6是本发明另外实施方式的热处理装置的简图。

图7是本发明另一种实施方式的热处理装置的简图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的较佳实施方式进行详细的说明。

(第一实施方式)

图1是本发明第一实施方式所涉及的热处理装置的简图。该热处理装置1A例如用于平板显示器的制造工序，是设置于无尘室(clean room)内的所谓洁净烘箱(clean oven)。

热处理装置1A包括热处理部10及气体处理部20A。热处理部10具有用于收容被热处理物(以下也称为工件)W的热处理室11，该被热处理物W可以从该热处理室11中取出。气体处理部20具有气体通道21A，该气体通道21A用于从热处理室11导出进行热处理后的气体(例如，进行热处理后的空气)，并且将热处理用气体(例如，加热用空气)导入到热处理部10的热处理室11内。

热处理部10具有：气体导入部12，用于从气体处理部20A导入热处理用气体；以及气体导出部13，用于从热处理室11导出进行热处理后的气体。热处理室11的外侧由隔热壁11a围绕。

在热处理室11的内侧设置有保持部件(未图示)，该保持部件例如可以将一个或两个以上的被热处理物W支撑并保持在规定状态。保持部件设置于图1中双点划线所示的位置上。所述气体导入部12呈管状，从热处理室11的隔热壁11a向外延伸，并与热处理室11连通。该气体导入部12的进气侧端上设置有连接用凸缘14。所述气体导出部13也呈管状，从热处理室11的隔热壁11a向外延伸，并与热处理室11连通。该气体导出部13的出气侧端上设置有连接用凸缘15。

气体通道21A具有：导入管22，连接于气体导入部12；导出管23，连接于气体导出部13；以及气体处理管24，设置于导入管22与导出管23之间。导入管22的出气侧端上设置有连接用凸缘25，该连接用凸缘25与气体导入部12的连接用凸缘14相连接。导出管23的进气侧端上设置有连接用凸缘26，该连接用凸缘26与气体导出部13的连接用凸缘15相连接。例如用螺栓、螺母等连接装置连接导入管22的凸缘25和气体导入部12的凸缘14，并例如用螺栓、螺母等连接装置连接导出管23的凸缘26和气体导出部13的凸缘15，就可以连接热处理部10的热处理室11与气体处理部20A的气体通道21A并使这些连通，形成循环通道。并且，在气体通道21A的适当位置上设置有用于调整风量的震动器(未图示)。

另外，所述气体处理管24中设置有催化剂(catalyst：触媒)30、加热器31、鼓风机32以及前处理剂33。鼓风机32用于使空气在所述循环通道内循环，加热器31用于加热催化剂30及空气。由加热器31加热后的空气经过导入管22进入热处理室11，在热处理室11内加热被热处理物W。在进行加热该被热处理物W的热处理时，会从被热处理物W产生升华物。进行热处理后的空气中含有所述升华物，该含有升华物的空气经过所述气体导出部13及所述导出管23流经催化剂30。

催化剂30用于促进进行热处理后的空气中含有的升华物的氧化分解反应，例如可以采用白金(Pt)、钯(Pd)等贵金属或这些贵金属的合金等活性金属。所述催化剂30在大约150～350℃的温度空气下可以得到催化性能。因此，本实施方式中，在催化剂30的前侧(在空气流经循环通道的方向上比催化剂30靠近上游的位置)配置加热器31。另外，在被称为催化毒物(catalyst poison)的物质(例如含有Si、P、S等的有机化合物)混入升华物中，有可能使催化剂30中毒(失效)的情况下，为防止催化剂30中毒，较为理想的是，在催化剂30的前侧设置前处理剂33。

如上所述，在具有所述结构的第一实施方式的热处理装置1A中，由于将鼓风机32及加热器31配置在与热处理部10分开设置的(热处理部10外侧的)气体通道21A中，因此，可以在防止鼓风机32或加热器31出现故障的状态下清洗热处理室11的内部。并且，由于利用包括连接用凸缘14、15、25、26及螺栓、螺母等的连接装置，可拆卸地将气体通道21A与热处理部10的气体导入部12及气体导出部13相连接，因此，通过从热处理部10取下具有设置在气体通道21A内的鼓风机32及加热器31的气体处理部20A，就可以将气体处理部20A和热处理部10分开，由此，能够在确实地防止鼓风机32或加热器31出现故障的状态下清洗热处理室11的内部。

此外，由于在所述循环通道中，从热处理室11导出的气体依次流经导出管23、气体处理管24及导入管22后，再次流回热处理室11内，因此用一个鼓风机32就可以使气体循环，并且用加热器31就可以对催化剂30和气体都进行加热。并且，通过将热处理部10和气体处理部20A分开，就可以只交换热处理部10或只交换气体处理部20A。

(第二实施方式)

图2是本发明第二实施方式所涉及的热处理装置的简图。在图2中，对与图1相同的构件标注了相同的附图标记。

该热处理装置1D包括与第一实施方式的气体处理部20A不同的气体处理部20D。即，气体处理部20D包括气体通道21D，该气体通道21D具有：开放端22a，设置在导入管22的进气侧端；以及开放端24a，设置在气体处理管24的出气侧端。气体处理部20D的气体处理管24中设置有催化剂30和加热器31，导入管22中设置有鼓风机34与加热器35。并且，虽然在图4中未示出前处理剂，但也可以设置前处理剂。

在具有所述结构的热处理装置1D中的气流如下所示。即，从开放端22a流入导入管22中的空气经加热器35被加热后，流入热处理室11内。该加热后的空气用于对工件W进行热处理。对工件W进行了热处理的空气(进行热处理后的空气)含有升华物，其流入导出管23中后，被导向气体处理管24内。在气体处理管24内，进行热处理后的空气经过催化剂30而使其中包含的升华物发生氧化分解反应，然后从开放端24a排出。此外，图2中的16是挡板，用于阻止空气在热处理室11的内部发生逆流，并使空气从气体导入部12流向气体导出部13，由于设置有该挡板16，在热处理室11内，与气体导入部12相反的一侧形成通道16a。

如上所述，在热处理装置1D中也将鼓风机34及加热器31、35配置在与热处理部10分开设置的(热处理部10外侧的)气体通道21D中，因此可以在防止鼓风机34或加热器31、35出现故障的状态下清洗热处理室11的内部。而且，由于利用包括连接用凸缘14、15、25、26及螺栓、螺母等的连接装置，可拆卸地将气体通道21D与热处理部10的气体导入部12及气体导出部13相连接，因此可以从热处理部10分开具有设置在气体通道21D中的鼓风机34及加热器31、35的气体处理部20D。由此，能够在确实地防止鼓风机34或加热器31、35出现故障的状态下清洗热处理室11的内部。

此外，通过将热处理部10和气体处理部20D分开，可以只交换热处理部10或只交换气体处理部20D。

并且，由于从导入管22的所开放的进气侧端22a吸入的空气被加热器35加热后被导入到热处理室11内，之后经过导出管23及气体处理管24被导出，因此导入到热处理室11内的空气不含升华物。因此，由于可以始终将新鲜空气导入到热处理室11内，实现催化剂30对升华物的氧化分解反应性能难以降低。另外，在该气体处理部20D中，由于使空气单向循环，并且在导入管22中设置鼓风机34，因此可以通过导入管22将气体导入到热处理室11内，通过导出管23从热处理室11导出气体。

此外，在所述第二实施方式中，将鼓风机34设置于导入管22中，但并不仅限于此。例如，也可以将鼓风机34设置于导出管23和气体处理管24中，或也可以将鼓风机34设置于导入管22、气体处理管24及导出管23的至少其中之一中。

(第三实施方式)

图3是本发明第三实施方式所涉及的热处理装置的简图。在图3中，对与图2相同的构件标注了相同的附图标记。

该热处理装置1C包括与第二实施方式的气体处理部20D不同的气体处理部20C。即，气体处理部20C包括气体通道21C，该气体通道21C具有用于将导入管22与气体处理管24连通的连接管28。连接管28的一端部连接于气体处理管24的设置有催化剂30、加热器31及鼓风机32的位置与出气侧端24a之间。连接管28的另一端部连接于导入管22的中途部分。在这种气体处理部20C中，将加热器35和鼓风机34设置于导入管22中比连接管28所连接的部位靠近下游的位置上。此外，虽然在图3中未示出前处理剂，但也可设置前处理剂。另外，可省略所述鼓风机32。

在具有所述结构的热处理装置1C中的气流如下所示。即，从开放端22a流入导入管22中的空气经加热器35被加热后，流入热处理室11。该加热后的空气用于对工件W进行热处理。进行热处理后的空气中含有升华物，该进行热处理后的空气流入导出管23中后，被导入到气体处理管24内。在气体处理管24内，进行热处理后的空气通过催化剂30而使其中包含的升华物发生氧化分解反应，然后从开放端24a排出，或通过连接管28及导入管22流回热处理室11。此外，图3中的16是与第二实施方式相同的挡板。

如上所述，在第三实施方式的热处理装置1C中也由于将鼓风机32、34及加热器31、35配置在与热处理部10分开设置的(热处理部10外侧的)气体通道21C中，因此可以在防止鼓风机32、34或加热器31、35出现故障的状态下清洗热处理室11的内部。而且，由于利用包括连接用凸缘14、15、25、26及螺栓、螺母等的连接装置，可拆卸地将气体通道21C与热处理部10的气体导入部12及气体导出部13相连接，因此可以从热处理部10分开具有设置在气体通道21C中的鼓风机32、34及加热器31、35的气体处理部20C。由此，能够在确实地防止鼓风机32、34或加热器31、35出现故障的状态下清洗热处理室11的内部，并且可实现只交换热处理部10或只交换气体处理部20C。

此外，在热处理装置1C中，由于导入管22的进气侧端22a处于开放状态，因此可将新鲜空气导入到导入管22中。并且，由于从热处理室11导出的空气被催化剂30净化，且被加热器31加热后通过连接管28流入导入管22中，因此可减少热损失。而且，由于将设置于导入管22内的气体加热用加热器35用于热处理室11的温度控制，并将设置于气体处理管24内的加热器31用于催化剂30的温度控制，因此可以分别专门性地利用加热器35、31。由此，在不受到被热处理物W的加热温度(设定温度)的情况下，将催化剂30的温度设定为可得到催化性能的最佳温度。

(第四实施方式)

图4是本发明第四实施方式所涉及的热处理装置的简图。在图4中，对与图3相同的构件标注了相同的附图标记。

该热处理装置1B包括具有第二连接管27的气体通道21B。第二连接管27的一端部连接于导入管22的比连接管28所连接的部位靠近下游、且比设置有气体加热用加热器35和鼓风机34的位置靠近上游的位置上，以使第二连接管27和导入管22连通。第二连接管27的另一端部连接于导出管23的中途部分，以使第二连接管27和导出管23连通。第二连接管27由隔热壁围绕。

气体处理部20B的结构如下。气体处理管24中设置有催化剂30、加热器31及鼓风机32。如上所述，在导入管22中，比第二连接管27所连接的位置靠近下游的位置上设置有鼓风机34和加热器35。加热器35用于对要导入到热处理室11内的空气进行加热。另外，在热处理室11的内部设置有所述挡板16。此外，虽然在图4中未示出前处理剂，但也可设置前处理剂。

具有所述结构的热处理装置1B中的气流如下所示。即，从开放端22a流入导入管22中的空气经加热器35被加热后，流入热处理室11，在热处理室11中用于进行热处理。该进行热处理后的空气含有升华物。该进行热处理后的空气导入到导出管23中后，向第二连接管27和气体处理管24分流。导入到第二连接管27的空气经加热器35再次被加热后，经导入管22流回热处理室11。即，空气在热处理室11和第二连接管27之间循环。另一方面，导入到气体处理管24中的含有升华物的进行热处理后的空气通过催化剂30接触而使其中包含的升华物发生氧化分解反应后从开放端24a排出，或通过连接管28及导入管22流回热处理室11。

如上所述，在热处理装置1B中也由于将鼓风机32、34及加热器31、35配置在与热处理部10分开设置的(热处理部10外侧的)气体通道21B中，因此可以在防止鼓风机32、34或加热器31、35出现故障的状态下清洗热处理室11的内部。并且，由于利用包括连接用凸缘14、15、25、26及螺栓、螺母等的连接装置，可拆卸地将气体通道21B与热处理部10的气体导入部12及气体导出部13相连接，因此可以从热处理部10分开具有设置在气体通道21B中的鼓风机32、34及加热器31、35的气体处理部20B。由此，能够在确实地防止鼓风机32、34或加热器31、35出现故障的状态下清洗热处理室11的内部，并且能实现只交换热处理部10或只交换气体处理部20B。

此外，在所述气体处理部20B中，导入管22的进气侧端22a处于开放状态，并且，空气通过连接管28循环，因此可获得与第三实施方式相同的效果。而且，由于设置第二连接管27来形成比连接管28所形成的循环通道更靠近热处理室11的循环通道，并且，在包括第二连接管27的循环通道中设置有气体加热用加热器35，因此可实现重新利用温度下降较小的空气。

在所述第一～第四实施方式中，用于将热处理部10的气体导入部12及气体导出部13与气体通道(21A～21D)相连接的连接装置包括连接用凸缘14、25、15、26及螺栓、螺母，但本发明并不仅限于此。例如，也可利用将螺丝和螺母相组合来构成的连接装置，也可以利用其他连接装置。

而且，在所述第一～第四实施方式中，利用连接装置(连接用凸缘14、15、25、26及螺栓、螺母)，可拆卸地将热处理部10的气体导入部12及气体导出部13与气体通道(21A～21D)相连接，但本发明并不限于此。例如，也可以通过焊接等来连接气体导入部12和导入管22，并通过焊接等连接气体导出部13和导出管23。在采用此连接方法的情况下，也将鼓风机32等及加热器31等配置在与热处理部10分开设置的(热处理部10外侧的)气体通道(21A～21D)中，因此，清洗液等难以飞到鼓风机32等及加热器31等，可以在防止鼓风机及加热器出现故障的状态下清洗热处理室11，能够达成本发明的目的。

并且，在所述第一～第四实施方式中，在一个热处理部10上设置了一个气体处理部(20A～20D)，但发明并不限于此，也可以在一个热处理部10上设置两个以上的气体处理部。例如，参照图5对在一个热处理部10上设置两个气体处理部的情况进行说明。

在图5所示的热处理部10中，除一个气体导入部12和气体导出部13之外，还设置有一个气体导入部12a和气体导出部13a。气体导入部12和气体导出部13与气体处理部20A的气体通道21A相连接，以使这些连通，并且，气体导入部12a和气体导出部13a与具有相同结构的气体处理部20A的气体通道21A相连接，以使这些连通。在这种结构中，在只使用一个气体导入部12和气体导出部13的情况下，如图6所示，取下所追加的气体通道21A，相对于气体导入部12a和气体导出部13a装上顶盖18就可以。

并且，在所述实施方式中，只在气体处理管24内设置催化剂30，但本发明并不限于此。例如图7所示，也可以在热处理室11的内部设置其它催化剂17。此时，在热处理室11的内部，既可以设置挡板16也可以不设置挡板16。在采用这种结构的情况下，通过两个催化剂30、17能高效率的使升华物发生氧化分解反应。

(实施方式概要)

所述实施方式总结为如下：

(1)在本实施方式的热处理装置中，由于将鼓风机及加热器配置在与热处理部分开设置的(热处理部外侧的)气体通道中，因此可以在防止鼓风机或加热器出现故障的状态下清洗热处理部的热处理室内。

(2)在所述热处理装置中优选的是，所述气体通道具有：导入管，通过连接单元可拆卸地与所述气体导入部连接；以及导出管，通过连接单元可拆卸地与所述气体导出部连接。采用该结构，由于利用连接装置，可以从热处理部分开气体处理部的导入管和导出管。在从热处理部分开气体处理部的情况下，可以在确实地防止鼓风机或加热器出现故障的状态下清洗热处理部的热处理室内。而且，通过从热处理部分开气体处理部，可以实现只交换热处理部或只交换气体处理部。

(3)在所述热处理装置中，所述气体通道具有气体处理管，通过该气体处理管，所述导入管的进气侧端和所述导出管的出气侧端可以连接，在所述气体处理管中可以设置有所述催化剂和所述加热器。在该结构中，形成有从热处理室导出的气体依次流经导出管、气体处理管及导入管后，再次流回热处理室这样一种循环通道。由此，利用一个鼓风机就可以使气体循环，并且利用气体处理管的加热器就可以加热催化剂和气体。

(4)在所述热处理装置中，所述气体通道具有气体处理管，所述导入管的进气侧端可以处于开放状态，并且在该导入管中可以设置有气体加热用加热器，在所述导出管的出气侧端上可以连接所述气体处理管，该气体处理管中设置有所述催化剂和所述加热器，在所述导出管、所述气体处理管及所述导入管的至少其中之一中可以设置有所述鼓风机。

采用该结构，由于从导入管的所开放的进气侧端吸收的气体经气体加热用加热器被加热后导入到热处理室内，并经过导出管及气体处理管被导出，因此导入到热处理室内的气体中不含有升华物。因此，可以始终将新鲜气体导入到热处理室内，实现催化剂对升华物的氧化分解反应性能难以降低。而且，采用该结构，由于气体单向循环，因此在导入管、导出管及气体处理管的至少其中之一中设置鼓风机，就可以将气体导入到热处理室内，并从热处理室导出气体。

(5)在所述热处理装置中，所述气体通道具有气体处理管和连接管，所述导出管的出气侧端与设置有所述催化剂和所述加热器的气体处理管相连接的情况下，可以在所述导出管的出气侧端上连接气体处理管，该气体处理管中设置有所述催化剂和所述加热器，所述气体处理管的比设置有所述催化剂和所述加热器的位置靠近下游的部分与所述导入管，可以通过所述连接管相连接，所述导入管的进气侧端可以处于开放状态，并且，在所述导入管中，比所述连接管所连接的位置靠近下游的部分，可以设置有气体加热用加热器和所述鼓风机。

采用该结构，由于导入管的进气侧端处于开放状态，因此可以导入新鲜的气体。而且，由于从热处理室导出的气体经催化剂被净化，并被加热器加热之后通过连接管导入到导入管。因此，由于可以将从导入管的所开放的进气侧端吸收的气体升温并导入到热处理室内，因此能够减少热损失。而且，由于可以将设置在导入管的气体加热用加热器用于热处理室的温度管理，将设置在气体处理管的加热器用于催化剂的温度管理，因此可以专门性地利用这些加热器。由此，在不受到被热处理物的加热温度的状态下，可以将催化剂的温度设定为可得到催化性能的最佳温度。

(6)在所述热处理装置中，所述气体通道具有第二连接管，所述导入管的比所述连接管所连接的位置靠近下游、且比所述气体加热用加热器及所述鼓风机靠近上游的位置与所述导出管，可以通过所述第二连接管相连接。采用该结构，由于导入管的进气侧端处于开放状态，并且气体经由连接管进行循环，因此可以获得与所述热处理装置相同的效果。而且，由于设置第二连接管来形成比连接管所形成的循环通道更靠近热处理室的循环通道，并且在循环通道中设置有气体加热用加热器，因此，可以重新利用温度降低较小的气体。

(7)在所述热处理装置中，在所述热处理部的所述热处理室内也可以设置有催化剂。采用该结构，可以根据热处理室的容量或升华物的产生量，选定并选择气体处理部的能力。

Claims

1.一种热处理装置，其特征在于包括：

热处理部，具有分别与热处理室连通的气体导入部及气体导出部，所述热处理室用于收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从所述热处理室取出；以及

气体处理部，具有气体通道，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部，并从所述气体导出部导出进行热处理后的气体，其中，

在所述气体通道中设置有：催化剂，分解在对所述被热处理物进行热处理时从该被热处理物产生的升华物；加热器，至少加热所述催化剂；以及一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及所述进行热处理后的气体向规定方向引导。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述气体通道具有：

导入管，通过连接单元可拆卸地与所述气体导入部连接；以及

导出管，通过连接单元可拆卸地与所述气体导出部连接。

3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，

所述气体通道具有气体处理管，

通过所述气体处理管，所述导入管的进气侧端和所述导出管的出气侧端相连接，

在所述气体处理管中设置有所述催化剂和所述加热器。

4.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，

所述气体通道具有气体处理管，

所述导入管的进气侧端处于开放状态，并且在该导入管中设置有气体加热用加热器，

在所述导出管的出气侧端上连接所述气体处理管，该气体处理管中设置有所述催化剂和所述加热器，

在所述导出管、所述气体处理管及所述导入管的至少其中之一中设置有所述鼓风机。

5.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，

所述气体通道具有气体处理管和连接管，

所述气体处理管的比设置有所述催化剂和所述加热器的位置靠近下游的部分与所述导入管，通过所述连接管相连接，

所述导入管的进气侧端处于开放状态，并且，在所述导入管中，比所述连接管所连接的位置靠近下游的部分，设置有气体加热用加热器和所述鼓风机。

6.根据权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，

所述气体通道具有第二连接管，

所述导入管的比所述连接管所连接的位置靠近下游、且比所述气体加热用加热器及所述鼓风机靠近上游的位置与所述导出管，通过所述第二连接管相连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的热处理装置，其特征在于，

在所述热处理部的所述热处理室内也设置有催化剂。