JP4331784B2 - 基板焼成炉の給排気方法 - Google Patents
基板焼成炉の給排気方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4331784B2 JP4331784B2 JP2008188665A JP2008188665A JP4331784B2 JP 4331784 B2 JP4331784 B2 JP 4331784B2 JP 2008188665 A JP2008188665 A JP 2008188665A JP 2008188665 A JP2008188665 A JP 2008188665A JP 4331784 B2 JP4331784 B2 JP 4331784B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hot air
- substrate
- furnace
- exhaust
- catalyst unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
- Furnace Details (AREA)
Description
10 炉体
12 吹き出し口
13 耐熱HEPAフィルタ
14 排気口
20 循環経路
20a 加熱後熱風通過領域
21 ファン
22 ヒータ
30 排気管
31 触媒ユニット
32,42 流量調整バルブ
33 入り側圧力計
34 出側圧力計
40 給気管
40b バイパス管
50 熱交換器
90 制御部
91 カウンター
W ガラス基板
Claims (4)
- 加熱されることによって有機物を発生する基板を炉体に収容して焼成処理を行う焼成工程と、
前記炉体から排出された熱風を再加熱して前記炉体に帰還させる循環工程と、
前記循環工程にて循環される熱風の一部を触媒ユニットに導き、熱風に含まれる有機物を前記触媒ユニットにて酸素を含む雰囲気中にて分解して前記触媒ユニットの入口側温度よりも出口側温度が高くなるように熱風を昇温する有機物分解工程と、
前記触媒ユニットから排出された熱風と前記循環工程にて循環される熱風に新たに供給して流れ込ませる気体との熱交換を行う熱交換工程と、
を備えることを特徴とする基板焼成炉の給排気方法。 - 請求項1記載の基板焼成炉の給排気方法において、
前記焼成工程は、空気雰囲気中にて基板の焼成処理を行うことを特徴とする基板焼成炉の給排気方法。 - 請求項1記載の基板焼成炉の給排気方法において、
前記触媒ユニットの入口側近傍に空気または酸素を供給する工程をさらに備えることを特徴とする基板焼成炉の給排気方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板焼成炉の給排気方法において、
前記触媒ユニットは、熱風に含まれる有機物を白金触媒にて分解することを特徴とする基板焼成炉の給排気方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008188665A JP4331784B2 (ja) | 2008-07-22 | 2008-07-22 | 基板焼成炉の給排気方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008188665A JP4331784B2 (ja) | 2008-07-22 | 2008-07-22 | 基板焼成炉の給排気方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006173910A Division JP4291832B2 (ja) | 2006-06-23 | 2006-06-23 | 基板焼成炉の給排気システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008304182A JP2008304182A (ja) | 2008-12-18 |
JP4331784B2 true JP4331784B2 (ja) | 2009-09-16 |
Family
ID=40233050
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008188665A Expired - Fee Related JP4331784B2 (ja) | 2008-07-22 | 2008-07-22 | 基板焼成炉の給排気方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4331784B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4291832B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2009-07-08 | 株式会社フューチャービジョン | 基板焼成炉の給排気システム |
JP4630307B2 (ja) * | 2007-05-22 | 2011-02-09 | エスペック株式会社 | 熱処理装置 |
JP4589941B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2010-12-01 | エスペック株式会社 | 熱処理装置 |
JP4550098B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2010-09-22 | 国立大学法人東北大学 | 基板熱処理炉 |
JP5603560B2 (ja) * | 2009-03-30 | 2014-10-08 | 株式会社川上鉄工所 | 加熱炉 |
JP5503376B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2014-05-28 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
CN103254674A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-08-21 | 陈颖通 | 等离子催化燃烧节能涂料 |
JP5767354B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2015-08-19 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
CN104215079A (zh) * | 2014-09-04 | 2014-12-17 | 山西太钢不锈钢股份有限公司 | 一种加热炉烟气余热回收的方法及其装置 |
CN115446311B (zh) * | 2022-09-19 | 2023-07-25 | 株洲坤锐硬质合金有限公司 | 一种硬质合金生产用真空脱脂烧结炉 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5294869A (en) * | 1976-02-04 | 1977-08-09 | Rozai Kogyo Kk | Method of regenerating and recycling inert gas in heating furnace |
JPS5759665A (en) * | 1980-09-25 | 1982-04-10 | Furukawa Electric Co Ltd:The | Control method for coated article-baking oven |
JPS6254431A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-10 | Toshiba Corp | 熱風加熱装置 |
JPS63315576A (ja) * | 1987-06-17 | 1988-12-23 | Murata Mfg Co Ltd | 脱脂炉 |
JPH0684868B2 (ja) * | 1988-05-14 | 1994-10-26 | 株式会社村田製作所 | 熱処理炉 |
JPH059556A (ja) * | 1991-07-02 | 1993-01-19 | Daido Steel Co Ltd | 熱処理炉の送気方法 |
JP3959141B2 (ja) * | 1996-11-12 | 2007-08-15 | エスペック株式会社 | 昇華物対策付き熱処理装置 |
JP3399826B2 (ja) * | 1998-02-09 | 2003-04-21 | エスペック株式会社 | 環境装置の送風装置 |
JP2001201271A (ja) * | 2000-01-24 | 2001-07-27 | Shinko Mex Co Ltd | 銅の縦型溶解炉における排ガス処理システム |
JP4402846B2 (ja) * | 2001-02-20 | 2010-01-20 | 中外炉工業株式会社 | 平面ガラス基板用連続式焼成炉 |
JP2002257314A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | Ngk Insulators Ltd | 熱風発生装置 |
JP4178310B2 (ja) * | 2002-04-26 | 2008-11-12 | 株式会社村田製作所 | 熱風循環炉 |
JP2004206983A (ja) * | 2002-12-25 | 2004-07-22 | Pioneer Electronic Corp | プラズマディスプレイパネルの製造方法及び熱処理装置 |
JP4098179B2 (ja) * | 2003-07-30 | 2008-06-11 | 日本碍子株式会社 | 熱処理炉 |
JP2005071632A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びその装置 |
JP2006017357A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-01-19 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP4291832B2 (ja) * | 2006-06-23 | 2009-07-08 | 株式会社フューチャービジョン | 基板焼成炉の給排気システム |
-
2008
- 2008-07-22 JP JP2008188665A patent/JP4331784B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008304182A (ja) | 2008-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4291832B2 (ja) | 基板焼成炉の給排気システム | |
JP4331784B2 (ja) | 基板焼成炉の給排気方法 | |
JP5216246B2 (ja) | 連続焼成炉 | |
JP4607135B2 (ja) | 基板焼成炉の給排気システム | |
KR101501322B1 (ko) | 열처리 장치 | |
JP4550098B2 (ja) | 基板熱処理炉 | |
JP2010144939A (ja) | 循環式の基板焼成炉 | |
JP3959141B2 (ja) | 昇華物対策付き熱処理装置 | |
JP2005064242A (ja) | 基板の処理システム及び基板の熱処理方法 | |
JP5169158B2 (ja) | 基板加熱処理装置 | |
JP5057896B2 (ja) | 印刷紙の乾燥排気の浄化方法とその装置 | |
JP2009047351A (ja) | 循環式の基板焼成炉 | |
TWI431335B (zh) | A cooling device for a plate-shaped treated body, and a heat treatment system incorporated in the apparatus | |
KR102238028B1 (ko) | 기판 처리용 밀폐형 열처리 장치 | |
JP4981543B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2007324168A (ja) | 熱処理装置 | |
JP5767354B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2009019832A (ja) | 板状体冷却装置、熱処理システム | |
JP2005197471A (ja) | 基板処理装置及び温度調節方法 | |
JP7133578B2 (ja) | クリーンオーブン | |
KR101914434B1 (ko) | 열처리장치 | |
JP2020116539A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2006279055A (ja) | 半導体製造装置 | |
KR19980038356A (ko) | 승화물 대책 부착 열처리장치 | |
KR20220040379A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090331 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090616 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090618 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4331784 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120626 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130626 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140626 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |