JP2006017357A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 熱処理装置1は、基板処理部5が熱風を供給するための熱風供給手段14を備えた空気調整部11と基板を熱処理するための熱処理室12とを有する。熱処理装置1は、熱処理室12の最下流側に基板を処理した際に発生する生成ガスの酸化分解を促進する触媒を担持させた触媒壁40を配している。そのため、熱処理装置1は、生成ガスが冷却されることにより発生する、いわゆる昇華物の発生量が極めて少ない。また、熱処理装置1は、生成ガスの酸化分解の際に反応熱が発生するため、熱処理の際に混合ガスを加熱するのに要する消費電力が僅かで済む。
【選択図】 図2
Description
11 空気調整部
12 熱処理室(加熱室)
14 熱風供給手段
16 空気合流部
17 ダクト
40 触媒壁(生成ガス分解手段)
47 貫通孔(流路)
48 触媒基体
49 触媒
70 生成ガス分解手段
Claims (8)
- 熱風を供給する熱風供給手段と、当該熱風供給手段において発生する熱風が導入され、当該熱風によって被加熱物を加熱する加熱室とを有し、
被加熱物の加熱に伴って発生した生成ガスが流れる領域には、前記生成ガスを酸化分解する生成ガス分解手段が配置されていることを特徴とする熱処理装置。 - 加熱室の内部には、被加熱物が配される被加熱物配置領域があり、生成ガス分解手段が当該被加熱物配置領域よりも熱風の流れ方向下流側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 生成ガス分解手段は、生成ガスに対する酸化分解反応を促進する触媒を触媒基体に担持させたものであることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱処理装置。
- 生成ガス分解手段は、貴金属または貴金属合金を含む触媒を触媒基体に担持させたものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱処理装置。
- 触媒基体は、生成ガスの流路が多数形成されたハニカム状のものであることを特徴とする請求項3又は4に記載の熱処理装置。
- 生成ガス分解手段において発生した分解ガスを熱風供給手段に戻す循環流路が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の熱処理装置。
- 熱風供給手段は、生成ガス分解手段において発生した分解ガスと、外部から導入された空気とを含む混合ガスを加熱し、加熱室に供給可能であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の熱処理装置。
- 被加熱物は、平板状の基板の表面に所定の液体を塗布したものであることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の熱処理装置。
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