JP5436429B2 - 熱処理装置及び熱処理方法 - Google Patents
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Description
また、本発明の他の一態様によれば、基板が収容された処理空間内を減圧し、前記減圧後、前記処理空間に対向して設けられたヒータにより前記基板を加熱し、前記ヒータの加熱により前記基板もしくは前記処理空間内が所望の温度になったら、前記ヒータを介して前記処理空間に対向して設けられたシャワーヘッドのガス吹出孔から、前記基板に対して不活性であり且つ前記シャワーヘッドの内部に設けられた内部ヒータによって加熱されたガスを、前記基板に吹き付けて前記基板を加熱し、前記シャワーヘッドの内部における上流側と下流側との間が分散板により複数の空間に仕切られ、前記シャワーヘッド内に導入された前記ガスは前記複数の空間内で拡散されつつ下流側に進むにつれて徐々に圧力が低下することを特徴とする熱処理方法が提供される。
図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置の要部構成を例示する模式図である。
本発明の実施形態に係る熱処理装置は、大気に対して密閉された雰囲気を維持可能な密閉容器1内に、上ヒータ21、下ヒータ22およびシャワーヘッド10が設けられた構造を有する。上ヒータ21、下ヒータ22は、例えば金属管の中に発熱線を保持したシースヒータ、あるいは、ランプヒータである。上ヒータ21と下ヒータ22とは対向して設けられ、それらの間に処理空間20が形成される。
図2はシャワーヘッド10を下側から見た斜視図である。
図3はシャワーヘッド10の断面図であり、図4は図3における要部の拡大図を示す。
10 シャワーヘッド
12 シャワープレート
13 上流室
14 下流室
15 ガス導入孔
17 分散板
18 内部ヒータ
20 処理空間
21 上ヒータ
22 下ヒータ
26 排気口
31 ガス吹出孔
32 貫通孔
Claims (6)
- 大気に対して密閉可能な密閉容器と、
前記密閉容器内に設けられ、基板を収容可能な処理空間と、
前記密閉容器内で前記処理空間に対向して設けられた第1のヒータと、
前記基板に対して不活性であり前記基板を加熱または冷却するガスが導入されるガス導入孔と、前記第1のヒータを介して前記処理空間に対向して設けられ前記ガス導入孔を介して内部に導入された前記ガスを前記基板に向けて吹き出させる複数のガス吹出孔とを有し、前記密閉容器内に設けられたシャワーヘッドと、
を備え、
前記シャワーヘッドの内部には、内部ヒータが設けられ、さらに前記ガス導入孔側の上流室と前記ガス吹出孔側の下流室とを仕切る分散板が設けられ、前記分散板には前記上流室と前記下流室とを連通させる複数の貫通孔が形成されており、
前記複数の貫通孔すべての開口の総面積よりも、前記複数のガス吹出孔すべての開口の総面積の方が大きく、
前記ガスが導入された前記シャワーヘッドの内部では、前記上流室の方が前記下流室よりも圧力が高くなるような圧力差が生じるように前記ガスの流れのコンダクタンスが前記上流室よりも前記下流室で大きくなっており、
減圧された前記処理空間に対して、前記ガス吹出孔から前記ガスが吹き出し、前記処理空間内が前記ガスに置換されることを特徴とする熱処理装置。 - 前記貫通孔の前記分散板の面方向の位置は、前記ガス吹出孔の位置に対してずれていることを特徴とする請求項1記載の熱処理装置。
- 前記内部ヒータは、前記貫通孔及び前記ガス吹出孔よりも上流に設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の熱処理装置。
- 前記第1のヒータと対向して設けられた第2のヒータをさらに備え、
前記第1のヒータと前記第2のヒータとの間に前記処理空間が形成されてなることを特徴とする請求項1記載の熱処理装置。 - 基板が収容された処理空間内を減圧し、
前記減圧後、前記処理空間に対向して設けられたヒータにより前記基板を加熱し、
前記ヒータの加熱により前記基板もしくは前記処理空間内が所望の温度になったら、前記ヒータを介して前記処理空間に対向して設けられたシャワーヘッドのガス吹出孔から、前記基板に対して不活性であり且つ前記シャワーヘッドの内部に設けられた内部ヒータによって加熱されたガスを、前記基板に吹き付けて前記基板を加熱し、
前記シャワーヘッドの内部における上流側と下流側との間が分散板により複数の空間に仕切られ、前記シャワーヘッド内に導入された前記ガスは前記複数の空間内で拡散されつつ下流側に進むにつれて徐々に圧力が低下することを特徴とする熱処理方法。 - 前記ヒータによる加熱と、前記内部ヒータにより加熱された前記ガスの吹き付けと、による前記基板の加熱後、
前記ヒータをオフにし、且つ前記内部ヒータをオフにして加熱を受けていないガスを前記ガス吹出孔から前記基板に吹き付けて前記基板を冷却することを特徴とする請求項5記載の熱処理方法。
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