JP2009047351A - 循環式の基板焼成炉 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炉体本体部10の内部に熱風を吹き出すことによりガラス基板Wの焼成処理が進行する。炉体本体部10から排出された熱排気は循環経路20を経由して合体モジュール50に送給される。合体モジュール50は、同一のハウジング51内にヒータ52、触媒フィルタ部53およびフィルタ部54をこの順番で連続に配置して構成されている。ヒータ52によって再加熱された熱風は直ちに触媒フィルタ部53に流入するため、触媒フィルタ部53の分解効率を最大限高めることができる。触媒用の無駄なヒータが不要となって熱損失の低減が可能なだけでなく、1つのヒータ52を温調するだけで所定温度の熱風を得ることができ、炉体本体部10内の焼成温度を安定させることができる。
【選択図】図1
Description
20 循環経路
30 吸着塔
31a,31b,32a,32b バタフライダンパ
40 循環ファン
50 合体モジュール
51 ハウジング
52 ヒータ
53 触媒フィルタ部
54 フィルタ部
55 温度センサ
90 制御部
Claims (4)
- 熱風を循環させつつ基板の焼成処理を行う循環式の基板焼成炉であって、
内部に基板を収容する炉体本体部と、
前記炉体本体部から排出された熱風を循環させて前記炉体本体部に再度供給する循環経路と、
前記循環経路に設けられて熱風を循環させる循環ファンと、
熱風を加熱するヒータと、触媒を担持するメタルフィルタにて形成される触媒フィルタ部と、メタルフィルタのみにて形成されるフィルタ部と、をこの順序で熱風の上流側から同一モジュール内に配置した合体モジュールと、
を備えることを特徴とする循環式の基板焼成炉。 - 請求項1記載の循環式の基板焼成炉において、
前記循環経路の途中に並列に設けられ、二酸化炭素および/または水分を吸着する2つの吸着塔と、
前記2つの吸着塔のうちのいずれか一方を熱風が通過するように、熱風の流路を択一的に切り換える切換手段と、
前記2つの吸着塔に交互に熱風が通過するように、前記切換手段を制御する切換制御手段と、
を備えることを特徴とする循環式の基板焼成炉。 - 請求項1または請求項2記載の循環式の基板焼成炉において、
前記合体モジュールの熱風出口を前記炉体本体部の熱風供給口に接続したことを特徴とする循環式の基板焼成炉。 - 請求項3記載の循環式の基板焼成炉において、
前記炉体本体部における焼成温度から前記触媒フィルタ部における分解反応による昇温を減じた温度に熱風を加熱するように前記ヒータを制御する温度制御部をさらに備えることを特徴とする循環式の基板焼成炉。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007213589A JP2009047351A (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 循環式の基板焼成炉 |
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JP2007213589A JP2009047351A (ja) | 2007-08-20 | 2007-08-20 | 循環式の基板焼成炉 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101098981B1 (ko) | 2009-11-19 | 2011-12-28 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 그의 처리 방법 |
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-
2007
- 2007-08-20 JP JP2007213589A patent/JP2009047351A/ja active Pending
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A975 | Report on accelerated examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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