JP7133578B2 - クリーンオーブン - Google Patents
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Description
以下、本開示に係るクリーンオーブンの好適な実施形態について、添付の図面を参照しながら説明する。本開示は、以下の実施形態の具体的な構成に限定されるものではなく、同様の技術的思想に基づく構成が本開示に含まれる。
図1は、実施形態におけるクリーンオーブン2の概略構成を示す縦断面図である。
上述した構成を有するクリーンオーブン2の動作例について説明する。以下の動作は、例えば温度センサ17から送信される温度測定値に基づいて制御部18によって実行される。
まず、ワークSを加熱する加熱動作を実行する。制御部18は、循環ファン10を運転し、循環流路5に第1ガスを循環させる。制御部18はこのとき、吸気流路22および排気流路28がダンパ24、30によって閉じられるようにコントロールモータ26、32を制御する。これにより、筐体4の内部で循環流路5が密閉される。制御部18はさらにヒータ12を運転し、循環流路5を循環する第1ガスを加熱する。
上記加熱動作が終了すると、クリーンオーブン2の内部を冷却する冷却動作を実行する。具体的には、制御部18は、ヒータ12の運転を停止するとともに、ダンパ24、30が吸気流路22および排気流路28を開くようにコントロールモータ26、32を制御する。制御部18はさらに、吸気ファン20を運転することで、吸気流路22を介して第1ガスとしての空気を循環流路5に導入し、さらに循環ファン10を運転することで、循環流路5を循環させつつ、排気流路28を介して外部に排気する。このように常温の空気を導入して循環流路5に循環させて排気も行うことで、加熱処理後のクリーンオーブン2内部の循環流路5を冷却することができ、熱処理室7に配置されたマッフル16およびその内部に配置されたワークSも同時に冷却される。
上述した実施形態のクリーンオーブン2は、ワークSを熱処理するための熱処理室7と、熱処理室7の上流側と下流側を連通してヒータ12および循環ファン10を備えた連通空間9とによって循環流路5を形成する。クリーンオーブン2は、循環流路5に第1ガスを循環させる筐体4と、熱処理室7に配置されるマッフル16とを備える。マッフル16は、ワークSを内部に収容する内部空間19を有し、内部空間19に第2ガスが充填される。
以上、上述の実施形態を挙げて本開示の発明を説明したが、本開示の発明は上述の実施形態に限定されない。例えば、上記実施形態では、図3に示したガス導入管34が扉38を通じてマッフル16の内部空間19と筐体4の外部に接続される場合について説明したが、このような場合に限らない。図6に示す変形例のクリーンオーブン60のように、ガス導入管62は、筐体4の循環流路5を通過してからマッフル16に接続されてもよい。このような構成によれば、マッフル16に接続する前にガス導入管62を加熱することができ、ガス導入管62を流れる第2ガスを予め加熱した状態でマッフル16の内部空間に供給することができ、効率的な熱処理が可能となる。なお、ガス排出管64は、ガス導入管62に対して、ガス導入管62からの第2ガスの流れ方向の下流側に配置され、筐体4に挿通される。ガス導入管62およびガス排出管64のそれぞれは、横方向に長い先端部63、65を有し、ガス導入管62からガス排出管64にかけて第2ガスがワークSの表面全体に対して均一に流れるようにしている。
4 筐体
5 循環流路
6 吸気機構
7 熱処理室
8 排気機構
9 連通空間
10 循環ファン
11 モータ
12 ヒータ
14A 第1多孔板
14B 第2多孔板
16、16A、16B マッフル
17 温度センサ
18 制御部
19 内部空間
20 吸気ファン
22 吸気流路
24 ダンパ
26 コントロールモータ
28 排気流路
30 ダンパ
32 コントロールモータ
34、34A、34B ガス導入管
35 先端部
36、36A、36B ガス排出管
37 先端部
38、38A、38B 扉
40 フランジ
42、42A、42B パッキン
43、43A、43B 開口
44 上面
46 下面
48 上流端部
50 下流端部
60 クリーンオーブン
62 ガス導入管
63 先端部
64 ガス排出管
65 先端部
S ワーク
Claims (6)
- 板状のワークを熱処理するための熱処理室と、前記熱処理室の上流側と下流側を連通してヒータおよび循環ファンを備えた連通空間とによって循環流路を形成し、前記循環流路に第1ガスを循環させる筐体と、
前記熱処理室に配置され、ワークを内部に収容する内部空間を有し、前記内部空間に第2ガスが充填されるマッフルと、
前記マッフルの前記内部空間に前記第2ガスを導入するガス導入管と、
前記マッフルの前記内部空間から前記第2ガスを排出するガス排出管と、
制御部と、を備え、
前記ガス導入管と前記ガス排出管のそれぞれは、横方向に長い先端部を有し、前記内部空間に収容された前記ワークの表面に沿って前記第2ガスを流し、
前記制御部は、前記循環流路を冷却する冷却動作において、前記ガス導入管から前記マッフルの前記内部空間へ前記第2ガスを導入して前記ガス排出管から外部へ排気することで、前記内部空間および前記ワークを冷却する、クリーンオーブン。 - 前記熱処理室の上流側および下流側と前記連通空間との間はそれぞれ多孔板で仕切られている、請求項1に記載のクリーンオーブン。
- 前記ガス導入管と前記ガス排出管のそれぞれは、前記筐体の前記循環流路を通過して前記マッフルに接続される、請求項1又は2に記載のクリーンオーブン。
- 前記筐体へ外気を導入する吸気流路と、
前記筐体から外部に排気する排気流路と、
前記吸気流路を通じて前記筐体内へ外気を送り込む吸気ファンと、
前記吸気流路および/又は前記排気流路に設けたダンパと、をさらに備える、請求項1から3のいずれか1つに記載のクリーンオーブン。 - 前記マッフルは、外部に連通する開口を有し、
前記開口を1つ以上の前記マッフルごとに開閉可能とする扉を前記筐体に取り付けた、請求項1から4のいずれか1つに記載のクリーンオーブン。 - 前記マッフルは上面および下面を有し、前記上面と前記下面を接続する端部は先細りの形状を有する、請求項1から5のいずれか1つに記載のクリーンオーブン。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002243368A (ja) | 2001-02-20 | 2002-08-28 | Chugai Ro Co Ltd | 平面ガラス基板用連続式焼成炉 |
JP2005249276A (ja) | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Koyo Thermo System Kk | クリーンオーブン |
JP2007526978A (ja) | 2004-03-05 | 2007-09-20 | コーニング インコーポレイテッド | 閉鎖型カセットおよびガラスシートの熱処理方法 |
JP2011127830A (ja) | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Ulvac Japan Ltd | 熱処理炉 |
JP2012167865A (ja) | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Ulvac-Riko Inc | 熱処理装置 |
JP2014139510A (ja) | 2014-03-24 | 2014-07-31 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06221764A (ja) * | 1993-01-27 | 1994-08-12 | Asahi Glass Co Ltd | 熱処理装置およびその熱処理物 |
JP2507708Y2 (ja) * | 1993-12-24 | 1996-08-21 | 中外炉工業株式会社 | 多段マッフル炉 |
JP3779348B2 (ja) * | 1995-03-27 | 2006-05-24 | イビデン株式会社 | 黒鉛部材の高純度化処理炉 |
-
2020
- 2020-03-18 JP JP2020047996A patent/JP7133578B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002243368A (ja) | 2001-02-20 | 2002-08-28 | Chugai Ro Co Ltd | 平面ガラス基板用連続式焼成炉 |
JP2005249276A (ja) | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Koyo Thermo System Kk | クリーンオーブン |
JP2007526978A (ja) | 2004-03-05 | 2007-09-20 | コーニング インコーポレイテッド | 閉鎖型カセットおよびガラスシートの熱処理方法 |
JP2011127830A (ja) | 2009-12-17 | 2011-06-30 | Ulvac Japan Ltd | 熱処理炉 |
JP2012167865A (ja) | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Ulvac-Riko Inc | 熱処理装置 |
JP2014139510A (ja) | 2014-03-24 | 2014-07-31 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
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