JP2000274955A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- JP2000274955A JP2000274955A JP11080020A JP8002099A JP2000274955A JP 2000274955 A JP2000274955 A JP 2000274955A JP 11080020 A JP11080020 A JP 11080020A JP 8002099 A JP8002099 A JP 8002099A JP 2000274955 A JP2000274955 A JP 2000274955A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】板状被処理物の加熱温度を平均化できる熱処理
装置を提供する。 【解決手段】加熱室１３内において複数枚の板状被処理
物３を加熱する熱風を発生する。その熱風を通過させる
除塵用フィルターを備える。それら板状被処理物３を、
支持体１５により厚さ方向を上下方向として上下に間隔
をおいて支持する。その支持体１５を上下方向軸回りに
回転駆動する。その支持体１５により支持された各板状
被処理物３に横方向から吹き付けられるように熱風を循
環させる。
装置を提供する。 【解決手段】加熱室１３内において複数枚の板状被処理
物３を加熱する熱風を発生する。その熱風を通過させる
除塵用フィルターを備える。それら板状被処理物３を、
支持体１５により厚さ方向を上下方向として上下に間隔
をおいて支持する。その支持体１５を上下方向軸回りに
回転駆動する。その支持体１５により支持された各板状
被処理物３に横方向から吹き付けられるように熱風を循
環させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばフラットパ
ネルディスプレイ用ガラス基板や、その基板を用いた電
子部品等の板状被処理物の熱処理を行う熱風加熱式熱処
理装置に関する。
ネルディスプレイ用ガラス基板や、その基板を用いた電
子部品等の板状被処理物の熱処理を行う熱風加熱式熱処
理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】窒素（Ｎ2 ）等の雰囲気ガス中において
液晶ディスプレイ装置用ガラス基板等の板状被処理物の
熱処理を行うため、加熱室内において板状被処理物を熱
風により加熱する熱処理装置が用いられている。
液晶ディスプレイ装置用ガラス基板等の板状被処理物の
熱処理を行うため、加熱室内において板状被処理物を熱
風により加熱する熱処理装置が用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の熱処理装置で
は、熱風の上流側と下流側とで板状被処理物に温度差が
生じ、板状被処理物の加熱温度が不均一になるという問
題がある。
は、熱風の上流側と下流側とで板状被処理物に温度差が
生じ、板状被処理物の加熱温度が不均一になるという問
題がある。
【０００４】また、板状被処理物をロット単位（例えば
液晶ディスプレイ装置用ガラス基板の場合２０枚）で処
理する場合、加熱室内でラックにより支持した状態で熱
処理を行っている。その熱処理が終了した後、複数の板
状被処理物をロボット等を有する搬送装置によりラック
から一枚ずつ取り出しているが、長時間を要する。その
ため、その搬送装置の耐熱性不足に対応するために加熱
室の温度を低下させていた。そうすると、その後に別の
ロットの板状被処理物を処理する際に加熱室の温度を上
昇させる必要がある。しかし、そのような温度の昇降に
より、加熱室内の温度分布特性が悪化し、また、炉内の
蓄熱エネルギーがロスし、さらに、処理時間が長くな
る。また、冷却に要する時間が長くならないように、加
熱室内を急冷させるためのフィンクーラー等の付帯機器
が必要になる。さらに、熱風用フィルターとして通常使
用されているＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃ
ｙＰａｒｔｉｃｌｅ Ｆｉｌｔｅｒ）フィルターに、急
激な温度変化による熱膨張が生じると、フィルター濾材
を構成するグラスファイバーから発塵するためクリーン
度が低下する。
液晶ディスプレイ装置用ガラス基板の場合２０枚）で処
理する場合、加熱室内でラックにより支持した状態で熱
処理を行っている。その熱処理が終了した後、複数の板
状被処理物をロボット等を有する搬送装置によりラック
から一枚ずつ取り出しているが、長時間を要する。その
ため、その搬送装置の耐熱性不足に対応するために加熱
室の温度を低下させていた。そうすると、その後に別の
ロットの板状被処理物を処理する際に加熱室の温度を上
昇させる必要がある。しかし、そのような温度の昇降に
より、加熱室内の温度分布特性が悪化し、また、炉内の
蓄熱エネルギーがロスし、さらに、処理時間が長くな
る。また、冷却に要する時間が長くならないように、加
熱室内を急冷させるためのフィンクーラー等の付帯機器
が必要になる。さらに、熱風用フィルターとして通常使
用されているＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃ
ｙＰａｒｔｉｃｌｅ Ｆｉｌｔｅｒ）フィルターに、急
激な温度変化による熱膨張が生じると、フィルター濾材
を構成するグラスファイバーから発塵するためクリーン
度が低下する。
【０００５】また、板状被処理物をロット単位で処理す
る場合、カセットに収納した状態で加熱室内に出し入れ
し、そのカセットに収納した状態で熱処理していた。そ
のようなカセットを用いる場合、板状被処理物をカセッ
トに出し入れする搬送装置と、カセットを熱処理装置に
出し入れする搬送装置とが必要となりコストアップ、設
置面積拡大の問題がある。また、複数の熱処理装置から
なる熱処理システムを構成する場合、各熱処理装置の処
理状況を管理しつつ両搬送装置を運転する必要があるの
で、運転操作が複雑になる。
る場合、カセットに収納した状態で加熱室内に出し入れ
し、そのカセットに収納した状態で熱処理していた。そ
のようなカセットを用いる場合、板状被処理物をカセッ
トに出し入れする搬送装置と、カセットを熱処理装置に
出し入れする搬送装置とが必要となりコストアップ、設
置面積拡大の問題がある。また、複数の熱処理装置から
なる熱処理システムを構成する場合、各熱処理装置の処
理状況を管理しつつ両搬送装置を運転する必要があるの
で、運転操作が複雑になる。
【０００６】本発明は、上記問題を解決することのでき
る熱処理装置を提供することを目的とする。
る熱処理装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の熱処理装置は、
加熱室と、その加熱室内において板状被処理物を加熱す
る熱風を発生する手段と、その熱風を通過させる除塵用
フィルターと、その加熱室内において複数枚の板状被処
理物を、厚さ方向を上下方向として上下に間隔をおいて
支持可能な支持体と、その支持体を上下方向軸回りに回
転駆動する手段と、その支持体により支持された各板状
被処理物に横方向から吹き付けられるように熱風を循環
させる手段とを備える。
加熱室と、その加熱室内において板状被処理物を加熱す
る熱風を発生する手段と、その熱風を通過させる除塵用
フィルターと、その加熱室内において複数枚の板状被処
理物を、厚さ方向を上下方向として上下に間隔をおいて
支持可能な支持体と、その支持体を上下方向軸回りに回
転駆動する手段と、その支持体により支持された各板状
被処理物に横方向から吹き付けられるように熱風を循環
させる手段とを備える。
【０００８】本発明の構成によれば、熱風の上流側と下
流側とで板状被処理物に温度差が生じるのを防止し、板
状被処理物の加熱温度を平均化でき、複数の板状被処理
物を加熱温度の偏りなく効率良く加熱できる。
流側とで板状被処理物に温度差が生じるのを防止し、板
状被処理物の加熱温度を平均化でき、複数の板状被処理
物を加熱温度の偏りなく効率良く加熱できる。
【０００９】その加熱室に通じる冷却室と、その加熱室
と冷却室との間で前記支持体を往復移動させる手段と、
その加熱室と冷却室との接続口の開閉機構とを備え、そ
の加熱室と冷却室とが上下に並列するように配置されて
いるのが好ましい。これにより、支持体を加熱室から冷
却室に移動させた後に、板状被処理物を支持体から取り
出して冷却することができる。よって、板状被処理物を
支持体から取り出す時でも、加熱室を常に処理温度に保
持し、あるいは処理温度からの温度低下を小さくして処
理温度への昇温時間を短縮でき、急激な温度変化をなく
すことができる。また、支持体は加熱室と冷却室との間
で往復移動させるだけでよく、その往復移動の位置決め
や速度に高い精度は不要である。よって、その支持体を
往復移動させる機構は複雑な構成を必要とせず、且つ、
同時に複数の熱処理装置を運転する場合でも複雑な運転
操作を必要としない。また、加熱室を冷却する必要がな
いので、急冷フィンクーラーや冷却水ユーティリティー
等が不要になる。さらに、支持体への板状被処理物の出
し入れは室温付近で行えるので搬送装置の耐熱性は不要
になる。そして、加熱室と冷却室とが上下に並列するよ
うに配置されることで、設置面積を可及的に小さくでき
る。
と冷却室との間で前記支持体を往復移動させる手段と、
その加熱室と冷却室との接続口の開閉機構とを備え、そ
の加熱室と冷却室とが上下に並列するように配置されて
いるのが好ましい。これにより、支持体を加熱室から冷
却室に移動させた後に、板状被処理物を支持体から取り
出して冷却することができる。よって、板状被処理物を
支持体から取り出す時でも、加熱室を常に処理温度に保
持し、あるいは処理温度からの温度低下を小さくして処
理温度への昇温時間を短縮でき、急激な温度変化をなく
すことができる。また、支持体は加熱室と冷却室との間
で往復移動させるだけでよく、その往復移動の位置決め
や速度に高い精度は不要である。よって、その支持体を
往復移動させる機構は複雑な構成を必要とせず、且つ、
同時に複数の熱処理装置を運転する場合でも複雑な運転
操作を必要としない。また、加熱室を冷却する必要がな
いので、急冷フィンクーラーや冷却水ユーティリティー
等が不要になる。さらに、支持体への板状被処理物の出
し入れは室温付近で行えるので搬送装置の耐熱性は不要
になる。そして、加熱室と冷却室とが上下に並列するよ
うに配置されることで、設置面積を可及的に小さくでき
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１〜図３に示す熱風加熱式熱処
理システム１は、横方向に並列する３台の熱風加熱式熱
処理装置２と、単一の搬送装置４と、それら熱処理装置
２と搬送装置４とを覆うカバー６とを備える。
理システム１は、横方向に並列する３台の熱風加熱式熱
処理装置２と、単一の搬送装置４と、それら熱処理装置
２と搬送装置４とを覆うカバー６とを備える。
【００１１】各熱処理装置２は、支持台１１により支持
される炉体１２の内部空間により構成される加熱室１３
と、その炉体１２の底面の接続口１２ａを介して加熱室
１３に通じる冷却室１４と、液晶ディスプレイ装置用ガ
ラス基板等の板状被処理物３を支持する支持体であるラ
ック１５と、その加熱室１３内おいてラック１５により
支持された板状被処理物３を加熱する熱風を発生する熱
風加熱機構１６と、その熱風を通過させる除塵用フィル
ター１７と、そのラック１５を加熱室１３と冷却室１４
との間で直線的に往復移動させる移動機構１８と、その
ラック１５を上下方向軸まわりに回転駆動する回転機構
１９とを有する。
される炉体１２の内部空間により構成される加熱室１３
と、その炉体１２の底面の接続口１２ａを介して加熱室
１３に通じる冷却室１４と、液晶ディスプレイ装置用ガ
ラス基板等の板状被処理物３を支持する支持体であるラ
ック１５と、その加熱室１３内おいてラック１５により
支持された板状被処理物３を加熱する熱風を発生する熱
風加熱機構１６と、その熱風を通過させる除塵用フィル
ター１７と、そのラック１５を加熱室１３と冷却室１４
との間で直線的に往復移動させる移動機構１８と、その
ラック１５を上下方向軸まわりに回転駆動する回転機構
１９とを有する。
【００１２】その冷却室１４は炉体１２の下方の空間に
より構成され、これにより加熱室１３と冷却室１４とは
上下に並列するように配置されている。この冷却室１４
において板状被処理物３は放冷可能とされている。図３
に示すように、板状被処理物３を強制空冷する手段とし
て、その冷却室１４を挟むように送風ファンユニット３
１ａと排気ファンユニット３１ｂとが設けられている。
より構成され、これにより加熱室１３と冷却室１４とは
上下に並列するように配置されている。この冷却室１４
において板状被処理物３は放冷可能とされている。図３
に示すように、板状被処理物３を強制空冷する手段とし
て、その冷却室１４を挟むように送風ファンユニット３
１ａと排気ファンユニット３１ｂとが設けられている。
【００１３】そのラック１５は、加熱室１３と冷却室１
４とにおいて、複数枚の板状被処理物３を横方向に一枚
ずつ取り出し可能に、厚さ方向を上下方向として上下に
間隔をおいて支持するもので、例えば支柱から突出する
ツメを介して支持するものを用いることができる。
４とにおいて、複数枚の板状被処理物３を横方向に一枚
ずつ取り出し可能に、厚さ方向を上下方向として上下に
間隔をおいて支持するもので、例えば支柱から突出する
ツメを介して支持するものを用いることができる。
【００１４】その熱風加熱機構１６は、加熱室１３内で
板状被処理物３を加熱する熱風を発生して循環させる。
すなわち、図１に示すように、その加熱室１３の内部に
内壁２１が設けられる。この内壁２１の前後面と上面と
炉体１２の内面との間は熱風通路を構成する。その内壁
２１の内部に上記ラック１５が配置可能とされ、この内
壁２１の後方において炉体１２にヒータ２２と熱風循環
用ファン２３が取り付けられる。その内壁２１の後面に
上記フィルター１７としてＨＥＰＡフィルターが取り付
けられ、前面に複数の通風口２５が形成されている。図
１において矢印で示すように、そのヒータ２２により加
熱された加熱室１３内の窒素等の雰囲気は、ファン２３
により循環されることで、フィルター１７を介してラッ
ク１５により支持された各板状被処理物３に横方向から
吹き付けられる熱風となる。その熱風は各板状被処理物
３の表裏面に沿って流れ、しかる後に通風口２５を介し
てヒータ２２に至って再び加熱される。そのフィルター
１７は、急激な温度変化による熱膨張が生じると、フィ
ルター濾材を構成するグラスファイバーから発塵する低
コストのものが用いられている。
板状被処理物３を加熱する熱風を発生して循環させる。
すなわち、図１に示すように、その加熱室１３の内部に
内壁２１が設けられる。この内壁２１の前後面と上面と
炉体１２の内面との間は熱風通路を構成する。その内壁
２１の内部に上記ラック１５が配置可能とされ、この内
壁２１の後方において炉体１２にヒータ２２と熱風循環
用ファン２３が取り付けられる。その内壁２１の後面に
上記フィルター１７としてＨＥＰＡフィルターが取り付
けられ、前面に複数の通風口２５が形成されている。図
１において矢印で示すように、そのヒータ２２により加
熱された加熱室１３内の窒素等の雰囲気は、ファン２３
により循環されることで、フィルター１７を介してラッ
ク１５により支持された各板状被処理物３に横方向から
吹き付けられる熱風となる。その熱風は各板状被処理物
３の表裏面に沿って流れ、しかる後に通風口２５を介し
てヒータ２２に至って再び加熱される。そのフィルター
１７は、急激な温度変化による熱膨張が生じると、フィ
ルター濾材を構成するグラスファイバーから発塵する低
コストのものが用いられている。
【００１５】その回転機構１９は、ラック１５を支持す
る回転台１９ａと、この回転台１９ａの支持台１９ｂ
と、その回転台１９ａを上下方向軸まわりに回転駆動す
るアクチュエータ１９ｃとを有する。その回転台１９ａ
の回転は連続回転でも間欠的回転でもよい。その支持台
１９ｂは上記接続口１２ａを閉鎖可能な大きさとされて
いる。これにより、ラック１５により支持された板状被
処理物３を、その板状被処理物３への熱風の吹き付け方
向である横方向に交叉する上下方向まわりに回転させる
ことができる。
る回転台１９ａと、この回転台１９ａの支持台１９ｂ
と、その回転台１９ａを上下方向軸まわりに回転駆動す
るアクチュエータ１９ｃとを有する。その回転台１９ａ
の回転は連続回転でも間欠的回転でもよい。その支持台
１９ｂは上記接続口１２ａを閉鎖可能な大きさとされて
いる。これにより、ラック１５により支持された板状被
処理物３を、その板状被処理物３への熱風の吹き付け方
向である横方向に交叉する上下方向まわりに回転させる
ことができる。
【００１６】図１に示すように、その移動機構１８は、
その冷却室１４内に配置された支持台４１と、この支持
台４１により支持される駆動機構４３により上下方向に
直線的に往復駆動されるスライダー４２とを有する。そ
の駆動機構４３は例えば空圧シリンダーにより構成され
る。そのスライダー４２の移動方向は加熱室１３と冷却
室１４の並列方向に一致する。そのスライダー４２によ
り上記ラック１５が回転機構１９を介して支持される。
そのスライダー４２の往復移動により、ラック１５は回
転機構１９と共に図１において実線で示すように冷却室
１４内に配置される位置と、２点鎖線で示すように加熱
室１３内に配置される位置とに位置決めされる。
その冷却室１４内に配置された支持台４１と、この支持
台４１により支持される駆動機構４３により上下方向に
直線的に往復駆動されるスライダー４２とを有する。そ
の駆動機構４３は例えば空圧シリンダーにより構成され
る。そのスライダー４２の移動方向は加熱室１３と冷却
室１４の並列方向に一致する。そのスライダー４２によ
り上記ラック１５が回転機構１９を介して支持される。
そのスライダー４２の往復移動により、ラック１５は回
転機構１９と共に図１において実線で示すように冷却室
１４内に配置される位置と、２点鎖線で示すように加熱
室１３内に配置される位置とに位置決めされる。
【００１７】上記接続口１２ａを開閉する機構として保
温シャッター５１が設けられている。その保温シャッタ
ー５１は駆動装置（図示省略）により、図１において実
線で示すように接続口１２ａを閉鎖する位置と、２点鎖
線で示すように接続口１２ａを開放する位置との間で駆
動可能とされている。
温シャッター５１が設けられている。その保温シャッタ
ー５１は駆動装置（図示省略）により、図１において実
線で示すように接続口１２ａを閉鎖する位置と、２点鎖
線で示すように接続口１２ａを開放する位置との間で駆
動可能とされている。
【００１８】その搬送装置４は、板状被処理物３を冷却
室１４内のラック１５に支持させ、また、冷却室１４内
のラック１５により支持された板状被処理物３を取り出
す機構として、ロボット６１と、このロボット６１を図
１における実線位置と２点鎖線位置との間で昇降させる
昇降機構６２と、そのロボット６１と昇降機構６２を熱
処理装置２の並列方向に沿って横方向に駆動する走行機
構６３とを有する。そのロボット６１は、板状被処理物
３の支持フォーク６１ａと、このフォーク６１ａの伸縮
アーム６１ｂとを有し、ラック１５に板状被処理物３を
出し入れする。その昇降機構６２は、ロボット６１を昇
降させる。その走行機構６３は、そのロボット６１と昇
降機構６２をラック１５に対向する位置に位置決めす
る。
室１４内のラック１５に支持させ、また、冷却室１４内
のラック１５により支持された板状被処理物３を取り出
す機構として、ロボット６１と、このロボット６１を図
１における実線位置と２点鎖線位置との間で昇降させる
昇降機構６２と、そのロボット６１と昇降機構６２を熱
処理装置２の並列方向に沿って横方向に駆動する走行機
構６３とを有する。そのロボット６１は、板状被処理物
３の支持フォーク６１ａと、このフォーク６１ａの伸縮
アーム６１ｂとを有し、ラック１５に板状被処理物３を
出し入れする。その昇降機構６２は、ロボット６１を昇
降させる。その走行機構６３は、そのロボット６１と昇
降機構６２をラック１５に対向する位置に位置決めす
る。
【００１９】図１に示すように、カバー６の側方に別の
工程から搬送されるカセット２０が配置される。そのカ
セット２０により複数枚の板状被処理物３が横方向に一
枚ずつ取り出し可能に上下に間隔をおいて支持される。
上記搬送装置４は、走行機構６３によりロボット６１と
昇降機構６２をカセット２０に対向する位置に位置決め
し、そのカセット２０に板状被処理物３を支持させ、ま
た、そのカセット２０により支持された板状被処理物３
を取り出すことができる。
工程から搬送されるカセット２０が配置される。そのカ
セット２０により複数枚の板状被処理物３が横方向に一
枚ずつ取り出し可能に上下に間隔をおいて支持される。
上記搬送装置４は、走行機構６３によりロボット６１と
昇降機構６２をカセット２０に対向する位置に位置決め
し、そのカセット２０に板状被処理物３を支持させ、ま
た、そのカセット２０により支持された板状被処理物３
を取り出すことができる。
【００２０】そのカバー６に、そのカセット２０に対向
する開閉可能な開口が設けられる。また、カバー６に内
部空気の清浄装置７１が取り付けられている。
する開閉可能な開口が設けられる。また、カバー６に内
部空気の清浄装置７１が取り付けられている。
【００２１】上記構成により熱処理を行う場合、各炉体
１２の接続口１２ａを保温シャッター５１により閉鎖
し、加熱室１３の内部を熱風加熱機構１６により処理温
度（例えば２３０℃）に維持し、ラック１５を冷却室１
４に配置させる。次に、板状被処理物３を搬送装置４に
よりカセット２０から取り出し、次いでラック１５に支
持させる。次に接続口１２ａを開いて移動機構１８によ
りラック１５を加熱室１３内に移動させる。そして、回
転機構１９の支持台１９ｂにより接続口１２ａを閉鎖す
る。しかる後に熱風加熱機構１６により板状被処理物３
を加熱する。この加熱時に、図２に示すようにラック１
５を回転機構１９により上下方向軸回りに回転させる。
熱処理が終了すれば、ラック１５の回転を停止させ、移
動機構１８によりラック１５を冷却室１４内に移動さ
せ、接続口１２ａを再び保温シャッター５１により閉鎖
する。その冷却室１４において、板状被処理物３を例え
ば２００℃まで放冷し、続いて送風ファンユニット３１
ａと排気ファンユニット３１ｂにより強制空冷する。そ
の強制空冷用の冷却風は、冷却室１４においてラック１
５により支持された板状被処理物３に、熱処理装置２の
並列方向に沿って横方向から吹き付けられる。しかる後
に、板状被処理物３を搬送装置４によりラック１５から
取り出し、次いでカセット２０に支持させる。
１２の接続口１２ａを保温シャッター５１により閉鎖
し、加熱室１３の内部を熱風加熱機構１６により処理温
度（例えば２３０℃）に維持し、ラック１５を冷却室１
４に配置させる。次に、板状被処理物３を搬送装置４に
よりカセット２０から取り出し、次いでラック１５に支
持させる。次に接続口１２ａを開いて移動機構１８によ
りラック１５を加熱室１３内に移動させる。そして、回
転機構１９の支持台１９ｂにより接続口１２ａを閉鎖す
る。しかる後に熱風加熱機構１６により板状被処理物３
を加熱する。この加熱時に、図２に示すようにラック１
５を回転機構１９により上下方向軸回りに回転させる。
熱処理が終了すれば、ラック１５の回転を停止させ、移
動機構１８によりラック１５を冷却室１４内に移動さ
せ、接続口１２ａを再び保温シャッター５１により閉鎖
する。その冷却室１４において、板状被処理物３を例え
ば２００℃まで放冷し、続いて送風ファンユニット３１
ａと排気ファンユニット３１ｂにより強制空冷する。そ
の強制空冷用の冷却風は、冷却室１４においてラック１
５により支持された板状被処理物３に、熱処理装置２の
並列方向に沿って横方向から吹き付けられる。しかる後
に、板状被処理物３を搬送装置４によりラック１５から
取り出し、次いでカセット２０に支持させる。
【００２２】上記構成によれば、加熱室１３内でラック
１５を上下方向軸まわりに回転駆動することで、板状被
処理物３を上下方向軸まわりに回転させ、熱風の上流側
と下流側とで板状被処理物３に温度差が生じるのを防止
し、板状被処理物３の加熱温度の平均化を計ることがで
きる。特に、ラック１５により板状被処理物３を、厚さ
方向を上下方向として上下に間隔をおいて支持し、熱風
を横方向から吹き付けるので、その回転により複数の板
状被処理物３を加熱温度の偏りなく効率良く加熱でき
る。また、加熱室１３と冷却室１４とが上下に並列する
ので、両室１３、１４の設置に必要な面積は両室を横方
向に並列する場合の略１／２になり、システム１の設置
面積を可及的に小さくできる。さらに、ラック１５を加
熱室１３から冷却室１４に移動させた後に、板状被処理
物３をラック１５から取り出して冷却することができ
る。よって、板状被処理物３をラック１５から取り出す
時でも、加熱室１３を常に処理温度に保持し、あるいは
処理温度からの温度低下を小さくして処理温度への昇温
時間を短縮できる。これにより、加熱室１３内の温度分
布特性を向上し、処理時間を短縮してコストを低減し、
急激な温度変化をなくしてＨＥＰＡフィルター１７の採
用時におけるクリーン度を向上できる。また、加熱室１
３を冷却する必要がないので、急冷フィンクーラーや冷
却水ユーティリティー等が不要で、さらに、ラック１５
への板状被処理物３の出し入れは室温付近で行えるので
搬送装置４の耐熱性は不要で、コストを抑制できる。ま
た、ラック１５は加熱室１３と冷却室１４との間で移動
機構１８により往復移動させるだけでよく、その往復移
動の位置決めや速度に高い精度は不要である。よって、
その移動機構１８は複雑な構成を必要とせず、且つ、同
時に複数の熱処理装置２を運転する場合でも複雑な運転
操作を必要としない。また、冷却室１４においてラック
１５により支持された板状被処理物３を、２００℃程度
までは放冷することで破損を防止し、その後は強制空冷
することで冷却時間を短縮できる。
１５を上下方向軸まわりに回転駆動することで、板状被
処理物３を上下方向軸まわりに回転させ、熱風の上流側
と下流側とで板状被処理物３に温度差が生じるのを防止
し、板状被処理物３の加熱温度の平均化を計ることがで
きる。特に、ラック１５により板状被処理物３を、厚さ
方向を上下方向として上下に間隔をおいて支持し、熱風
を横方向から吹き付けるので、その回転により複数の板
状被処理物３を加熱温度の偏りなく効率良く加熱でき
る。また、加熱室１３と冷却室１４とが上下に並列する
ので、両室１３、１４の設置に必要な面積は両室を横方
向に並列する場合の略１／２になり、システム１の設置
面積を可及的に小さくできる。さらに、ラック１５を加
熱室１３から冷却室１４に移動させた後に、板状被処理
物３をラック１５から取り出して冷却することができ
る。よって、板状被処理物３をラック１５から取り出す
時でも、加熱室１３を常に処理温度に保持し、あるいは
処理温度からの温度低下を小さくして処理温度への昇温
時間を短縮できる。これにより、加熱室１３内の温度分
布特性を向上し、処理時間を短縮してコストを低減し、
急激な温度変化をなくしてＨＥＰＡフィルター１７の採
用時におけるクリーン度を向上できる。また、加熱室１
３を冷却する必要がないので、急冷フィンクーラーや冷
却水ユーティリティー等が不要で、さらに、ラック１５
への板状被処理物３の出し入れは室温付近で行えるので
搬送装置４の耐熱性は不要で、コストを抑制できる。ま
た、ラック１５は加熱室１３と冷却室１４との間で移動
機構１８により往復移動させるだけでよく、その往復移
動の位置決めや速度に高い精度は不要である。よって、
その移動機構１８は複雑な構成を必要とせず、且つ、同
時に複数の熱処理装置２を運転する場合でも複雑な運転
操作を必要としない。また、冷却室１４においてラック
１５により支持された板状被処理物３を、２００℃程度
までは放冷することで破損を防止し、その後は強制空冷
することで冷却時間を短縮できる。
【００２３】なお、本発明は上記実施形態に限定されな
い。例えば、熱風加熱式熱処理装置の数は限定されな
い。冷却室はカバーにより被覆されていなくてもよい。
また、板状被処理物への熱風の吹き付け方向に限定され
ず、その吹き付け方向回りに板状被処理物が回転するの
でなければよい。
い。例えば、熱風加熱式熱処理装置の数は限定されな
い。冷却室はカバーにより被覆されていなくてもよい。
また、板状被処理物への熱風の吹き付け方向に限定され
ず、その吹き付け方向回りに板状被処理物が回転するの
でなければよい。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、板状被処理物の加熱温
度を平均化でき、設置面積を可及的に小さくし、しか
も、運転操作や構造を複雑化することなく、加熱室内の
温度分布特性を向上し、処理時間を短縮し、板状被処理
物の破損を防止し、コストを低減し、ＨＥＰＡフィルタ
ー採用時におけるクリーン度を向上できる熱処理装置を
提供できる。
度を平均化でき、設置面積を可及的に小さくし、しか
も、運転操作や構造を複雑化することなく、加熱室内の
温度分布特性を向上し、処理時間を短縮し、板状被処理
物の破損を防止し、コストを低減し、ＨＥＰＡフィルタ
ー採用時におけるクリーン度を向上できる熱処理装置を
提供できる。
【図１】本発明の実施形態の熱処理システムの側断面図
【図２】本発明の実施形態の熱処理システムの平断面図
【図３】本発明の実施形態の熱処理装置の正断面図
２ 熱処理装置 ３ 板状被処理物 １２ａ 接続口 １３ 加熱室 １４ 冷却室 １５ ラック １６ 熱風加熱機構 １８ 移動機構 １９ 回転機構 ５１ 保温シャッター
Claims (2)
- 【請求項１】加熱室と、その加熱室内において板状被処
理物を加熱する熱風を発生する手段と、その熱風を通過
させる除塵用フィルターと、その加熱室内において複数
枚の板状被処理物を、厚さ方向を上下方向として上下に
間隔をおいて支持可能な支持体と、その支持体を上下方
向軸回りに回転駆動する手段と、その支持体により支持
された各板状被処理物に横方向から吹き付けられるよう
に熱風を循環させる手段とを備える熱処理装置。 - 【請求項２】その加熱室に通じる冷却室と、その加熱室
と冷却室との間で前記支持体を往復移動させる手段と、
その加熱室と冷却室との接続口の開閉機構とを備え、そ
の加熱室と冷却室とが上下に並列するように配置されて
いる請求項１に記載の熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08002099A JP3623685B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08002099A JP3623685B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000274955A true JP2000274955A (ja) | 2000-10-06 |
| JP3623685B2 JP3623685B2 (ja) | 2005-02-23 |
Family
ID=13706623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08002099A Expired - Fee Related JP3623685B2 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 熱処理装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3623685B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006266509A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
| WO2007065202A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Struan Glen Robertson | Apparatus for treating materials |
| JP2007173481A (ja) * | 2005-12-21 | 2007-07-05 | Kyushu Nissho:Kk | 加熱装置 |
| JP2007526978A (ja) * | 2004-03-05 | 2007-09-20 | コーニング インコーポレイテッド | 閉鎖型カセットおよびガラスシートの熱処理方法 |
| WO2012117803A1 (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-07 | 株式会社村田製作所 | 熱風循環炉 |
| WO2019138134A1 (de) * | 2018-01-15 | 2019-07-18 | Ebner Industrieofenbau Gmbh | Konvektionsofen |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP08002099A patent/JP3623685B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007526978A (ja) * | 2004-03-05 | 2007-09-20 | コーニング インコーポレイテッド | 閉鎖型カセットおよびガラスシートの熱処理方法 |
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| WO2007065202A1 (en) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Struan Glen Robertson | Apparatus for treating materials |
| US8323369B2 (en) | 2005-12-05 | 2012-12-04 | Struan Glen Robertson | Apparatus for treating materials |
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| WO2012117803A1 (ja) * | 2011-03-02 | 2012-09-07 | 株式会社村田製作所 | 熱風循環炉 |
| JP5737385B2 (ja) * | 2011-03-02 | 2015-06-17 | 株式会社村田製作所 | 熱風循環炉 |
| WO2019138134A1 (de) * | 2018-01-15 | 2019-07-18 | Ebner Industrieofenbau Gmbh | Konvektionsofen |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3623685B2 (ja) | 2005-02-23 |
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