JP3920586B2 - 連続焼成炉用リフター装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガラス基板等の板状被処理物に熱処理を行う連続焼成炉に備えられる連続焼成炉用リフター装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えばプラズマディスプレイパネル用基板等のガラス基板に電極、誘電体、蛍光体等の膜形成を行うためには、連続焼成炉が用いられている。この連続焼成炉では、例えばガラス基板等の被加熱物をトンネル型の炉内を通過させながら所定温度まで加熱した後、徐冷を行い、その後さらに常温程度まで冷却するという工程で処理が行われている。このような連続焼成炉では、炉の長さを短くして設置面積を小さくするために、炉内を2段構成として、上段で加熱および徐冷を行った後、被加熱物を下段に降ろして上段とは反対方向に搬送させながら冷却するようにしたものも用いられている。このような2段構成の連続焼成炉では、被加熱物を上段より下段に降ろすために被加熱物を収容して昇降する昇降ユニットを備えたリフター装置が用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記のようなガラス基板への焼成処理では、クリーンな環境下での焼成が必要である。このために、従来、連続焼成炉はクリーン度が保持されるクリーンルーム内に設置される場合や、コスト面等の理由によりクリーンルーム内に設置せずに、クリーンルームより被加熱物の搬入出が行えるように連続焼成炉の搬入出口をクリーンルームに臨ませるような形で設置される場合があった。また、どちらの場合も、炉内では、例えば被加熱物の搬送にセラミックローラーを使用するとともに、炉壁に耐熱ガラスを使用する等して、発塵を極力抑えるようにしている。
【0004】
しかしながら、上記リフター装置内には、被加熱物を搬入出するためのローラー、このローラーを駆動するためのモータ等の駆動部、昇降ユニットを昇降させるための駆動部等の機構部分が多く、発塵の可能性が高いにもかかわらず、発塵についてあまり考慮されていなかった。このため、リフター装置内においてクリーン度を保持することは困難であった。
本発明は上記の事情に鑑みて提案されたものであって、リフター装置内において被加熱物のクリーン度を保持することができる連続焼成炉用リフター装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記目的を達成するために以下の手段を採用している。すなわち、被加熱物をトンネル型の炉内上段および炉内下段を順次移動させながら、加熱、徐冷および冷却の一連の熱処理を行う連続焼成炉に設けられ、上記炉内上段と上記炉内下段との間で上記被加熱物を移動させる昇降ユニットを備えた連続焼成炉用リフター装置において、上記昇降ユニットの上部に、この昇降ユニット内に収容した被加熱物に対して清浄空気を供給するための第1の清浄空気供給手段を備えるという手段を採用している(請求項1)。このように構成することによって、被加熱物に対して直接清浄空気を供給することができるので、リフター装置内において被加熱物のクリーン度を保持することができる。また、リフター装置には、例えば約300〜400℃程度の被加熱物が搬送されてくるが、この被加熱物は清浄空気によって冷却が促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響も軽減される。
【0006】
また、上記第1の清浄空気供給手段は、リフター装置内を循環した清浄空気を再度吸気するものであり、上記昇降ユニットは、上記清浄空気を冷却するための冷却手段を備えた構成とすることができる(請求項2)。このように構成した場合、被加熱物により加熱された清浄空気を即座に冷却手段により冷却することができるので、リフター装置内で循環して再度吸気される清浄空気の熱によって清浄空気供給手段が影響を受けるのを軽減することができる。また、清浄空気による被加熱物の冷却も一層促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響もより一層軽減される。
【0007】
また、リフター装置内全域に清浄空気を供給するための第2の清浄空気供給手段を、さらに備えた構成とすることができる(請求項3)。このように構成した場合、被加熱物に対して清浄空気を供給するのに加えて、リフター装置内全域にも第2の清浄空気供給手段で清浄空気を供給するので、被加熱物のクリーン度をより一層保持することが可能である。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1は本発明に係る連続焼成炉用リフター装置の一実施の形態を示す概略正面図であり、図2はこの連続焼成炉用リフター装置の概略側面図であり、図3はこの連続焼成炉用リフター装置を用いる連続焼成炉の全体構成を示す概略図である。以下、図に基づいてこの連続焼成炉、および連続焼成炉用リフター装置(以下、単にリフター装置という)について説明する。
この連続焼成炉には、図3に示すように炉内上段21にガラス基板等の被加熱物Aを所定温度まで加熱する加熱部Bと、所定温度まで加熱された被加熱物Aを徐冷する徐冷部Cとが、炉内下段22に徐冷された被加熱物Aをさらに常温程度まで冷却する冷却部Dが設けられている。また、この連続焼成炉の長手方向一方端には、被加熱物Aを炉内上段21より炉内下段22に移動させるためのリフター装置1が設けられている。被加熱物Aは、トンネル型の炉内上段21を加熱部B、徐冷部Cと順次移動し、リフター装置1により炉内上段21より炉内下段22に移動させられ、炉内下段22の冷却部Dを炉内上段21と反対方向に移動されながら、一連の熱処理が行われる。
【0009】
上記リフター装置1は、図1に示すように筐体2内に、被加熱物Aを収容して昇降する昇降ユニット3と、この昇降ユニット3を昇降させるためのボールネジ4のねじ軸4aと、昇降ユニット3を支持するためのガイド軸10とを主として備えている。また、筐体2には、被加熱物Aを炉内上段21より搬入するための搬入口12と、被加熱物Aを炉内下段22へ搬出するための搬出口13とが設けられている。さらに、筐体2上部には清浄空気を供給するための第2の清浄空気供給手段であるクリーンユニット7、ギヤボックス6を介してボールネジ4に接続される昇降用モータ5等を備えている。
【0010】
昇降ユニット3は、被加熱物Aを搬入および搬出するための複数のローラー9と、このローラー9を駆動するためのモータ等の駆動部(図示しない)と、天井部上面に清浄空気を供給するための第1の清浄空気供給手段であるクリーンユニット8と、天井部下面および底部上面に冷却手段である水冷ラジエータ14とを備えている。また、昇降ユニット3は、両側面を覆う側板11を有しており、ローラー9の端部はこの側板11より外側に突出するように設けられ、側板11の外側に上記駆動部が設けられている。
さらに、昇降ユニット3は、ボールネジ4のボールナット4bと、ガイド軸10に摺動自在に外嵌されるガイド受部材15とを備えており、昇降用モータ5の駆動によるボールネジ4の回転によって上下に昇降するように構成されている。水冷ラジエータ14は、図示しない水供給部より水が供給され、清浄空気を冷却する。
【0011】
クリーンユニット7、8は、それぞれ送風ファン7c、8cを備えており、この送風ファン7c、8cの吸気側にプレフィルター7a、8a、排気側にクリーンフィルター(HEPAフィルター)7b、8bを備えている。クリーンユニット8は、送風ファン8cの回転によりプレフィルター8aを介して吸気した筐体2内の空気を、クリーンフィルター8bで清浄化することで清浄空気を供給している。そして、この清浄空気は、昇降ユニット3に収容される被加熱物Aに対して直近より吹き付けられることになる。一方、クリーンユニット7は、送風ファン7cの回転によりプレフィルター7aを介して外部より吸気した空気を、クリーンフィルター7bで清浄化することで清浄空気を供給している。この清浄空気は、筐体2内全域にわたって供給される。
【0012】
次に、リフター装置1によって被加熱物Aを炉内上段21から炉内下段22へ移動させる動作について説明する。
まず、被加熱物Aが炉内上段21よりリフター装置1へ搬送されてくると、この被加熱物Aは搬入口12を通ってリフター装置1の内部に搬入され、ローラー9の回転に伴って昇降ユニット3内に収容され所定位置で停止する。次に、昇降用モータ5が駆動され、昇降ユニット3は搬出口13が設けられている高さまで降下する。次いで、ローラー9の回転に伴って昇降ユニット3内より搬出口13を通って炉内下段22に搬出される。そして、被加熱物Aは炉内下段22を炉内上段21と反対方向に搬送されることになる。
【0013】
被加熱物Aは、このようにリフター装置によって炉内上段21から炉内下段22へ移動されるとき、筐体2内全域にわたってクリーン度が保たれている上、クリーンユニット8によって直近から清浄空気を吹き付けられることになる。これによって、被加熱物Aのクリーン度を保持することができる。また、発塵の多い駆動部と、被加熱物Aが収容される昇降ユニット3内とを仕切るように側板11を設けているので、被加熱物Aのクリーン度をより効果的に保持することができる。
なお、本実施の形態では、昇降ユニット3の天井部下面および底部上面に水冷ラジエータ14を2つ備えているが、これに限られるものではなく、例えば1つであっても構わない。
【0014】
【発明の効果】
以上のように、本発明に係る連続焼成炉用リフター装置では、被加熱物に対して清浄空気を供給することができるので、リフター装置内において被加熱物のクリーン度を保持することができる。また、リフター装置には、例えば約300〜400℃程度の被加熱物が搬送されてくるが、この被加熱物は清浄空気によって冷却が促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響も軽減される。
【0015】
また、昇降ユニットが清浄空気を冷却するための冷却手段を備えた構成とした場合、被加熱物により加熱された清浄空気を冷却手段により冷却することができるので、循環して再度吸気される清浄空気の熱によって清浄空気供給手段が影響を受けるのを軽減することができる。また、清浄空気による被加熱物の冷却も一層促進され、周囲のリフター装置内機構部分へ与える熱影響もより一層軽減される。
【0016】
また、第2の清浄空気供給手段を備えた構成とした場合、被加熱物に対して清浄空気を供給するのに加えて、リフター装置内全域にも第2の清浄空気供給手段で清浄空気を供給できるので、被加熱物のクリーン度をより一層保持することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る連続焼成炉用リフター装置の一実施の形態を示す概略正面図である。
【図2】本発明に係る連続焼成炉用リフター装置の一実施の形態を示す概略側面図である。
【図3】本発明に係る連続焼成炉用リフター装置を用いる連続焼成炉の全体構成を示す概略図である。
【符号の説明】
A 被加熱物
1 連続焼成炉用リフター装置
7 クリーンユニット(第2の清浄空気供給手段)
8 クリーンユニット(第1の清浄空気供給手段)
14 水冷ラジエータ(冷却手段)
Claims (3)
- 被加熱物をトンネル型の炉内上段および炉内下段を順次移動させながら、加熱、徐冷および冷却の一連の熱処理を行う連続焼成炉に設けられ、上記炉内上段と上記炉内下段との間で上記被加熱物を移動させる昇降ユニットを備えた連続焼成炉用リフター装置において、
上記昇降ユニットの上部に、この昇降ユニット内に収容した被加熱物に対して清浄空気を供給するための第1の清浄空気供給手段を備えたことを特徴とする連続焼成炉用リフター装置。 - 上記第1の清浄空気供給手段は、リフター装置内を循環した清浄空気を再度吸気するものであり、上記昇降ユニットは、上記清浄空気を冷却するための冷却手段を、さらに備えた請求項1に記載の連続焼成炉用リフター装置。
- リフター装置内全域に清浄空気を供給するための第2の清浄空気供給手段を、さらに備えた請求項1または請求項2に記載の連続焼成炉用リフター装置。
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