JPS6254431A

JPS6254431A - 熱風加熱装置

Info

Publication number: JPS6254431A
Application number: JP19311085A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Saijo; 西條　芳明
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1985-09-03
Filing date: 1985-09-03
Publication date: 1987-03-10

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の技術分野〕本発明は熱風の流れが調節可能な熱風加熱装置に関する
。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

近時半導体装置の製造工程番こおいては部品を熱風で加
熱処理することが広く行なわれている。例えば内容積が
１ｍＡ前後の加熱室に部品を入れ、ヒータ、送風機から
なる熱風発生機により熱風を吹込んで、加熱処理してい
る。しかるにこの種の熱風加熱装置は、加熱室の一方壁
側から熱風を吹き込み他方から排気する構造をなしてい
る。従って熱風の流路を変えることができず、加熱パタ
ーンは一定であるため９例えば一定の方向の強制熱風の
流れの中で、風上に置かれた被加熱物の陰に置かれた被
加熱物はその温度上昇が遅く、所定温度に到達するのに
時間がかかるとか、被加熱物の置き方などの制約から、
熱風の流れを変えたいが変えられないので、効率が悪い
など不都合な点が多々あった。

〔発明の目的〕

本発明は、上述の不都合を除去するためになされたもの
で、効率よく均一加熱を行なう熱風加熱装置を提供する
ことを目的とする。

〔発明の概要〕

本発明は、加熱室と、この加熱室に設けた熱風が出入す
る複数個の熱風開口と、加熱室外に設けられて、各熱風
開口に連通した循環路と、この循環路中に設けられたヒ
ータと、熱風開口の少なくとも１個に取付けられた送風
機と、熱風開口の少なくとも１個に取付けられた方向制
御体とを具備した熱風加熱装置で、送風機と方向制御機
構とを操作して熱風の流路を制御し、所望の加熱パター
ンを得るようにしたものである。

〔発明の実施例〕

以下、不発明の詳細を図示の一実施例により説明する。

（１）は外殻で、角形の箱状に形成されていて、中に加
熱室（２１が設けられており、この加熱室（２）の矢印
（３）で示す左右側面および下面には外殻（１）との間
に循環路（４）が形成されている。加熱室（２）は上下
方向に仕切る金網からなる仕切り板ｔ（ｉ＋、（力によ
り上下２室（８１、（９）に分けられている。そして左
側壁には熱風開口αυが設けられており、右側壁はほぼ
全面が熱風開口ａカになっている。この熱風開口α力に
対向して方向制御機ｍＱ４）が設けられている。

これは熱風開口Ｃ１２１に対向して外殻（１）に取付け
られた枠体ａ最に両端部が回転自在に支持されたシャッ
タ羽根ｔｔｔｉを＋ｉ数段設け、各シャッタ羽根ｕＱは
一端部に連結された駆動体例えば、小形モータなどによ
り一定範囲回転駆助されて、熱風開口Ｏ２を（ｉ＾穢路
（４）に対してｊＩ局閉調節するように構成さｎている
。

また楯」λ路（４）には、その下部分に電気発熱体を内
蔵したヒータ（′！Ａが取付けられていて、熱風開口α
υの外１１１１に正転、逆転自在な送風機ｃ２υが外殻
（１）に支持されて収けられている。この送風＋ａｔυ
近傍の加熱室（２）内に熱風の温度を検出する温ｉｔ暎
出体１２３１か取付けられていて、温度に対応した゛４
気信号を送出する。本加熱装置は上記不休の他に’＋ｆ
ｆ１Ｊ御装置（ハ）を具えている。これはマイクロコン
ビエータを内蔵した制御回路翰と、これに接続されて温
度検出体四との間に介在する温度検出回路面と、ヒータ
■と制御回路シＱとの間に介在するヒータ駆動回路（至
）と、送に機Ｑυと制御回路（ハ）との間に介在する送
風機駆動回路（ハ）と、方向制御機ＷＱ４）の駆動モー
タ（図示せず）と制御回路Ｃωとの間に介在するシャッ
タ駆動回路（至）と、制御回路（イ）に接続された記憶
回路ｃ１１）と、制御回路に接続されて手動または上位
からの信号により入力する入力装置ｃ３ａなどから構成
されている。

次に本装置の作用につき説明する。本装置は。

制御装［彌からの指令により、送風機［Ｆ］υの正逆回
転とか、各シャッタ羽根ａＱの開閉などを個々に制御す
ることが可能なので、適宜な制御により、はぼ所望の熱
風の流路を得ることができる。一般に加熱装置が特定さ
れれば、被加熱物の情報として。

その種類、数量、配置、温度などを決めると、３のずと
最適な加熱パターンが決まり、送風機（２１）。

方向制御機構α尋の制御も決定される。多量生産におい
ては、被加熱物の種類その他の情報などは数株類であり
、これに対応した加熱パターンも限定されている。従っ
て本実施例においては各種情報とこれらに対応した加熱
パターンを予め記憶回路Ｇ旧と記憶されておき、制御回
路（至）に被加熱物の情報を入力すること番こより、プ
ログラムに従って。

これに対応した加熱パターンが選択され、加熱処理が自
動的に行なわれるようになっている。本実施例における
一例を示す。被加熱物（至）は上室（８）＃こ２個を送
風機Ｃυに近接して配置し、下室（９）に４個を°配置
して収容する（６個中３個は後方にあり図示してない）
。その他の情報は省略するが、このような情報を外部入
力装置０′）Ｉから制御回路（ト）に入力すると、制御
回路（、＜６ｊはこれに対応した制御条件を記憶ＪＡＭ
に’ｒυから引出し実行する。すなわち、シャッタ！［
１回路（至）を介して上半分の４個のシャッタ羽根ＱＧ
が閉じられ、下半分の４個は開かれろ。

送風機シυは正回転、ヒータ（２Ｇは導通となり、記載
を省略した他の情報に従って温度１時間などが記憶され
た設定に従って実行される。上記の制御条件によれば、
熱風は時計回りに循環するが、上半分のシャッタ羽根ｕ
Ｑが閉じられているので、熱風は下室（９）においては
ほぼ左から右へ流れ下半分のシャッタ羽根＋１（Ｅｌを
通って循壊し、上室（８）においては、左から右へ流れ
るが、上半分のシャッタ羽根翰が閉じられているので、
熱風の流路は矢印間のように下方に向い、下半分のシャ
ッタ羽ｓｕｅから循環路（４）に出て行く。このように
流路を制御することにより、温度上昇の遅い下室（９）
の風下の被加熱部（至）への熱量の供給は犬となり、従
来の不都合は減少する。

上述の他に加熱パターンは、開いたシャッタ羽根（Ｌｉ
１９の数や配置と、送風機（２ＩＪの正転、逆転の組合
せにより１々なものが考えられるが、これキ被加熱物（
ハ）の情報と９最適な組合わせは実験的に容易に決定で
きる。

〔発明の効果〕

以上詳述したように１本発明の熱風加熱裟壇は方向制御
機構を設けて構成したので、櫨々な熱風の流路の１ｔｔ
ｌＪ　＠Ｉが可能となり、被りｕ熱量の状態に応じ、最
適の加熱が可能である。また予め披加熱量の情報に対応
した加熱パターンの設定ができるので自動化が容易とな
るなどの効果を賽するものである。

なお１本実施例においては、熱風開口を２１固設けたが
、これに限定されず、また方向制伍機１４も各熱風開口
に設けてもよいことはいうまでもないことである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図、第２図は同じく制
御装置のブロック図である。（２）・・・加熱室、（４）・・・循環路。住υ、αり・・・熱風開口、（１４・・・方向制御機構
。（至）・・・ヒ　−タ、Ｉ２υ・・・送風機。代理人　弁理士　　則　近　憲　重量　　　　　竹　花　喜久男

Claims

【特許請求の範囲】

（１）加熱室と、上記加熱室に設けられて熱風が出入す
る複数個の熱風開口と、上記加熱室外に設けられて上記
各熱風開口に連通した循環路と、この循環路に設けられ
たヒータと、上記複数個の熱風開口の中の少なくとも１
個の熱風開口に設けられ熱風を送る送風機と、上記複数
個の熱風開口の中の少なくとも１個の熱風開口に設けら
れて熱風の流路を制御する方向制御機構とを具備したこ
とを特徴とする熱風加熱装置。
（２）送風機は正転、逆転自在であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の熱風加熱装置。