JP2010133647A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010133647A JP2010133647A JP2008310270A JP2008310270A JP2010133647A JP 2010133647 A JP2010133647 A JP 2010133647A JP 2008310270 A JP2008310270 A JP 2008310270A JP 2008310270 A JP2008310270 A JP 2008310270A JP 2010133647 A JP2010133647 A JP 2010133647A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- heat treatment
- sheet
- treatment apparatus
- heating chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 170
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims abstract description 69
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 9
- 238000013022 venting Methods 0.000 claims description 5
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 55
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 18
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 18
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 16
- 230000008859 change Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000005273 aeration Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 239000004480 active ingredient Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- QLOAVXSYZAJECW-UHFFFAOYSA-N methane;molecular fluorine Chemical compound C.FF QLOAVXSYZAJECW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B17/00—Furnaces of a kind not covered by any preceding group
- F27B17/0016—Chamber type furnaces
- F27B17/0025—Especially adapted for treating semiconductor wafers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D17/00—Arrangements for using waste heat; Arrangements for using, or disposing of, waste gases
- F27D17/001—Extraction of waste gases, collection of fumes and hoods used therefor
- F27D17/002—Details of the installations, e.g. fume conduits or seals
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
- F27D21/0014—Devices for monitoring temperature
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
- F27D21/04—Arrangements of indicators or alarms
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D5/00—Supports, screens, or the like for the charge within the furnace
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D19/00—Arrangements of controlling devices
- F27D2019/0028—Regulation
- F27D2019/0031—Regulation through control of the flow of the exhaust gases
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27D—DETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
- F27D21/00—Arrangements of monitoring devices; Arrangements of safety devices
- F27D2021/0007—Monitoring the pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
Abstract
【解決手段】熱処理室には排気ダクト30が設けられており、当該排気ダクト30の中途に送風機8が設けられており、基板を加熱する際に生じるガスを外部に排気するために、送風機8が常時運転されており、熱処理装置1内部の圧力が負圧傾向となるが、通気装置61を設けることで熱処理装置1の内外における圧力差が殆どない状態にすることができる。即ち熱処理装置1では、内部の圧力を検知する圧力センサーを有し、当該圧力センサーの信号をアクチュエータ73にフィードバックし、シート66を上方向に移動させて通気装置61の有効開度を調節し通気量を調整する。
【選択図】図1
Description
熱処理装置の多くは、特許文献1の様に、加熱室内に載置棚が配された構造を有する。そして熱処理装置は、予めガラス板等の基板(被加熱物)に対して特定の溶液を塗布して加熱乾燥させ、この加熱乾燥した基板をロボットハンドを用いて段部の間隔に出し入れし、加熱室内に導入される所定の温度の熱風に基板を晒して熱処理(焼成)する装置である。
即ち熱処理装置は、複数の開閉口を有し、当該開閉口を順次開いて載置棚の段部に一枚づつ基板を挿入する。一方、熱処理装置の内部では、基板の挿入と平行して個々の基板に対して熱処理が実行されている。そして熱処理が終了した基板から順次排出されてゆく。
そのため基板を熱処理する熱処理装置では、昇華物の濃度が一定以上に上昇しないように、適宜、加熱室内が換気される。
換気は、例えば加熱室の内外を結ぶダクト内に送風機を設け、送風機で加熱室内の空気を屋外に排出することにより行われる。また換気用の送風機は、常に一定の回転数で回転させておく場合が多い。
即ち特許文献1の様に、加熱室内に載置棚が配され、ロボットハンドで基板を出し入れする構造の熱処理装置では、前記した様に、基板を熱処理している最中に開閉扉を開いて他の基板を出し入れする場合が生じる。
ここで基板を出し入れする開閉扉は、開口面積が大きいが気密性も高い。そのため開閉扉が閉じている場合は、送風機の回転によって加熱室内が負圧雰囲気となる。
そしてこの状態で、基板を出し入れすべく開閉扉を開くと、一度に大量の空気が加熱室内に流入し、加熱室の温度が一気に降下してしまう。
そのため被加熱物を出し入れする際における開口部からの空気の出入りが少なく、加熱室内の温度変化が小さい。
例えば従来技術に開示した様な加熱室内に載置棚を有する熱処理装置では、商品の出荷要求量に応じて使用する段数を変更する場合がある。例えば、市場の需要が旺盛である場合には、全ての段に基板を載置して熱処理を行うが、需要が小さい場合には、一部の段だけを使用して基板を熱処理するという調整が行われる。
ここで、昇華物の発生量は、全ての段部に基板を載置して熱処理を行う場合に比べて、少ない数の段部だけを使用する場合の方が少ない。そのため使用する段数が少ない場合には、フル稼働している場合と同じように換気する必要はない。
また加熱室内の換気は、高温に上昇した空気を捨てる行為であり、熱エネルギーの無駄が生じる。
そこで本発明は、排気装置として排気量を変化させることができるものを採用し、無駄な換気を抑制して熱エネルギーの無駄を排することとした。
そこで本発明では、吸気口は複数設けられていて設置高さが異なるものを混在させた。本発明の熱処理装置では、高さの異なる位置から加熱室内に空気が導入される。ここで導入される空気は、加熱室内の空気よりも温度が低いから、低温の空気の混入によって加熱室内部の温度が平滑化する。
また、通気量を調整するシートは、あくまで開口部を通過する気体の圧力により押圧される構造であるため、通気量の調整時であってもシートに無理な負荷が生じにくい。例えば、シートを天地方向に移動させる場合であるならば、開口部に空気が通気していない状態においては、シートは重力により一部が下方に垂れ下がった自然な状態であり、開口部に空気が通気した状況においても、シートの中間部が開口部に貼り付くのみでシートの形状が変化することを伴わないため、シートは自然な状態で空気量を調整することができる。
またシートを水平方向に移動させる場合であるならば、開口部に空気が通気していない状態においては、シートは自己の弾性や剛性により自然に撓んだ状態であり、開口部に空気が通気した状況においても、シートの中間部が開口部に貼り付くのみでシートの形状が変化することを伴わないため、シートは自然な状態で空気量を調整することができる。
即ち、本発明の通気装置は、通気量の調整の際であっても、シート等の部材が劣化し難い構成を有しているため、定期的なメンテナンスを要しない。
即ち具体的には、通気装置61は、熱処理装置1の正面に配置されており、基板が搬入される基板搬入口(被加熱物を加熱室内から出し入れする開口部)6の近傍である。なお、熱処理装置1内には、基板を垂直方向に30段以上(図示しない)配置できる載置棚16(図6,7)と、載置棚16を昇降させる昇降手段21(図7)が内蔵されている。
即ち開口形成部材65は、正面視が略正方形であり、図3(b)の様に正面側と裏面側が連通し、内部にシャッタ67が挿入される空間82がある。より詳細に説明すると、開口形成部材65の背面は、図3(b)の様に大きく開口し、当該開口69が開口形成部材65内の空間82と連通している。また開口形成部材65の正面側は、縁で囲まれた格子状であり、複数の貫通孔80の集合体(開口部)76となっている。
即ち開口形成部材65は、図3(b)の様に熱処理装置1の壁面に取り付けられて熱処理装置1の内外を連通する。
つまり、シャッター67をシャッター挿通口72に挿通したあと、シャッター67を適当な位置に留めて、固定ネジ孔83にネジ84を挿通してシャッター67の位置決めができる。
スライドユニット74は、ギアボックス79から棹部材78が突出したものである。ギアボックス79は内部にラックアンドピニオン(図示せず)が内蔵されたものであり、モータ75の回転力を直線移動力に変換するものである。本実施形態では、モータ75が回転すると、棹部材78が直線移動する。
本実施形態に採用されたアクチュエータ73の機構においては、部材間の擦れが生じるが、周知のダンパー等のように、通気流路に機械部品が位置していないため、部材の粉塵等が熱処理装置1の内部に流入することが殆どない。
図6は、図1に示す熱処理装置の平面断面図である。図7は、図1に示す熱処理装置の分解斜視図である。図8は、図1に示す熱処理装置の吸排気機構を示す説明図である。
前記した通気装置61は、前記した様に図1の様な熱処理装置1の構成部品として機能する。
熱処理装置1は、縦・横・高さが7m、4m、6m程度の巨大な装置である。
熱処理装置1は、金属製で箱形の外壁部2を有し、機器収容部3が設けられており、その上方に基板処理部5が設けられた構成となっている。機器収容部3は、基板処理部5に電力を供給する電源装置(図示せず)や基板処理部5の動作を制御する制御装置(図示せず)等を内蔵している。
基板処理部5の一方の側面(吸気口側)からは送風機8の一部が突出している。送風機8は、熱処理装置1内において熱風を循環させるたるのものである。
もう一方の側面には扉10が設けられている。扉10は、メンテナンス時に開いて作業者が出入りするために設けられている。
ここで熱風供給部14は、熱処理室12内に熱風を循環させる装置が内蔵された部位である。より具体的には熱風供給部14は、熱処理装置1の内部に導入された外気や、熱処理室12の下流端から戻ってきた空気等を加熱し、熱処理室12内に送り込むためのものであり、送風機8や加熱器(図示せず)等を備えている。また熱風供給部14の基板処理部5側の面にはフィルター15が設けられている。
熱処理室12(加熱室)の中央には載置棚16を含む基板換装システム18が配されている。
図7に示すように、熱処理室12の略中央部には、基板換装システム18が配されている。基板換装システム18は、基板を積載するための載置棚16と、当該載置棚16を全体的に昇降させる昇降装置21によって構成されている。
即ち昇降装置21を動作させて昇降台25を昇降し、載置棚16のいずれかの段部の高さをいずれかの換装口6の高さに一致させる。そして図示しないロボットで基板Wを保持し、換装口6を開いて熱処理室12内の載置棚16の前記段部にガラス基板Wを設置する。
その後に再度昇降装置21の昇降台25を動作させ、他のいずれかの段部の高さをいずれかの換装口6の高さに一致させて別の基板Wを挿入する。以下、この動作を繰り返して載置棚16の全ての段部に基板Wを装着する。
なお送風機31のモータは、インバータ制御されており、回転数を任意に変更することができる。本実施形態では、熱処理室12で熱処理する基板の枚数に応じて、モータの回転数が変更される。即ち熱処理する基板の数が多い場合には、モータの回転数を上昇させて換気量を増大させ、基板の数が少ない場合には、モータの回転数を減少して換気量を減少させる。
より具体的に説明すると、図5に示す状態で、熱処理装置1の内外での圧力差が大きい場合(熱処理装置1内が負圧)は、支持部材84が垂直方向上向きに移動するようにアクチュエータ73の回転を制御することで、シート66の他方の端部が上方に移動する。これにより、図2に示すように、シート66が通気量調整面71の貫通孔80の集合体76を覆う面積が小さくなるため、シート66が貫通孔80を遮蔽する面積が小さくなる。言い換えれば、熱処理装置1内に流入する気体の量が大幅に増加して、熱処理装置1の内外での圧力差が小さくなる様に制御することができる。
比例制御を採用するならば、アクチュエータ73の回転数を高速にして通気量を急激に増加させる制御を行ってもよい。
本実施形態で採用する通気装置61は、複数の開口形成部材65を持つものであり、シャッター67を個々に調節することにより、各開口形成部材65から導入される空気量の比率を変化させることができる。
これに対してシャッター67の位置に変化を設ければ、いずれの開口形成部材65においてもシート66の動作位置に応じてシートが覆う面積が同じように変化するが、その際の各開口形成部材65の有効開口面積は異なる。
即ち熱処理装置1に要求される品質の一つとして、熱処理室12(加熱室)内部の温度ばらつきが小さいことが挙げられる。ここで経験則上、加熱室内の温度は、上下でばらつきが大きい。
上記した実施形態の熱処理装置1で採用する通気装置61は、複数の開口形成部材65を持ち、これが上下に配列されている。そのためそれぞれのシャッター67の位置を変化させると、当該高さの位置に導入される空気量の比率を変更できる。そのため高さによる温度ばらつきを、導入する空気量の相違によって補正することができる。
そうすることによって、高温となりがちな上部側に比較的大量の空気が導入され、低温となりがちな底部には少量の空気が導入され、熱処理室12内部の温度が平滑化する。
本実施形態によると、シャッター67の移動量と、開口面積との関係を変化させることができる。同様の効果を有する例としては、図12に示すようにシャッターに開口(孔)89を設ける方策が考えられる。
即ち本実施形態では、通気量調整面71が傾斜姿勢となっている。そのためシート66を昇降させた場合にシート66と通気量調整面71との接触が確実に行われる。
6 基板搬入口(被加熱物を加熱室内から出し入れする開口部)
12 熱処理室(加熱室)
14 熱風供給部(温度調節手段)
28 排気装置
61 通気装置
65 開口形成部材(吸気口)
66 シート
67 シャッター
71 通気量調整面
73 アクチュエータ
76 集合体(開口部)
80 貫通孔
Claims (8)
- 被加熱物を加熱する加熱室と、加熱室内の温度を調節する温度調節手段と、被加熱物を加熱室内から出し入れする開口部と、加熱室内の空気を排出する排気装置と、加熱室内に空気を導入する吸気口とを有する熱処理装置において、前記吸気口は動力によって有効開口面積を増減する開口調節機能を備え、加熱室内の圧力に応じて吸気口の有効開口面積が増減されることを特徴とする熱処理装置。
- 排気装置は、排気量を変化させることができるものであることを特徴とする請求項1に記載の熱処理装置。
- 吸気口は複数設けられていて、各吸気口は前記加熱室に対する設置高さが異なることを特徴とする請求項1又は2に記載の熱処理装置。
- 吸気口は最大開口面積が異なるものが混在し、上部側に最大開口面積が大きい吸気口が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の熱処理装置。
- 開口調節機能は複数の吸気口の有効面積の増減を連動して行うものであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の熱処理装置。
- 吸気口には通気装置が設けられており、当該通気装置は気体が流通する開口部と、シートを有し、当該シートは一端側が前記開口部又は開口部の近傍に固定され、前記シートは、他端側を移動することによって当該シートの中間部が前記開口部を遮る方向の面を移動可能であり、前記シートの中間部が開口部を通過する気体の圧力によって開口部に押圧され、前記シートの他端側を移動させることによって、開口部の有効開口面積を変化させることが可能であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の熱処理装置。
- 加熱室内の圧力を検知する圧力検知手段を備え、前記通気装置はアクチュエータを具備し、当該アクチュエータによってシートの他端側が移動され、前記アクチュエータに圧力検知手段の信号がフィードバックされて開口部の有効開口面積を調節されることを特徴とする請求項6に記載の熱処理装置。
- 前記通気装置にはシャッターが備えられ、当該シャッターによっても開口部の有効開口面積を変化させることが可能であることを特徴とする請求項6又は7に記載の熱処理装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008310270A JP4896952B2 (ja) | 2008-12-04 | 2008-12-04 | 熱処理装置 |
TW098139970A TWI404902B (zh) | 2008-12-04 | 2009-11-24 | Heat treatment device |
KR1020090117552A KR101203404B1 (ko) | 2008-12-04 | 2009-12-01 | 열처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008310270A JP4896952B2 (ja) | 2008-12-04 | 2008-12-04 | 熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010133647A true JP2010133647A (ja) | 2010-06-17 |
JP4896952B2 JP4896952B2 (ja) | 2012-03-14 |
Family
ID=42345101
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008310270A Active JP4896952B2 (ja) | 2008-12-04 | 2008-12-04 | 熱処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4896952B2 (ja) |
KR (1) | KR101203404B1 (ja) |
TW (1) | TWI404902B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010133666A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2013228145A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Panasonic Corp | 熱風循環式加熱装置 |
CN116399127A (zh) * | 2023-02-21 | 2023-07-07 | 无锡市宜刚耐火材料有限公司 | 一种耐高温耐腐蚀砖制备烧结装置及烧结工艺 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6177616B2 (ja) * | 2013-08-01 | 2017-08-09 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
JP7074514B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2022-05-24 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6254431A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-10 | Toshiba Corp | 熱風加熱装置 |
JPH10141868A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Tabai Espec Corp | 昇華物対策付き熱処理装置 |
JP2001012869A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koyo Thermo System Kk | バッチ式熱処理装置 |
JP2002195762A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-10 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
JP2003269869A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Koyo Thermo System Kk | 排気型オーブン |
JP2004251534A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
JP2005064242A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Tokyo Electron Ltd | 基板の処理システム及び基板の熱処理方法 |
JP2006046894A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-02-16 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2008002766A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Future Vision:Kk | 基板焼成炉の給排気システム |
JP2008039376A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-02-21 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2008070017A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2008215652A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Espec Corp | 熱処理装置 |
-
2008
- 2008-12-04 JP JP2008310270A patent/JP4896952B2/ja active Active
-
2009
- 2009-11-24 TW TW098139970A patent/TWI404902B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-12-01 KR KR1020090117552A patent/KR101203404B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6254431A (ja) * | 1985-09-03 | 1987-03-10 | Toshiba Corp | 熱風加熱装置 |
JPH10141868A (ja) * | 1996-11-12 | 1998-05-29 | Tabai Espec Corp | 昇華物対策付き熱処理装置 |
JP2001012869A (ja) * | 1999-06-28 | 2001-01-19 | Koyo Thermo System Kk | バッチ式熱処理装置 |
JP2002195762A (ja) * | 2000-12-20 | 2002-07-10 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
JP2003269869A (ja) * | 2002-03-18 | 2003-09-25 | Koyo Thermo System Kk | 排気型オーブン |
JP2004251534A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Koyo Thermo System Kk | 熱処理装置 |
JP2005064242A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-03-10 | Tokyo Electron Ltd | 基板の処理システム及び基板の熱処理方法 |
JP2006046894A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-02-16 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2008002766A (ja) * | 2006-06-23 | 2008-01-10 | Future Vision:Kk | 基板焼成炉の給排気システム |
JP2008039376A (ja) * | 2006-07-13 | 2008-02-21 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2008070017A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2008215652A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Espec Corp | 熱処理装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010133666A (ja) * | 2008-12-05 | 2010-06-17 | Espec Corp | 熱処理装置 |
JP2013228145A (ja) * | 2012-04-26 | 2013-11-07 | Panasonic Corp | 熱風循環式加熱装置 |
CN116399127A (zh) * | 2023-02-21 | 2023-07-07 | 无锡市宜刚耐火材料有限公司 | 一种耐高温耐腐蚀砖制备烧结装置及烧结工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI404902B (zh) | 2013-08-11 |
KR101203404B1 (ko) | 2012-11-21 |
TW201037255A (en) | 2010-10-16 |
JP4896952B2 (ja) | 2012-03-14 |
KR20100064337A (ko) | 2010-06-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4896952B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR101380481B1 (ko) | 열처리 장치 | |
KR102436917B1 (ko) | 공기 조화 장치, 공기 조화 장치를 구비하는 기판의 부상식 반송 유닛, 및 기판의 부상식 반송용 공기의 공급 방법 | |
US20080128402A1 (en) | Heat treatment apparatus | |
JP2016200300A (ja) | 乾燥装置 | |
JP3855127B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JP2008311250A (ja) | リフローシステムおよびリフロー方法 | |
JP4727712B2 (ja) | 通気装置 | |
JP3959141B2 (ja) | 昇華物対策付き熱処理装置 | |
JP2005064242A (ja) | 基板の処理システム及び基板の熱処理方法 | |
JP6679364B2 (ja) | 基板加熱装置 | |
JP4981543B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR101838793B1 (ko) | 기판 가열 장치 | |
KR102238028B1 (ko) | 기판 처리용 밀폐형 열처리 장치 | |
JP2002270493A (ja) | 被処理体の加熱処理装置及びその排気方法 | |
JP5767354B2 (ja) | 熱処理装置 | |
JPH07126026A (ja) | 加熱炉の熱量調整方法及び装置 | |
KR20120064623A (ko) | 가열 처리 장치, 및 이를 구비하는 도포 현상 장치 | |
JPH11274039A (ja) | 基板熱処理装置および基板熱処理方法 | |
JP2004067509A (ja) | 加熱炉の熱量調整方法 | |
JP5193917B2 (ja) | 温湿度処理装置 | |
KR101737949B1 (ko) | 열처리장치 | |
JP3860469B2 (ja) | 熱処理装置 | |
Kaper et al. | Oven Drying of Inkjet‐Printed Functional Fluids on Industrial Scale | |
JP2012178480A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110617 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111215 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111221 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4896952 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |