KR101203404B1 - 열처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 등의 피가열물을 열풍에 의해 열처리하는 열처리 장치를 개량하는 것이며, 개폐문의 개폐에 동반되는 가열실 내의 온도 변동을 억제할 수 있는 열처리 장치의 개발을 과제로 한다.

열처리실에는 배기 덕트(30)가 설치되어 있고, 상기 배기 덕트(30)의 중도에 송풍기(8)가 설치되어 있고, 기판을 가열할 때에 발생하는 가스를 외부로 배기하기 위하여, 송풍기(8)가 상시 운전되고 있고, 열처리 장치(1) 내부의 압력이 부압 경향으로 되지만, 통기 장치(61)를 설치함으로써 열처리 장치(1)의 내외에 있어서의 압력차가 거의 없는 상태로 할 수 있다. 즉 열처리 장치(1)에서는 내부의 압력을 검지하는 압력 센서를 가지고, 상기 압력 센서의 신호를 액추에이터(73)에 피드백하고, 시트(66)를 상측 방향으로 이동시켜서 통기 장치(61)의 유효 개방도를 조절하여 통기량을 조정한다.

열처리 장치, 기판 반입구, 열처리실(가열실), 열풍 공급부, 배기 장치, 통기 장치

Description

열처리 장치{Heat treatment equipment}

본 발명은 기판 등의 피가열물을 열풍에 의해 열처리하는 열처리 장치에 관한 것이다.

종래부터, 하기 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같은 열처리 장치가 액정 모니터(LCD: Liquid Crystal Display)나 플라즈마 디스플레이(PDP: Plasma Display), 유기 EL 디스플레이 등과 같은 플랫 패널 디스플레이(FPD: Flat Panel display)의 제작에 사용되고 있다.

열처리 장치의 대부분은 특허문헌 1과 같이, 가열실 내에 재치 선반이 배치된 구조를 가진다. 그리고 열처리 장치는 미리 유리판 등의 기판(피가열물)에 대하여 특정한 용액을 도포하여 가열 건조시키고, 이 가열 건조한 기판을 로봇 핸드를 사용하여 단계부(段部)의 간격으로 출납하고, 가열실 내에 도입되는 소정 온도의 열풍에 기판을 노출하여 열처리(소성)하는 장치이다.

즉 열처리 장치는 복수의 개폐구를 가지고, 상기 개폐구를 순차 열어 재치 선반의 단계부에 1장씩 기판을 삽입한다. 한편, 열처리 장치의 내부에서는, 기판의 삽입과 평행하여 각각의 기판에 대하여 열처리가 실행되어 있다. 그리고 열처 리가 종료한 기판으로부터 순차 배출되어 간다.

그런데 열처리는 유리의 표면에 용액을 도포한 상태에서 행해지므로, 열처리 시에 표면의 용매나, 유효 성분의 일부가 승화한다. 그 때문에 열처리 장치의 내부에서는, 승화물의 농도가 점차로 상승하게 된다. 그 결과, 승화물이 재고화하여 기판 위에 낙하한다는 문제가 발생하였다.

따라서 기판을 열처리하는 열처리 장치에서는 승화물의 농도가 일정 이상으로 상승하지 않도록, 적절하게, 가열실 내가 환기된다.

환기는 예를 들면 가열실의 내외를 연결하는 덕트 내에 송풍기를 설치하고, 송풍기로 가열실 내의 공기를 옥외로 배출함으로써 행해진다. 또 환기용 송풍기는, 항상 일정한 회전수로 회전시켜 두는 경우가 많다.

[선행 기술 문헌]

[특허문헌]

[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 2006-46894호

가열실 내를 환기하는 경우, 상기한 바와 같이, 환기용 송풍기를, 항상 일정한 회전수로 회전시켜 두면, 가열실로부터 상시 일정량의 공기가 반드시 배출되며, 승화물의 농도는 일정 이하로 유지된다. 그러나 종래 기술의 방책에 의하면, 가열실 내의 온도가 불안정해진다는 결점이 있다.

즉 특허문헌 1과 같이, 가열실 내에 재치 선반이 배치되고, 로봇 핸드로 기판을 출납하는 구조의 열처리 장치에서는, 상기한 바와 같이, 기판을 열처리하고 있는 중에 개폐문을 열어 다른 기판을 출납하는 경우가 생긴다.

여기서 기판을 출납하는 개폐문은 개구 면적이 크지만 기밀성도 높다. 따라서 개폐문이 닫혀 있는 경우는, 송풍기의 회전에 의해 가열실 내가 부압(負壓) 분위기가 된다.

그리고 이 상태에서, 기판을 출납하기 위해 개폐문을 열면, 단숨에 대량의 공기가 가열실 내에 유입되어, 가열실의 온도가 한번에 하강하여 버린다.

그래서 본 발명은 종래 기술의 상기한 문제점에 주목하여, 개폐문의 개폐에 동반되는 가열실 내의 온도 변동을 억제할 수 있는 열처리 장치의 개발을 과제로 하는 것이다.

상기한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 열처리 장치는 피가열물을 가열하는 가열실과, 가열실 내의 온도를 조절하는 온도 조절 수단과, 피가열물을 가열실 내 로부터 출납하는 개구부와, 가열실 내의 공기를 배출하는 배기 장치와, 가열실 내에 공기를 도입하는 흡기구를 가지는 열처리 장치에 있어서, 상기 흡기구는, 동력에 의해 유효 개구 면적을 증감시키는 개구 조절 기능을 갖추고, 상기 개구 조절 기능은 가열실 내의 압력에 따라서 흡기구의 유효 개구 면적을 증감할 수 있는 것을 특징으로 하고 있다.(청구항 1)

이러한 구성에 따르면, 흡기구는 동력에 의해 유효 개구 면적을 증감하는 개구 조절 기능을 갖추고, 가열실 내의 압력에 따라서 흡기구의 유효 개구 면적이 증감된다. 따라서 가열실 내의 압력이 상시 일정 범위로 유지된다.

따라서 피가열물을 출납할 때에 있어서의 개구부로부터의 공기의 출납이 적어, 가열실 내의 온도 변화가 작다.

본 발명의 열처리 장치는 상기 배기 장치는, 배기량을 변화시킬 수 있는 것이 바람직하다.(청구항 2)

이러한 구성에 따르면, 열처리 장치의 가동률에 따라서 배기량을 변경할 수 있고, 에너지 절감에 기여한다.

예를 들면 종래 기술에 개시된 가열실 내에 재치 선반을 가지는 열처리 장치에서는, 상품의 출하 요구량에 따라서 사용하는 단계수를 변경하는 경우가 있다. 예를 들면, 시장의 수요가 왕성한 경우에는 모든 단부에 기판을 재치하여 열처리를 행하지만, 수요가 작은 경우에는 일부의 단부만을 사용하여 기판을 열처리하는 조정이 행해진다.

여기에서, 승화물의 발생량은 모든 단부에 기판을 재치하여 열처리를 행하는 경우에 비하여, 적은 수의 단부만을 사용하는 경우 쪽이 적다. 따라서 사용하는 단수가 적은 경우에는, 풀 가동하고 있는 경우와 같이 환기할 필요는 없다.

또 가열실 내의 환기는 고온으로 상승한 공기를 버리는 행위이며, 열 에너지의 낭비가 생긴다.

그래서 본 발명은 배기 장치로서 배기량을 변화시킬 수 있는 것을 채용하여, 쓸데없는 환기를 억제하여 열 에너지의 낭비를 배제하는 것으로 하였다.

본 발명의 열처리 장치는 흡기구는 복수 설치되어 있고, 각 흡기구는 상기 가열실에 대한 설치 높이가 다른 것이 바람직하다.(청구항 3)

열처리 장치에 요구되는 품질의 하나로서, 가열실 내의 온도 편차가 작은 것을 들 수 있다. 여기서 경험칙상, 가열실 내의 온도는, 상하에서 편차가 크다. 즉 가열실의 상부측은 일반적으로 온도가 높고, 가열실의 하부측은 온도가 낮다.

그래서 본 발명에서는 흡기구는 복수 설치되어 있고 설치 높이가 다른 것을 혼재시켰다. 본 발명의 열처리 장치에서는, 높이가 다른 위치부터 가열실 내에 공기가 도입된다. 여기서 도입되는 공기는 가열실 내의 공기보다도 온도가 낮기 때문에, 저온의 공기의 혼입에 의해 가열실 내부의 온도가 평활화된다.

본 발명의 열처리 장치는 상기 흡기구는 최대 개구 면적이 다른 것이 혼재하고, 상부측에 설치되는 흡기구는 다른 흡기구보다 최대 개구 면적이 큰 것이 바람직하다.(청구항 4)

상기한 바와 같이, 일반적으로 가열실의 상부측은 온도가 높고, 가열실의 하부측은 온도가 낮다. 그래서 본 발명은 상부측에 보다 많은 공기를 도입함으로써, 상부측의 온도를 저하시켜, 실내부의 온도의 평활화를 도모하는 것으로 하였다.

또, 여기에서 말하는 최대 개구 면적은 유효 개구 면적의 최대치를 의미한다.

본 발명의 열처리 장치는 개구 조절 기능은, 복수의 흡기구의 유효 개구 면적의 증감을 연동하여 행하는 것이 추장된다.(청구항 5)

본 발명의 열처리 장치는 흡기구에는 통기 장치가 설치되어 있고, 상기 통기 장치는 기체가 유통하는 개구부와, 시트(sheet)를 가지고, 상기 시트는 일단측이 상기 개구부 또는 개구부의 근방에 고정되고 있고, 타단측을 이동시킴으로써, 상기 시트의 중간부가 상기 개구부를 덮는 방향으로 이동하고, 개구부를 통과하는 기체의 압력에 의해서 개구부측에 흡착되는 것이며, 상기 개구부를 덮는 시트의 흡착 면적의 크기에 의해서, 개구부의 유효 개구 면적을 변화시킬 수 있는 것이 바람직하다.(청구항 6)

이러한 구성에 따르면, 시트의 일단측이 개구부 또는 개구부의 근방에 고정되고, 시트의 타단측을 이동함으로써 상기 시트의 중간부가 개구부를 차단하는 방향으로 이동하여 상기 개구부를 통과하는 기체의 압력에 의해 시트가 개구부에 가압(흡착)되기 때문에, 개구부의 유효 개구 면적을 조정할 때는 부재끼리가 서로 스치는 일이 없다. 이로써, 본 발명의 통기 장치는, 통기량을 조정할 때라도, 통기 유로 근방에서 부재끼리가 서로 스치는 일이 없기 때문에, 분진이 발생하지 않는다.

또한, 통기량을 조정하는 시트는 어디까지나 개구부를 통과하는 기체의 압력 에 의해 가압(흡착)되는 구조이기 때문에, 통기량의 조정시에도 시트에 무리한 부하가 생기기 어렵다. 예를 들면, 시트를 상하 방향으로 이동시키는 경우라면, 개구부에 공기가 통기하고 있지 않는 상태에 있어서는, 시트는 중력에 의해 일부가 하방으로 늘어뜨려진 자연스러운 상태이며, 개구부에 공기가 통기한 상황에 있어서도, 시트의 중간부가 개구부에 흡착되는 것만으로 시트의 형상이 변화되는 것을 수반하지 않기 때문에, 시트는 자연스러운 상태로 공기량을 조정할 수 있다.

또 시트를 수평 방향으로 이동시키는 경우라면, 개구부에 공기가 기통하고 있지 않는 상태에 있어서는, 시트는 자기의 탄성에 의해 자연히 휘어진 상태이며, 개구부에 공기가 통기한 상황에 있어서도, 시트의 중간부가 개구부에 흡착되는 것만으로 시트의 형상이 변화되는 것을 수반하지 않기 때문에, 시트는 자연스러운 상태에서 공기량을 조정할 수 있다.

즉, 본 발명의 통기 장치는 통기량의 조정시라도, 시트 등의 부재가 열화하기 어려운 구성을 가지고 있기 때문에, 정기적인 메인티넌스를 요하지 않는다.

본 발명의 열처리 장치는 가열실 내의 압력을 검지하는 압력 검지 수단을 구비하고, 상기 통기 장치는 시트의 타단측을 이동시키는 액추에이터를 구비하고, 상기 액추에이터는, 상기 압력 검지 수단으로부터의 신호에 기초하여, 개구부의 유효 개구 면적을 조절할 수 있는 것이 바람직하다.(청구항 7)

이러한 구성에 따르면, 액추에이터에 의해 시트의 타단측이 이동되고, 상기 액추에이터는 압력 검지 수단의 신호에 기초하여 개구부의 유효 개구 면적을 조정하기 위하여, 보다 확실하게 공기의 통기량을 제어할 수 있고, 압력 및 온도 관리 가 쉬워진다.

본 발명의 열처리 장치는 상기 통기 장치에는, 개구부의 개폐가 가능한 셔터가 구비되고, 상기 셔터에 의해서도 개구부의 유효 개구 면적을 변화시킬 수 있는 것이 바람직하다.(청구항 8)

이러한 구성에 따르면, 셔터에 의해서도 개구부의 유효 개구 면적을 변화할 수 있기 때문에, 시트와 조합시킴으로써, 여러 가지 상황에 따른 통기량의 조정을 행할 수 있다. 즉, 미리 개구부의 일부를 셔터에 의해 차폐해 두는 것이 가능해지고, 시트에서는 통기량의 미세 조정을 할 수 있다. 이로써 통기량의 급격한 변화를 방지할 수 있다. 또한, 반대로 셔터의 차폐를 통기 중에 개방함으로써, 통기량의 급격한 변화를 적극적으로 발생시킬 수도 있다.

본 발명의 열처리 장치에서는 개폐문의 개폐에 따른 가열실 내의 온도 변동을 억제할 수 있고, 가열실 내를 일정한 고온 상태로 유지할 수 있다. 따라서 본 발명의 열처리 장치에서 열처리된 제품은 신뢰성이 높다.

이하에, 본 발명의 실시 형태에 대하여, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

본 실시형태의 열처리 장치(1)는 유리제의 액정 패널의 제조 과정에 사용되는 것이며, 특수한 통기 장치(61)를 구비하고 있다.

즉 구체적으로는, 통기 장치(61)는, 열처리 장치(1)의 정면에 배치되어 있 고, 기판이 반입되는 기판 반입구(피가열물을 가열실 내로부터 출납하는 개구부; 6)의 근방이다. 또, 열처리 장치(1) 내에는, 기판을 수직 방향으로 30단계 이상(도시하지 않음) 배치할 수 있는 재치 선반(16; 도 6, 7)과, 재치 선반(16)을 승강시키는 승강 수단(21; 도 7)이 내장되어 있다.

통기 장치(61)는 도 2에 도시하는 바와 같이, 열처리 장치(1)의 벽면에 개구를 형성하는 개구 형성 부재(65)와, 시트(66)와, 셔터(67)와, 시트(66)의 일단측을 고정하여 직선적으로 이동하는 개폐 장치(68)로 구성되어 있다.

개구 형성 부재(65)는 프레임형이며, 일면측에 통기량 조정면(71)이 설치되고, 내부에 셔터(67)를 삽입하여 통과시키는 공간(82; 도 3a 및 도 3b)이 설치된 것이다.

즉 개구 형성 부재(65)는, 정면에서 보아 대략 정방형이며, 도 3b와 같이 정면측과 이면측이 연이어 통하고, 내부에 셔터(67)가 삽입되는 공간(82)이 있다. 보다 상세하게 설명하면, 개구 형성 부재(65)의 배면은 도 3b와 같이 크게 개구하고, 상기 개구(69)가 개구 형성 부재(65) 내의 공간(82)과 연이어 통하고 있다. 또 개구 형성 부재(65)의 정면측은 격자형으로 나란히 배열된 복수의 관통 구멍(80)의 집합체(개구부; 76)가 설치되고, 그 집합체(76)의 주위를 개구 형성 부재(65)의 가장자리가 둘러싸고 있다.

즉 개구 형성 부재(65)의 정면측은 대략 정방 형상의 다수의 관통 구멍(80)을 가지고, 1개의 집합체(개구부; 76)를 형성하고 있다. 집합체(76)는 통기량 조정면(71)의 각 단부(4변)로부터 일정 간격을 두고 배치되어 대략 정방형을 형성하 고 있다. 또한, 상기 이면의 개구(69)와 관통 구멍(80)의 집합체(76)는 연이어 통하고 있기 때문에, 기체는 개구 형성 부재(65)를 통하여 외부로부터 열처리 장치(1) 내부로 유입할 수 있다.

즉 개구 형성 부재(65)는 도 3b와 같이 열처리 장치(1)의 벽면에 설치되어 열처리 장치(1)의 내외를 연이어 통한다.

개구 형성 부재(65)의 한쪽 측면에는 대략 장방 형상의 셔터 삽통구(72)가 설치되어 있다. 셔터 삽통구(72)는 개구 형성 부재(65)의 내부와 연이어 통하고 있다.

통기량 조정면(71)의 상면측에 후술하는 시트(66)의 한쪽 단부(端部)를 고정하는 시트 고정부(86)가 배치되어 있다. 시트 고정부(86)는 고정판(77)을 가지고 있어, 시트(66)를 고정판(77)으로 끼워 나사 등으로 고정할 수 있는 것이다.

셔터 삽통구(72)는 도 3a 및 도 3b에 도시하는 바와 같이, 외부와 통기 장치(61)의 내부(공간(82))를 연이어 통한 슬릿형의 관통 구멍이며, 후술하는 셔터(67)를 삽입하여 통과 가능하게 하는 것이다. 구체적으로는, 셔터 삽통구(72)는 장변 방향 길이(m)가 관통 구멍(80)의 집합체(76)의 변 중 상하로 연장되는 변(도 2를 기준)의 길이(L)와 동등하거나 또는 그 이상의 길이를 가지고, 단변 방향 길이(n)는 셔터(67)의 두께와 동등하거나 또는 그 이상의 길이를 가지고 있다. 즉, 셔터 삽통구(72)는 셔터(67)를 삽입하여 통과시키기 위해서만 형성되고, 관통 구멍(80)과 같이 기체를 통과시키는 기능은 가지고 있지 않는다. 셔터 삽통구(72)의 개구 주위에는, 열처리 장치(1) 내부의 기밀성을 일정하게 유지하기 위하여, 고무 성의 실링재(도시하지 않음)가 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또, 셔터 삽통구(72)에 삽입하여 통과된 셔터(67)의 위치를 고정하기 위하여, 통기량 조정면(71)의 셔터 삽통구(72)측에 고정용의 나사 구멍(83)이 형성되고, 상기 나사 구멍(83)에 나사(90)가 삽입하여 통과되어 있다. 삽입하여 통과된 나사(90)는 셔터 삽통구(72) 내로 돌출하여, 나사(90)의 선단이 셔터(67)를 가압한다.

즉, 셔터(67)를 셔터 삽통구(72)에 삽입하여 통과한 후, 셔터(67)를 적절한 위치에 고정시키고, 고정 나사 구멍(83)에 나사(90)를 삽입하여 통과하여 셔터(67)를 위치 결정할 수 있다.

시트(66)는 폴리테트라플루오로에틸렌(polytetrafluoroethylene)으로 이루어지는 플루오르화탄소수지로 구성되어 있고, 통풍성을 차단할 수 있는 것이다. 시트(66)는 폭(단변 방향 길이)이 관통 구멍(80)의 집합체(76)가 형성하는 정방형 중, 좌우로 연장되는 변(도 2를 기준)의 길이(S)와 동등하거나 또는 그 이상의 길이를 가지고 있고, 상기 폭과 거의 직교하는 장변 방향 길이가 관통 구멍(80)의 집합체(76)의 길이(L) 이상의 길이를 가지고 있다. 구체적으로는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 시트(66)의 단부는 각각 개구 형성 부재(65)와 후술하는 개폐 부재(68)에 고정되고, 중간부가 중력에 의해 하방으로 늘어뜨려져 있기 때문에, 통기량을 조정할 때에 최초에 개구를 차폐하는 부위는 시트(66)의 중간부이다. 따라서, 시트(66)는 중간부로부터 개폐 장치(68)에 고정된 단부까지의 길이가 집합체(76)의 길이(L) 이상으로 하는 것이 바람직하다. 이로써, 시트(66)는 통기량 조정면(71) 의 관통 구멍(80)의 집합체(76)를 완전하게 덮을 수 있는 구성을 가지게 된다.

셔터(67)는 스테인리스 등의 금속으로 구성된 직사각형의 박판(薄板)이다. 셔터(67)는 상기한 바와 같이, 개구 형성 부재(65)의 셔터 삽통구(72)에 삽입하여 통과되고, 관통 구멍(80)을 통기하는 공기를 차폐할 수 있는 것이다. 즉, 셔터(67)는 삽입하여 통과 방향 길이가 관통 구멍(80)의 집합체(76)의 길이(S)보다 길고, 삽입하여 통과 방향에 직교하는 길이가 관통 구멍(80)의 집합체(76)의 길이(L)와 동등하거나 또는 그 이상의 길이를 가진다. 따라서, 관통 구멍(80)의 집합체(76)를 완전하게 차폐하는 경우는 시트(66) 또는 셔터(67)를 사용함으로써 통기를 정지시키는 것이 가능하다. 또, 셔터(65)의 삽입하여 통과 방향에 직교하는 단면적은 셔터 삽통구(72)의 개구 면적과 동등하거나 또는 그것보다 약간 작게 할 필요가 있다.

개폐 장치(68)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 액추에이터(73)를 구비하고 있고, 상기 액추에이터(73)는 열처리 장치(1)의 내부에 놓여진 압력 센서(도 8)의 신호에 기초하여 동작하는 것이다. 액추에이터(73)는 도 4에 도시하는 바와 같이, 모터(75)와, 슬라이드 유닛(74)을 구비하고 있다.

슬라이드 유닛(74)은 기어 박스(gear box; 79)로부터 막대 부재(78)가 돌출한 것이다. 기어 박스(79)는 내부에 도시하지 않는 랙 앤드 피니언(rack and pinion)이 내장된 것이며, 모터(75)의 회전력을 직선 이동력으로 변환하는 것이다. 본 실시형태에서는 모터(75)가 회전하면, 막대 부재(78)가 직선 이동한다.

본 실시형태에 채용된 액추에이터(73)의 기구에 있어서는 부재간의 스침이 생기지만, 주지의 댐퍼 등과 같이, 통기 유로에 기계 부품이 위치하고 있지 않기 때문에, 부재의 분진 등이 열처리 장치(1)의 내부로 유입되는 것이 거의 없다.

그리고, 열처리 장치(1)의 외부에는 수직 방향으로 신장한 가늘고 긴 지지 부재(84)와, 그 지지 부재(84)와 직교하도록 접합된 수평 방향으로 신장한 고정 부재(85)를 구비하고, 막대 부재(78)와 지지 부재(84)는 중간 부재(88)를 사이에 두고 접합되어 있기 때문에, 모터(75)의 구동력이 지지 부재(84)에 전동되어, 지지 부재(84) 및 고정 부재(85)가 직선적으로 수직 방향 상하로 이동한다.

지지 부재(84)는 수직 방향으로 나란히 배열한 모든 통기구에 걸치는 정도의 길이를 가지고 있고, 고정 부재(85)는 통기구의 수와 동수 설치되고, 통기구의 근방에 위치하도록 배치되어 있다. 또한, 고정 부재(85)에는, 시트(66)의 다른쪽 단부를 고정하는 시트 고정부(87)가 배치되어 있고, 통기량 조정면(71)의 개구 상태를 시트(66)에 의해 조정할 수 있다. 따라서, 액추에이터(73)를 구동함으로써, 지지 부재(84) 및 고정 부재(85)가 직선적으로 이동하여 시트(66)를 직선적으로 이동시키는 것이 가능해진다. 또, 시트 고정부(87)는 상기한 시트 고정부(86)와 동일한 구성을 가진다.

다음으로 통기 장치(61)의 조립 구조에 대하여 설명한다.

본 실시형태의 통기 장치(61)는 도 1에 도시하는 바와 같이, 열처리 장치(1)의 정면측에 배치되고, 열처리 장치(1)에 설치된 통기구(도시하지 않음)를 덮도록 배치되고, 나사 등에 의해 고정되어 있다.

개구 형성 부재(65)는 개방면(개구(69))측이 열처리 장치(1)에 인접하고, 통 기량 조정면(71)이 개방면과 대향하는 측에 배치되어 있다. 즉, 열처리 장치(1)의 통기구와 통기량 조정면(71)의 관통 구멍(80)은 연이어 통하고 있기 때문에, 외부로부터 열처리 장치(1)의 내부에 기체가 유입 가능하다. 또한, 개구 형성 부재(65)에 있어서의, 열처리 장치(1)의 측면과 개구 형성 부재(65)의 통기량 조정면(71)의 사이의 측면에는 셔터 삽통구(72)가 배치되어 있고, 그 셔터 삽통구(72)에 셔터(67)가 삽입하여 통과되어 적절한 위치에서 고정되어 있다. 즉, 셔터(67)를 삽입하여 통과하여 개구를 차폐함으로써, 열처리 장치(1)에 유입되는 기체의 통기량을 미리 제한하는 것이 가능하다.

또, 통기량 조정면(71)의 상방측에 위치하는 시트 고정부(86)에는 시트(66)의 한쪽의 단부가 고정되어 있다. 그리고, 시트(66)의 다른쪽의 단부는 개폐 장치(68)가 가지는 고정 부재(85)의 시트 고정부(87)에 고정되어 있다. 고정 부재(85)는 개폐 장치(68)의 일부를 구성하고 있고, 지지 부재(84)와 중간부재(88)를 사이에 두고 액추에이터(73)와 접합되어 있다. 또한, 시트 고정부(86)와 시트 고정부(87)는 평행하게 배치된 위치 관계이다. 즉, 액추에이터(73)의 구동에 의해, 고정 부재(85)에 고정된 시트(66)의 다른쪽의 단부는 항상 시트 고정부(86)와 평행한 위치 관계에서 이동시킬 수 있다. 바꿔 말하면, 시트(66)의 다른쪽의 단부를 이동시킴으로써, 통기량 조정면(71)의 관통 구멍(80)의 개방도를 조정하는 것이 가능해진다.

즉 통기 장치(61)의 개구 형성 부재(65)는 열처리 장치(1)의 흡기구를 구성하는 것이며, 통기량 조정면(71)은 부압 경향에 있다. 따라서 시트(66)는 통기량 조정면(71)에 흡착되고, 통기량 조정면(71)의 일부를 덮는다. 또 시트(66)의 다른쪽의 단부를 이동시킴으로써, 시트(66)의 늘어뜨림량이 바뀐다. 따라서 통기량 조정면(71)에 흡착되는 시트(66)의 흡착 면적이 변화되고, 통기량 조정면(71)의 유효 개방도를 조정하는 것이 가능해진다.

다음으로 본 실시형태의 열처리 장치(1)의 다른 구성 부분 및 동작에 대하여 도면을 사용하여 설명한다.

상기한 통기 장치(61)는 도 1에 도시하는 바와 같이, 열처리 장치(1)에 장착되어 기능한다.

열처리 장치(1)는 세로?가로?높이가 7m, 4m, 6m 정도인 거대한 장치이다.

열처리 장치(1)는 금속제로 상자형의 외벽부(2)를 가지고, 기기 수용부(3)가 설치되어 있고, 그 상방에 기판 처리부(5)가 설치된 구성으로 되어 있다. 기기 수용부(3)는, 기판 처리부(5)에 전력을 공급하는 전원 장치(도시하지 않음)나 기판 처리부(5)의 동작을 제어하는 제어장치(도시하지 않음) 등을 내장하고 있다.

기판 처리부(5)는 대략 직방체이며, 도 1이나 도 7에 도시하는 바와 같이 정면측에 도시하지 않는 로봇 핸드 등의 이재 장치에 의해 기판을 출납하기 위한 기판 반입구(6)를 4개 가지고 있다. 또 기판 반입구(6)와 같은 면에는, 통기 장치(61)가 설치되어 있다. 본 실시형태에서 채용하는 통기 장치(61)에서는 개구 형성 부재(65)가 종렬로 4개 실치되어 있다.

기판 처리부(5)의 한쪽 측면(흡기구측)으로부터는 송풍기(8)의 일부가 돌출되어 있다. 송풍기(8)는 열처리 장치(1) 내에 있어서 열풍을 순환시키기 위한 것 이다.

다른 한쪽 측면에는 문(10)이 설치되어 있다. 문(10)은 메인티넌스 시에 열고 작업자가 출입하기 위하여 설치되어 있다.

상기한 기판 반입구(6)에는 에어 실린더(11)의 작동에 연동하여 개폐하는 셔터(9)가 장착되어 있다.

기판 처리부(5)의 내부는 평면적으로 보아 도 6과 같이 크게 2개의 영역으로 나누어져 있다. 즉 기판 처리부(5)의 내부는 열처리실(12; 가열실)과 열풍 공급부(온도 조절 수단; 14)로 나누어져 있다.

여기에서 열풍 공급부(14)는 열처리실(12) 내에 열풍을 순환시키는 장치가 내장된 부위이다. 보다 구체적으로는 열풍 공급부(14)는 열처리 장치(1)의 내부에 도입된 외기나, 열처리실(12)의 하류단으로부터 되돌아온 공기 등을 가열하여, 열처리실(12) 내에 보내기 위한 것이고, 송풍기(8)나 가열기(도시하지 않음) 등을 구비하고 있다. 또 열풍 공급부(14)의 기판 처리부(5)측의 면에는 필터(15)가 설치되어 있다.

열처리실(12; 가열실)은 필터(15)가 장착된 상류벽(20) 및 단열재에 의해 구성되는 주벽(13)에 의해 둘러싸인 방이다.

열처리실(12; 가열실)의 중앙에는 재치 선반(16)을 포함하는 기판 환장 시스템(18)이 배치되어 있다.

열처리실(12)은 상류벽(20)을 구성하는 필터(15)의 개구를 통하여 열풍 공급부(14)와 연이어 통하고 있다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 열처리실(12)의 대략 중앙부에는, 기판 환장 시스템(18)이 배치되어 있다. 기판 환장 시스템(18)은 기판을 적재하기 위한 재치 선반(16)과, 상기 재치 선반(16)을 전체적으로 승강시키는 승강 장치(21)에 의해 구성되어 있다.

또 실제의 재치 선반은 30단계 이상의 단계부를 가지지만, 작도 관계상, 8단계의 단계부를 가지는 것으로서 도시한다. 따라서 도시된 재치 선반(16)은 높이 방향의 비율이 실제보다도 축소되어 있다.

본 실시형태의 열처리 장치(1)는 공지한 열처리 장치와 마찬가지로, 열처리실(12) 내의 재치 선반(16)에 유리 기판을 설치하고, 열처리한다.

즉 승강 장치(21)를 동작시켜 승강대(25)를 승강하고, 재치 선반(16)의 어느 한쪽의 단계부의 높이를 어느 한쪽의 환장구(6)의 높이에 일치시킨다. 그리고 도시하지 않는 로봇으로 기판(W)을 보유하고, 환장구(6)를 열어 열처리실(12) 내의 재치 선반(16)의 상기 단부에 유리 기판(W)을 설치한다.

그 후에 다시 승강 장치(21)의 승강대(25)를 동작시키고, 다른 어느 한쪽의 단계부의 높이를 어느 한쪽의 환장구(6)의 높이에 일치시켜서 다른 기판(W)을 삽입한다. 이하, 이 동작은 반복하여 재치 선반(16)의 모든 단계부에 기판(W)을 장착한다.

한편, 열처리 장치(1) 내에서는 열풍 공급부(14)의 송풍기(8) 및 가열기(도시하지 않음)를 기동하고, 열처리실(12) 내를 열풍의 통풍 분위기로 한다.

또 도 8과 같이 열처리실(12)에는 배기 덕트(30)가 설치되어 있고, 상기 배 기 덕트(30)의 중도에 송풍기(31)가 설치되어 있다. 또 본 실시형태에서는, 배기 덕트(30)와 송풍기(31)에 의해 배기 장치(28)가 구성되어 있다.

또 송풍기(31)의 모터는, 인버터 제어되고 있고, 회전수를 임의로 변경할 수 있다. 본 실시형태에서는 열처리실(12)에서 열처리하는 기판의 매수에 따라서, 모터의 회전수가 변경된다. 즉 열 처리하는 기판의 수가 많은 경우에는, 모터의 회전수를 상승시켜서 환기량을 증대시키고, 기판의 수가 적은 경우에는 모터의 회전수를 감소하여 환기량을 감소시킨다.

본 실시형태의 열처리 장치(1)에서는 기판을 가열할 때에 생기는 가스를 외부로 배기하기 위하여, 송풍기(31)가 상시 운전되고 있고, 열처리 장치(1) 내부의 압력이 부압 경향이 되지만, 통기 장치(61)를 설치함으로써 열처리 장치(1)의 내외에 있어서의 압력차가 거의 없는 상태로 할 수 있다.

즉 본 실시형태의 열처리 장치(1)에서는 내부의 압력을 검지하는 압력 센서를 가지고, 상기 압력 센서의 신호를 액추에이터(73)에 피드백하고, 통기 장치(61)의 유효 개방도를 조절하여 통기량을 조정하고 있다. 즉, 열처리 장치(1)의 외부의 압력과, 내부 압력의 차이에 의존한 제어를 행하고 있고, 열처리 장치(1)의 내부에 배치한 압력 센서가 발신한 신호를 도시하지 않는 제어장치가 수신하고, 내부의 압력이 대기압보다도 낮으면 액추에이터(73)가 동작하여 시트(66)를 상측 방향으로 이동시켜서 통기 장치(61)의 유효 개방도를 증대시킨다.

한편, 열처리 장치(1)의 내부의 압력이 대기압에 가깝거나 위라면, 액추에이터(73)가 동작하여 시트(66)를 하측 방향으로 이동시켜 통기 장치(61)의 유효 개방 도를 저하시킨다.

보다 구체적으로 설명하면, 도 5에 도시하는 상태에서, 열처리 장치(1)의 내외에서의 압력차가 큰 경우(열처리 장치(1)내가 부압)는, 지지 부재(84)가 수직 방향 상향으로 이동하도록 액추에이터(73)의 회전을 제어함으로써, 시트(66)의 다른쪽의 단부가 상방으로 이동한다. 이로써, 도 2에 도시하는 바와 같이, 시트(66)가 통기량 조정면(71)의 관통 구멍(80)의 집합체(76)를 덮는 면적이 작아지기 때문에, 시트(66)가 관통 구멍(80)을 차폐하는 면적이 작아진다. 바꿔 말하면, 열처리 장치(1) 내에 유입되는 기체의 양이 대폭 증가하고, 열처리 장치(1)의 내외에서의 압력차가 작아지도록 제어할 수 있다.

그리고, 개방도를 넓혀서 압력차가 작아지면, 액추에이터(73)가 가지는 모터(75)를 앞서 설명한 방향과 반대 방향으로 회전시켜서, 시트(66)의 다른쪽의 단부를 하방으로 이동시킴으로써, 도 5에 도시하는 바와 같이, 시트(66)가 통기량 조정면(71)의 관통 구멍(80)의 집합체(76)를 덮는 면적을 크게 한다. 이로써, 통기 장치(61)를 통과하는 공기량이 감소되기 때문에, 다시 내외의 압력차가 커지고, 압력차를 작게 하는 제어가 다시 실행된다. 또, 본 실시형태의 통기 장치(61)에서 채용하고 있는 제어 방법은 개폐 방향만 제어하고 있고, 비례 제어를 채용하고 있지 않으므로, 시트(66)는 항상 승강하게 된다. 그래서 장치의 진동을 방지할 목적으로부터, 액추에이터(73)의 동작 속도를 늦게 설정하고 있다.

비례 제어를 채용하면, 액추에이터(73)의 회전수를 고속으로 하여 통기량을 급격하게 증가시키는 제어를 행하여도 좋다.

본 실시형태에서 채용하는 통기 장치(61)에 따르면, 열처리 장치(1)의 내외의 압력차를 거의 발생시키지 않는 제어를 실행할 수 있기 때문에, 기판을 기판 반입구(6)로부터 도입할 때라도, 기판 반입구(6)로부터 급격하게 외부의 기체가 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이로써, 기판 반입구(6)로부터 급격하게 기체가 유입되는 것이 억제되어, 열처리 장치(1)의 내부의 온도가 변동하거나 온도 분포가 흐트러지는 것을 방지할 수 있다.

또, 본 실시형태의 통기 장치(61)는 액추에이터(73)가 구동하여 지지 부재(84)를 수직 방향으로 직선적으로 이동시킴으로써, 도 5에 도시하는 바와 같이, 시트(66)가 관통 구멍(80)의 집합체(76)를 차단하고, 통기하는 기체의 압력에 의해 시트(66)가 관통 구멍(80)의 집합체(76)에 흡착되어, 통기하는 기체의 양을 조정한다. 즉, 통기량을 제어할 때는 기체가 통기하는 개구를 시트(66)의 흡착 면적만으로 조정할 수 있기 때문에, 부재끼리가 서로 스치고, 부재의 분진이 발생는 일이 없다. 따라서, 본 실시형태의 열처리 장치(1)에 따르면, 통기량을 조정하여도 통기 장치(61)의 개구 근방에서 부재의 마모가 생기지 않기 때문에, 마모에 의해 생기는 분진 등이 열처리 장치(1)의 내부에 유입되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 제조 과정의 기판에 분진 등이 부착되지 않기 때문에, 제품 가치를 저하시키는 일이 없다. 또한, 통기량을 조정할 때에, 시트(66)에는 대부분 부하가 걸리지 않기 때문에, 부재의 정기적인 메인티넌스를 요하지 않는다.

또 본 실시형태의 통기 장치(61)는 시트(66)에 의한 유효 개구 면적의 증감과는 달리, 셔터(67)에 의해도 유효 개구 면적을 증감할 수 있다. 셔터(67)는 동 력에 의해 동작시키는 것이 아니며, 일정한 개방도로 고정하는 것이다. 따라서 셔터(67)는 하나의 개구 형성 부재(65)의 통기 능력 자체를 증감하는 것이라고 말할 수 있다.

본 실시형태에서 채용하는 통기 장치(61)는 복수의 개구 형성 부재(65)를 가지는 것이며, 셔터(67)를 각각에 조절함으로써, 각 개구 형성 부재(65)로부터 도입되는 공기량의 비율을 변화시킬 수 있다.

즉 본 실시형태에서 채용하는 통기 장치(61)는 복수의 개구 형성 부재(65)를 가지지만, 시트(66)의 동작은 연동하고 있기 때문에, 각 개구 형성 부재(65)에 있어서의 셔터(67)의 위치가 동일하면, 시트(66)의 동작 위치에 상관없이, 어느 쪽의 개구 형성 부재(65)의 유효 개구 면적이라도 동일하게 된다.

이것에 대하여 셔터(67)의 위치에 변화를 설정하면, 어느 쪽의 개구 형성 부재(65)에 있어서도 시트(66)의 동작 위치에 따라서 시트가 덮는 면적이 동일하도록 변화되지만, 그 때의 각 개구 형성 부재(65)의 유효 개구 면적은 다르다.

이러한 성질을 이용하여 열처리 장치(1) 내의 온도 분포를 균일화할 수 있다.

즉 열처리 장치(1)에 요구되는 품질의 하나로서, 열처리실(12)(가열실) 내부의 온도 편차가 작은 것을 들 수 있다. 여기서 경험칙상, 가열실 내의 온도는 상하에서 편차가 크다.

상기한 실시 형태의 열처리 장치(1)에서 채용하는 통기 장치(61)는 복수의 개구 형성 부재(65)를 가지고, 이것이 상하로 배열되어 있다. 따라서 각각의 셔 터(67)의 위치를 변화시키면, 상기 높이의 위치에 도입되는 공기량의 비율을 변경할 수 있다. 따라서 높이에 의한 온도 편차를, 도입하는 공기량의 차이에 의해 보정할 수 있다.

경험칙상, 열처리실(12)의 온도는 상부측이 높고 하부측은 온도가 낮다. 따라서 셔터(67)의 위치는 상부에 위치하는 것일수록 크게 열리는 것으로 한다.

이렇게 함으로써, 고온으로 되는 경향이 있는 상부측에 비교적 대량의 공기가 도입되고, 저온으로 되는 경향이 있는 저부에는 소량의 공기가 도입되어, 열처리실(12) 내부의 온도가 평활화한다.

본 실시형태에서는 액추에이터(73)의 제어를 열처리 장치(1)의 내외의 압력차에 의존한 개폐 방향만의 제어로 하였지만, 본 발명은 이 구성에 한정되는 것은 아니며, ON/OFF 제어나 비례 제어를 사용하여 압력이 안정되는 위치에서 액추에이터(73)의 구동을 정지시킬 수 있는 구성이라도 상관없다.

본 실시형태에서는 1개의 지지 부재(84)에 4개의 고정 부재(85)를 접합하는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이 구성에 한정되지 않고, 1개의 고정 부재(85)에 대하여 1개의 지지 부재(84)를 접합하여 각각에 액추에이터(73)를 접속한 구성이라도 상관없다. 그러나, 이 구성이면, 부재수가 늘어나고, 대폭적인 가격의 증가로 연결되는 경우가 있기 때문에, 상기한 실시 형태의 구성이 바람직하다.

본 실시형태에서는 시트(66)의 단부를 개구 형성 부재(65)와 개폐 장치(68)의 고정 부재(85)에 고정하여 시트(66)의 중간부를 자체 무게에 의해 하방으로 늘어뜨리는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 9a에 도시하는 바와 같이, 시트(66)의 중간부의 하방으로 늘어뜨려진 봉지모양의 위치에 통형의 추를 배치하는 구성이라도 상관없다. 이로써, 시트(66)를 시트 고정부(86)를 기준으로 개구부를 덮는 방향(한쪽의 방향)으로 확실하게 가압하는 것이 가능해지고, 통기량을 조정할 때에 시트(66)가 흐트러지는 것을 방지할 수 있다. 즉, 시트(66)는 추에 의해 항상 상기 한쪽의 방향으로, 일정한 인장력이 작용하기 때문에, 시트(66)에 생길 수 있는 주름 등의 발생이 억제된다. 또한, 도 9a에 도시하는 바와 같이, 추의 양단에 L자형의 부재를 부착하거나, 도 9b에 도시하는 바와 같이, 추의 양단에 추보다 외경이 큰 원형의 부재를 부착하여, 추가 낙하하지 않도록 하는 것이 바람직하다.

또한. 도 9c에 도시하는 바와 같이, 추에 더하여, 스프링 등의 인장력을 사용하여 더욱 강력하게 가압하는 구성이라도 상관없다.

본 실시형태에서는 개구 형성 부재(65)를 가지는 관통 구멍(80)의 집합체(76)의 형상을 대략 정방형으로 하는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 도 10에 도시하는 바와 같이, 집합체(76)의 형상을 사다리꼴로 한 구성이라도 상관없다.

본 실시형태에서는 셔터(67)가 대략 정방형으로 하는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 도 11에 도시하는 바와 같이, 셔터에 노치부(74)를 형성하여 셔터(67)의 형상을 사다리꼴로 한 구성이라도 상관없다.

본 실시형태에 따르면, 셔터(67)의 이동량과, 개구 면적의 관계를 변화시킬 수 있다. 같은 효과를 가지는 예로서는, 도 12에 도시하는 바와 같이 셔터에 개 구(관통한 구멍; 89)를 형성하는 방책이 생각된다.

본 실시형태에서는 셔터(67)를 집합체(개구부; 76)에 대하여 직선적으로 이동시키는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이 구성에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 13에 도시하는 바와 같이, 슬릿형의 개구(관통한 구멍)를 복수 형성한 원형상의 부재(셔터)를 통기량 조정면(71)에 대하여 회전시키는 구성이라도 상관없다. 즉, 통기량 조정면(71)의 중심과 원형상의 셔터의 중심을 회전 가능하게 피벗 지지하고, 상기 셔터를 회전시켜서 통기량 조정면(71)의 관통 구멍(80)과 상기 셔터의 개구를 맞추거나, 비켜 놓거나 함으로써 통기량을 조정하는 구성이 감안된다. 이 경우, 통기량 조정면(71)의 관통 구멍(80)은 상기 셔터의 개구와 대략 같은 형상으로 하는 것이 바람직하다.

본 실시형태에서는 1장의 시트(66)를 채용한 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 도 14에 도시하는 바와 같이, 2장 이상의 시트(66)를 사용하여도 상관없다. 그 경우, 각각의 시트(66)의 통풍성을 변화시키는 것이 바람직하다.

본 실시형태에서는 통기량 조정면(71)과 시트(66)의 타단측이 이동하는 평면이 대략 평행하게 되는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니며, 도 15에 도시하는 바와 같이, 통기량 조정면(71)과 시트(66)의 타단측이 이동하는 평면이 비스듬하게 교차하는 구성이라도 상관없다.

즉 본 실시형태에서는 통기량 조정면(71)이 경사 자세로 되어 있다. 따라서 시트(66)를 승강시킨 경우에 시트(66)와 통기량 조정면(71)의 접촉이 확실하게 행 해진다.

본 실시형태에서는 시트(66)가 폴리테트라플루오로에틸렌으로 이루어지는 플루오르화탄소수지에 의한 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 통풍성이 없고, 내구성이 있는 소재이면 좋다.

본 실시형태에서는 셔터(67)를 수동으로 작동하는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 모터 등의 구동력을 사용하여 자동으로 작동시키는 구성이라도 상관없다.

본 실시형태에서는 시트(66)의 타단부를 수직 방향 상하로 이동시키는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 시트(66)의 타단부를 집합체(76)에 대하여 직교하는 방향 또는 수직성분과 수평성분을 포함하는 방향(곡선을 포함함)으로 이동시켜도 상관없다. 그 경우, 상기한 실시 형태보다도 시트(66)의 길이를 길게 또는 짧게 하는 것이 바람직하다.

본 실시형태에서는 시트(66)의 중간부가 수직 방향 하방으로 늘어뜨려지고, 시트(66)의 타단이 고정된 고정 부재(85)를 하방으로 이동시키는 구성을 나타내었지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 시트(66)의 중간부가 수직 방향 상측 또는 수평 방향으로 향하는 구성이라도 상관없다. 그 경우라도, 시트(66)의 중간부가 집합체(76)를 차단하도록 이동시키는 것이 바람직하다.

도 1은 본 발명의 실시 형태의 열처리 장치를 도시하는 사시도.

도 2는 본 발명의 실시 형태의 열처리 장치에 채용하는 통기 장치(개구부 열림 상태)를 도시하는 사시도.

도 3a는 도 2의 통기 장치의 개구 형성 부재의 측면도 및 도 3b는 열처리 장치의 벽면을 포함하는 단면도.

도 4는 도 2의 통기 장치의 정면도.

도 5는 도 2의 통기 장치(개구부 일부 차폐 상태)를 도시하는 사시도.

도 6은 도 1에 도시하는 열처리 장치의 평면 단면도.

도 7은 도 1에 도시하는 열처리 장치의 분해 사시도.

도 8은 도 1에 도시하는 열처리 장치의 흡배기 기구를 도시하는 설명도.

도 9a 내지 도 9c는 본 발명의 변형예의 통기 장치를 도시하는 계략도이며, 도 9a 및 도 9b는 추에 의한 가압이고, 도 9c는 추와 스프링에 의한 가압이다.

도 10은 본 발명의 변형예(집합체의 형상)의 통기 장치를 도시하는 계략도.

도 11은 본 발명의 변형예(셔터의 형상)의 통기 장치를 도시하는 계략도.

도 12는 본 발명의 변형예(셔터의 형상)의 통기 장치를 도시하는 계략도.

도 13은 본 발명의 변형예(셔터의 형상)의 통기 장치를 도시하는 계략도.

도 14는 본 발명의 변형예(2장 시트)의 통기 장치를 도시하는 계략도.

도 15는 본 발명의 변형예(통기량 조정면 기울기)의 통기 장치를 도시하는 계략도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

1: 열처리 장치 6: 기판 반입구

(피가열물을 가열실 내로부터 출납하는 개구부)

12: 열처리실(가열실) 14: 열풍 공급부(온도 조절 수단)

28: 배기 장치 61: 통기 장치

65: 개구 형성 부재(흡기구) 66: 시트

67: 셔터 71: 통기량 조정면

73: 액추에이터 76: 집합체(개구부)

80: 관통 구멍

Claims (8)

1. 피가열물을 가열하는 가열실과, 가열실 내의 온도를 조절하는 온도 조절 수단과, 피가열물을 가열실 내로부터 출납하는 개구부와, 가열실 내의 공기를 배출하는 배기 장치와, 가열실 내에 공기를 도입하며 통기 장치가 설치되어 있는 흡기구를 가지는 열처리 장치에 있어서,

   상기 흡기구는, 동력에 의해 유효 개구 면적을 증감시키는 개구 조절 기능을 구비하고,

   상기 개구 조절 기능은 가열실 내의 압력에 따라서 흡기구의 유효 개구 면적을 증감할 수 있으며,

   상기 통기 장치는, 기체가 유통하는 개구부와, 시트를 가지고, 상기 시트는, 일단측이 상기 개구부 또는 개구부의 근방에 고정되어 있고, 타단측을 이동시킴으로써, 상기 시트의 중간부가 상기 개구부를 덮는 방향으로 이동하고, 개구부를 통과하는 기체의 압력에 의해서 개구부측에 흡착되는 것이며, 상기 개구부를 덮는 시트의 흡착 면적의 크기에 의해, 개구부의 유효 개구 면적을 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 배기 장치는 배기량을 변화시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 흡기구는 복수 설치되어 있고, 각 흡기구는 상기 가열실에 대한 설치 높이가 다른 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 흡기구는 최대 개구 면적이 다른 것이 혼재하고, 상부측에 설치되는 흡기구는 다른 흡기구보다 최대 개구 면적이 큰 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
5. 제 3 항에 있어서, 개구 조절 기능은 복수의 흡기구의 유효 개구 면적의 증감을 연동하여 행하는 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
6. 삭제
7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 열처리 장치는 가열실 내의 압력을 검지하는 압력 검지 수단을 구비하고,

   상기 통기 장치는 시트의 타단측을 이동시키는 액추에이터를 구비하고,

   상기 액추에이터는 상기 압력 검지 수단으로부터의 신호에 기초하여, 개구부의 유효 개구 면적을 조절하는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.
8. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 통기 장치에는 개구부의 개폐가 가능한 셔터가 구비되고,

   상기 셔터에 의해서도 개구부의 유효 개구 면적을 변화시키는 것이 가능한 것을 특징으로 하는 열처리 장치.

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