CN101315251B - 气体处理单元 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种附设于热处理单元上的气体处理单元。热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，所收容的被热处理物可从热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与热处理室连通。气体处理单元包括：气体通道，具有通过第一连接部可拆卸地与气体导入部连接的导入管、以及通过第二连接部可拆卸地与气体导出部连接的导出管，气体通道用于将热处理用气体导入到气体导入部中，并且从气体导出部导出气体；催化剂，分解从气体导出部导出的气体中所含的升华物，升华物从被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及鼓风机，将热处理用气体及进行热处理后的气体向规定方向引导。由此，能迅速对待鼓风机或加热器等电气设备发生故障的情况。

Description

气体处理单元

技术领域

本发明涉及附设在用于对被热处理物进行热处理的热处理单元上的气体处理单元。 

背景技术

以往的热处理装置，一边使热处理室内的空气发生循环一边对热处理室内进行加热，由此对收容于热处理室内的被热处理物进行热处理。这种热处理装置例如在平板显示器(FPD：Flat Display Panel)的制造过程中用于对光刻胶或有机薄膜的预烘(pre-bake)工序、后烘(post-bake)工序。在这些工序中，对玻璃基板等被热处理物进行热处理时，光刻胶等中所含有的挥发性成分气化，生成大量升华物，存在所述升华物重新结晶，飞散或附着到热处理装置内等的问题。 

作为解决所述问题的对策，例如日本专利公开公报特开平10-141868号中公开这样一种方案，即，一边将外部气体加热并送入所述热处理室内，一边使所述热处理室内的空气经导出管排出，以对所述热处理室内进行换气。如此对热处理室内进行换气，可抑制升华物重新结晶并附着到热处理装置内。 

然而，在日本专利公开公报特开平10-141868号所公开的热处理装置中，气体处理部包括加热器和用于使加热后的空气在热处理室的内外循环的鼓风机，并且，这种气体处理部与热处理部一体设置在热处理部的外壁与热处理室之间，因此，存在如果所述气体处理部的鼓风机或加热器等电气设备发生故障，在其修理完成前无法进行热处理作业的问题。 

发明内容

本发明的目的在于提供一种可解决所述问题的气体处理单元。 

本发明的另一目的在于将热处理部和气体处理部作为不同单元，提供一种气体处理单元，该气体处理单元具有鼓风机或加热器等电气设备，附设于具有热处理室的热处理单元上，即使鼓风机或加热器等电气设备发生故障，也能迅速对待该故障情况。 

本发明提供一种气体处理单元，该气体处理单元附设于热处理单元上，该热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从该热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与所述热处理室连通；所述气体导入部的进气侧端上设置有连接用凸缘，所述气体导出部的出气侧端上设置有连接用凸缘，该气体处理单元包括：气体通道，具有通过连接装置可拆卸地与所述气体导入部的连接用凸缘连接的设置有连接用凸缘的导入管、以及通过连接装置可拆卸地与所述气体导出部的连接用凸缘连接的设置有连接用凸缘的导出管，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部中，并且从所述气体导出部导出气体；催化剂，分解从所述气体导出部导出的气体中所含有的升华物，该升华物从所述被热处理物产生；加热器，至少加热所述催化剂；以及一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及从所述气体导出部导出的气体向规定方向引导。由此，即使鼓风机或加热器等电气设备发生故障，也能迅速对待该故障情况。 

附图说明

图1是本发明第一实施方式所涉及的热处理装置的简图。 

图2是本发明其他实施方式所涉及的热处理装置的简图。 

图3是本发明另外的实施方式所涉及的热处理装置的简图。 

图4是本发明第二实施方式所涉及的热处理装置的简图。 

图5是本发明第三实施方式所涉及的热处理装置的简图。 

图6是本发明第四实施方式所涉及的热处理装置的简图。 

具体实施方式

以下参照附图对本发明的较佳实施方式进行详细的说明。 

(第一实施方式) 

图1是本发明第一实施方式所涉及的热处理装置的简图，该热处理装置包括气体处理单元和连接于该气体处理单元的热处理单元。所述热处理装置1A例如用于平板显示器的制造工序，是设置于无尘室(clean room)内的所谓洁净烘箱(clean oven)。 

在热处理装置1A中，气体处理单元20A附设于热处理单元10上。热处理单元10具有用于收容被热处理物(以下也称为工件)W的热处理室11，该被热处理物W可以从该热处理室11中取出。气体处理单元20具有气体通道21A，该气体通道21A用于将热处理用气体(例如，加热用空气)导入到热处理单元10的热处理室11内，并且从热处理室11导出进行热处理后的气体(例如，进行热处理后的空气)。 

热处理单元10具有：气体导入部12，用于从气体处理单元20A导入热处理用气体；以及气体导出部13，用于从热处理室11导出进行热处理后的气体。热处理室11的外侧由 隔热壁11a围绕。 

在热处理室11的内侧设置有保持部件(未图示)，该保持部件例如可以将一个或两个以上的被热处理物W支撑并保持在规定状态。保持部件设置于图1中双点划线所示的位置上。所述气体导入部12呈管状，与热处理室11连通，并具有配置于气体导入部12的进气侧端上的连接用凸缘14。所述气体导出部13也呈管状，与热处理室11连通，并具有配置于气体导出部13的出气侧端上的连接用凸缘15。 

气体处理单元20A的气体通道21A具有：导入管22，连接于气体导入部12；导出管23，连接于气体导出部13；以及气体处理管24，设置于导入管22与导出管23之间。 

导入管22的出气侧端上设置有连接用凸缘25，该连接用凸缘25与气体导入部12的连接用凸缘14相连接。所述凸缘14、25构成第一连接部。导出管23的进气侧端上设置有连接用凸缘26，该连接用凸缘26与气体导出部13的连接用凸缘15相连接。所述凸缘15、26构成第二连接部。例如用螺栓、螺母等连接装置连接第一连接部中的凸缘25和凸缘14，并例如用螺栓、螺母等连接装置连接第二连接部中的凸缘26和凸缘15，就可以连接热处理单元10的热处理室11与气体处理单元20A的气体通道21A并使这些连通，形成循环通道。并且，在气体通道21A的适当位置上设置有用于调整风量的震动器(未图示)。 

另外，所述气体处理管24中设置有催化剂(catalyst：触媒)30、加热器31、鼓风机32以及前处理剂33。鼓风机32用于使空气在所述循环通道内循环，加热器31用于加热催化剂30及空气。由加热器31加热后的空气经过导入管22进入热处理室11，在热处理室11内加热被热处理物W。在进行加热该被热处理物W的热处理时，会从被热处理物W产生升华物(sublimate)。进行热处理后的空气中含有所述升华物，该含有升华物的空气经过所述气体导出部13及所述导出管23流经催化剂30。 

催化剂30用于促进进行热处理后的空气中含有的升华物的氧化分解反应，例如可以采用白金(Pt)、钯(Pd)等贵金属或这些贵金属的合金等活性金属。所述催化剂30在大约150～350℃的温度空气下可以得到催化性能。因此，本实施方式中，在催化剂30的前侧(在空气流经循环通道的方向上比催化剂30靠近上游的位置)配置加热器31。另外，在被称为催化毒物(catalyst poison)的物质(例如含有Si、P、S等的有机化合物)混入升华物中，有可能使催化剂30中毒(失效)的情况下，为防止催化剂30中毒，较为理想的是，在催化剂30的前侧设置前处理剂33。 

如上所述，在第一实施方式所涉及的气体处理单元20A具有鼓风机32及加热器31，该气体处理单元20A可拆卸地附设于具有热处理室11的热处理单元10上。因此，即使鼓 风机32或加热器31发生故障，也可以通过以下步骤就能够立即重新开始热处理作业，即：从第一连接部中的凸缘14、25上拆下连接装置(例如螺栓、螺母)，且从第二连接部中的凸缘15、26上拆下连接装置(例如螺栓、螺母)，由此从热处理单元10上取下气体处理单元20A，再将事先准备好的其他气体处理单元20A，与所取下的气体处理单元20A同样地安装于热处理单元10上。由此，可迅速对待鼓风机32等故障的情况。 

另外，如图2所示，也可以将气体处理能力相同(后述)并具有相同结构的两个气体处理单元20A安装于同一个热处理单元10上，由此可适用于热处理能力(例如热量或热处理室11的容积等)较大的热处理单元10。换言之，根据热处理单元10的热处理能力，可以调整具有相同结构的气体处理单元20A的安装个数。因此，无需根据热处理单元10的各种热处理能力，分别制作气体处理能力(催化剂30对升华物的氧化分解能力)与热处理单元10的热处理能力相符合的不同气体处理单元20A，因此可减少气体处理单元20A的种类。 

另外，在第一实施方式中，形成有使从热处理室11导出的气体依次流经导出管23、气体处理管24及导入管22后再次流回热处理室11这样一种循环通道，因此，用一个鼓风机32就可以使气体发生循环，并且用加热器31就可以对催化剂30和气体都进行加热。 

如图2所示，为了安装两个气体处理单元20A，在热处理单元10上设置有两个气体导入部12、12a及两个气体导出部13、13a。图2中的14a是设置于气体导入部12a的连接用凸缘，图2中的15a是设置于气体导出部13a的连接用凸缘。在这种结构中，仅使用一个气体导入部12及一个气体导出部13的情况下，如图3所示，在另一个气体导入部12a及气体导出部13a上装上盖18，堵住气体导入部12a及气体导出部13a。 

另外，也可以在一个热处理单元上安装三个以上的气体处理单元20A，并且，多个气体处理单元20A中可以包含气体处理能力不同的气体处理单元。 

(第二实施方式) 

图4是本发明第二实施方式所涉及的热处理装置的简图，在该热处理装置中，气体处理单元连接于热处理单元上。在图4中，对与图1相同的构件标注了相同的附图标记。 

在该热处理装置1D中，将第二实施方式的气体处理单元20D附设于热处理单元10上，第二实施方式中的气体处理单元20D的结构不同于第一实施方式中的气体处理单元20A。即，气体处理单元20D包括气体通道21D，该气体通道21D具有：开放端22a，设置在导入管22的进气侧端；以及开放端24a，设置在气体处理管24的出气侧端。气体处理管24中设置有催化剂30和加热器31，导入管22中设置有鼓风机34与加热器35。另 外，导入管22、导出管23及气体处理管24都被共同的支撑部件29支撑，由此将凸缘25、26的位置关系保持不变。并且，虽图4中未示出前处理剂，但也可在气体处理管24中设置前处理剂。 

在具有所述结构的热处理装置1D中的气流如下所示。即，从开放端22a流入导入管22中的空气经加热器35被加热后，流入热处理室11内，在热处理室11内对工件W进行热处理。对工件W进行了热处理的空气(进行热处理后的空气)中会含有升华物。进行热处理后的空气经导出管23引入气体处理管24，在气体处理管24内与催化剂30接触。由此，进行热处理后的空气通过氧化分解反应除去其中的升华物，而后从开放端24a排出。此外，图4中的16是挡板，用于阻止空气在热处理室11的内部发生逆流，并使空气从气体导入部12流向气体导出部13，由于设置有该挡板16，在热处理室11内，与气体导入部12相反的一侧形成通道16a。挡板16配置于热处理室11内。 

如上所述，第二实施方式的气体处理单元20D也可拆卸地附设于具有热处理室11的热处理单元10上，因此，即使鼓风机34或加热器31或35发生故障，也与第一实施方式相同，通过将发生故障的气体处理单元20D更换成事先准备好的其他气体处理单元20D，可以迅速对待故障。另外，与第一实施方式相同，如果采用可以将两个以上的气体处理单元20D(可以包含气体处理能力不同的气体处理单元20D)安装于一个热处理单元10上的结构，则无需根据热处理单元10的各种热处理能力分别制作不同的气体处理单元20D，因此可减少气体处理单元20D的种类。另外，在所述结构中，对于不使用的气体导入部及气体导出部，装上盖子(未图示)将其堵住即可。而且，由于导入到热处理室11内的空气被设置于导入管22中的气体加热用加热器35加热，因此可将气体加热用加热器35专门用于热处理室11的温度控制，并将设置于气体处理管24内的加热器31专门用于催化剂30的温度控制。因此，在不受到被热处理物W的加热温度影响的状态下，可以将催化剂30的温度设定为可得到催化性能的最佳温度。 

并且，在第二实施方式中，由于从导入管22的所开放的进气侧端22a吸入的空气先经加热器35被加热，然后再被导入到热处理室11内，因此，导入到热处理室11内的空气不含升华物。因此，由于可以始终将新鲜空气导入到热处理室11内，实现催化剂30对升华物的氧化分解反应性能难以降低。另外，在该气体处理单元20D中，由于导入管22与气体处理管24通过热处理室11连通，因此，通过在导入管22中设置鼓风机34，可以将气体导入到热处理室11内，并可以从热处理室11导出气体。 

此外，在所述第二实施方式中，将鼓风机34设置于导入管22中，但并不仅限于此。 例如，也可以将鼓风机34设置于导出管23和气体处理管24中，或也可以将鼓风机34设置于导入管22、气体处理管24及导出管23的至少其中之一中。 

(第三实施方式) 

图5是本发明第三实施方式所涉及的热处理装置的简图，在该热处理装置中，气体处理单元连接于热处理单元上。在图5中，对与图4相同的构件标注了相同的附图标记。 

在所述热处理装置1C中，将第三实施方式的气体处理单元20C附设于与图4所示的热处理单元10相同的热处理单元10上。该第三实施方式的气体处理单元20C在具有连接管28这一点上不同于第二实施方式的气体处理单元20D。即，气体处理单元20C包括气体通道21C，该气体通道21C具有用于将气体处理管24与导入管22连通的连接管28。连接管28的一端部连接于气体处理管24的设置有催化剂30、加热器31及鼓风机32的位置与出气侧端24a之间。连接管28的另一端部连接于导入管22的中途部分。在这种气体处理单元20C中，将加热器35和鼓风机34设置于导入管22中比连接管28所连接的部位靠近下游的位置上。此外，虽然在图5中未示出前处理剂，但也可设置前处理剂。另外，可省略所述鼓风机32。 

在具有所述结构的热处理装置1C中的气流如下所示。即，从开放端22a流入导入管22中的空气经加热器35被加热后，流入热处理室11，在热处理室11内对工件W进行热处理。用于热处理的进行热处理后的空气中会含有升华物。该进行热处理后的空气经导出管23导入到气体处理管24内，与催化剂30接触。进行热处理后的空气经过催化剂30发生氧化分解反应，由此除去升华物，然后从开放端24a排出，或通过连接管28及导入管22，流回热处理室11。此外，图5中的16是与第二实施方式相同的挡板。 

如上所述，第三实施方式所涉及的气体处理单元20C可拆卸地附设于具有热处理室11的热处理单元10上，因此，即使鼓风机32或34或加热器31或35发生故障，也与所述实施方式相同，通过将气体处理单元20C更换成事先准备好的其他气体处理单元20C，可迅速对待故障情况。另外，与所述实施方式相同，如果采用可将两个以上的气体处理单元20C(可包含气体处理能力不同的气体处理单元20C)安装于一个热处理单元10上的结构，则无需根据热处理单元10的各种热处理能力，分别制作不同的气体处理单元20C，因此可减少气体处理单元20C的种类。另外，在这种结构中，对于不使用的气体导入部及气体导出部，装上盖子(未图示)将其堵住即可。而且，由于导入到热处理室11内的空气被设置于导入管22中的气体加热用加热器35加热，因此可将气体加热用加热器35专门用于热处理室11的温度控制，并将设置于气体处理管24内的加热器31专门用于催化 剂30的温度控制。因此，可以在不受到被热处理物W的加热温度的情况下，将催化剂30的温度设定为可得到催化性能的最佳温度。 

并且，在所述气体处理单元20C中，由于导入管22的进气侧端22a处于开放状态，因此可将新鲜空气导入到导入管22中。另外，从热处理室11导出的空气被催化剂30净化，且被加热器31加热，而后通过连接管28流入导入管22中，与从导入管22的所开放的进气侧端22a吸入的空气混合，导入到热处理室11内，因此可减少热损失。 

(第四实施方式) 

图6是本发明第四实施方式所涉及的热处理装置的简图，在该热处理装置中，气体处理单元连接于热处理单元上。在图6中，对与图5相同的构件标注了相同的附图标记。 

在该热处理装置1B中，将第四实施方式的气体处理单元20B附设于与图4相同的热处理单元10上。该第四实施方式的气体处理单元20B包括具有第二连接管27的气体通道21B。第二连接管27的一端部连接于导入管22的比连接管28所连接的部位靠近下游、且比设置有气体加热用加热器35和鼓风机34的位置靠近上游的位置上，以使第二连接管27和导入管22连通。第二连接管27的另一端部连接于导出管23的中途部分，以使第二连接管27和导出管23连通。第二连接管27由隔热壁围绕。 

气体通道21B的气体处理管24中设置有催化剂30、加热器31及鼓风机32。如上所述，在导入管22中，比第二连接管27所连接的位置靠近下游的位置上设置有鼓风机34和加热器35。加热器35用于对要导入到热处理室11内的空气进行加热。另外，在热处理室11的内部设置有所述挡板16。此外，虽然在图6中未示出前处理剂，但也可设置前处理剂。 

热处理装置1B包括具有所述结构的气体处理单元20B，在该热处理装置1B中的气流如下所示。即，从开放端22a流入导入管22中的空气经加热器35被加热后，流入热处理室11，在热处理室11中对工件W进行热处理。用于对工件W进行热处理的空气在进行热处理后会含有升华物。该进行热处理后的空气导入到导出管23中后，向第二连接管27和气体处理管24分流。导入到第二连接管27的空气经加热器35再次被加热后，经导入管22流回热处理室11。即，空气在热处理室11和第二连接管27之间循环。另一方面，导入到气体处理管24中的含有升华物的进行热处理后的空气与催化剂30接触，发生氧化分解反应而除去升华物，然后从开放端24a排出，或通过连接管28及导入管22，流回热处理室11。 

如上所述，第四实施方式的气体处理单元20B也可拆卸地附设于具有热处理室11的 热处理单元10上，因此，即使鼓风机32或34或加热器31或35发生故障，也与所述实施方式相同，可以通过将气体处理单元20B更换成事先准备好的其他气体处理单元20B，迅速对待故障情况。另外，与所述实施方式相同，如果采用可将两个以上的气体处理单元20B(可包含气体处理能力不同的气体处理单元20B)安装于一个热处理单元10上的结构，则无需根据热处理单元10的各种热处理能力，分别制作不同的气体处理单元20B，因此可减少气体处理单元20B的种类。另外，在所述结构中，对于不使用的气体导入部及气体导出部，装上盖子(未图示)将其堵住即可。而且，由于要导入到热处理室11内的空气被设置于导入管22中的气体加热用加热器35加热，因此可将气体加热用加热器35专门用于热处理室11的温度控制，并将设置于气体处理管24内的加热器31专门用于催化剂30的温度控制。因此，在不受到被热处理物W的加热温度影响的状态下，可以将催化剂30的温度设定为可得到催化性能的最佳温度。 

此外，在所述气体处理单元20B中，导入管22的进气侧端22a处于开放状态，并且，空气通过连接管28循环，因此，可获得与第三实施方式相同的效果，而且，由于设置第二连接管27来形成比连接管28所形成的循环通道更靠近热处理室11的循环通道，设置于包括第二连接管27的循环通道中的气体加热用加热器35对其中所循环的空气进行加热，因此，可重新利用温度下降较小的空气。 

在所述第一～第四实施方式中，用于将热处理单元10的气体导入部12及气体导出部13与气体处理单元的气体通道(21A～21D)相连接的连接装置包括连接用凸缘14、25、15、26及螺栓、螺母，但本发明并不仅限于此。例如，也可利用螺丝、焊接等其他方法来连接或分开。 

(实施方式概要) 

所述实施方式总结为如下。 

(1)在本实施方式中，将具有加热器及鼓风机的气体处理单元附设于具有热处理室的热处理单元上，因此，即使加热器及鼓风机发生故障，也通过拆下气体处理单元，更换成预先准备好的其他气体处理单元，就可以立即重新进行热处理作业。因此，可迅速对待加热器等的故障。另外，通过将多个气体处理单元安装于一个热处理单元上，就可以适用于热处理能力较大的热处理单元。换言之，根据热处理单元的热处理能力，可以调整具有相同结构的气体处理单元的安装个数，由此适应热处理单元的热处理能力。因此，无需根据热处理单元的各种热处理能力，分别制作气体处理能力与热处理单元的热处理能力相符合的不同气体处理单元，因此可以减少气体处理单元的种类。在此，也可以在连接于热处 理单元的多个气体处理单元中包含气体处理能力不同的气体处理单元。 

(2)在所述气体处理单元中，所述导入管的进气侧端和所述导出管的出气侧端可以通过气体处理管相连接，所述进气侧端位于与所述第一连接部相反的一侧，所述出气侧端位于与所述第二连接部相反的一侧，在所述气体处理管内可以设置有所述催化剂和所述加热器。采用该结构，在将气体处理单元连接于热处理单元的情况下，可形成使从热处理单元导出的气体依次流经导出管、气体处理管及导入管，而后再次流回热处理室这样一种循环通道。因此，用一个鼓风机就可以使气体发生循环，并且用加热器就可以对催化剂与气体都进行加热。 

(3)所述气体处理单元中，所述导入管的进气侧端可以处于开放状态，该进气侧端位于与所述第一连接部相反的一侧，在所述导出管的出气侧端上可以连接气体处理管，该出气侧端位于与所述第二连接部相反的一侧，在所述气体处理管内可以设置有所述催化剂和所述加热器，在所述导入管内可以设置有气体加热用加热器，在所述导出管、所述气体处理管及所述导入管的至少其中之一内，可以设置有所述鼓风机。 

采用该结构，从导入管的处于开放状态的进气侧端吸入的气体经气体加热用加热器被加热后导入到热处理室内，并经过导出管及气体处理管被导出。因此，从导入管的进气侧端吸入的气体不含升华物。因此，可以始终将新鲜空气导入到热处理室内，由此可抑制催化剂性能恶化，阻止催化剂对升华物的氧化分解反应性能降低。另外，在该结构中，通过在导入管、导出管及气体处理管的至少其中之一中设置鼓风机，可以将气体导入到热处理室内，并从热处理室导出气体。 

(4)所述气体处理单元中，所述导入管的进气侧端可以处于开放状态，该进气侧端位于与所述第一连接部相反的一侧，在所述导出管的出气侧端上可以连接气体处理管，该出气侧端位于与所述第二连接部相反的一侧，其中，在所述气体处理管内可以设置有所述催化剂和所述加热器，并且，该气体处理管的比设置有所述催化剂和所述加热器的位置靠近下游的部分与所述导入管的中途部分，可以通过连接管相连接并连通，在所述导入管中，比所述连接管所连接的位置靠近下游的部分上可以设置有气体加热用加热器和所述鼓风机。 

采用该结构，由于导入管的进气侧端处于开放状态，因此可导入新鲜空气。另外，从热处理室导出的气体被催化剂净化，并被加热器加热后，通过连接管流入导入管内，与从导入管的所开放的进气侧端吸入的气体混合，导入热处理室内。即，可以利用被加热器加热后的气体，提高从导入管的所开放的进气侧端导入的气体温度，因此可减少热损失。另 外，由于要导入到热处理室内的气体被设置于导入管内的气体加热用加热器加热，因此可将气体加热用加热器专门用于热处理室的温度控制，并将设置于气体处理管内的加热器专门用于催化剂的温度控制。因此，在不受到被热处理物的加热温度的状态下，可以将催化剂的温度设定为可得到催化性能的最佳温度。 

(5)在所述气体处理单元中，所述导入管的比所述连接管所连接的位置靠近下游且比所述气体加热用加热器及所述鼓风机靠近上游的部分与所述导出管的中途部分，可以通过第二连接管相连接并连通。 

采用该结构，由于导入管的进气侧端处于开放状态，且通过连接管使气体发生循环，因此可获得与所述(4)相同的效果，而且，由于利用第二连接管形成比连接管所形成的循环通道更靠近热处理室的循环通道，并利用设置于循环通道中的气体加热用加热器进行加热，因此可以再次利用温度下降较小的气体。 

Claims (5)

1.一种气体处理单元，其特征在于，

该气体处理单元附设于热处理单元上，该热处理单元具有：热处理室，收容被热处理物，该所收容的被热处理物可从该热处理室取出；以及气体导入部和气体导出部，分别与所述热处理室连通；所述气体导入部的进气侧端上设置有连接用凸缘，所述气体导出部的出气侧端上设置有连接用凸缘，

该气体处理单元包括：

气体通道，具有通过连接装置可拆卸地与所述气体导入部的连接用凸缘连接的设置有连接用凸缘的导入管、以及通过连接装置可拆卸地与所述气体导出部的连接用凸缘连接的设置有连接用凸缘的导出管，该气体通道用于将热处理用气体导入到所述气体导入部中，并且从所述气体导出部导出气体；

催化剂，分解从所述气体导出部导出的气体中所含有的升华物，该升华物从所述被热处理物产生；

加热器，至少加热所述催化剂；以及

一个或两个以上的鼓风机，将所述热处理用气体及从所述气体导出部导出的气体向规定方向引导。

2.根据权利要求1所述的气体处理单元，其特征在于，

所述导入管的进气侧端和所述导出管的出气侧端通过气体处理管相连接，所述进气侧端位于与所述导入管的所述连接用凸缘相反的一侧，所述出气侧端位于与所述导出管的所述连接用凸缘相反的一侧，

在所述气体处理管内设置有所述催化剂和所述加热器。

3.根据权利要求1所述的气体处理单元，其特征在于，

所述导入管的进气侧端处于开放状态，该进气侧端位于与所述导入管的所述连接用凸缘相反的一侧，

在所述导出管的出气侧端上连接气体处理管，该出气侧端位于与所述导出管的所述连接用凸缘相反的一侧，

在所述气体处理管内设置有所述催化剂和所述加热器，

在所述导入管内设置有气体加热用加热器，

在所述导出管、所述气体处理管及所述导入管的至少其中之一内，设置有所述鼓风机。

4.根据权利要求1所述的气体处理单元，其特征在于，

所述导入管的进气侧端处于开放状态，该进气侧端位于与所述导入管的所述连接用凸缘相反的一侧，

在所述导出管的出气侧端上连接气体处理管，该出气侧端位于与所述导出管的所述连接用凸缘相反的一侧，

在所述气体处理管内设置有所述催化剂和所述加热器，并且，该气体处理管的比设置有所述催化剂和所述加热器的位置靠近下游的部分与所述导入管的中途部分，通过连接管相连接并连通，

在所述导入管中，比所述连接管所连接的位置靠近下游的部分上，设置有气体加热用加热器和所述鼓风机。

5.根据权利要求4所述的气体处理单元，其特征在于，

所述导入管的比所述连接管所连接的位置靠近下游、且比所述气体加热用加热器及所述鼓风机靠近上游的部分与所述导出管的中途部分，通过第二连接管相连接并连通。

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