JP2005161214A - 電子製品製造設備 - Google Patents

Abstract

【課題】 ケミカルフィルタ装備の製造用機器を用いる電子製品製造設備において、ケミカルフィルタの交換頻度を低減する。
【解決手段】 ケミカルフィルタ１４を備える電子製品製造用機器Ｘ（１３，２）とは別置きのフィルタ収容器１６を設けて、このフィルタ収容器１６に追加のケミカルフィルタ１７を収容し、このフィルタ収容器１６で追加ケミカルフィルタ１７により処理した浄化空気ＦＡをダクト１８を通じ電子製品製造用機器Ｘに供給して、その供給空気ＦＡに対し電子製品製造用機器Ｘに装備のケミカルフィルタ１４を処理機能させる構成する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体集積装置や液晶パネルなどの電子製品を製造する電子製品製造設備に関する。

従来、電子製品の製造設備では、空気中に存在する酸イオン、塩基イオン、有機物などのガス状汚染物質により製造対象物や製造装置が汚染されるのを防止するのに、電子製品製造装置を設置したクリーンルームに対しケミカルフィルタによりガス状汚染物質を除去した浄化空気を供給して、そのクリーンルームの全体をガス状汚染物質濃度の低い状態に保つ方式を採っていたが、この方式では、クリーンルーム内において実質的にガス状汚染物質濃度をそれほど低く保つ必要のない領域にもケミカルフィルタによる浄化空気が行き及ぶことになって、その分、クリーンルームに対する浄化空気の必要供給量が大きくなり、この為、ケミカルフィルタの必要設置量や送風機の必要容量が大きくなり設備コスト及びランニングコストが嵩む問題があった。

これに対し、近年、電子製品製造用の機器（電子製品製造装置やその製造装置を収容する装置収容ケースなど）そのものにケミカルフィルタを装備し、その装備したケミカルフィルタにより製造用機器における浄化要部のみをガス状汚染物質濃度の低い状態に保つようにすることで、設備コスト及びランニングコストの低減を図った電子製品製造設備が普及しつつある（例えば、下記特許文献１参照）。
特開２００３−１５１８９２

しかし、電子製品製造用機器にケミカルフィルタを装備する上記方式では、その製造用機器の大きさや構造面からケミカルフィルタの装備スペースが限られる為、小型ないし薄型のケミカルフィルタしか製造用機器に装備し得ないことが多く、また、ケミカルフィルタを送風機とともに電子製品製造用機器に装備する場合には、装備スペースの面で送風機が低能力のものに限られることもあって、薄型で低圧損のケミカルフィルタしか製造用機器に装備し得ないことが多いが、このように小型ないし薄型のケミカルフィルタはガス状汚染物質の捕集容量が小さい為、破過に至るまでの寿命が極短くて（一般的に数ヶ月から１年）、その交換頻度が高くなり、この為、電子製品製造用機器そのものにケミカルフィルタを装備する方式にしても、その装備ケミカルフィルタの交換費用面で未だランニングコストが高く付く問題があった。

そしてまた、電子製品製造用機器に装備したケミカルフィルタを交換する際には、その製造用機器の使用を停止して製品の製造を中止する必要があるが、特に電子製品製造用機器そのものに装備のケミカルフィルタは、その製造用機器における浄化要部（すなわち、電子製品製造装置における製品設置箇所など、ガス状汚染物質濃度を低く保つ必要のある部分）の圧力や気流性状などに対する影響度が高い為、その交換に続き製造用機器の再調整や再設定に長い時間を要して、その間も製品の製造を行うことができず、このことと装備ケミカルフィルタの交換頻度が上記の如く高いこととの相乗で、電子製品の生産性が大きく低下する問題もあった。

しかも、電子機器製造用機器そのものに装備するケミカルフィルタは製造用機器の浄化要部と密接な関係にある為、その交換時に機器の浄化要部を汚染してしまう可能性が高く、このことと装備ケミカルフィルタの交換頻度が高いこととの相乗で、装置汚染の危険性が高い問題もあった。

この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、ケミカルフィルタ装備の製造用機器を用いる電子製品製造設備において、上記の如き問題を効果的に解消する点にある。

〔１〕本発明の第１特徴構成は、電子製品製造設備につき、
ケミカルフィルタを備える電子製品製造用機器とは別置きのフィルタ収容器を設けて、このフィルタ収容器に追加のケミカルフィルタを収容し、
このフィルタ収容器で前記追加ケミカルフィルタにより処理した浄化空気をダクトを通じ前記電子製品製造用機器に供給して、その供給空気に対し前記電子製品製造用機器に装備の前記ケミカルフィルタを処理機能させる構成にしてあることにある。

つまり、この第１特徴構成によれば、フィルタ収容器で追加ケミカルフィルタにより予め処理した浄化空気（すなわち、ガス状汚染物質を予め除去した空気）に対して電子製品製造用機器に装備のケミカルフィルタを処理機能させるから、その製造用機器に装備のケミカルフィルタが小型ないし薄型で捕集容量の小さいものであるとしても、ガス状汚染物質の除去処理を施していない空気に対し装備ケミカルフィルタを処理機能させる従来方式に比べ、電子製品製造用機器そのものに装備されるケミカルフィルタの寿命を大幅に長くする（例えば、従前では数ヶ月〜１年であったものを５年〜１０年に長寿命化する）ことができて、その交換頻度を大幅に低減することができる。

そして、追加ケミカルフィルタについては、電子製品製造用機器とは別置きのフィルタ収容器に収容するから、対象となる電子製品製造用機器の大きさや構造面の制約を受けることなく、捕集容量が十分に大きなものを使用することができて、ガス状汚染物質の除去処理を施していない空気に対し処理機能させるにしても、例えば３年以上といった長い寿命を確保して交換頻度を低くし得るとともに、処理風量当たりの単価の面でも電子製品製造用機器に装備される小容量のケミカルフィルタに比べ安価となるケミカルフィルタを追加ケミカルフィルタとして使用することができる。

すなわち、これらのことにより、設備全体としてのケミカルフィルタの交換費用を、従来方式に比べ、フィルタ収容器のイニシャルコスト分を差し引いても十分に余りある程に効果的に低減することができ、また、ケミカルフィルタ交換のための製造中止頻度を大きく低減できて電子製品の生産性も高めることができる。

また、第１特徴構成では、電子製品製造用機器に装備されるケミカルフィルタの交換頻度を上記の如く大きく低減する所期機能上、主に交換を行うのはフィルタ収容器に収容した追加ケミカルフィルタの方になるが、この追加ケミカルフィルタは、電子製品製造用機器に対しダクトを通じて浄化空気を供給する別置きのフィルタ収容器に収容することから、電子製品製造用機器そのものに装備のケミカルフィルタに比べ、電子製品製造用機器における浄化要部の圧力や気流性状などに対する影響度、並びに、電子製品製造用機器における浄化要部との密接度が低く、このことから、フィルタ収容器に収容した追加ケミカルフィルタの交換では、その交換に続く電子製造用機器の再調整や再設定を不要ないし軽微にすることができて、その分、製造中止時間が短くなることからも生産性を高め得るとともに、ケミカルフィルタ交換の際に電子製品製造用機器の浄化要部を汚染してしまう装置汚染の危険性も効果的に低減することができる。

なお、捕集容量の大きなケミカルフィルタは一般に高圧損のものとなるが、電子製品製造用機器とは別置きのフィルタ収容器に追加ケミカルフィルタを収容する上記構成の場合、必要であれば電子製品製造用機器とは別置きの送風機を設置して追加ケミカルフィルタに対し処理対象空気を通風することもでき、このことからも、フィルタ収容器に収容の追加ケミカルフィルタに十分な捕集容量のものを使用することに特段の問題はない。

第１特徴構成で言う電子製品製造用機器とは、電子製品を製造する装置やその製造装置を収容する装置収容ケースに限られるものではなく、電子製品ないしその部品の搬送用機器や保管用機器などで、それ自身にケミカルフィルタを装備するものであれば、どのような機器であってもよい。

また、フィルタ収容器を電子製品製造用機器と別置きにするのに、そのフィルタ収容器の設置箇所は、電子製品製造用機器の設置室と区画された領域に限らず、電子製品製造用機器の設置室内、その設置室に対する天井裏空間や床下空間など、いづれの箇所であってもよく、フィルタ収容器を電子製品製造用機器と別置きにしてそれらをダクト接続する構成を採ることから、フィルタ収容器の設置箇所は対象設備の条件等に応じて適当に選択することができる。

〔２〕本発明の第２特徴構成は、第１特徴構成の実施において、
前記追加ケミカルフィルタとして複数のケミカルフィルタを処理対象空気の流れ方向で直列に配置して前記フィルタ収容器に収容してあることにある。

つまり、ケミカルフィルタは一般にＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなどの集塵フィルタとは異なり急激に破過に至る特性があるが、この第２特徴構成によれば、直列配置でフィルタ収容器に収容した複数の追加ケミカルフィルタのうちの１つが破過に至ったとしても、破過に至った追加ケミカルフィルタの交換など適当な対処を行うまで、他の追加ケミカルフィルタをもって電子製品製造用機器に対する浄化空気の供給を継続することができ、これにより、電子製品製造用機器に装備されるケミカルフィルタの交換頻度を一層効果的に低減することができて、ケミカルフィルタ交換費用の低減、生産性の向上、装置汚染の防止を一層効果的に達成し得る。

なお、第２特徴構成において、直列配置でフィルタ収容器に収容する複数のケミカルフィルタは同じガス状汚染物質を除去対象とするものである必要があるが、仕様が全く同じケミカルフィルタに限られるものではなく、除去対象とするガス状汚染物質の種類の一部（電子製品製造用機器にとって除去が必要な種類）のみが共通するケミカルフィルタであってもよい。

〔３〕本発明の第３特徴構成は、第１又は第２特徴構成の実施において、
前記フィルタ収容器を複数の前記電子製品製造用機器に対して並列にダクト接続してあることにある。

つまり、この第３特徴構成によれば、複数の電子製品製造用機器に対して共通のフィルタ収容器を設置するから、例えば、複数の電子製品製造用機器の各々に対して個別にフィルタ収容器を設けるのに比べ、追加ケミカルフィルタの交換を含めフィルタ収容器に対する管理やメンテナンスを容易にすることができて、電子製品製造設備の管理性やメンテナンス性を良好にすることができる。

〔４〕本発明の第４特徴構成は、第１又は第２特徴構成の実施において、
複数の前記フィルタ収容器を１つの前記電子製品製造用機器に対して並列に、又は、複数の前記電子製品製造用機器の各々に対して並列にダクト接続してあることにある。

つまり、この第４特徴構成によれば、追加ケミカルフィルタの必要容量が設備によって異なることに対応するのに、また、設備の改造等に伴い追加ケミカルフィルタの必要容量が変化することに対応するのに、１つの電子製品製造用機器に対して並列に又は複数の電子製品製造用機器の各々に対して並列にダクト接続する複数のフィルタ収容器の数を変更することで容易に対応することができ、また、その対応にあたっては１仕様ないしは数を限った複数仕様のフィルタ収容器を準備しておけばよいことから、設備コストも安価にすることができる。

〔５〕本発明の第５特徴構成は、第４特徴構成の実施において、
前記複数のフィルタ収容器のうち前記電子製品製造用機器への供給空気に対して機能させるフィルタ収容器を選択的に切り換えるフィルタ用切換手段を設けてあることにある。

つまり、この第５特徴構成によれば、１つの電子製品製造用機器に対して並列に、又は、複数の電子製品製造用機器の各々に対して並列に複数のフィルタ収容器をダクト接続する構成において、フィルタ収容器における追加ケミカルフィルタの交換が必要になったときや、フィルタ収容器のメンテナンスを行うときなど、フィルタ交換対象やメンテナンス対象のフィルタ収容器を上記フィルタ用切換手段により電子製品製造用機器への供給空気に対し非機能の状態に切り換えて、その非機能状態（換言すれば、電子製品製造用機器に悪影響を及ぼさない状態）の下で追加ケミカルフィルタの交換やフィルタ収容器に対するメンテナンスを行うようにしながら、複数のフィルタ収容器のうちの他のフィルタ収容器をもって電子製品製造用機器への浄化空気供給を継続することができる。

すなわち、このことにより、追加ケミカルフィルタの交換やフィルタ収容器に対するメンテナンスを電子製品の製造中止を伴うことなく、また、随時に行うことができ、このことで電子製品の生産性を更に効果的に向上し得るとともに、メンテナンス性も効果的に高めることができる。

なお、第５特徴構成の実施において、フィルタ交換対象やメンテナンス対象のフィルタ収容器を非機能状態に切り換えた際、他のフィルタ収容器をもって電子製品製造用機器への浄化空気供給を継続するには、通常時において複数のフィルタ収容器を機能状態にしている状況で、それら複数のフィルタ収容器のうちフィルタ交換対象やメンテナンス対象のフィルタ収容器を非機能状態に切り換えた際、機能状態にある残りのフィルタ収容器をもって電子製品製造用機器への浄化空気供給を継続する形態、あるいは、フィルタ交換対象やメンテナンス対象のフィルタ収容器を非機能状態に切り換えた際、それまで予備として非機能状態にしていた他のフィルタ収容器を機能状態に切り換えることで、電子製品製造用機器に対する浄化空気供給を継続する形態、あるいはまた、それら２形態を組み合わせた形態のいずれを採ってもよい。

〔６〕本発明の第６特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれかの実施において、
前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器と別ユニット化した送風機ユニットを設け、
この送風機ユニットを前記フィルタ収容器にダクト接続して、その送風機ユニットにより前記フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器への浄化空気供給を行う構成にしてあることにある。

つまり、この第６特徴構成では、フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、フィルタ収容器から電子製品製造用機器への浄化空気供給を行う送風機の追加装備がフィルタ収容器の設置に併せ必要な場合、電子製品製造用機器とは別置きでフィルタ収容器とも別ユニット化した上記送風機ユニットを設置して、その送風機ユニットをフィルタ収容器にダクト接続することで対応するから、例えば、送風機を組み込み装備したフィルタ収容器を製作することで対応するのに比べ、送風機追加装備の必要性の有無に対する対応を容易にすることができ、また、その対応にあたりフィルタ収容器と別ユニット化した送風機ユニットを準備しておけばよいことから設備コストも安価にすることができる。

そしてまた、フィルタ収容器と送風機ユニットとを別ユニット化して、それらをダクト接続する構成を採ることで、それらフィルタ収容器及び送風機ユニット各々の設置箇所も対象設備の条件等に応じて個別に選択することができ、この点、送風機の追加装備が必要な場合に対する対応を設置性の面でも容易にすることができる。

なお、第６特徴構成の実施において、送風機ユニットは電子製品製造用機器に対する供給空気の清浄度を極力高く確保する上でフィルタ収容器よりも空気流れ方向の上流側に配置するのが望ましいが、場合によっては、フィルタ収容器よりも空気流れ方向の下流側（すなわち、フィルタ収容器と電子製品製造用機器との間）に配置するようにしてもよい。

〔７〕本発明の第７特徴構成は、第１〜第６特徴構成のいずれかの実施において、
前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器と別ユニット化した空調機ユニットを設け、
この空調機ユニットを前記フィルタ収容器にダクト接続して、その空調機ユニットにより前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度又は湿度を調整する構成にしてあることにある。

つまり、この第７特徴構成では、フィルタ収容器から電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度又は湿度を調整する空調機の追加装備がフィルタ収容器の設置に併せ必要な場合、電子製品製造用機器とは別置きでフィルタ収容器とも別ユニット化した上記空調機ユニットを設置して、その送風機ユニットをフィルタ収容器にダクト接続することで対応するから、例えば、空調機を組み込み装備したフィルタ収容器を製作することで対応するのに比べ、空調機追加装備の必要性の有無に対する対応を容易にすることができ、また、その対応にあたりフィルタ収容器と別ユニット化した空調機ユニットを準備しておけばよいことから設備コストも安価にすることができる。

そしてまた、フィルタ収容器と空調機ユニットとを別ユニット化して、それらをダクト接続する構成を採ることで、それらフィルタ収容器及び空調機ユニット各々の設置箇所も対象設備の条件等に応じて個別に選択することができ、この点、空調機の追加装備が必要な場合に対する対応を設置性の面でも容易にすることができる。

なお、第７特徴構成の実施において、空調機ユニットは送風機ユニットの場合と同様、電子製品製造用機器に対する供給空気の清浄度を極力高く確保する上でフィルタ収容器よりも空気流れ方向の上流側に配置するのが望ましいが、場合によっては、フィルタ収容器よりも空気流れ方向の下流側に配置するようにしてもよい。

〔８〕本発明の第８特徴構成は、第１〜第５特徴構成のいずれかの実施において、
前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器と別ユニット化した送風機ユニットを設けるとともに、
前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器及び前記送風機ユニットの各々と別ユニット化した空調機ユニットを設け、
これら送風機ユニット及び空調機ユニットを前記フィルタ収容器にダクト接続して、その送風機ユニットにより前記フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器への浄化空気供給を行うとともに、その空調機ユニットにより前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度又は湿度を調整する構成にしてあることにある。

つまり、この第８特徴構成では、フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、フィルタ収容器から電子製品製造用機器への浄化空気供給を行う送風機の追加装備とともに、フィルタ収容器から電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度又は湿度を調整する空調機の追加装備がフィルタ収容器の設置に併せ必要な場合、電子製品製造用機器とは別置きでフィルタ収容器とも別ユニット化した上記送風機ユニット、並びに、電子製品製造用機器とは別置きでフィルタ収容器及び送風機ユニットの各々とも別ユニット化した空調機ユニットを設置して、それら送風機ユニット及び空調機ユニットをフィルタ収容器にダクト接続することで対応するから、例えば、送風機及び空調機を組み込み装備したフィルタ収容器を製作することで対応するのに比べ、送風機及び空調機の追加装備の必要性の有無に対する対応を容易にすることができ、また、その対応にあたりフィルタ収容器と別ユニット化した送風機ユニット及び空調機ユニットを準備しておけばよいことから設備コストも安価にすることができる。

そしてまた、送風機ユニット及び空調機ユニットの各々をフィルタ収容器と別ユニット化して、それら送風機ユニット及び空調機ユニットをフィルタ収容器に対しダクト接続する構成を採ることで、フィルタ収容器、送風機ユニット、空調機ユニット各々の設置箇所も対象設備の条件等に応じて個別に選択することができ、この点、送風機及び空調機の追加装備が必要な場合に対する対応を設置性の面でも容易にすることができる。

なお、第８特徴構成の実施において、送風機ユニット及び空調機ユニットの各々は、前述の如く、電子製品製造用機器に対する供給空気の清浄度を極力高く確保する上でフィルタ収容器よりも空気流れ方向の上流側に配置するのが望ましいが、場合によっては、それら送風機ユニット及び空調機ユニットの両方ないし一方をフィルタ収容器よりも空気流れ方向の下流側に配置するようにしてもよく、また、送風機ユニット及び空調機ユニットの二者については、そのいずれを空気流れ方向の上流側に配置してもよく、フィルタ収容器、送風機ユニット、空調機ユニットの三者の空気流れ方向における位置関係は場合によって適当に決定すればよい。

〔９〕本発明の第９特徴構成は、第６又は第８特徴構成の実施において、
複数の前記送風機ユニットを１つの前記フィルタ収容器に対して並列に、又は、複数の前記フィルタ収容器の各々に対して並列にダクト接続してあることにある。

つまり、この第９特徴構成によれば、フィルタ収容器とともに前記送風機ユニットを設置する場合において、その送風機ユニットの必要送風量が設備によって異なることに対応するのに、また、設備の改造等に伴い送風機ユニットの必要送風量が変化することに対応するのに、１つのフィルタ収容器に対して並列に又は複数のフィルタ収容器の各々に対して並列にダクト接続する複数の送風機ユニットの数を変更することで容易に対応することができ、また、その対応にあたっては１仕様ないしは数を限った複数仕様の送風機ユニットを準備しておけばよいことから、設備コストも一層安価にすることができる。

〔１０〕本発明の第１０特徴構成は、第９特徴構成の実施において、
前記複数の送風機ユニットのうち前記電子製品製造用機器への供給空気に対して機能させる送風機ユニットを選択的に切り換える送風機用切換手段を設けてあることにある。

つまり、この第１０特徴構成によれば、１つのフィルタ収容器に対して並列に、又は、複数のフィルタ収容器の各々に対して並列に複数の送風機ユニットをダクト接続する構成において、１つの送風機ユニットが故障して補修が必要になったときや、送風機ユニットのメンテナンスを行うときなど、補修対象やメンテナンス対象の送風機ユニットを上記送風機用切換手段により電子製品製造用機器への供給空気に対し非機能の状態に切り換えて、その非機能状態（換言すれば、電子製品製造用機器に悪影響を及ぼさない状態）の下で故障に対する補修やメンテナンスを行うようにしながら、フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、フィルタ収容器から電子製品製造用機器への浄化空気供給を複数の送風機ユニットのうちの他の送風機ユニットをもって継続することができる。

すなわち、このことにより、送風機ユニットの故障に対する補修や送風機ユニットに対するメンテナンスを電子製品の製造中止を伴うことなく、また、随時に行うことができ、このことで電子製品の生産性を更に効果的に向上し得るとともに、メンテナンス性も効果的に高めることができる。

なお、第１０特徴構成の実施において、補修対象やメンテナンス対象の送風機ユニットを非機能状態に切り換えた際、フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、フィルタ収容器から電子製品製造用機器への浄化空気供給を他の送風機ユニットをもって継続するには、通常時において複数の送風機ユニットを機能状態にしている状況で、それら複数の送風機ユニットのうち補修対象やメンテナンス対象の送風機ユニットを非機能状態に切り換えた際、機能状態にある残りの送風機ユニットをもってフィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、フィルタ収容器から電子製品製造用機器への浄化空気供給を継続する形態、あるいは、補修対象やメンテナンス対象の送風機ユニットを非機能状態に切り換えた際、それまで予備として非機能状態にしていた他の送風機ユニットを機能状態に切り換えることで、フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、フィルタ収容器から電子製品製造用機器への浄化空気供給を継続する形態、あるいはまた、それら２形態を組み合わせた形態のいずれを採ってもよい。

〔１１〕本発明の第１１特徴構成は、第７又は第８特徴構成の実施において、
複数の前記空調機ユニットを１つの前記フィルタ収容器に対して並列に、又は、複数の前記フィルタ収容器の各々に対して並列にダクト接続してあることにある。

フィルタ収容器とともに前記空調機ユニットを設置する場合において、その空調機ユニットの必要処理風量が設備によって異なることに対応するのに、また、設備の改造等に伴い空調機ユニットの必要処理風量が変化することに対応するのに、１つのフィルタ収容器に対して並列に又は複数のフィルタ収容器の各々に対して並列にダクト接続する複数の空調機ユニットの数を変更することで容易に対応することができ、また、その対応にあたっては１仕様ないしは数を限った複数仕様の空調機ユニットを準備しておけばよいことから、設備コストも一層安価にすることができる。

〔１２〕本発明の第１２特徴構成は、第１１特徴構成の実施において、
前記複数の空調機ユニットのうち前記電子製品製造用機器への供給空気に対して機能させる空調機ユニットを選択的に切り換える空調機用切換手段を設けてあることにある。

つまり、この第１２特徴構成によれば、１つのフィルタ収容器に対して並列に、又は、複数のフィルタ収容器の各々に対して並列に複数の空調機ユニットをダクト接続する構成において、１つの空調機ユニットが故障して補修が必要になったときや、空調機ユニットのメンテナンスを行うときなど、補修対象やメンテナンス対象の空調機ユニットを上記空調機用切換手段により電子製品製造用機器への供給空気に対し非機能の状態に切り換えて、その非機能状態（換言すれば、電子製品製造用機器に悪影響を及ぼさない状態）の下で故障に対する補修やメンテナンスを行うようにしながら、フィルタ収容器から電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度調整又は湿度調整を複数の空調機ユニットのうちの他の空調機ユニットをもって継続することができる。

すなわち、このことにより、空調機ユニットの故障に対する補修や空調機ユニットに対するメンテナンスを電子製品の製造中止を伴うことなく、また、随時に行うことができ、このことで電子製品の生産性を更に効果的に向上し得るとともに、メンテナンス性も効果的に高めることができる。

なお、第１２特徴構成の実施において、補修対象やメンテナンス対象の空調機ユニットを非機能状態に切り換えた際、フィルタ収容器から電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度調整又は湿度調整を他の空調機ユニットをもって継続するには、通常時において複数の空調機ユニットを機能状態にしている状況で、それら複数の空調機ユニットのうち補修対象やメンテナンス対象の空調機ユニットを非機能状態に切り換えた際、機能状態にある残りの空調機ユニットをもって、フィルタ収容器から電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度調整又は湿度調整を継続する形態、あるいは、補修対象やメンテナンス対象の空調機ユニットを非機能状態に切り換えた際、それまで予備として非機能状態にしていた他の空調機ユニットを機能状態に切り換えることで、フィルタ収容器から電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度調整又は湿度調整を継続する形態、あるいはまた、それら２形態を組み合わせた形態のいずれを採ってもよい。

〔１３〕本発明の第１３特徴構成は、第１〜第１２特徴構成のうちのいずれかの実施において、
前記電子製品製造用機器における前記装備ケミカルフィルタの処理機能域から排出される空気をダクトを通じ前記フィルタ収容器に戻して、前記フィルタ収容器と前記電子製品製造用機器との間で循環させる構成にしてあることにある。

つまり、この第１３特徴構成によれば、電子製品製造用機器における装備ケミカルフィルタの処理機能域（すなわち、ガス状汚染物質濃度を低く保つ必要のある機器浄化要部）から排出される空気が製造工程で生じるガス状汚染物質を多く含むものであるときは、その空気をフィルタ収容器に戻すことから、その空気中に含まれるガス状汚染物質をフィルタ収容器における追加ケミカルフィルタにより捕集除去することができて、製造用機器からの排出空気に対する専用のケミカルフィルタを設けることなく、その排出空気中に含まれるガス状汚染物質の機器設置領域への拡散を防ぐことができる。

また、電子製品製造用機器における装備ケミカルフィルタの処理機能域から排出される空気が供給時における清浄状態（ガス状汚染物質が除去された状態）を比較的保つものであるときは、その空気をフィルタ収容器に戻して再利用することで、フィルタ収容器に導入する処理対象空気の全量をガス状汚染物質の除去処理を施していない空気にする場合に比べ、ケミカルフィルタの交換頻度を一層低減することができる。

なお、第１３特徴構成の実施においては、電子製品製造用機器における装備ケミカルフィルタの処理機能域から排出される空気の全量をフィルタ収容器に戻す形態に限らず、その排出空気の一部のみをフィルタ収容器に戻す形態を採ってもよく、また、電子製品製造用機器における装備ケミカルフィルタの処理機能域から排出される空気の一部をフィルタ収容器に戻す形態は、１つの電子製品製造用機器から排出される空気の一部をフィルタ収容器に戻す形態、及び、複数の電子製品製造用機器のうちの一部の電子製品製造機器からの排出空気のみをフィルタ収容器に戻す形態のいずれであってもよい。

図１は電子製品の製造設備を示し、複数の電子製品製造装置１，２を設置するクリーンルーム３の天井裏空間を給気用のチャンバ４として、その天井裏チャンバ４内の空気Ａをクリーンルーム３に対し下向き層流状に供給するファンフィルタユニット５をクリーンルーム３の天井に並設し、これらファンフィルタユニット５にＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡなどの高性能除塵フィルタ５ａを装備することで、クリーンルーム５を塵埃濃度が極低い状態（いわゆる無塵室状態）に保つ。

クリーンルーム３の床６をパンチング板などにより形成する多孔床にするとともに、クリーンルーム３の床下空間は排気用のチャンバ７にしてあり、また、ファンフィルタユニット５による除塵空気Ａの供給に伴いクリーンルーム３から多孔床６を通じ床下チャンバ７に排出される空気Ａを天井裏チャンバ４に導く風路室８を設け、これにより、ファンフィルタユニット５に装備のファン５ｂにより天井裏チャンバ４−クリーンルーム３−床下チャンバ７−風路室８−天井裏チャンバ４の経路で空気循環させる。

９はクリーンルー３以外の箇所で上記の空気循環経路７，８，４に対し調整外気ＯＡを供給する外調機であり、この外調機９には、プレフィルタ９ａを通じて取り入れた外気ＯＡを散水により浄化するエアワッシャ９ｂ、そのエアワッシャ９ｂによる浄化外気ＯＡを冷却減湿する冷却器９ｃ、冷却減湿した外気ＯＡを再熱する加熱器９ｄ、並びに、再熱した外気ＯＡを外気供給路１０を通じて前記空気循環経路７，８，４に送給する給気ファン９ｆを装備してあり、また、外気供給路１０には外調機９から空気循環経路７，８，４に供給する調整外気ＯＡを除塵処理する高性能除塵フィルタ１１を介装してある。

なお、１２は外調機９を通じての外気供給風量に相当する風量の空気ＥＡを空気循環経路７，８，４から外部に排出する排気路である。

本実施形態で例示する電子製品製造装置１，２のうち一方の製造装置１は装置ケース１３により囲った状態でクリーンルーム３に設置する形式のもの、他方の製造装置２は装置ケースによる囲いの無い状態でクリーンルーム３に設置する形式のものであり、また、これら装置ケース１３及びケース無し製造装置２には、各々の浄化要部（すなわち、装置ケース１３にあってはケース内空間１３ａ、ケース無し製造装置２にあっては装置内における製品処理部２ａ）をガス状汚染物質濃度の低い状態に保つためのケミカルフィルタ１４を装備してあり、さらに、装置ケース１３については、それに装備のケミカルフィルタ１４を通じて浄化要部（ケース内空間１３ａ）に空気供給するファン１５をファンフィルタユニットの形態にして装備してある。

また、この製造設備では、上記の如くケミカルフィルタ１４を機器そのものに装備した電子製品製造用の機器Ｘ（装置ケース１３及びケース無し製造装置２）をクリーンルーム３に設置するのに対し、これら製造用機器Ｘとは別置きのフィルタ収容器１６をクリーンルーム３に設置して、このフィルタ収容器１６に収容の追加ケミカルフィルタ１７により予め処理した浄化空気ＦＡ（すなわち、ガス状汚染物質を予め除去した浄化空気）を給気ダクト１８を通じ各製造用機器Ｘに供給するようにしてある。

すなわち、別置きのフィルタ収容器１６から各製造用機器Ｘに供給する浄化空気ＦＡに対して各製造用機器Ｘに装備のケミカルフィルタ１４を処理機能させることで、各製造用機器Ｘに装備されたケミカルフィルタ１４の交換頻度を大きく低減し、また、フィルタ収容器１６には大捕集容量の追加ケミカルフィルタ１７を収容することで、その追加ケミカルフィルタ１７の交換頻度も低くし、これにより、設備全体としてのケミカルフィルタ交換頻度を低くするようにしてある。

１９は製造用機器Ｘと別置きでかつフィルタ収容器１６とも別ユニット化した送風機ユニットであり、この送風機ユニット１９をフィルタ収容器１６とともにクリーンルーム３に設置して、フィルタ収容器１６に対し空気流れ方向の上流側に配置する形態で送風機ユニット１９をダクト２０によりフィルタ収容器１６に接続することで、フィルタ収容器１６への処理対象空気ＦＡの導入（後述する空調機ユニットを通じての空気導入）及びフィルタ収容器１６から各製造用機器Ｘへの浄化空気供給をこの送風機ユニット１９により行うようにしてある。

なお、一方の製造用機器Ｘ（装置ケース１３）に装備のファン１５は、フィルタ収容器１６への処理対象空気ＦＡの導入及びフィルタ収容器１６からの浄化空気供給を補助するものとして使用する。

２１は製造用機器Ｘと別置きでかつフィルタ収容器１６及び送風機ユニット１９の各々とも別ユニット化した空調機ユニットであり、この空調機ユニット２１をフィルタ収容器１６及び送風機ユニット１９とともにクリーンルーム３に設置して、送風機ユニット１９に対し空気流れ方向の上流側に配置する形態で空調機ユニット２１をダクト２２により送風機ユニット１９に接続（換言すれば、フィルタ収容器１６にダクト接続）することで、フィルタ収容器１６から各製造用機器Ｘに供給する浄化空気ＦＡの温度及び湿度をこの空調機ユニット２１により調整するようにしてある。

フィルタ収容器１６は図２及び図３に示す如く、送風機ユニット１９からのダクト２０を接続する空気導入口２３を角柱状器体２４の下部に形成するとともに、各製造用機器Ｘへの給気ダクト１８を接続する空気導出口２５を角柱状器体２４の上部に形成し、そして、角柱状器体２４の内部にフィルタ装着台２６ａ〜２６ｃを上下３段配置で設けて、下段及び中段のフィルタ装着台２６ａ，２６ｂに夫々、４つの追加ケミカルフィルタ１７をマトリクス状の並列配置で装着するとともに、上段のフィルタ装着台２６ｃに４つの高性能除塵フィルタ２７（ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタなど）を同様のマトリクス状の並列配置で装着する構造にしてある。

すなわち、送風機ユニット１９から供給される処理対象空気ＦＡを空気導入口２３から器体２４の内部に導入して、その導入空気ＦＡを先ず下段及び中段の追加ケミカルフィルタ１７ａ，１７ｂに対し直列に通過させ、この通過過程で下段及び中段の追加ケミカルフィルタ１７ａ，１７ｂにより空気ＦＡ中のガス状汚染物質を捕集除去する。そして、このガス状汚染物質の除去に続き処理対象空気ＦＡを上段の高性能除塵フィルタ２７に通過させることで、その空気ＦＡ中の塵埃（例えば、下段や中段の追加ケミカルフィルタ１７ａ，１７ｂでの発生塵埃）をさらに捕集除去し、このようにガス状汚染物質及び塵埃を除去した浄化空気ＦＡを空気導出口２５から導出して給気ダクト１８を通じ各製造用機器Ｘに供給する構成にしてある。

また、ケミカルフィルタには、ガス状酸イオンを捕集除去の対象とするもの、ガス状塩基イオンを捕集除去の対象とするもの、ガス状有機物を捕集除去の対象とするものなど、捕集除去対象とするガス状汚染物質の相違による種別があるが、上記フィルタ収容器１６への追加ケミカルフィルタ１７の収容にあたっては、下段の追加ケミカルフィルタ１７ａと中段の追加ケミカルフィルタ１７ｂとに、対象の製造用機器Ｘにとって除去が必要な共通種のガス状汚染物質を捕集除去の対象とするケミカルフィルタを使用（例えば、下段及び中段の追加ケミカルフィルタ１７ａ，１７ｂにガス状有機物及びガス状塩基イオンを捕集除去対象とする全く同仕様のケミカルフィルタを使用）するようにし、これにより、対象の製造用機器Ｘにとって除去が必要なガス状汚染物質をより高度に捕集除去し得るようにするとともに、下段と中段の追加ケミカルフィルタ１７ａ，１７ｂのうちいずれか一方（一般的には上流側である下段の追加ケミカルフィルタ１７ａ）が仮に破過に至ったとしても、他方の追加ケミカルフィルタをもって製造用機器Ｘに対する浄化空気供給を継続し得るようにする。

なお、２８は各段の追加ケミカルフィルタ１７ａ，１７ｂないし高性能除塵フィルタ２７を通過した空気ＦＡをその性状検査などの目的でサンプリングするためのキャップ付き採取口であり、また、図示は省略するが、角柱状器体２４の側部にはフィルタ交換のための扉付きフィルタ挿脱口を形成してある。

送風機ユニット１９は同図２及び図３に示す如く、防振具２９を介して架台３０に載置するボックス体３１の内部を仕切壁３２により吸入室３１ａと吐出室３１ｂとに仕切るとともに、仕切壁３２に形成の連通口３２ａに送風機３３の吸入口３３ａを連通させる状態で、吐出室３１ｂ内において送風機３３を仕切壁３２に取り付け、そして、空気機ユニット２１からのダクト２２を吸入室３１ａに連通させる状態に接続する空気導入口３４をボックス体３１の天板に形成するとともに、フィルタ収容器１６へのダクト２０を吐出室３１ｂに連通させる状態に接続する空気導出口３５をボックス体３１の底板に形成し、さらに、空気導入口３４にプレフィルタ３６を装備した構造にしてある。

すなわち、空調機ユニット２１で温湿度を調整した処理対象空気ＦＡを送風機３３の吸引力によりダクト２２及びプレフィルタ３６を通じボックス体３１の吸入室３１ａに導入して、その導入空気ＦＡを送風機３３によりボックス体３１の吐出室３１ｂに加圧吐出する形態で、この吐出空気ＦＡを送風機３３の加圧力により吐出室３１ｂからダクト２０を通じてフィルタ収容器１６に送給する構成にしてある。

また、送風機ユニット１９には、架台３０に支持する状態で動力・計装盤３７を装備してあり、この動力・計装盤３７には、送風機３３の駆動モータ３３ｂに対する電源回路、送風機吐出圧の検出に基づき送風機３３の駆動モータ３３ｂをインバータ制御して送風機吐出圧を設定圧に調整するインバータ制御回路、並びに、各種センサの検出情報に基づき送風機３３の故障、送風機吐出圧の異常、送給空気風量の異常、フィルタ収容器１６における収容フィルタの入出口差圧の異常など、各種の報知を行う保全回路を収容してある。

空調機ユニット２１は図１に概略的に示す如く、ユニット器体２１ａの内部に冷却器２１ｂ、加熱器２１ｃ、加湿器２１ｄを収容したものであり、これら冷却器２１ｂ、加熱器２１ｃ、加湿器２１ｄ夫々の出力を装備の制御器２１ｅにより温湿度センサの検出情報に基づき調整することで、送風機ユニット１９へ送給する処理対象空気ＦＡの温度及び湿度（換言すれば、各製造用機器Ｘに供給する浄化空気ＦＡの温度及び湿度）を設定温度及び設定湿度に自動調整する構成にしてある。

なお、本実施形態においては処理対象空気ＦＡとしてクリーンルーム３内の空気Ａを空調機ユニット２１へ導入するとともに、一部の製造用機器Ｘ（本例では装置ケース１３）の浄化用部１３ａから排出される空気ＦＡ′を還気ダクト３８を通じて空調機ユニット２１へ導入する（換言すれば、製造用機器Ｘにおける装備ケミカルフィルタ１７の処理機能域から排出される空気をフィルタ収容器１６に戻して、フィルタ収容器１６と製造用機器Ｘとの間で循環させる）ようにしてあり、また、他の製造用機器Ｘ（本例ではケース無し製造装置２）の浄化用部２ａから排出される空気ＦＡ′については、クリーンルーム３内の空気Ａとともに多孔床６を通じて床下チャンバ７へ排出するようにしてある。

図１においては、空調機ユニット２１及び送風機ユニット１９をフィルタ収容器１６に対し直列にダクト接続する設備構成例を示すが、空調機ユニット２１が不要な場合には空調機ユニット２１を省いてもよく、また、他の送風手段を利用し得るなどのことで送風機ユニット１９が不要の場合には送風機ユニット１９を省いてもよい。

また、図１では空調機ユニット２１、送風機ユニット１９、フィルタ収容器１６の各１台を電子製品製造用機器Ｘにダクト接続する設備構成例を示すが、追加ケミカルフィルタ１７の交換が必要になったときの対応性や故障などに対する対応性あるいはメンテナンス性などを高める上で次の（イ）〜（ハ）の設備構成を採るのが望ましい。

（イ）図４に模式的に示す如く、複数のフィルタ収容器１６を１つの製造用機器Ｘに対して並列に、又は、複数の製造用機器Ｘの各々に対して並列にダクト接続するとともに、これら複数のフィルタ収容器１６のうち製造用機器Ｘへの供給空気ＦＡに対して機能させるフィルタ収容器を選択的に切り換える切換ダンパ３９などのフィルタ用切換手段を設ける構成。

（ロ）同図４に模式的に示す如く、複数の送風機ユニット１９を１つのフィルタ収容器１６に対して並列に、又は、複数のフィルタ収容器１６の各々に対して並列にダクト接続するとともに、これら複数の送風機ユニット１９のうち製造用機器Ｘへの供給空気ＦＡに対して機能させる送風機ユニットを選択的に切り換える切換ダンパ４０などの送風機用切換手段を設ける構成。

（ハ）同図４に模式的に示す如く、複数の空調機ユニット２１を１つのフィルタ収容器１６に対して並列に、又は、複数のフィルタ収容器１６の各々に対して並列にダクト接続するとともに、これら複数の空調機ユニット１９のうち製造用機器Ｘへの供給空気ＦＡに対して機能させる空調機ユニットを選択的に切り換える切換ダンパ４１などの空調機用切換手段を設ける構成。

〔別実施形態〕
次に本発明の別の実施形態を列記する。

本発明の実施において、電子製品製造用機器Ｘとは別置きとするフィルタ収容器１６の具体的構造は、前述の実施形態で示した構造に限らず種々の変更が可能であり、場合によっては、フィルタ収容器１６への処理対象空気ＦＡの導入及び電子製品製造用機器Ｘへの浄化空気供給を行う送風機をフィルタ収容器１６自身に装備する構造や、電子製品製造用機器Ｘに供給する浄化空気ＦＡの温度又は湿度を調整する空調機をフィルタ収容器１６自身に装備する構造を採用してもよい。

また、追加ケミカルフィルタ１７として捕集除去対象が互いに異なる複数のケミカルフィルタ（例えば、ガス状有機物及びガス状塩基イオンとを捕集除去対象とするケミカルフィルタと、ガス状有機物及びガス状酸イオンを捕集除去対象とするケミカルフィルタと）を空気流れ方向で直列に配置してフィルタ収容器１６に収容することで、捕集除去の対象とするガス状汚染物質の種類を多くする構成を採用してもよい。

フィルタ収容器１６からダクト１８を通じ浄化空気ＦＡを供給して、その供給空気ＦＡに対し装備のケミカルフィルタ１４を処理機能させる電子製品製造用機器Ｘは、電子製品の製造に係わる機器で、その機器Ｘにおける浄化要部をガス状汚染物質濃度の低い状態に保つためのケミカルフィルタ１４を自身に装備するものであれば、電子製品の製造装置そのもの、その製造装置を囲む装置ケース、電子製品ないしその部品の搬送装置や格納装置など、どのような製造用機器であってもよい。

前述の実施形態では、フィルタ収容器１６を複数の電子製品製造用機器Ｘ（１３，２）に対し並列にダクト接続する構成を示したが、これに限らず、１つないし並列配置の複数のフィルタ収容器１６を１つの電子製品製造用機器Ｘに対してダクト接続する構成を採ってもよい。

電子製品製造用機器Ｘとは別置きでかつフィルタ収容器１６とも別ユニット化した送風機ユニット１９をフィルタ収容器１６にダクト接続して、その送風機ユニット１９によりフィルタ収容器１６への処理対象空気ＦＡの導入及びフィルタ収容器１６から電子製品製造用機器Ｘへの浄化空気供給を行う設備構成を採る場合、その送風機ユニット１９の具体的構造は前述の実施形態で示した構造に限らず、種々の構成変更が可能である。

また同様に、電子製品製造用機器Ｘとは別置きでかつフィルタ収容器１６とも別ユニット化した空調機ユニット２１をフィルタ収容器１６にダクト接続して、その空調機ユニット２１により、フィルタ収容器１６から電子製品製造用機器Ｘへ供給する浄化空気ＦＡの温度又は湿度を調整する設備構成を採る場合、その空調機ユニット２１の具体的構造も前述の実施形態で示した構造に限らず、種々の構成変更が可能である。

複数のフィルタ収容器１６を１つの電子製品製造用機器Ｘに対して並列に又は複数の電子製品製造用機器Ｘの各々に対して並列にダクト接続する構成において、それら複数のフィルタ収容器１６のうち電子製品製造用機器Ｘへの供給空気ＦＡに対し機能させるフィルタ収容器を選択的に切り換えるフィルタ用切換手段を設ける場合、そのフィルタ用切換手段としては、前述の実施形態で示した如き切換ダンパ３９に限らず、例えばロータリ式の切換弁装置の如きものを用いるなど、種々の切換構造、切換方式のものを採用することができ、また、そのフィルタ用切換手段は手動により切換操作を行うもの、あるいは、各種センサの検出情報などに基づき自動的に切換操作を行うもののいずれであってもよい。

また同様に、複数の送風機ユニット１９を１つのフィルタ収容器１６に対して並列に又は複数のフィルタ収容器１６の各々に対して並列にダクト接続する構成において、それら複数の送風機ユニット１９のうち電子製品製造用機器Ｘへの供給空気ＦＡに対し機能させる送風機ユニットを選択的に切り換える送風機用切換手段を設ける場合、その送風機用切換手段としては、前述の実施形態で示した如き切換ダンパ４０に限らず、例えばロータリ式の切換弁装置の如きものを用いるなど、種々の切換構造、切換方式のものを採用することができ、また、その送風機用切換手段は手動により切換操作を行うもの、あるいは、各種センサの検出情報などに基づき自動的に切換操作を行うもののいずれであってもよい。

さらにまた同様に、複数の空調機ユニット２１を１つのフィルタ収容器１６に対して並列に又は複数のフィルタ収容器１６の各々に対して並列にダクト接続する構成において、それら複数の空調機ユニット２１のうち電子製品製造用機器Ｘへの供給空気ＦＡに対し機能させる空調機ユニットを選択的に切り換える空調機用切換手段を設ける場合、その空調機用切換手段としては、前述の実施形態で示した如き切換ダンパ４１に限らず、例えばロータリ式の切換弁装置の如きものを用いるなど、種々の切換構造、切換方式のものを採用することができ、また、その送風機用切換手段は手動により切換操作を行うもの、あるいは、各種センサの検出情報などに基づき自動的に切換操作を行うもののいずれであってもよい。

前述の実施形態では、フィルタ収容器１６から浄化空気ＦＡを供給する複数の電子製品製造用機器Ｘのうちの一部の電子製品製造用機器Ｘについてのみ、装備ケミカルフィルタ１４の処理機能域から排出される空気ＦＡ′を還気ダクト３８を通じフィルタ収容器１６に戻す構成を示したが、フィルタ収容器１６から浄化空気ＦＡを供給する電子製品製造用機器Ｘの全てについて、その装備ケミカルフィルタ１４の処理機能域から排出される空気ＦＡ′を還気ダクト３８を通じフィルタ収容器１６に戻すようにしてもよく、また逆に、フィルタ収容器１６から浄化空気ＦＡを供給する電子製品製造用機器Ｘの全てについて、その装備ケミカルフィルタ１４の処理機能域から排出される空気ＦＡ′をフィルタ収容器１６へ戻さず他部へ排出する構成にしてもよい。

また、電子製品製造用機器Ｘにおける装備ケミカルフィルタ１４の処理機能域から排出される空気ＦＡ′を還気ダクト３８を通じフィルタ収容器１６に戻す場合、必ずしも、その排出空気ＦＡ′の全量をフィルタ収容器１６に戻す必要はなく、その排出空気ＦＡ′の一部のみを還気ダクト３８を通じフィルタ収容器１６に戻すようにしてもよい。

本発明は、半導体集積装置や液晶パネルなどの種々の電子製品を製造する設備で、ケミカルフィルタ装備の電子製品製造用機器を用いる電子製品製造設備に利用することができる。

実施形態を示す設備構成図 フィルタ収容器及び送風機ユニットの構造を示す側面図 フィルタ収容器及び送風機ユニットの構造を示す平面図 フィルタ収容器、送風機ユニット、空調機ユニットの装備形態を示す図

符号の説明

１４ ケミカルフィルタ
１６ フィルタ収容器
１７ 追加ケミカルフィルタ
１８ ダクト
１９ 送風機ユニット
２１ 空調機ユニット
３８ ダクト
３９ フィルタ用切換手段
４０ 送風機用切換手段
４１ 空調機用切換手段
ＦＡ 空気
ＦＡ′ 排出空気
Ｘ 電子製品製造用機器

Claims (13)

1. ケミカルフィルタを備える電子製品製造用機器とは別置きのフィルタ収容器を設けて、このフィルタ収容器に追加のケミカルフィルタを収容し、
   このフィルタ収容器で前記追加ケミカルフィルタにより処理した浄化空気をダクトを通じ前記電子製品製造用機器に供給して、その供給空気に対し前記電子製品製造用機器に装備の前記ケミカルフィルタを処理機能させる構成にしてある電子製品製造設備。
2. 前記追加ケミカルフィルタとして複数のケミカルフィルタを処理対象空気の流れ方向で直列に配置して前記フィルタ収容器に収容してある請求項１記載の電子製品製造設備。
3. 前記フィルタ収容器を複数の前記電子製品製造用機器に対して並列にダクト接続してある請求項１又は２記載の電子製品製造設備。
4. 複数の前記フィルタ収容器を１つの前記電子製品製造用機器に対して並列に、又は、複数の前記電子製品製造用機器の各々に対して並列にダクト接続してある請求項１又は２記載の電子製品製造設備。
5. 前記複数のフィルタ収容器のうち前記電子製品製造用機器への供給空気に対して機能させるフィルタ収容器を選択的に切り換えるフィルタ用切換手段を設けてある請求項４記載の電子製品製造設備。
6. 前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器と別ユニット化した送風機ユニットを設け、
   この送風機ユニットを前記フィルタ収容器にダクト接続して、その送風機ユニットにより前記フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器への浄化空気供給を行う構成にしてある請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子製品製造設備。
7. 前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器と別ユニット化した空調機ユニットを設け、
   この空調機ユニットを前記フィルタ収容器にダクト接続して、その空調機ユニットにより前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度又は湿度を調整する構成にしてある請求項１〜６のいずれか１項に記載の電子製品製造設備。
8. 前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器と別ユニット化した送風機ユニットを設けるとともに、
   前記電子製品製造用機器とは別置きで、かつ、前記フィルタ収容器及び前記送風機ユニットの各々と別ユニット化した空調機ユニットを設け、
   これら送風機ユニット及び空調機ユニットを前記フィルタ収容器にダクト接続して、その送風機ユニットにより前記フィルタ収容器への処理対象空気の導入、及び、前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器への浄化空気供給を行うとともに、その空調機ユニットにより前記フィルタ収容器から前記電子製品製造用機器へ供給する浄化空気の温度又は湿度を調整する構成にしてある請求項１〜５のいずれか１項に記載の電子製品製造設備。
9. 複数の前記送風機ユニットを１つの前記フィルタ収容器に対して並列に、又は、複数の前記フィルタ収容器の各々に対して並列にダクト接続してある請求項６又は８記載の電子製品製造設備。
10. 前記複数の送風機ユニットのうち前記電子製品製造用機器への供給空気に対して機能させる送風機ユニットを選択的に切り換える送風機用切換手段を設けてある請求項９記載の電子製品製造設備。
11. 複数の前記空調機ユニットを１つの前記フィルタ収容器に対して並列に、又は、複数の前記フィルタ収容器の各々に対して並列にダクト接続してある請求項７又は８記載の電子製品製造設備。
12. 前記複数の空調機ユニットのうち前記電子製品製造用機器への供給空気に対して機能させる空調機ユニットを選択的に切り換える空調機用切換手段を設けてある請求項１１記載の電子製品製造設備。
13. 前記電子製品製造用機器における前記装備ケミカルフィルタの処理機能域から排出される空気をダクトを通じ前記フィルタ収容器に戻して、前記フィルタ収容器と前記電子製品製造用機器との間で循環させる構成にしてある請求項１〜１２のいずれか１項に記載の電子製品製造設備。
    
    

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