JP4822108B2 - クリーンルームの空調システム - Google Patents
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Description
なお、図示は省略しているが上記の空調機1はケミカルフィルタ2の他にHEPAフィルタその他の空気清浄手段や温湿度調整機能を備えている他、将来的なケミカルフィルタ2の増設を想定してそのための予備スペースを確保している。また、図示例の空調システムでは2台の空調機1をサプライヘッダ10およびレタンヘッダ11を介して並設的に設置して相互のバックアップが可能なものとしている。さらに、通常はクリーンルーム5内から強制排気を行うことから排気量以上の外気OAを外調機12により処理して空調機1に供給することが一般的であり、その外調機12にも必要に応じてケミカルフィルタ2を組み込むようにしている。
本実施形態の空調システムは、基本的には図5に示した従来の空調システムと同様に、空調機1からの給気SAをサプライダクト4によりクリーンルーム5に供給し、室内からの還気RAを床下チャンバ8からレタンダクト9を通して空調機1に戻すように循環させるものであるが、従来の空調システムでは空調機1にケミカルフィルタ2を組み込んでいたのに対し、本実施形態の空調システムではクリーンルーム5内に図2〜図3に示すようなケミカルフィルタユニット15(15A、15B)を設置して、室内からの還気RAをそのケミカルフィルタユニット15に通してから空調機1に戻すように構成されており、それにより空調機1へのケミカルフィルタ2の組み込みを省略したものとなっている。
ケーシング16内に収納するケミカルフィルタ17としては、たとえば特許文献1に示されているもののように活性炭等の吸着剤をメッシュ状のトレー間に収容した構成のものが好適に採用可能である。
ケーシング16の底部には、床下チャンバ8に連通してその床下チャンバ8からの還気RAをケーシング16内に取り込むための流入口18が設けられて、その内側にはプレフィルタ19が装着されている。また、ケーシング16の頂部にはケミカルフィルタ17を通過した処理後の還気RAが流出する流出口20が設けられ、その外側にはレタンダクト9を接続するための接続ダクト21が設けられている。
そして、ケーシング16の内部には、その底部から頂部にかけて(つまり流入口18から流出口20にかけて)処理対象空気が通過する一連の流路22が設けられている。その流路22は、図2(b)および図3(b)に示すように、流入口18から前面側に屈曲してそこで上昇し、ケーシング16内を水平に後方に向かい、ケーシング16内の後面側においてさらに上昇して流出口20に向かって屈曲するように形成されていて、その中間部の水平な流路中に上記のケミカルフィルタ17が水平に対してやや傾斜状態で多段に積層されて収納されており、そこで処理対象空気は各段のケミカルフィルタ17を通過してケミカル物質が効率的に除去されるようになっている。
なお、(b)に示しているように、ケミカルフィルタユニット15に接続されているレタンダクト9を隠蔽するためのパーティションに26を、ケミカルフィルタユニット15のケーシング16に連なるように取り付けることが好ましい。
また、空調機1には従来のようにケミカルフィルタ2を組み込む必要がないし、送風機3は従来と同等の静圧を有するものであれば良いから、空調機1の小形化とその設置スペースを節約することができるし、空調機1に将来的な予備スペースを確保しておく必要もない。
また、ケーシング16内に収納されているケミカルフィルタ17の交換や保守を行う際にも空調機1の運転を停止する必要がないので、クリーンルーム5を稼働させながらそれらの作業を行うことができ、操業効率の改善を図ることができる。
さらに、生産設備の変更に伴ってケミカルフィルタユニット15の所要台数を適宜増減したり、それらの設置位置を自由に移設することも可能であるし、その際にも従来のように空調機1に対する改修や増設は一切不要である。
たとえば、本発明の空調システムにおいて用いるケミカルフィルタユニットの各部の具体的な構成、たとえばケーシングの形状や寸法、ケミカルフィルタの種類やケーシングへの収納形態、また空調システム全体の構成についても、処理対象のケミカル物質や要求される処理能力、これを設置する施設の用途や規模、その他の諸条件に応じて、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜の設計的変更が可能であることは当然である。
5 クリーンルーム
7 グレーチング床
8 床下チャンバ
9 レタンダクト
15(15A、15B) ケミカルフィルタユニット
16 ケーシング
17 ケミカルフィルタ
18 流入口
19 プレフィルタ
20 流出口
21 接続ダクト
22 流路
23 点検扉
25 生産装置群
Claims (1)
- ケーシング内にケミカルフィルタを収納してクリーンルーム内の所望位置に設置され、室内空気をケーシング内に取り込んでケミカルフィルタに通しつつケーシング内を通過させることで室内空気の清浄化処理を行う構成のケミカルフィルタユニットをクリーンルーム内に設置し、室内からの還気を該ケミカルフィルタユニットを通しつつ空調機に戻して循環させる構成の空調システムであって、
前記ケーシングの内部にはその底部から頂部にかけて処理対象空気の流路が設けられてその途中に前記ケミカルフィルタが収納されているとともに、該ケーシングの前面にはケミカルフィルタの交換および保守作業を行うための開放可能な点検扉が設けられ、
かつ、前記ケーシングの底部には、室内の床下に設けられている床下チャンバに連通して該床下チャンバから室内空気をケーシング内に取り込むための流入口が設けられているとともに、該ケーシングの頂部には、ケミカルフィルタを通過した処理後の空気を空調機に戻すためレタンダクトを接続可能な流出口が設けられ、
複数台の前記ケミカルフィルタユニットをクリーンルーム内に設置されているケミカル物質の発生源である生産設備群の周囲近傍位置に分散配置して、各ケミカルフィルタユニットの底部に設けられている流入口をそれぞれ床下チャンバに連通させるとともに、頂部に設けられている流出口にそれぞれレタンダクトを接続し、
空調機が備える送風機により清浄空気を室内に供給するとともに、該送風機により室内からの還気を床下チャンバから各ケミカルフィルタユニット内に取り込んでその内部を通過させレタンダクトを通して空調機に戻して循環させる構成としたことを特徴とするクリーンルームの空調システム。
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