JP2003210926A - ケミカルフィルタユニットおよび空気清浄化システム - Google Patents
ケミカルフィルタユニットおよび空気清浄化システムInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンルーム等の室内で発生するケミカル
物質を有効に除去する。 【解決手段】 室内に設置されるケミカルフィルタユニ
ット３０であって、吸込口と吹出口を有するケーシング
内に、室内空気を循環させるファンと、循環空気中のケ
ミカル物質を除去するケミカルフィルタとを組み込む。
筒形をなすケーシングの一端側に吸込口を設けるととも
に他端側に吹出口を設け、かつ吸込口または吹出口の内
側にケミカルフィルタを配置するとともにそのケミカル
フィルタを吸込口または吹出口から着脱可能とする。ケ
ミカルフィルタユニット３０をクリーンルーム２１内に
設置し、そのケミカルフィルタユニットにより室内空気
の少なくとも一部を循環させつつ循環空気中のケミカル
物質を除去する。
物質を有効に除去する。 【解決手段】 室内に設置されるケミカルフィルタユニ
ット３０であって、吸込口と吹出口を有するケーシング
内に、室内空気を循環させるファンと、循環空気中のケ
ミカル物質を除去するケミカルフィルタとを組み込む。
筒形をなすケーシングの一端側に吸込口を設けるととも
に他端側に吹出口を設け、かつ吸込口または吹出口の内
側にケミカルフィルタを配置するとともにそのケミカル
フィルタを吸込口または吹出口から着脱可能とする。ケ
ミカルフィルタユニット３０をクリーンルーム２１内に
設置し、そのケミカルフィルタユニットにより室内空気
の少なくとも一部を循環させつつ循環空気中のケミカル
物質を除去する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、空気中のケミカル
物質を除去するためのケミカルフィルタユニットおよび
それを用いた空気清浄化システムに関する。
物質を除去するためのケミカルフィルタユニットおよび
それを用いた空気清浄化システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、半導体や液晶パネルの製
造工場等におけるクリーンルームは高度の空気清浄度が
要求され、近年においては微粒子のみならずイオン物質
や有機物等のガス状のケミカル物質による汚染対策も必
要となっている。ケミカル物質による汚染を防止するた
めには、イオン交換繊維や活性炭等の吸着剤によりケミ
カル物質を吸着して除去するケミカルフィルタが一般に
用いられている。
造工場等におけるクリーンルームは高度の空気清浄度が
要求され、近年においては微粒子のみならずイオン物質
や有機物等のガス状のケミカル物質による汚染対策も必
要となっている。ケミカル物質による汚染を防止するた
めには、イオン交換繊維や活性炭等の吸着剤によりケミ
カル物質を吸着して除去するケミカルフィルタが一般に
用いられている。
【０００３】図３はケミカルフィルタ１の一例を示す。
これは、（ａ）に示すように不織布等からなる通気性を
有する袋体内に活性炭等の吸着剤を分包した分包体２
を、メッシュ状の樹脂成型品である通気性を有する２枚
１対のトレー３間に収容したものであり、一般には
（ｂ）に示すように多数（図示例のものは１０枚）のケ
ミカルフィルタ１をセルボックス４内に傾斜状態で多段
に積み重ねて収容し、押さえ板５を装着したケミカルフ
ィルタユニット６として用いることが通常である。
これは、（ａ）に示すように不織布等からなる通気性を
有する袋体内に活性炭等の吸着剤を分包した分包体２
を、メッシュ状の樹脂成型品である通気性を有する２枚
１対のトレー３間に収容したものであり、一般には
（ｂ）に示すように多数（図示例のものは１０枚）のケ
ミカルフィルタ１をセルボックス４内に傾斜状態で多段
に積み重ねて収容し、押さえ板５を装着したケミカルフ
ィルタユニット６として用いることが通常である。
【０００４】図４はクリーンルームにおける空気清浄化
システムの一例を示す。図中符号１１は外気処理用の外
調機であり、これにはプレフィルタ１２、中性能フィル
タ１３、コイル１４、ファン１５、上記のケミカルフィ
ルタユニット６（図示例では３段）が組み込まれ、この
外調機１１によって処理して清浄化した外気０Ａをクリ
ーンルーム２１の天井チャンバ２２に供給するようにし
ている。クリーンルーム２１の天井面には、フィルタ２
３ａとファン２３ｂとが一体とされて室内空気を清浄化
しつつ循環させるための給気ユニット２３を設け、また
クリーンルーム２１の床面は通気性を有するグレーチン
グ２４により形成して、室内からの還気ＲＡをグレーチ
ング２４から床下チャンバ２５に吸い込み、リターンス
ペース２６、ドライコイル２７を経て天井チャンバ２２
に戻し、そこで外気ＯＡと混合して給気ＳＡとして室内
に吹き出し、かつ室内からは外気導入量相当分の排気Ｅ
Ａを室外に排出するように構成している。なお、外気導
入量は室内循環空気量の１０％程度（クラス１００のク
リーンルームの場合）であるが、通常は外気導入量を排
気量よりも若干多くして室内を正圧に保つようにしてい
る。
システムの一例を示す。図中符号１１は外気処理用の外
調機であり、これにはプレフィルタ１２、中性能フィル
タ１３、コイル１４、ファン１５、上記のケミカルフィ
ルタユニット６（図示例では３段）が組み込まれ、この
外調機１１によって処理して清浄化した外気０Ａをクリ
ーンルーム２１の天井チャンバ２２に供給するようにし
ている。クリーンルーム２１の天井面には、フィルタ２
３ａとファン２３ｂとが一体とされて室内空気を清浄化
しつつ循環させるための給気ユニット２３を設け、また
クリーンルーム２１の床面は通気性を有するグレーチン
グ２４により形成して、室内からの還気ＲＡをグレーチ
ング２４から床下チャンバ２５に吸い込み、リターンス
ペース２６、ドライコイル２７を経て天井チャンバ２２
に戻し、そこで外気ＯＡと混合して給気ＳＡとして室内
に吹き出し、かつ室内からは外気導入量相当分の排気Ｅ
Ａを室外に排出するように構成している。なお、外気導
入量は室内循環空気量の１０％程度（クラス１００のク
リーンルームの場合）であるが、通常は外気導入量を排
気量よりも若干多くして室内を正圧に保つようにしてい
る。
【０００５】ところで、上記のような空気清浄化システ
ムでは、クリーンルーム２１に導入するべき外気ＯＡか
らのケミカル物質の除去は有効に行い得るが、ケミカル
物質がクリーンルーム２１内で発生した場合には換気に
より徐々に排出されるのみで積極的に除去できるもので
はない。そのため、室内でケミカル物質の発生が想定さ
れる場合、あるいは特に高度のケミカル清浄度が要求さ
れるようなクリーンルームにおいては、室内循環空気中
のケミカル物質を積極的に除去するためのケミカルフィ
ルタを設置することも検討されており、図５にその一例
を示す。
ムでは、クリーンルーム２１に導入するべき外気ＯＡか
らのケミカル物質の除去は有効に行い得るが、ケミカル
物質がクリーンルーム２１内で発生した場合には換気に
より徐々に排出されるのみで積極的に除去できるもので
はない。そのため、室内でケミカル物質の発生が想定さ
れる場合、あるいは特に高度のケミカル清浄度が要求さ
れるようなクリーンルームにおいては、室内循環空気中
のケミカル物質を積極的に除去するためのケミカルフィ
ルタを設置することも検討されており、図５にその一例
を示す。
【０００６】これは、図４に示したシステムに対し、床
下チャンバ２５とリターンスペース２６との接続部に図
３（ｂ）に示したようなケミカルフィルタユニット６を
図５（ｂ）に示すように設置して、室内からの還気ＲＡ
をそのケミカルフィルタユニット６に通しつつ循環させ
るようにしたものであり、このようなシステムによれ
ば、クリーンルーム２１内でケミカル物質が発生した場
合にもそれをケミカルフィルタユニット６により有効に
除去することができる。そして、このシステムは、図４
に示したような従来一般の空気清浄化システムにケミカ
ルフィルタユニット６を付加すれば良いので、既存のク
リーンルームのケミカル清浄度を高めるための改修手法
として有効であると考えられている。
下チャンバ２５とリターンスペース２６との接続部に図
３（ｂ）に示したようなケミカルフィルタユニット６を
図５（ｂ）に示すように設置して、室内からの還気ＲＡ
をそのケミカルフィルタユニット６に通しつつ循環させ
るようにしたものであり、このようなシステムによれ
ば、クリーンルーム２１内でケミカル物質が発生した場
合にもそれをケミカルフィルタユニット６により有効に
除去することができる。そして、このシステムは、図４
に示したような従来一般の空気清浄化システムにケミカ
ルフィルタユニット６を付加すれば良いので、既存のク
リーンルームのケミカル清浄度を高めるための改修手法
として有効であると考えられている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図３（ｂ）に
示した従来のケミカルフィルタユニット６は、このケミ
カルフィルタユニット６を通過する風量にしたがって圧
力損失が生じ、クラス１００のクリーンルームにおいて
は循環風量が多いため１００Ｐａ（１０ｍｍＡｑ程度）
以上の圧力損失を生じるものであるので、これをそのま
ま既存のクリーンルームに設置して図５に示すようなシ
ステムを構成しようとすると、既設の給気ユニット２３
の機外静圧（一般的には１００Ｐａ程度）が不足してし
まう場合がある。したがって、その際には給気ユニット
２３ないしそのファン２３ｂをより大容量のものに交換
する必要が生じるが、そのようなことは改修工事全体が
大がかりとなってしまって現実的ではない。
示した従来のケミカルフィルタユニット６は、このケミ
カルフィルタユニット６を通過する風量にしたがって圧
力損失が生じ、クラス１００のクリーンルームにおいて
は循環風量が多いため１００Ｐａ（１０ｍｍＡｑ程度）
以上の圧力損失を生じるものであるので、これをそのま
ま既存のクリーンルームに設置して図５に示すようなシ
ステムを構成しようとすると、既設の給気ユニット２３
の機外静圧（一般的には１００Ｐａ程度）が不足してし
まう場合がある。したがって、その際には給気ユニット
２３ないしそのファン２３ｂをより大容量のものに交換
する必要が生じるが、そのようなことは改修工事全体が
大がかりとなってしまって現実的ではない。
【０００８】また、上述したようにクリーンルームにお
ける室内循環空気量は外気導入量に比べて１０倍程度に
もなり、しかもケミカルフィルタユニット６の圧力損失
を抑制するためには１台当たりの処理風量を抑制する必
要があるから、室内循環空気量の全てを浄化処理するた
めにはかなりの台数のケミカルフィルタユニット６が必
要となってそのためにかなりの設置スペースを必要と
し、それに伴いリターンスペース２６も大きく確保する
必要があるしそのための工事も必要となるから、そのよ
うな制約から改修工事が不可能な場合も多い。
ける室内循環空気量は外気導入量に比べて１０倍程度に
もなり、しかもケミカルフィルタユニット６の圧力損失
を抑制するためには１台当たりの処理風量を抑制する必
要があるから、室内循環空気量の全てを浄化処理するた
めにはかなりの台数のケミカルフィルタユニット６が必
要となってそのためにかなりの設置スペースを必要と
し、それに伴いリターンスペース２６も大きく確保する
必要があるしそのための工事も必要となるから、そのよ
うな制約から改修工事が不可能な場合も多い。
【０００９】上記事情に鑑み、本発明は、室内で発生し
たケミカル物質を有効に除去し得るケミカルフィルタユ
ニットと、それを用いた有効な空気清浄化システムを提
供することを目的とする。
たケミカル物質を有効に除去し得るケミカルフィルタユ
ニットと、それを用いた有効な空気清浄化システムを提
供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、クリ
ーンルーム等の室内に設置されるケミカルフィルタユニ
ットであって、吸込口と吹出口を有するケーシング内
に、室内空気を吸込口から吸い込んで吹出口から吹き出
すことで循環させるファンと、循環空気中のケミカル物
質を除去するケミカルフィルタとを組み込んでなること
を特徴とする。
ーンルーム等の室内に設置されるケミカルフィルタユニ
ットであって、吸込口と吹出口を有するケーシング内
に、室内空気を吸込口から吸い込んで吹出口から吹き出
すことで循環させるファンと、循環空気中のケミカル物
質を除去するケミカルフィルタとを組み込んでなること
を特徴とする。
【００１１】請求項２の発明は、請求項１の発明のケミ
カルフィルタユニットであって、筒形をなすケーシング
の一端側に吸込口を設けるとともに他端側に吹出口を設
け、かつ吸込口または吹出口の内側にケミカルフィルタ
を配置するとともにそのケミカルフィルタを吸込口また
は吹出口から着脱可能としたことを特徴とする。
カルフィルタユニットであって、筒形をなすケーシング
の一端側に吸込口を設けるとともに他端側に吹出口を設
け、かつ吸込口または吹出口の内側にケミカルフィルタ
を配置するとともにそのケミカルフィルタを吸込口また
は吹出口から着脱可能としたことを特徴とする。
【００１２】請求項３の発明は、請求項１または２の発
明のケミカルフィルタユニットを用いる空気浄化システ
ムであって、上記のケミカルフィルタユニットをクリー
ンルーム内に設置し、そのケミカルフィルタユニットに
より室内空気の少なくとも一部を循環させつつ循環空気
中のケミカル物質を除去することを特徴とする。
明のケミカルフィルタユニットを用いる空気浄化システ
ムであって、上記のケミカルフィルタユニットをクリー
ンルーム内に設置し、そのケミカルフィルタユニットに
より室内空気の少なくとも一部を循環させつつ循環空気
中のケミカル物質を除去することを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１は本発明のケミカルフィルタ
ユニット３０の実施形態を示すものである。これは、横
置き角筒形のケーシング３１の一端側（図１（ａ）にお
ける左側）に吸込口３２を設けるとともに、他端側
（同、右側）に吹出口３３を設け、吹出口３３の内側に
室内空気を吸込口３２から吸い込んで吹出口３３から吹
き出すことで循環させるファン３４を設けるとともに、
吸込口３２の内側には循環空気中のケミカル物質を除去
するための多数（図示例では１０枚）のケミカルフィル
タ３５を傾斜状態で多段に組み込んでなるものである。
ケミカルフィルタ３５は図３（ａ）に示した従来のケミ
カルフィルタ１をそのまま採用可能であり、これは吸込
口３２からケーシング３１内に着脱可能とされている。
ユニット３０の実施形態を示すものである。これは、横
置き角筒形のケーシング３１の一端側（図１（ａ）にお
ける左側）に吸込口３２を設けるとともに、他端側
（同、右側）に吹出口３３を設け、吹出口３３の内側に
室内空気を吸込口３２から吸い込んで吹出口３３から吹
き出すことで循環させるファン３４を設けるとともに、
吸込口３２の内側には循環空気中のケミカル物質を除去
するための多数（図示例では１０枚）のケミカルフィル
タ３５を傾斜状態で多段に組み込んでなるものである。
ケミカルフィルタ３５は図３（ａ）に示した従来のケミ
カルフィルタ１をそのまま採用可能であり、これは吸込
口３２からケーシング３１内に着脱可能とされている。
【００１４】すなわち、本実施形態のケミカルフィルタ
ユニット３０は、図３（ｂ）に示した従来のケミカルフ
ィルタユニット６におけるセルボックス４をやや長くし
てその内部にファン３４を組み込んだ形態のものであ
り、このケミカルフィルタユニット３０自体で室内空気
をケミカルフィルタ３５を通しつつ循環させることがで
きるものである。なお、ファン３４の所要静圧は適宜設
定すれば良いが、以下に示す空気清浄化システムに適用
する場合にはケミカルフィルタ３５の圧力損失相当分程
度（従来のケミカルフィルタユニット６の場合と同様に
１００Ｐａ程度）で十分である。符号３６は押さえ板、
３７はベースである。
ユニット３０は、図３（ｂ）に示した従来のケミカルフ
ィルタユニット６におけるセルボックス４をやや長くし
てその内部にファン３４を組み込んだ形態のものであ
り、このケミカルフィルタユニット３０自体で室内空気
をケミカルフィルタ３５を通しつつ循環させることがで
きるものである。なお、ファン３４の所要静圧は適宜設
定すれば良いが、以下に示す空気清浄化システムに適用
する場合にはケミカルフィルタ３５の圧力損失相当分程
度（従来のケミカルフィルタユニット６の場合と同様に
１００Ｐａ程度）で十分である。符号３６は押さえ板、
３７はベースである。
【００１５】図２は本発明の空気清浄化システムの実施
形態を示すものである。これは、図５に示した従来の空
気清浄化システムにおける循環空気処理用のケミカルフ
ィルタユニット６に代えて、図１に示した実施形態のケ
ミカルフィルタユニット３０を採用し、かつ、室内循環
空気量の全てをケミカルフィルタユニット３０により処
理するのではなく、その一部のみをケミカルフィルタユ
ニット３０に通して処理して他はバイパスさせるように
し、そのためのバイパス経路４０を床下チャンバ２５と
リターンスペース２６との接続部に設けたものである。
形態を示すものである。これは、図５に示した従来の空
気清浄化システムにおける循環空気処理用のケミカルフ
ィルタユニット６に代えて、図１に示した実施形態のケ
ミカルフィルタユニット３０を採用し、かつ、室内循環
空気量の全てをケミカルフィルタユニット３０により処
理するのではなく、その一部のみをケミカルフィルタユ
ニット３０に通して処理して他はバイパスさせるように
し、そのためのバイパス経路４０を床下チャンバ２５と
リターンスペース２６との接続部に設けたものである。
【００１６】本実施形態のシステムによれば、ケミカル
フィルタユニット３０自体が室内空気を循環させるため
の駆動力を有しているので（換言すればケミカルフィル
タ３５の圧力損失はファン３４が補償するので）、この
ケミカルフィルタユニット３０を設置しても給気ユニッ
ト２３の機外静圧は増大することがなく、給気ユニット
２３は従来と同様に室内空気を循環させるだけの静圧を
有するもので十分であり、したがって既設のクリーンル
ーム２１を改修する場合には既設の給気ユニット２３を
そのまま使用することができる。
フィルタユニット３０自体が室内空気を循環させるため
の駆動力を有しているので（換言すればケミカルフィル
タ３５の圧力損失はファン３４が補償するので）、この
ケミカルフィルタユニット３０を設置しても給気ユニッ
ト２３の機外静圧は増大することがなく、給気ユニット
２３は従来と同様に室内空気を循環させるだけの静圧を
有するもので十分であり、したがって既設のクリーンル
ーム２１を改修する場合には既設の給気ユニット２３を
そのまま使用することができる。
【００１７】また、室内循環空気量の全てをケミカルフ
ィルタユニット３０に通すことでも良いのであるが、そ
の場合には各ユニットに割り当てられる給気ユニット２
３の機外静圧５０Ｐａ程度を守るためには１ユニット当
たりの通過風量を少なくしなければならず、その分だけ
必要ユニット数が増えるから、ケミカルフィルタユニッ
ト３０の所要台数が多くなるので、上記実施形態のよう
に還気ＲＡの一部のみを処理して他はバイパスさせるこ
とが現実的であり、その場合においても以下のシミュレ
ーション結果から明らかなように十分なケミカル清浄化
効果が得られる。
ィルタユニット３０に通すことでも良いのであるが、そ
の場合には各ユニットに割り当てられる給気ユニット２
３の機外静圧５０Ｐａ程度を守るためには１ユニット当
たりの通過風量を少なくしなければならず、その分だけ
必要ユニット数が増えるから、ケミカルフィルタユニッ
ト３０の所要台数が多くなるので、上記実施形態のよう
に還気ＲＡの一部のみを処理して他はバイパスさせるこ
とが現実的であり、その場合においても以下のシミュレ
ーション結果から明らかなように十分なケミカル清浄化
効果が得られる。
【００１８】・シミュレーション１
ケミカル物質としてアンモニアを想定し、外気導入量30
200m3/h、外気中のアンモニア濃度10000ng/m3、外調機
１１でのアンモニアの除去率90%、室内循環空気量16530
0m3/h、室内でのアンモニア発生量157500000ng/hの場
合、ケミカルフィルタユニット３０による処理を行わな
い場合には室内のアンモニア濃度は6215ng/m3となって
許容値5000ng/m3を越えてしまうが、ケミカルフィルタ
ユニット３０により室内循環空気量の10%（バイパス量9
0%）に対して処理を行い、そこでの除去率が50%の場
合、室内のアンモニア濃度は許容値以下の4880ng/m3と
なる。
200m3/h、外気中のアンモニア濃度10000ng/m3、外調機
１１でのアンモニアの除去率90%、室内循環空気量16530
0m3/h、室内でのアンモニア発生量157500000ng/hの場
合、ケミカルフィルタユニット３０による処理を行わな
い場合には室内のアンモニア濃度は6215ng/m3となって
許容値5000ng/m3を越えてしまうが、ケミカルフィルタ
ユニット３０により室内循環空気量の10%（バイパス量9
0%）に対して処理を行い、そこでの除去率が50%の場
合、室内のアンモニア濃度は許容値以下の4880ng/m3と
なる。
【００１９】・シミュレーション２
上記において外調機１１での除去率が80%の場合、ケミ
カルフィルタユニット３０による処理を行わない場合に
は室内の濃度は7215ng/m3となるが、ケミカルフィルタ
ユニット３０により室内循環空気量の20%（バイパス量8
0%）に対して処理を行うことで室内濃度は4663ng/m3と
なり、許容値を下まわる。
カルフィルタユニット３０による処理を行わない場合に
は室内の濃度は7215ng/m3となるが、ケミカルフィルタ
ユニット３０により室内循環空気量の20%（バイパス量8
0%）に対して処理を行うことで室内濃度は4663ng/m3と
なり、許容値を下まわる。
【００２０】・シミュレーション３
ケミカルフィルタユニット３０での処理量が多いほど
（バイパス量が少ないほど）、またケミカル物質の除去
率が高いほど室内濃度は改善され、たとえば上記の場合
において外調機１１およびケミカルフィルタユニット３
０における除去率がいずれも90%、処理量50%（バイパス
量50%）とした場合には、室内濃度は1795ng/m3となり、
許容値を大きく下まわるものとなる。
（バイパス量が少ないほど）、またケミカル物質の除去
率が高いほど室内濃度は改善され、たとえば上記の場合
において外調機１１およびケミカルフィルタユニット３
０における除去率がいずれも90%、処理量50%（バイパス
量50%）とした場合には、室内濃度は1795ng/m3となり、
許容値を大きく下まわるものとなる。
【００２１】以上のように、本実施形態の空気清浄化シ
ステムによれば、室内循環空気量のわずか１０〜２０％
程度を処理することのみで十分な効果が得られるもので
あるし、その構成は従来の空気清浄化システムに対して
わずかな台数のケミカルフィルタユニット３０を付加す
るのみであり、したがってケミカルフィルタユニット３
０を設置するためにさしたるスペースを必要としない
し、工事も簡便であり、工期や工費の点でも有利であ
り、以上のことから特に既設のクリーンルームを対象と
してそれを改修する場合に適用して最適である。
ステムによれば、室内循環空気量のわずか１０〜２０％
程度を処理することのみで十分な効果が得られるもので
あるし、その構成は従来の空気清浄化システムに対して
わずかな台数のケミカルフィルタユニット３０を付加す
るのみであり、したがってケミカルフィルタユニット３
０を設置するためにさしたるスペースを必要としない
し、工事も簡便であり、工期や工費の点でも有利であ
り、以上のことから特に既設のクリーンルームを対象と
してそれを改修する場合に適用して最適である。
【００２２】なお、上記実施形態はあくまで一例であっ
て、本発明は上記実施形態に限定されることなく、以下
に列挙するように適宜の変形、応用が可能である。
て、本発明は上記実施形態に限定されることなく、以下
に列挙するように適宜の変形、応用が可能である。
【００２３】本発明のケミカルフィルタユニットは、ケ
ーシング内にケミカルフィルタとファンを組み込む構成
とする限りにおいてその形態や寸法は任意であり、外観
を円筒形としたり縦置きとすることも勿論可能である。
また、ケーシング内に組み込むケミカルフィルタもトレ
ー形のものに限らずその種類や形態は任意であるし、ケ
ーシング内へのケミカルフィルタの収容形態や収容枚数
も容易に保守、交換ができる構成であれば適宜で良く、
ケミカルフィルタを吹出口の内側に設けて吹出口から着
脱可能に構成しても勿論良い。
ーシング内にケミカルフィルタとファンを組み込む構成
とする限りにおいてその形態や寸法は任意であり、外観
を円筒形としたり縦置きとすることも勿論可能である。
また、ケーシング内に組み込むケミカルフィルタもトレ
ー形のものに限らずその種類や形態は任意であるし、ケ
ーシング内へのケミカルフィルタの収容形態や収容枚数
も容易に保守、交換ができる構成であれば適宜で良く、
ケミカルフィルタを吹出口の内側に設けて吹出口から着
脱可能に構成しても勿論良い。
【００２４】本発明のケミカルフィルタユニットは室内
循環空気の循環経路の途中に設置すれば良いのであり、
その限りにおいて設置位置や設置形態は何等制約される
ことはないし、循環経路を気密に保持する必要がないば
かりか、ケミカルフィルタユニット自体で適度の気流分
布が確保される場合には格別の循環経路を確保する必要
もない。
循環空気の循環経路の途中に設置すれば良いのであり、
その限りにおいて設置位置や設置形態は何等制約される
ことはないし、循環経路を気密に保持する必要がないば
かりか、ケミカルフィルタユニット自体で適度の気流分
布が確保される場合には格別の循環経路を確保する必要
もない。
【００２５】本発明の空気清浄化システムは上記実施形
態のように室内循環空気量の一部を処理することで十分
であるが、必要であれば室内循環空気量の全てをケミカ
ルフィルタユニットに通して処理することを妨げるもの
ではない。いずれにしても、クリーンルームに要求され
るケミカル清浄度その他の条件に応じてケミカルフィル
タユニットの仕様や設置台数を適宜決定すれば良いし、
クリーンルームの基本構成や外調機の構成も適宜であ
る。
態のように室内循環空気量の一部を処理することで十分
であるが、必要であれば室内循環空気量の全てをケミカ
ルフィルタユニットに通して処理することを妨げるもの
ではない。いずれにしても、クリーンルームに要求され
るケミカル清浄度その他の条件に応じてケミカルフィル
タユニットの仕様や設置台数を適宜決定すれば良いし、
クリーンルームの基本構成や外調機の構成も適宜であ
る。
【００２６】
【発明の効果】請求項１の発明のケミカルフィルタユニ
ットは、吸込口と吹出口を有するケーシング内に、室内
空気を循環させるファンと、循環空気中のケミカル物質
を除去するケミカルフィルタとを組み込んだものである
ので、これを室内空気の循環経路の途中に設置すること
のみで室内空気中のケミカル物質を有効に除去でき、室
内のケミカル清浄度を高めることができる。
ットは、吸込口と吹出口を有するケーシング内に、室内
空気を循環させるファンと、循環空気中のケミカル物質
を除去するケミカルフィルタとを組み込んだものである
ので、これを室内空気の循環経路の途中に設置すること
のみで室内空気中のケミカル物質を有効に除去でき、室
内のケミカル清浄度を高めることができる。
【００２７】請求項２の発明は、筒形をなすケーシング
の一端側に吸込口を設けるとともに他端側に吹出口を設
け、かつ吸込口または吹出口の内側にケミカルフィルタ
を配置するとともにそのケミカルフィルタを吸込口また
は吹出口から着脱可能としたので、単純かつ簡便な構成
であり、安価に製作でき、設置工事も何等面倒ではな
く、ケミカルフィルタの交換や保守も容易である。
の一端側に吸込口を設けるとともに他端側に吹出口を設
け、かつ吸込口または吹出口の内側にケミカルフィルタ
を配置するとともにそのケミカルフィルタを吸込口また
は吹出口から着脱可能としたので、単純かつ簡便な構成
であり、安価に製作でき、設置工事も何等面倒ではな
く、ケミカルフィルタの交換や保守も容易である。
【００２８】請求項３の発明の空気清浄化システムは、
上記のケミカルフィルタユニットをクリーンルーム内に
設置し、そのケミカルフィルタユニット自体により室内
空気の少なくとも一部を循環させつつ循環空気中のケミ
カル物質を除去するので、ケミカルフィルタユニットを
クリーンルーム内の任意の位置に設置することのみでク
リーンルーム内のケミカル物質を有効に除去でき、クリ
ーンルーム内のケミカル清浄度を高めることができる。
そして、既設のクリーンルームの空気清浄化システムに
対してケミカルフィルタユニットを付加することのみで
本発明の空気清浄化システムに容易に改修することがで
きる。。
上記のケミカルフィルタユニットをクリーンルーム内に
設置し、そのケミカルフィルタユニット自体により室内
空気の少なくとも一部を循環させつつ循環空気中のケミ
カル物質を除去するので、ケミカルフィルタユニットを
クリーンルーム内の任意の位置に設置することのみでク
リーンルーム内のケミカル物質を有効に除去でき、クリ
ーンルーム内のケミカル清浄度を高めることができる。
そして、既設のクリーンルームの空気清浄化システムに
対してケミカルフィルタユニットを付加することのみで
本発明の空気清浄化システムに容易に改修することがで
きる。。
【図１】 本発明のケミカルフィルタユニットの実施形
態を示す図である。
態を示す図である。
【図２】 本発明の空気清浄化システムの実施形態を示
す図である。
す図である。
【図３】 従来のケミカルフィルタユニットを示す図で
ある。
ある。
【図４】 従来の空気清浄化システムの一例を示す図で
ある。
ある。
【図５】 従来の空気清浄化システムの他の例を示す図
である。
である。
１１ 外調機
２３ 給気ユニット
２１ クリーンルーム
３０ ケミカルフィルタユニット
３１ ケーシング
３２ 吸込口
３３ 吹出口
３４ ファン
３５ ケミカルフィルタ
４０ バイパス経路
Claims (3)
- 【請求項１】 クリーンルーム等の室内に設置されるケ
ミカルフィルタユニットであって、吸込口と吹出口を有
するケーシング内に、室内空気を吸込口から吸い込んで
吹出口から吹き出すことで循環させるファンと、循環空
気中のケミカル物質を除去するケミカルフィルタとを組
み込んでなることを特徴とするケミカルフィルタユニッ
ト。 - 【請求項２】 請求項１記載のケミカルフィルタユニッ
トであって、筒形をなすケーシングの一端側に吸込口を
設けるとともに他端側に吹出口を設け、かつ吸込口また
は吹出口の内側にケミカルフィルタを配置するとともに
そのケミカルフィルタを吸込口または吹出口から着脱可
能としたことを特徴とするケミカルフィルタユニット。 - 【請求項３】 請求項１または２記載のケミカルフィル
タユニットをクリーンルーム内に設置し、そのケミカル
フィルタユニットにより室内空気の少なくとも一部を循
環させつつ循環空気中のケミカル物質を除去することを
特徴とする空気清浄化システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002013162A JP2003210926A (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | ケミカルフィルタユニットおよび空気清浄化システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002013162A JP2003210926A (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | ケミカルフィルタユニットおよび空気清浄化システム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003210926A true JP2003210926A (ja) | 2003-07-29 |
Family
ID=27650187
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002013162A Pending JP2003210926A (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | ケミカルフィルタユニットおよび空気清浄化システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003210926A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005161214A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Taikisha Ltd | 電子製品製造設備 |
| JP2006292300A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Hiromi Komine | 外気導入型空調機及び空調システム |
| JP2013202474A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Kotohira Kogyo Kk | 集塵機 |
| JP2016172203A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 清水建設株式会社 | 空気清浄化システム |
-
2002
- 2002-01-22 JP JP2002013162A patent/JP2003210926A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005161214A (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-23 | Taikisha Ltd | 電子製品製造設備 |
| JP4557533B2 (ja) * | 2003-12-03 | 2010-10-06 | 株式会社大気社 | 電子製品製造設備 |
| JP2006292300A (ja) * | 2005-04-12 | 2006-10-26 | Hiromi Komine | 外気導入型空調機及び空調システム |
| JP2013202474A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Kotohira Kogyo Kk | 集塵機 |
| JP2016172203A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | 清水建設株式会社 | 空気清浄化システム |
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