JP3323137B2

JP3323137B2 - クリーンルーム設備

Info

Publication number: JP3323137B2
Application number: JP26121198A
Authority: JP
Inventors: 鎮雄鍵野; 友彦岩野; 和雄嶋津; 日出男大越; 敏行西脇
Original assignee: 三喜産業株式会社; 富士電機総設株式会社
Priority date: 1998-09-16
Filing date: 1998-09-16
Publication date: 2002-09-09
Anticipated expiration: 2018-09-16
Also published as: JP2000084326A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ケミカルフィル
タと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置とその
利用設備、例えばクリーンルーム設備、クリーンブー
ス、クリーンベンチ等に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルーム設備、クリーンブース、
クリーンベンチ等において、製造プロセス上または研究
プロセス上、ケミカルガスによる汚染を問題とする場合
には、塵埃除去用として設置される高性能フィルタ（Ｈ
ＥＰＡ）または超高性能フィルタ（ＵＬＰＡ）のフィル
タ枠の上方もしくはフィルタの上流側に、化学汚染物質
除去用のケミカルフィルタを設置した空気清浄化装置を
利用して、ケミカルフリーなクリーン空間を作ること
が、従来、行われている。

【０００３】図１５に、かかるクリーンルーム設備の概
略構成を示す。図１５において、製造または研究装置３
１が置かれたクリーンルーム３０の上方のプレナムチャ
ンバ３８に、複数個の塵埃除去フィルタ（ＨＥＰＡまた
はＵＬＰＡ）１ａが、クリーンルームへの空気導入口３
９に臨んで取り付けられ、その上部に、ケミカルフィル
タ２ａが取り付けられる。空気は、矢視のように、クリ
ーンルーム３０、フリーアクセス床３３、取出路３４、
循環路４０を経て、プレナムチャンバ３８の空気導入口
３９に至る循環系を流れ、ケミカルフィルタ２ａと塵埃
除去フィルタ１ａとからなる空気清浄化装置において、
ケミカルフリーなクリーンエアーが生成される。

【０００４】循環路中には、通常、空調機３６が設けら
れ、温度および湿度の調整が行われる。空気循環用の送
風機は、図示されないが、空調機３６の部分に設ける場
合と、前記塵埃除去フィルタ１ａの上部に、フィルタ取
り付け構造部材に組み込んでファンフィルタユニットと
して設ける場合とがあり、後者の場合には小容量の送風
機をクリーンルーム全体に分散して設けることとなる。

【０００５】図１６に、空気清浄化装置の異なる従来例
を示す（特開平９−１４５１１１号公報参照）。図１６
の装置は、塵埃除去フィルタ１ｂとイオン交換フィルタ
（ケミカルフィルタ）２ｂとを積層し、その上流側に送
風機１００を設けてファンフィルタユニットとして構成
したものである。この装置の下方にベンチまたはブース
を形成すれば、クリーンベンチやクリーンブースが構成
できるが、クリーンルーム設備に利用する場合には、前
述の図１５におけるファンフィルタユニットを用いる場
合と全体的構成は同様となる。ただし、図１５の場合に
は、送風機がケミカルフィルタの下流側に設けられてい
るのに対し、図１６の場合には、上流側に設けられてい
る点が異なる。

【０００６】さらに、図１７に、システム天井とケミカ
ルフィルタとを組み合わせた従来例を示す。図１７にお
いては、空調機３６より循環路４０を経てシステム天井
チャンバ５１に送気された空気が、塵埃除去フィルタ１
ｃにより清浄化され、クリーンルーム３０へ、ダウンフ
ローで供給される。塵埃除去フィルタ１ｃは、吊りボル
ト５３によって支持されたシステム天井フレーム５２に
設置され、また、システム天井フレーム５２には、証明
器具５４やブランクパネル５５なども取り付けられて、
天井全体がシステム化された構成となっている。

【０００７】ところで、クリーンルーム３０へ供給され
たクリーンエアーは、クリーンルーム内で発生した塵埃
やケミカルガスを気流にのせて、取出路３４を経由して
ケミカルフィルタチャンバ５６に吸引され、このチャン
バ内に設けたケミカルフィルタ２ｃによりケミカルガス
が吸着除去される。

【０００８】前述の図１５の従来例においては、ケミカ
ルフィルタを塵埃除去フィルタの上方に設置する例につ
いて説明したが、一般的には、ケミカルフィルタの設置
スペースをプレナムチャンバ３８内に確保することが困
難であり、特に既存設備にケミカルガスフィルタを追加
することが必要となった場合には、図１７の例のように
取出路中、または循環路中に、ケミカルフィルタを設け
ざるをえない場合が多い。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】以上記載した図１５な
いし図１７のような従来装置においては、以下のような
問題があった。

【００１０】先ず、図１５および図１６の従来装置にお
いては、ケミカルフィルタのメンテナンス上の問題があ
る。一般的に、ケミカルフィルタは、塵埃除去フィルタ
（ＨＥＰＡやＵＬＰＡ）に比較して、フィルタ寿命が短
く、交換頻度が多くなる。図１５の装置の場合、ケミカ
ルフィルタ２ａの交換時には、交換用の重いケミカルフ
ィルタをクリーンルーム上部のプレナムチャンバ３８内
に搬入し、取り外したケミカルフィルタをプレナムチャ
ンバ３８の外に搬出する重量物搬送が必要であり、短期
間でケミカルフィルタの交換を行うためには、かなりの
人数の作業員の投入が必要となる。

【００１１】図１６の装置の場合には、ケミカルフィル
タの交換を行うためには、ファンフィルタユニットか
ら、ケミカルフィルタのみを取り出す必要があり、交換
作業が複雑となる。

【００１２】また、第２の問題点として、図１５の従来
装置の場合には、プレナムチャンバ３８の高さが高くな
り、その分、クリーンルームの建物の階高も高くなるの
で、建設コストが増大する問題がある。

【００１３】さらに前述のように、特に既存設備におい
ては、ケミカルフィルタを設置するスペースがプレナム
チャンバ内に確保できない場合がある。これを解決する
方法としては、図１５において、塵埃除去フィルタ１ａ
の下流側にケミカルフィルタを設置すればよい訳である
が、ケミカルフィルタ剤として良く知られた活性炭、合
成ゼオライト、アルミナ、シリカゲル等はケミカルフィ
ルタ自身が発塵するために、この方法は不都合である。
比較的発塵の少ないと考えられる、樹脂発泡体に球状活
性炭を担持させたケミカルフィルタでさえ、後述するよ
うに微量の発塵がある。従って、前述のように、ケミカ
ルフィルタを塵埃除去フィルタ１ａの下流側に単純に設
置するのは不都合である。

【００１４】図１７のように取出路、または循環路中に
設置する方法はあるものの、後述のような問題があると
ともに、ケミカルフィルタの設置場所に制限をうけるこ
ととなり、設備全体からみて、ケミカルフィルタの設置
自由度がないという第３の問題がある。

【００１５】さらに、図１７のように設置する場合にお
いて、次のような第４の問題がある。ケミカルフィルタ
チャンバ５６の空気通過断面積は、システム天井の面積
ないしはクリーンルームの空気導入口の断面積に比べて
極めて小さいので、ケミカルフィルタの通過風速が極め
て速くなる。そのため、ケミカルフィルタのケミカルガ
ス吸着特性が十分に発揮されず、その結果、クリーンル
ーム内の製造または研究プロセス上要求するケミカルガ
スの濃度限界を定常的に安定的に確保することが不可能
となる。

【００１６】また、第５の問題として、送風機の軸受か
ら吸収される微量のケミカルガスの問題がある。図１７
においては、ケミカルフィルタの下流側に送風機が配置
される。この送風機の軸受は、循環空気の流路と流路外
の駆動電動機との間に設けられるので、循環空気が流動
し流路内が負圧になると、軸受から微量のケミカルガス
を循環空気が吸引することとなる。従って、図１７のよ
うに、ケミカルフィルタの下流側に送風機が配置される
場合には、送風機の軸受から吸収された微量化学汚染物
質は、ケミカルフィルタで吸着されることなくクリーン
ルーム内に拡散することとなる。

【００１７】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、本発明の課題は、クリーンル
ーム設備、クリーンブース、クリーンベンチ等におい
て、化学汚染物質の適正な除去を図るとともに、ケミカ
ルフィルタのメンテナンス性の向上と設置自由度の確保
を図ること、および設備高さの低減を図ること、さらに
は、かかる設備に利用されるに最適な、ケミカルフィル
タと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置を提供
することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め、空気清浄化装置を、請求項１の発明では、清浄化す
べき空気流の上流側に、主塵埃除去フィルタを設け、こ
のフィルタの下流側に、ケミカルフィルタと補助塵埃除
去フィルタとを順次配設するものとする。これにより、
空気清浄化装置に導入された化学汚染物質、ならびに空
気の塵埃粒子とケミカルフィルタ自体で発生する塵埃粒
子が適正に除去できるとともに、ケミカルフィルタが下
流側に設けられるので、ケミカルフィルタの保守・交換
が容易となる。

【００１９】また、請求項２の発明では、請求項１にお
いて、主塵埃除去フィルタおよび補助塵埃除去フィルタ
を、高性能フィルタ（ＨＥＰＡ）又は超高性能フィルタ
（ＵＬＰＡ）とし、補助塵埃除去フィルタの塵埃除去性
能は、ケミカルフィルタ自体で発生する塵埃粒子が除去
できればよい程度に主塵埃除去フィルタの塵埃除去性能
より低位なものとする。これにより、メンテナンス性が
向上する他に、空気清浄化装置の高さ寸法が低減できる
メリットがある。

【００２０】さらに、請求項３の発明では、請求項１に
おいて、ケミカルフィルタと補助塵埃除去フィルタとを
一つの構造体に配設して無発塵ケミカルフィルタとな
し、この無発塵ケミカルフィルタを空気清浄化装置から
着脱交換可能に構成する。これにより、メンテナンス性
がさらに向上しまた高さ寸法の低減が図れる。

【００２１】請求項４の発明は、上記の空気清浄化装置
をクリーンルーム設備に利用するもので、クリーンルー
ムの構成を、クリーンルーム内の空気を取り出す取出路
と、クリーンルームへの空気導入口に設けた請求項３に
記載の空気清浄化装置と、前記取出路から取り出した空
気を前記空気導入口へ循環させる循環路と、この循環路
中もしくは前記空気清浄化装置の上部に設けた送風機
と、からなるものとする。これにより、メンテナンス性
の向上と設備の高さ寸法の低減およびコストの低減が図
れる。さらに、送風機の軸受から吸収される化学汚染物
質の除去が確実に行われて、クリーンルームへの拡散が
防止できる。

【００２２】請求項５ないし８の発明は、請求項４のク
リーンルーム設備の循環路が、クリーンルームへの空気
導入口に臨む位置に、フィルタボックス，クリーンユニ
ット，フィルタ分散送風ダクトのフィルタ取付ユニッ
ト，およびシステム天井をそれぞれ備えて、その内部に
前述の請求項３に記載の空気清浄化装置を配設するもの
で、これにより、前述の利点以外に、空気清浄化装置の
取り付けが容易となる利点が得られる。

【００２３】請求項９の発明は、前記の空気清浄化装置
をクリーンベンチまたはクリーンブースに利用するもの
で、送風機を有する送風チャンバの下方に、少なくとも
一つの請求項３に記載の空気清浄化装置と、ケミカルガ
スフリークリーン空間とを順次配設するもので、前述と
同様の理由により、ケミカルフリーでかつメンテナンス
性の良いクリーンベンチまたはクリーンブースを提供す
ることができる。

【００２４】請求項10の発明は、請求項９のものにおい
て、送風チャンバの下方にフィルタチャンバを設け、こ
のチャンバに設けたフィルタ取り付けガイドレールに沿
って、主塵埃除去フィルタと無発塵ケミカルフィルタと
をそれぞれ出し入れ可能に構成するもので、メンテナン
ス性がさらに改善される。

【００２５】請求項11ないし請求項13の発明は、前記ク
リーンルーム設備やクリーンベンチまたはクリーンブー
スに利用されるのに最適な、ケミカルフィルタと塵埃除
去フィルタとを備えた空気清浄化装置に関するもので、
請求項11の発明は、請求項３記載のものにおいて、ケミ
カルフィルタを、樹脂発泡体に球状活性炭を担持させた
ものとする。かかるケミカルフィルタは、化学汚染物質
の吸着性能が高くかつ流体圧力損失が小さい。また、そ
れ自体の発塵が少ないので、補助塵埃フィルタは寸法が
薄いものでよい。従って、全体として高さ寸法が低減さ
れた所望の性能を有する無発塵ケミカルフィルタを得る
ことができる。

【００２６】請求項12の発明は、請求項11においてケミ
カルフィルタを、除去すべきケミカルガスの種類に応じ
て異なるフィルタを複数個積層して構成するもので、ケ
ミカルガスへの適応性が向上する。

【００２７】請求項13の発明は、無発塵ケミカルフィル
タのケミカルフィルタと補助塵埃除去フィルタとの間
に、好通気性低圧力損失性を有するシートを挿入し、こ
のシートを持ち上げることによりケミカルフィルタを、
前記無発塵ケミカルフィルタから着脱交換可能に構成す
るもので、ケミカルフィルタ自体のメンテナンス性がさ
らに向上する。

【００２８】

【発明の実施の形態】図面に基づき、本発明の実施の形
態について以下にのべる。

【００２９】図１は、請求項１，２，３および４の発明
に関わる実施例を示す概略構成図である。同図におい
て、図１５の従来装置と同一部材については同一の符合
を付して説明を省略する。図１が図１５と異なる点は、
図１５におけるクリーンルーム３０の上部に配設された
空気清浄装置の構成に関わり、図１においては、主塵埃
除去フィルタ１を、プレナムチャンバ３８の空気導入口
３９に臨んで配置し、その下流側に、ケミカルフィルタ
２と補助塵埃除去フィルタ３とを順次配設し、さらに、
ケミカルフィルタ２と補助塵埃除去フィルタ３とを一体
構成して無発塵ケミカルフィルタ４となし、無発塵ケミ
カルフィルタ吊り金物４１により、クリーンルームの天
井部分に取り付けるようにした点である。上記構成によ
り、前記主塵埃除去フィルタ１および無発塵ケミカルフ
ィルタ４の内、無発塵ケミカルフィルタ４を、クリーン
ルーム３０の内側からアプローチして、前記主塵埃除去
フィルタ１とは別個に、空気清浄化装置から容易に着脱
できる。従って、ケミカルフィルタ２の保守・交換が容
易となって、メンテナンス性が向上する。

【００３０】次に、図１における前記無発塵ケミカルフ
ィルタ４の実施例の詳細につき、以下に述べる。図２
は、無発塵ケミカルフィルタの実施例を示すものであ
る。図２において、ケミカルフィルタ２と補助塵埃除去
フィルタ３とは、フィルタ枠５の中に一体的に収納され
て、無発塵ケミカルフィルタを構成する。

【００３１】図２におけるケミカルフィルタ２として
は、請求項１１に記載した樹脂発泡体に球状活性炭を担
持させたもの、例えば、ニッタ株式会社製超高性能ケミ
カルフィルタ（商品名：ギガソーブ）が好適である。こ
のケミカルフィルタは、例えば、ポリウレタン発泡体構
造に直径約０．５ｍｍの球状活性炭を担持させたもの
で、優れた通気性が確保されて流体圧力損失が大幅に低
減され、かつ、ろ材の表面が固く成形された固形構造の
ため、従来のケミカルフィルタのように、フィルタ剤自
身から発塵することは殆どない。また活性炭同志が空気
の流通に伴って擦れることによって発生する発塵も、大
幅に低減される。

【００３２】活性炭からの発塵量が大幅に低減されるも
のとはいえ、発明者等の実験したところによれば、以下
のように、クリーンルームにとっては許容できない微量
の発塵が認められる。例えば、超高性能フィルタ（ＵＬ
ＰＡ）の下流側に前記ケミカルフィルタ（商品名：ギガ
ソーブ）を配置した試験用フィルタに、試験風速0.5m／
secの空気を流し、粒径0.1μm以上の発塵粒子の個数
を、３７回にわたり測定した。この結果によれば、３７
回中２７回の測定においては、発塵量は０であったが、
１０回の測定において、測定流量６０ＣＦ当たり１〜３
個の発塵量を検出した。これは、換算すると0.017〜0.0
50/CFに相当し、３７回の算術平均では、0.007/CFに相
当する。

【００３３】上記のように、微量の発塵が認められるも
のの、ケミカルフィルタ自身の発塵量はかなり少ないの
で、前述のように、補助塵埃除去フィルタの塵埃除去性
能は、主塵埃除去フィルタの塵埃除去性能よりかなり低
位なものでよい。これにより、フィルタの高さの低減
と、コストの低減を図ることができる。

【００３４】図２におけるケミカルフィルタ２として
は、除去すべき化学汚染物質の種類に応じて異なるフィ
ルタを使い分けることができ、また、請求項１２に記載
したように、異なるフィルタを複数積層することもでき
る。この構成の概略を図３に示す。図３において、２
１，２２および２３はそれぞれ異なるフィルタを示すも
ので、例えば、アルカリ性ガス除去用，酸性ガス除去
用，有機系ガス除去用などに適合した異なるフィルタを
用いることができる。

【００３５】さらに、図４は、請求項１３に記載した無
発塵ケミカルフィルタの概略構成、即ち、ケミカルフィ
ルタと補助塵埃除去フィルタとの間に、好通気性低圧力
損失性を有するシートを挿入し、このシートを持ち上げ
ることによりケミカルフィルタを、前記無発塵ケミカル
フィルタから着脱交換可能に構成した実施例を示す。好
通気性低圧力損失性を有するシートとしては、例えば、
ガラスクロスの単繊維からなる不織布が利用できる。

【００３６】図５（ａ）は、前記無発塵ケミカルフィル
タの設備への取付構造を考慮した概略構成図を、図５
（ｂ）は、利用設備に取り付けた一例の概略構成図を示
す。図５（ａ）において、フィルタ取付構造部材８ａ
は、シール部材７を有し、このシール部材は、図５
（ｂ）における利用設備構造部材８ｂとの間でシール機
能を構成する。

【００３７】次に、請求項５ないし８に関わるクリーン
ルームの実施例について、図６ないし図１２を引用して
述べる。図６ないし図１２において、図１および図１５
と同一部材については同一の符合を付して説明を省略す
る。

【００３８】図６および図７は、請求項５に関わる実施
例を示し、循環路４０に接続された接続ダクト４３を介
してクリーンルーム３０との間にフィルタボックス４２
を設ける。このフィルタボックスの中に、図７に示すよ
うに、主塵埃除去フィルタ１と無発塵ケミカルフィルタ
４とを、フィルタ取付金物４５によりパッキン４６を介
して、取り付ける。フィルタボックス４２の上部には、
接続ダクト接続口４７を設けて、接続ダクト４３とフィ
ルタボックス４２とを接続するように構成する。フィル
タボックス４２の下部には、パンチングボード４４を設
ける。このパンチングボード４４を取り外した後、クリ
ーンルーム側から無発塵ケミカルフィルタ４にアプロー
チすることにより、無発塵ケミカルフィルタ４のメンテ
ナンスを容易に行うことができる。

【００３９】図８は、請求項６に関わる実施例を示し、
クリーンルーム天井４８の開口部にクリーンユニット６
０を設けた実施例を示す。このクリーンユニット６０
は、上部に吸気チャンバ６１とこのチャンバに取り付け
た送風機１００を有し、送風チャンバ６７の下流に、前
記フィルタボックスにおける場合と同様に、主塵埃除去
フィルタ１と無発塵ケミカルフィルタ４とを取り付け
る。クリーンルーム天井４８の一部に設けた吸込ギャラ
リ６２、プレフィルタ６３、吸込ダクト６４、吸込口６
５を経由して、クリーンルーム内の空気を送風機によ
り、主塵埃除去フィルタ１と無発塵ケミカルフィルタ４
とに送気し、清浄化した空気をクリーンルームに戻す。
クリーンユニット６０の下部には、パンチングボード４
４を設け、クリーンルーム側から無発塵ケミカルフィル
タ４にアプローチすることにより、無発塵ケミカルフィ
ルタ４のメンテナンスが容易にできることは、前述のと
おりである。

【００４０】図９および図10は、請求項７に関わる実施
例を示す。空調機３６より上部チャンバ７４、フィルタ
分散送風ダクト７０に送気された空気は、フィルタ取付
ユニット部７２に設置された主塵埃除去フィルタ１およ
び無発塵ケミカルフィルタ４により塵埃および化学汚染
物質が除去され、無塵、ケミカルガスフリーなクリーン
エアーとしてクリーンルーム３０内に吹き出される。ク
リーンルーム３０内に吹き出されたクリーンエアーは、
クリーンルーム３０内で発生した塵埃やプロセス上有害
なケミカルガスを気流に乗せて空調機３６の吸込口７３
より空調機３６へ還流する。この循環を繰り返すことに
よりクリーンルーム内を無塵、ケミカルガスフリーなク
リーン空間として維持する。

【００４１】図１０は、図９の実施例におけるフィルタ
分散送風ダクト７０の詳細を示す図である。上部に送風
チャンバ部７１を有し、その下方に、前記フィルタボッ
クスにおける場合と同様に、空気清浄化装置を取り付け
る。無発塵ケミカルフィルタ４のメンテナンスに当たっ
ては、パンチングボード４４の部位から同無発塵ケミカ
ルフィルタ４にアクセスすることも同様である。

【００４２】図１１および図１２は、請求項８のシステ
ム天井を備えたクリーンルームに関わる実施例を示す。
図１１の設備は、図１７におけるケミカルフィルタ２ｃ
を、無発塵ケミカルフィルタ４に置き換えて、システム
天井下部フレーム５２ａに取り付け、その上流側のシス
テム天井上部フレーム５２ｂに、主塵埃除去フィルタ１
を取り付けたものである。その他、吊りボルト５３ａ，
５３ｂの構成が図１７とは異なるが、他の構成は、基本
的には図１７と同一である。前記のシステム天井を備え
たクリーンルーム設備は、化学汚染物質の適正な除去と
ケミカルフィルタのメンテナンス性の向上が図れること
は、前記設備と同様である。

【００４３】次に、請求項９および10に関わるクリーン
ベンチまたはクリーンブースの実施例について、図１３
および図１４を引用して述べる。クリーンベンチまたは
クリーンブースは、クリーンルームに比べて、比較的小
空間をクリーン化し、ユニットルームとして形成した設
備であり、基本的な構成は、クリーンルームと類似す
る。図１３および図１４は、この発明に係る２組の空気
清浄化装置を使用した設備の実施例を示す。

【００４４】送風機１００により送風チャンバ８１に送
気された空気は、フィルタチャンバ８２に送られ、フィ
ルタチャンバ８２内に取り付けられた主塵埃除去フィル
タ１および無発塵ケミカルフィルタ４からなる空気清浄
化装置により清浄化され、パンチングボード８４を経て
ケミカルガスフリークリーン空間８０へ吹き出される。
このクリーンエアーにより、ケミカルガスフリークリー
ン空間８０は、無塵、ケミカルガスフリーな空間として
維持される。

【００４５】送風チャンバ８１やフィルタチャンバ８２
は、レベル調整付自立足８６により支持し、フィルタチ
ャンバ８２の側面には、フィルタ装着口８３を設ける。
また、送風チャンバ８１の側面には、プレフィルタ８５
を経由して外部から空気を導入するための送風機１００
を設ける。

【００４６】図１４は、図１３のＡ−Ａ矢視断面詳細を
示す図である。主塵埃除去フィルタ１および無発塵ケミ
カルフィルタ４は、それぞれ、フィルタ取付ガイド８７
に沿って、クリーンベンチ、クリーンブース等の設備に
挿入設置し、下部のフィルタ取付ガイドに設けたフィル
タ取付押えネジ８８によりパッキングを介して上部のフ
ィルタ取付ガイドに密着固定する。

【００４７】前記のクリーンベンチ、クリーンブース等
の設備は、化学汚染物質の適正な除去とケミカルフィル
タのメンテナンス性の向上が図れることは、前記クリー
ンルーム設備と同様であり、特に、フィルタ取付ガイド
８７に沿って、クリーンベンチ、クリーンブース等の設
備に空気清浄化装置を出し入れできるようにしたことに
より、ユニット設備としてのメンテナンス性がさらに向
上する。

【００４８】

【発明の効果】各請求項の発明のそれぞれの効果につい
ては、既に上記に記載したとおりであるが、この出願の
発明について総括的に以下に述べると、請求項１ないし
請求項１３の発明によれば、クリーンルーム、クリーン
ブース、クリーンベンチ等の設備において、化学汚染物
質の適正な除去を図ることができる、ケミカルフィルタ
のメンテナンス性の向上と設置自由度の確保を図ること
ができる、設備高さおよびコストの低減を図ることがで
きる、さらに、かかる設備に利用されるに最適な、ケミ
カルフィルタと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化
装置を提供することができるなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項４に関わるクリーンルーム設備の実施例
を示す構成図である。

【図２】請求項11に関わる無発塵ケミカルフィルタの実
施例を示す構成図である。

【図３】請求項12に関わる無発塵ケミカルフィルタの実
施例を示す構成図である。

【図４】請求項13に関わる無発塵ケミカルフィルタの実
施例を示す構成図である。

【図５】無発塵ケミカルフィルタの設備への取り付け構
造を示す図である。

【図６】請求項５に関わるフィルタボックスを備えたク
リーンルーム設備の実施例を示す構成図である。

【図７】フィルタボックスの構成の詳細を示す図であ
る。

【図８】請求項６に関わるクリーンユニットを備えたク
リーンルーム設備の実施例を示す構成図である。

【図９】請求項７に関わるフィルタ分散送風ダクトを備
えたクリーンルーム設備の実施例を示す構成図である。

【図１０】フィルタ分散送風ダクトにおけるフィルタ取
付ユニット部の構成の詳細を示す図である。

【図１１】請求項８に関わるシステム天井を備えたクリ
ーンルーム設備の実施例を示す構成図である。

【図１２】システム天井の構成の詳細を示す図である。

【図１３】請求項９に関わるクリーンベンチまたはクリ
ーンブースの実施例を示す構成図である。

【図１４】図１３におけるＡ−Ａ矢視断面の詳細を示す
図である。

【図１５】従来のクリーンルーム設備および空気清浄化
装置の一例を示す構成図である。

【図１６】図１５に示されたものとは異なる従来の空気
清浄化装置を示す構成図である。

【図１７】図１５とは異なる従来のシステム天井を備え
たクリーンルーム設備を示す構成図である。

【符号の説明】

１：主塵埃除去フィルタ、２：ケミカルフィルタ、３：
補助塵埃除去フィルタ、４：無発塵ケミカルフィルタ、
６：好通気性低圧力損失性を有するシート、３０：クリ
ーンルーム、３４：取出路、３９：空気導入口、４０：
循環路、４２：フィルタボックス、５１：システム天井
チャンバ、６０：クリーンユニット、７０：フィルタ分
散送風ダクト、７２：フィルタ取付ユニット部、８０：
ケミカルガスフリークリーン空間、８７：フィルタ取付
ガイド。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者嶋津和雄東京都中央区八丁堀二丁目20番８号富士電機総設株式会社内 (72)発明者大越日出男東京都中央区八丁堀二丁目20番８号富士電機総設株式会社内 (72)発明者西脇敏行長野県長野市北尾張部88 (56)参考文献特開平５−146622（ＪＰ，Ａ) 特開平７−8752（ＪＰ，Ａ) 特開平７−16419（ＪＰ，Ａ) 実開平４−118121（ＪＰ，Ｕ) 登録実用新案3006848（ＪＰ，Ｕ) 登録実用新案3039749（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B01D 46/00 - 46/54 B01D 53/04 F24F 7/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】クリーンルーム内の空気を取り出す取出
路と、クリーンルームへの空気導入口に設けた空気清浄
化装置と、前記取出路から取り出した空気を前記空気導
入口へ循環させる循環路と、この循環路中もしくは前記
空気清浄化装置の上部に設けた送風機とからなるクリー
ンルーム設備において、前記空気清浄化装置は、清浄化すべき空気流の上流側に
設けた主塵埃除去フィルタと、この主塵埃除去フィルタ
の下流側に設けられ、ケミカルフィルタと補助塵埃除去
フィルタとを順次配設して一つの構造体とした無発塵ケ
ミカルフィルタとからなり、前記主塵埃除去フィルタと無発塵ケミカルフィルタと
は、それぞれ前記空気導入口に個別に取付け、かつ、少
なくとも前記無発塵ケミカルフィルタは、クリーンルー
ム内方側からアプローチして、前記主塵埃除去フィルタ
とは別個に、空気清浄化装置から着脱交換可能に構成し
たことを特徴とするクリーンルーム設備。
【請求項２】請求項１記載のものにおいて、前記主塵
埃除去フィルタおよび補助塵埃除去フィルタは、高性能
フィルタ（ＨＥＰＡ）又は超高性能フィルタ（ＵＬＰ
Ａ）からなり、補助塵埃除去フィルタの塵埃除去性能
は、主塵埃除去フィルタの塵埃除去性能より低位なもの
としたことを特徴とするクリーンルーム設備。
【請求項３】請求項１又は２記載のものにおいて、前
記循環路は、クリーンルームへの空気導入口へ臨む位置
にフィルタボックスを備え、このフィルタボックス内
に、前記空気清浄化装置を配設したことを特徴とするク
リーンルーム設備。
【請求項４】請求項１又は２記載のものにおいて、前
記循環路は、クリーンルームへの空気導入口へ臨む位置
にクリーンユニットを備え、このクリーンユニット内
に、送風機と前記空気清浄化装置とを配設したことを特
徴とするクリーンルーム設備。
【請求項５】請求項１又は２記載のものにおいて、前
記循環路は、フィルタ分散送風ダクトを備え、このダク
トのクリーンルームへの空気導入口へ臨む位置に設けた
フィルタ取付ユニット部内に、前記空気清浄化装置を配
設したことを特徴とするクリーンルーム設備。
【請求項６】請求項１又は２記載のものにおいて、前
記循環路は、クリーンルームへの空気導入口へ臨む位置
にシステム天井を備え、このシステム天井内部に、前記
空気清浄化装置を配設したことを特徴とするクリーンル
ーム設備。
【請求項７】請求項１記載のものにおいて、前記ケミ
カルフィルタは、樹脂発泡体に球状活性炭を担持させた
ものとしたことを特徴とするクリーンルーム設備。
【請求項８】請求項１又は７記載のものにおいて、前
記ケミカルフィルタは、除去すべきケミカルガスの種類
に応じて異なるフィルタを複数個積層してなるものとし
たことを特徴とするクリーンルーム設備。
【請求項９】請求項１，７，８のいずれかに記載のも
のにおいて、前記無発塵ケミカルフィルタのケミカルフ
ィルタと補助塵埃除去フィルタとの間に、好通気性低圧
力損失性を有するシートを挿入し、このシートを持ち上
げることによりケミカルフィルタを、前記無発塵ケミカ
ルフィルタから着脱交換可能に構成したことを特徴とす
るクリーンルーム設備。