JPH05146622A - フイルタ - Google Patents
フイルタInfo
- Publication number
- JPH05146622A JPH05146622A JP3310385A JP31038591A JPH05146622A JP H05146622 A JPH05146622 A JP H05146622A JP 3310385 A JP3310385 A JP 3310385A JP 31038591 A JP31038591 A JP 31038591A JP H05146622 A JPH05146622 A JP H05146622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- air
- filter medium
- frame
- clean room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 クリーンルームの建設に使用されるフィルタ
に関し、特にガス状の化学物質を発生するクリーンルー
ムの建設を容易ならしめるフィルタの提供を目的とす
る。 【構成】 細い繊維がシート状に圧縮されて気体中の浮
遊微粒子を捕捉する通気性の濾材を管状で両端開口のフ
レーム内に装着して構成したフィルタにおいて、濾材が
フレーム21内の一方の端部に装着された第１の濾材22a
と他方の端部に装着された第２の濾材22b とで構成され
るとともに、気体中にガス状で存在する化学物質を吸着
する吸着材23が第１の濾材22aと第２の濾材22b との間
に充填してフィルタを構成する。
に関し、特にガス状の化学物質を発生するクリーンルー
ムの建設を容易ならしめるフィルタの提供を目的とす
る。 【構成】 細い繊維がシート状に圧縮されて気体中の浮
遊微粒子を捕捉する通気性の濾材を管状で両端開口のフ
レーム内に装着して構成したフィルタにおいて、濾材が
フレーム21内の一方の端部に装着された第１の濾材22a
と他方の端部に装着された第２の濾材22b とで構成され
るとともに、気体中にガス状で存在する化学物質を吸着
する吸着材23が第１の濾材22aと第２の濾材22b との間
に充填してフィルタを構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームの建設
に使用されるフィルタ、特にガス状の化学物質を発生す
るクリーンルームの建設を容易ならしめるフィルタに関
する。
に使用されるフィルタ、特にガス状の化学物質を発生す
るクリーンルームの建設を容易ならしめるフィルタに関
する。
【０００２】
【従来の技術】次に、従来のフィルタについて図２を参
照して説明する。図２は、従来のフィルタを説明するた
めの図であって、同図(a) は従来のフィルタの構造を模
式的に示す前面破砕斜視図、同図(b) は従来のフィルタ
を使用してなるクリーンルームの模式的な要部側断面図
である。
照して説明する。図２は、従来のフィルタを説明するた
めの図であって、同図(a) は従来のフィルタの構造を模
式的に示す前面破砕斜視図、同図(b) は従来のフィルタ
を使用してなるクリーンルームの模式的な要部側断面図
である。
【０００３】従来のフィルタ10は、同図(a) に示す如
く、箱型をして両端開口のフレーム11と、フレーム11内
の一方の端部に葛折り状に装着されて通過する空気の中
の浮遊微粒子を捕捉する濾材、例えば、細いガラス繊維
をシート状に圧縮してなる濾材12とで構成されていた。
く、箱型をして両端開口のフレーム11と、フレーム11内
の一方の端部に葛折り状に装着されて通過する空気の中
の浮遊微粒子を捕捉する濾材、例えば、細いガラス繊維
をシート状に圧縮してなる濾材12とで構成されていた。
【０００４】なお、濾材12は、フレーム11の内壁に接着
材（図示せず）により周着され、フレーム11の内壁と濾
材12との接合界面は空気が自由に通過できないように構
成されている。
材（図示せず）により周着され、フレーム11の内壁と濾
材12との接合界面は空気が自由に通過できないように構
成されている。
【０００５】このように構成されたフィルタ10の一端側
に浮遊微粒子を含む空気30を矢印Ｄ方向から送り込む
と、濾材12により浮遊微粒子（図示せず）が捕捉され
て、浮遊微粒子が殆ど存在しない清浄な空気30が他端側
から吹き出すこととなる。
に浮遊微粒子を含む空気30を矢印Ｄ方向から送り込む
と、濾材12により浮遊微粒子（図示せず）が捕捉され
て、浮遊微粒子が殆ど存在しない清浄な空気30が他端側
から吹き出すこととなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述したように従来の
フィルタ10でも空気中の浮遊微粒子を捕捉することにつ
いては十分に可能であった。
フィルタ10でも空気中の浮遊微粒子を捕捉することにつ
いては十分に可能であった。
【０００７】しかしながら、かかるフィルタ10も、空気
中にガス状で存在する化学物質を捕捉する能力は欠落し
ていた。したがって、図２(b) に示すように、ガス状の
化学物質が発生するクリーンルーム13を構成するにはフ
ィルタ10の配設だけでは不十分であり、プレナムチャン
バ14(Prenum chamber)とこのプレナムチャンバ14にフレ
ッシュエア31b(外気) を含む還流空気31を送る循環式空
調装置15との間に、空気中にガス状となって存在する化
学物質を吸着する吸着フィルタ16を配設する必要があっ
た。
中にガス状で存在する化学物質を捕捉する能力は欠落し
ていた。したがって、図２(b) に示すように、ガス状の
化学物質が発生するクリーンルーム13を構成するにはフ
ィルタ10の配設だけでは不十分であり、プレナムチャン
バ14(Prenum chamber)とこのプレナムチャンバ14にフレ
ッシュエア31b(外気) を含む還流空気31を送る循環式空
調装置15との間に、空気中にガス状となって存在する化
学物質を吸着する吸着フィルタ16を配設する必要があっ
た。
【０００８】このようにガス状の化学物質を発生するク
リーンルームに対してはフィルタ10と吸着フィルタ16と
の配設が不可欠であり、クリーンルームの建設が複雑且
つ面倒になるという問題があった。
リーンルームに対してはフィルタ10と吸着フィルタ16と
の配設が不可欠であり、クリーンルームの建設が複雑且
つ面倒になるという問題があった。
【０００９】本発明は、このような問題を解消するため
になされたものであって、その目的はガス状の化学物質
を発生するクリーンルームの建設を容易ならしめるフィ
ルタの提供にある。
になされたものであって、その目的はガス状の化学物質
を発生するクリーンルームの建設を容易ならしめるフィ
ルタの提供にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記目的は、図１に示す
ように、細い繊維がシート状に圧縮されて気体中の浮遊
微粒子を捕捉する通気性の濾材を管状で両端開口のフレ
ーム内に装着して構成したフィルタにおいて、濾材がフ
レーム21内の一方の端部に装着された第１の濾材22a と
他方の端部に装着された第２の濾材22b とで構成される
とともに、気体中にガス状で存在する化学物質を吸着す
る吸着材23が第１の濾材22a と第２の濾材22bとの間に
充填されていることを特徴とするフィルタにより達成さ
れる。
ように、細い繊維がシート状に圧縮されて気体中の浮遊
微粒子を捕捉する通気性の濾材を管状で両端開口のフレ
ーム内に装着して構成したフィルタにおいて、濾材がフ
レーム21内の一方の端部に装着された第１の濾材22a と
他方の端部に装着された第２の濾材22b とで構成される
とともに、気体中にガス状で存在する化学物質を吸着す
る吸着材23が第１の濾材22a と第２の濾材22bとの間に
充填されていることを特徴とするフィルタにより達成さ
れる。
【００１１】
【作用】本発明は、図１に示すように、空気中にガス状
となって存在する化学物質を吸着して除去する吸着材23
を、一方の内端部に第１の濾材22a を装着し他方の内端
部に第２の濾材22b を装着したフレーム内の中間部、す
なわち、第１の濾材22aと第２の濾材22b との間に充填
して構成している。
となって存在する化学物質を吸着して除去する吸着材23
を、一方の内端部に第１の濾材22a を装着し他方の内端
部に第２の濾材22b を装着したフレーム内の中間部、す
なわち、第１の濾材22aと第２の濾材22b との間に充填
して構成している。
【００１２】したがって、本発明のフィルタは、一つで
空気中の浮遊微粒子と化学物質とを除去できることとな
りクリーンルームの建設を容易ならしめることとなる。
空気中の浮遊微粒子と化学物質とを除去できることとな
りクリーンルームの建設を容易ならしめることとなる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の一実施例のフィルタ及びその
適用例について図１を参照して説明する。図１は、本発
明の一実施例のフィルタを説明するための図であって、
同図(a) は本発明の一実施例のフィルタの構造を模式的
に示す前面破砕斜視図、同図(b) は本発明の一実施例の
フィルタを使用してなるクリーンルームの模式的な要部
側断面図である。
適用例について図１を参照して説明する。図１は、本発
明の一実施例のフィルタを説明するための図であって、
同図(a) は本発明の一実施例のフィルタの構造を模式的
に示す前面破砕斜視図、同図(b) は本発明の一実施例の
フィルタを使用してなるクリーンルームの模式的な要部
側断面図である。
【００１４】なお、本明細書においては、同一部品、同
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の一実施例のフィルタ20は、同図(a) に示
すように、箱型をして両端開口のフレーム21と、フレー
ム21内の一方の端部に葛折り状に装着されて空気中の浮
遊微粒子を捕捉する濾材、例えば、細いガラス繊維をシ
ート状に圧縮してなる通気性を有するＨＥＰＡ(High Ef
ficiency Particulate Air-fielter) クラスの第１の濾
材22a と、フレーム21内の他方の端部に葛折り状に装着
されて空気中の浮遊微粒子を捕捉する濾材、例えば、第
１の濾材22a と同様に細いガラス繊維をシート状に圧縮
してなる通気性を有するＵＬＰＡ(Ultra Low Penetrati
on Air-fielter) クラスの第２の濾材22b と、フレーム
21内の中央部（第１の濾材22a と第２の濾材22b との
間）に充填されて通気性を有する塊状の吸着材、例え
ば、椰子殻活性炭を主材とする吸着材23を含んで構成し
たものである。
一材料等に対しては全図をとおして同じ符号を付与して
ある。本発明の一実施例のフィルタ20は、同図(a) に示
すように、箱型をして両端開口のフレーム21と、フレー
ム21内の一方の端部に葛折り状に装着されて空気中の浮
遊微粒子を捕捉する濾材、例えば、細いガラス繊維をシ
ート状に圧縮してなる通気性を有するＨＥＰＡ(High Ef
ficiency Particulate Air-fielter) クラスの第１の濾
材22a と、フレーム21内の他方の端部に葛折り状に装着
されて空気中の浮遊微粒子を捕捉する濾材、例えば、第
１の濾材22a と同様に細いガラス繊維をシート状に圧縮
してなる通気性を有するＵＬＰＡ(Ultra Low Penetrati
on Air-fielter) クラスの第２の濾材22b と、フレーム
21内の中央部（第１の濾材22a と第２の濾材22b との
間）に充填されて通気性を有する塊状の吸着材、例え
ば、椰子殻活性炭を主材とする吸着材23を含んで構成し
たものである。
【００１５】なお、第１及び第２の濾材22a,22b(濾材2
2)は、フレーム21の内壁に接着材（図示せず）により周
着され、フレーム21の内壁と濾材22との接合界面は空気
が自由に通過できないように構成されている。また、吸
着材23は、フレーム21内の中間部内壁に周着されて吸着
材23を通過させない第１の金網と第２の金網( 何れも図
示せず) との間に充填されている。
2)は、フレーム21の内壁に接着材（図示せず）により周
着され、フレーム21の内壁と濾材22との接合界面は空気
が自由に通過できないように構成されている。また、吸
着材23は、フレーム21内の中間部内壁に周着されて吸着
材23を通過させない第１の金網と第２の金網( 何れも図
示せず) との間に充填されている。
【００１６】したがって、このように構成した本発明の
一実施例のフィルタ20に浮遊微粒子とガス状の化学物質
を含む空気30を矢印Ｄ方向から送り込むと、粒径が０．
３μｍ程度の浮遊微粒子は第１の濾材22a により、粒径
が０．１μｍ程度の浮遊微粒子は第２の濾材22b により
捕捉されて除去されるともに、化学物質が吸着材23によ
り吸着された清浄な空気30が第２の濾材22b から吹き出
すこととなる。
一実施例のフィルタ20に浮遊微粒子とガス状の化学物質
を含む空気30を矢印Ｄ方向から送り込むと、粒径が０．
３μｍ程度の浮遊微粒子は第１の濾材22a により、粒径
が０．１μｍ程度の浮遊微粒子は第２の濾材22b により
捕捉されて除去されるともに、化学物質が吸着材23によ
り吸着された清浄な空気30が第２の濾材22b から吹き出
すこととなる。
【００１７】同図(b) は、本発明の一実施例のフィルタ
20を配設して建設したクリーンルーム24を模式的に示す
ものである。循環式空調装置15からプレナムチャンバ26
(Prenum chamber)に送りこまれた浮遊微粒子とガス状の
化学物質を含む還流空気31、すなわち、クリーンルーム
24からダウンフロアーエリア25に流れ出た空気31a とフ
レッシュエア31b(外気) よりなる還流空気31は、前述し
たように粒径が０．３μｍ程度の浮遊微粒子は第１の濾
材22a により、粒径が０．１μｍ程度の浮遊微粒子は第
１の濾材22b により捕捉されて除去されるとともに、化
学物質が吸着材23により吸着されてクリーンルーム24に
吹き出すこととなる。
20を配設して建設したクリーンルーム24を模式的に示す
ものである。循環式空調装置15からプレナムチャンバ26
(Prenum chamber)に送りこまれた浮遊微粒子とガス状の
化学物質を含む還流空気31、すなわち、クリーンルーム
24からダウンフロアーエリア25に流れ出た空気31a とフ
レッシュエア31b(外気) よりなる還流空気31は、前述し
たように粒径が０．３μｍ程度の浮遊微粒子は第１の濾
材22a により、粒径が０．１μｍ程度の浮遊微粒子は第
１の濾材22b により捕捉されて除去されるとともに、化
学物質が吸着材23により吸着されてクリーンルーム24に
吹き出すこととなる。
【００１８】なお、本発明のフィルタは、上述した本発
明の一実施例のフィルタ20から、第１の濾材22a 若しく
は第２の濾材22b の何れか一方を除外して構成すること
も同然可能である。
明の一実施例のフィルタ20から、第１の濾材22a 若しく
は第２の濾材22b の何れか一方を除外して構成すること
も同然可能である。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、空気中の
浮遊微粒子と化学物質とを除去できるフィルタの提供を
可能にする。
浮遊微粒子と化学物質とを除去できるフィルタの提供を
可能にする。
【００２０】したがって、本発明のフィルタを採用して
クリーンルームを建設すれば、その建設は極めて容易と
なる。
クリーンルームを建設すれば、その建設は極めて容易と
なる。
【図１】は、本発明の一実施例のフィルタを説明するた
めの図、
めの図、
【図２】は、従来のフィルタを説明するための図であ
る。
る。
10は、フィルタ、 11は、フレーム、 12は、濾材、 13は、クリーンルーム、 14は、プレナムチャンバ、 15は、循環式空調装置、 16は、吸着フィルタ、 20は、フィルタ、 21は、フレーム、 22は、濾材、 22a は、第１の濾材、 22b は、第２の濾材、 23は、吸着材、 24は、クリーンルーム、 25は、ダウンフロアーエリア、 26は、プレナムチャンバ、 30は、空気、 31は、還流空気をそれぞれ示す。
Claims (1)
- 【請求項１】 細い繊維がシート状に圧縮されて気体中
の浮遊微粒子を捕捉する通気性の濾材(22)を管状で両端
開口のフレーム(21)内に装着して構成したフィルタにお
いて、 濾材(22)がフレーム(21)内の一方の端部に装着された第
１の濾材(22a) と他方の端部に装着された第２の濾材(2
2b) とで構成されるとともに、前記気体中にガス状で存
在する化学物質を吸着する吸着材(23)が第１の濾材(22
a) と第２の濾材(22b) との間に充填されていることを
特徴とするフィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310385A JPH05146622A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3310385A JPH05146622A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05146622A true JPH05146622A (ja) | 1993-06-15 |
Family
ID=18004623
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3310385A Withdrawn JPH05146622A (ja) | 1991-11-26 | 1991-11-26 | フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05146622A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000084326A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-28 | Sanki Sangyo Kk | ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置とその利用設備 |
| EP1247558A1 (en) * | 2001-04-07 | 2002-10-09 | 3M Innovative Properties Company | A combination filter for filtering fluids |
-
1991
- 1991-11-26 JP JP3310385A patent/JPH05146622A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000084326A (ja) * | 1998-09-16 | 2000-03-28 | Sanki Sangyo Kk | ケミカルフィルタと塵埃除去フィルタとを備えた空気清浄化装置とその利用設備 |
| EP1247558A1 (en) * | 2001-04-07 | 2002-10-09 | 3M Innovative Properties Company | A combination filter for filtering fluids |
| WO2002081061A1 (en) * | 2001-04-07 | 2002-10-17 | 3M Innovative Properties Company | A combination filter for filtering fluids |
| KR100854173B1 (ko) * | 2001-04-07 | 2008-08-26 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 유체를 여과하는 조합 필터 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990204 |