JP7249028B2 - エアーフィルタ - Google Patents

Description

本発明は、空気中に含まれる塵埃及び微細な粒子を除去するエアーフィルタに関する。

プレフィルタを内蔵したプレフィルタ保持枠及び中性能フィルタ又は高性能フィルタを内蔵した本フィルタ保持枠を有するフィルタ保持枠と、フィルタ保持枠を収容する凹部が下流側に形成され、その凹部の底面に形成されたエアー流入口が形成され、そのエアー流入口の周縁にフィルタ保持枠の前面が当接するフィルタハウジングと、そのフィルタハウジングの凹部の外縁部に設置され、フィルタ保持枠を凹部底面の縁部に押圧する締め付け具とを備え、フィルタハウジングの凹部が複数のフィルタ保持枠をスライド可能に収容する広さを有し、凹部内にプレフィルタ保持枠及び本フィルタ保持枠がその順で収容され、凹部内に収容したフィルタ保持枠毎にエアー流入口と締め付け具が設置されたエアーフィルタ装置が開示されている（特許文献１参照）。

特開２０１８－１０９３号公報

前記特許文献１に開示のエアーフィルタ装置は、上流側に配置されたプレフィルタによって空気中に含まれる塵埃が除去され、プレフィルタの下流側に配置された中性能フィルタ又は高性能フィルタによって空気中に含まれる微細な粒子が除去される。しかし、ｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子が中性能フィルタ又は高性能フィルタに捕集されずにフィルタを通過する場合があり、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を確実に除去することができない。また、中性能フィルタ又は高性能フィルタがμｍサイズを超過する微粒子やμｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子を捕集することで、中性能フィルタ又は高性能フィルタの捕集機能が早期に飽和し、その捕集機能が低下するから、長期間にわたって清浄空気を給気することができない。

本発明の目的は、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができるエアーフィルタを提供することにある。本発明の他の目的は、フィルタの捕集機能が早期に飽和することはなく、長期間にわたって清浄空気を給気することができるエアーフィルタを提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の前提は、空気に含まれる粒子を除去するエアーフィルタである。

前記前提における本発明のエアーフィルタの特徴は、エアーフィルタが、空気の流入側に位置するプレフィルタと、プレフィルタの下流側に位置する中性能フィルタと、中性能フィルタの下流側に位置する多孔質フィルタと、多孔質フィルタの下流側であって空気の流出側に位置するＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタとから形成され、プレフィルタを保持する第１保持フレームと、中性能フィルタを保持する第２保持フレームと、多孔質フィルタを保持する第３保持フレームと、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタを保持する第４保持フレームと、第１～第４保持フレームを着脱可能に収容しつつ第１～第４保持フレームを空気通流方向へ気密に連結するフィルタハウジングとを含み、エアーフィルタでは、空気に含まれる塵埃がプレフィルタと中性能フィルタとに捕集され、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子が多孔質フィルタに吸着されるとともに、多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子がＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタによって捕集されることにある。

本発明のエアーフィルタの一例としては、プレフィルタが、所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置して中性能フィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、中性能フィルタが、所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置して多孔質フィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、多孔質フィルタが、中性能フィルタに対向する所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置してＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタが、多孔質フィルタに対向する所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置する所定面積の空気流出面とを有し、エアーフィルタでは、中性能フィルタの空気流出面と多孔質フィルタの空気流入面とが対向し、多孔質フィルタの空気流出面とＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタの空気流入面とが対向するように、それらフィルタが空気通流方向に並んでいる。

本発明のエアーフィルタの他の一例としては、プレフィルタ及び中性能フィルタが、プリーツ加工されたプリーツ型プレフィルタ及びプリーツ型中性能フィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型プレフィルタ及びフラット型中性能フィルタであり、多孔質フィルタが、プリーツ加工されたプリーツ型多孔質フィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型多孔質フィルタであり、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタが、プリーツ加工されたプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ及びプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型ＨＥＰＡフィルタ及びフラット型ＵＬＰＡフィルタである。

本発明のエアーフィルタの他の一例としては、多孔質フィルタが、粒状活性炭を保持した活性炭フィルタと、活性炭素繊維から作られた活性炭素繊維フィルタと、活性炭素繊維に活性炭粉末を保持させた活性炭シートフィルタとのうちのいずれかである。

本発明のエアーフィルタの他の一例としては、プレフィルタ及び中性能フィルタの面速と多孔質フィルタの面速とＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの面速とが、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの範囲にある。

本発明のエアーフィルタの他の一例としては、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプレフィルタ及び中性能フィルタの圧力損失と多孔質フィルタの圧力損失とＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの圧力損失とが、１００～２５０Ｐａの範囲にある。

本発明のエアーフィルタの他の一例としては、プレフィルタ及び中性能フィルタのみかけの嵩密度が、０．０８～０．１３ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、多孔質フィルタのみかけの嵩密度が、０．０６～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタのみかけの嵩密度が、０．０３～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にある。

本発明に係るエアーフィルタによれば、それが空気の流入側に位置する多孔質フィルタと多孔質フィルタの下流側であって空気の流出側に位置するＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタとから形成され、空気に含まれるｎｍサイズ（ナノメートルサイズ）の微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を多孔質フィルタが吸着するとともに、多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズ及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタが捕集するから、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子やｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、μｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。エアーフィルタは、ｎｍサイズ（ナノメートルサイズ）及びｎｍサイズ未満の微粒子が多孔質フィルタに吸着されるから、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタに微粒子が集中して捕集されることはなく、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタの捕集機能の早期の飽和を防ぐことができ、それらフィルタを利用して長期間にわたって清浄空気を給気することができる。

なお、ｎｍ及びｎｍ未満の微粒子はＨＥＰＡフィルタまたＵＬＰＡフィルタ等のエアーフィルタではその間隙をすり抜けてしまい、除去することが難しいため、活性炭等の多孔質フィルタで物理的、電気化学的に吸着捕集することで除去することができる。一方ｎｍからμｍ以上の微粒子は多孔質の細孔に入ることができないため、活性炭等の多孔質フィルタでは捕集できないが、ＨＥＰＡフィルタまたＵＬＰＡフィルタ等のエアーフィルタでは捕集することができる。そのため、上流側に活性炭、下流側にエアーフィルタを配置することでｎｍ未満からμｍ以上の微粒子を除去することができる。

多孔質フィルタの上流側に位置するプレフィルタと中性能フィルタとのうちの少なくともプレフィルタを含み、空気に含まれる塵埃がプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタによって捕集されるエアーフィルタは、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタが捕集し、塵埃が除去された空気に含まれるｎｍサイズ（ナノメートルサイズ）の微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をプレフィルタの下流側に位置する多孔質フィルタが吸着するとともに、多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズ及びμｍサイズ（マイクロメートルサイズ）の微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタが捕集するから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。エアーフィルタは、空気に含まれる所定の大きさの塵埃がプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに確実に捕集されるから、プレフィルタや中性能フィルタによって空気から所定の大きさの塵埃を除去することができるとともに、プレフィルタや中性能フィルタの後流側に設置された多孔質フィルタやＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタが大きいサイズの塵埃によって目詰まりを起こすことはなく、多孔質フィルタの粒子吸着機能、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能を十分に利用することができるとともに、多孔質フィルタやＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタの利用期間を延ばすことができる。

プレフィルタ及び中性能フィルタが所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置して多孔質フィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、多孔質フィルタがプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに対向する所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置してＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタが多孔質フィルタに対向する所定面積の空気流入面と空気流入面の反対側に位置する所定面積の空気流出面とを有し、プレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタの空気流出面と多孔質フィルタの空気流入面とが対向し、多孔質フィルタの空気流出面とＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタの空気流入面とが対向するように、それらフィルタが空気通流方向に並んでいるエアーフィルタは、所定面積の空気流入面から流入した空気に含まれる所定の大きさの塵埃がプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに捕集され、プレフィルタや中性能フィルタによって塵埃が除去された空気が所定面積の空気流入面から多孔質フィルタに流入し、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子が多孔質フィルタに吸着され、多孔質フィルタによってｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子が除去された空気が空気流入面からＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに流入し、多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズ及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子がＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに捕集され、塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子が除去された空気がＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタの空気流出面から給気されるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を所定面積の空気流入面と所定面積の空気流出面とを有するそれらフィルタによって確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

プレフィルタ及び中性能フィルタがプリーツ加工されたプリーツ型プレフィルタ及びプリーツ型中性能フィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型プレフィルタ及びフラット型中性能フィルタであり、多孔質フィルタがプリーツ加工されたプリーツ型多孔質フィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型多孔質フィルタであり、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタがプリーツ加工されたプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ及びプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型ＨＥＰＡフィルタ及びフラット型ＵＬＰＡフィルタであるエアーフィルタは、それらフィルタをプリーツ加工することで、それらフィルタの空気流入面の１０倍以上のフィルタを折り込むことが可能となり、それらフィルタを通過する空気の面速を遅くさせることができるとともに、それらフィルタに空気を長く通流させることができるから、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプリーツ型プレフィルタやプリーツ型中性能フィルタに確実に捕集させることができ、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をプリーツ型多孔質フィルタに確実に吸着させることができるとともに、プリーツ型多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタに確実に捕集させることができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。エアーフィルタは、空気に含まれる所定の大きさの塵埃を一方向へ略フラットに延びるフラット型プレフィルタやフラット型中性能フィルタに確実に捕集させることができ、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を一方向へ略フラットに延びるフラット型多孔質フィルタに確実に吸着させることができるとともに、フラット型多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を一方向へ略フラットに延びるフラット型ＨＥＰＡフィルタ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタに確実に捕集させることができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

多孔質フィルタが粒状活性炭を保持した活性炭フィルタと活性炭素繊維から作られた活性炭素繊維フィルタと活性炭素繊維に活性炭粉末を保持させた活性炭シートフィルタとのうちのいずれかであるエアーフィルタは、多孔質フィルタとして活性炭フィルタ又は活性炭素繊維フィルタあるいは活性炭シートフィルタを使用することで、それらフィルタの活性炭がｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着するから、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を除去することができ、それら活性炭を含む多孔質フィルタとともにＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタを利用することで、μｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

プレフィルタを保持する第１保持フレームと、中性能フィルタを保持する第２保持フレームと、多孔質フィルタを保持する第３保持フレームと、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタを保持する第４保持フレームと、第１～第４保持フレームを着脱可能に収容しつつ第１～第４保持フレームを空気通流方向へ気密に連結するフィルタハウジングとを含むエアーフィルタは、プレフィルタが第１保持フレームに保持され、中性能フィルタが第２保持フレームに保持され、多孔質フィルタが第３保持フレームに保持されるとともに、ＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタが第４保持フレームに保持されるから、それらフレームによってそれらフィルタの型くずれや変形が防止され、型くずれや変形によるプレフィルタ及び中性能フィルタの塵埃捕集機能の低下や多孔質フィルタの粒子吸着機能の低下、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能の低下を防ぐことができ、プレフィルタ及び中性能フィルタの塵埃捕集機能や多孔質フィルタの粒子吸着機能、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能を最大限に利用することができるとともに、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。エアーフィルタは、第１～第４保持フレームがフィルタハウジングを介して空気通流方向へ気密に連結されるから、それらフィルタからの空気漏れやそれらフィルタ間における空気のコンタミネーションを防ぐことができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を確実に給気することができる。

プレフィルタ及び中性能フィルタの面速と多孔質フィルタの面速とＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの面速とが１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの範囲にあるエアーフィルタは、それらフィルタの面速が１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの範囲にあり、前記範囲の面速を有するそれらフィルタを空気が最適な流速でスムーズに通流するから、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに確実に捕集させることができ、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を多孔質フィルタに確実に吸着させることができるとともに、多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに確実に捕集させることができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプレフィルタ及び中性能フィルタの圧力損失と多孔質フィルタの圧力損失とＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの圧力損失とが１００～２５０Ｐａの範囲にあるエアーフィルタは、面速１０～４０ｃｍ／ｓｅｃにおけるそれらフィルタの圧力損失が１００～２５０Ｐａの範囲にあるから、所定の面速に対するフィルタの圧力損失が小さく、空気がそれらフィルタを最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタにおける空気の滞留やそれらフィルタ間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プレフィルタ及び中性能フィルタの塵埃捕集機能や多孔質フィルタの粒子吸着機能、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能を最大限に利用することができる。エアーフィルタは、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに確実に捕集させることができ、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を多孔質フィルタに確実に吸着させることができるとともに、多孔質フィルタを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに確実に捕集させることができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

プレフィルタ及び中性能フィルタのみかけの嵩密度が０．０８～０．１３ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、多孔質フィルタのみかけの嵩密度が０．０６～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタのみかけの嵩密度が０．０３～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にあるエアーフィルタは、前記範囲のみかけの嵩密度を有するプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに空気に含まれる所定の大きさの塵埃を捕集させ、前記範囲のみかけの嵩密度を有する多孔質フィルタに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着させるとともに、前記範囲のみかけの嵩密度を有するＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集させるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ、ｎｍサイズ未満の微粒子の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。エアーフィルタは、空気がそれらフィルタを最適な流速でスムーズに通流するようにそれらフィルタのみかけの嵩密度を前記範囲で調節することができるから、それらフィルタを空気が最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタにおける空気の滞留やそれらフィルタ間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プレフィルタ及び中性能フィルタの塵埃捕集機能や多孔質フィルタの粒子吸着機能、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能を最大限に利用することができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

なお、エアーフィルタは、プレフィルタ及び中性能フィルタの厚み寸法が６～１０ｍｍの範囲にあり、多孔質フィルタの厚み寸法が４～９ｍｍの範囲にあり、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの厚み寸法が２～９ｍｍの範囲にあることが好ましい。エアーフィルタは、前記範囲の厚み寸法を有するプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに空気に含まれる所定の大きさの塵埃を捕集させ、前記範囲の厚み寸法を有する多孔質フィルタに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着させるとともに、前記範囲の厚み寸法を有するＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集させるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。エアーフィルタは、空気がそれらフィルタを最適な流速でスムーズに通流するようにそれらフィルタの厚み寸法を前記範囲で調節することができるから、それらフィルタを空気が最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタにおける空気の滞留やそれらフィルタ間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プレフィルタ及び中性能フィルタの塵埃捕集機能や多孔質フィルタの粒子吸着機能、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能を最大限に利用することができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

また、エアーフィルタは、プレフィルタ及び中性能フィルタの目付が２００～３５０ｇ／ｍ^２の範囲にあり、多孔質フィルタの目付が１８０～３３０ｇ／ｍ^２の範囲にあり、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの目付が１６０～３２０ｇ／ｍ^２の範囲にあることが好ましい。エアーフィルタは、前記範囲の目付を有するプレフィルタと中性能フィルタとの少なくともプレフィルタに空気に含まれる所定の大きさの塵埃を捕集させ、前記範囲の目付を有する多孔質フィルタに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着させるとともに、前記範囲の目付を有するＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集させるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。エアーフィルタは、空気がそれらフィルタを最適な流速でスムーズに通流するようにそれらフィルタの目付を前記範囲で調節することができるから、それらフィルタを空気が最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタにおける空気の滞留やそれらフィルタ間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プレフィルタ及び中性能フィルタの塵埃捕集機能や多孔質フィルタの粒子吸着機能、ＨＥＰＡフィルタ及びＵＬＰＡフィルタの粒子捕集機能を最大限に利用することができ、それらフィルタを利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

一例として示すエアーフィルタの斜視図。 図１のエアーフィルタを形成するプレフィルタや中性能フィルタ、多孔質フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタを保持した状態の第１～第４保持フレームの一例を示す斜視図。 図１のエアーフィルタを形成するプレフィルタや中性能フィルタ、多孔質フィルタ、ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタの一例を示す部分拡大斜視図。 他の一例として示すエアーフィルタの斜視図。 図４のエアーフィルタを形成するプレフィルタや中性能フィルタ、多孔質フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタを保持した状態の第１～第４保持フレームの一例を示す斜視図。 図４のエアーフィルタを形成するプレフィルタや中性能フィルタ、多孔質フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタの一例を示す部分拡大斜視図。 フィルタハウジングにおける第１～第４保持フレームの取り付け及び取り外しの一例を説明する図。 他の一例として示すエアーフィルタの斜視図。 図８のエアーフィルタを形成する多孔質フィルタやＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタを保持した状態の第３及び第４保持フレームの一例を示す斜視図。 他の一例として示すエアーフィルタの斜視図。 図１０のエアーフィルタを形成する多孔質フィルタやＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタを保持した状態の第３及び第４保持フレームの一例を示す斜視図。 フィルタハウジングにおける第３及び第４保持フレームの取り付け及び取り外しの一例を説明する図。

一例として示すエアーフィルタ１０Ａの斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係るエアーフィルタの詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、図１のエアーフィルタ１０Ａを形成するプレフィルタ１１や中性能フィルタ１２、多孔質フィルタ１３、ＨＥＰＡフィルタ１４、ＵＬＰＡフィルタ１５を保持した状態の第１～第４保持フレーム１６～１９の一例を示す斜視図であり、図３は、図１のエアーフィルタ１０Ａを形成するプレフィルタ１１や中性能フィルタ１２、多孔質フィルタ１３、ＨＥＰＡフィルタ１４、ＵＬＰＡフィルタ１５の一例を示す部分拡大斜視図である。

図４は、他の一例として示すエアーフィルタ１０Ｂの斜視図であり、図５は、図４のエアーフィルタ１０Ｂを形成するプレフィルタ１１や中性能フィルタ１２、多孔質フィルタ１３、ＨＥＰＡフィルタ１４、ＵＬＰＡフィルタ１５を保持した状態の第１～第４保持フレーム１６～１９の一例を示す斜視図である。図６は、図４のエアーフィルタ１０Ｂを形成するプレフィルタ１１や中性能フィルタ１２、多孔質フィルタ１３、ＨＥＰＡフィルタ１４、ＵＬＰＡフィルタ１５の一例を示す部分拡大斜視図である。図７は、フィルタハウジング２０における第１～第４保持フレーム１６～１９の取り付け及び取り外しの一例を説明する図である。図１，図４では、上下方向を矢印Ａ、幅方向を矢印Ｂで示し、空気通流方向 （前後方向）を矢印Ｃで示す。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、プレフィルタ１１と、中性能フィルタ１２と、多孔質フィルタ１３と、ＨＥＰＡフィルタ１４（高性能フィルタ）又はＵＬＰＡフィルタ１５（超高性能フィルタ）と、第１～第４保持フレーム１６～１９と、フィルタハウジング２０とから形成されている。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂは、空気中に含まれる塵埃及び微細な粒子を除去する。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、プレフィルタ１１→中性能フィルタ１２→多孔質フィルタ１３→ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５の順でそれらフィルタ１１～１５が空気通流方向（前後方向）へ並んでいる。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、中性能フィルタ１２を省くこともできる。この場合、プレフィルタ１１→多孔質フィルタ→１３ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５の順でそれらフィルタ１１，１３～１５が空気通流方向（前後方向）へ並ぶ。

プレフィルタ１１及び中性能フィルタ１２は、エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）における空気の流入側に位置し、空気に含まれる所定の大きさの塵埃（粉塵）を捕集し、空気から塵埃を除去する。プレフィルタ１１及び中性能フィルタ１２にはプリーツ加工が施され、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２が幅方向に向かって波状に折り畳まれている。プレフィルタ１１及び中性能フィルタ１２は、図２に示すように、プリーツ化されたプリーツ型プレフィルタ１１ａ及びプリーツ型中性能フィルタ１２ａである。なお、プレフィルタ１１及び中性能フィルタ１２には、図６に示す一方向へ略フラットに延びるフラット型プレフィルタ１１ｂ及びフラット型中性能フィルタ１２ｂを使用することもできる。

プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）は、所定の厚み寸法Ｌ１を有し、所定面積の矩形の空気流入面２１と、空気流入面２１の反対側に位置してプリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）に対向する所定面積の矩形の空気流出面２２と、幅方向へ略直状に延びる上端縁部２３及び幅方向へ略直状に延びる下端縁部２４と、上下方向へ略直状に延びる両側縁部２５とを有する。プリーツ型プレフィルタ１１ａは、空気流入面２１の側に位置する第１折曲部分２６と、空気流出面２２の側に位置する第２折曲部分２７とを有する。

プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）は、所定の厚み寸法Ｌ２を有し、所定面積の矩形の空気流入面２８と、空気流入面２８の反対側に位置して多孔質フィルタ１３に対向する所定面積の矩形の空気流出面２９と、幅方向へ略直状に延びる上端縁部３０及び幅方向へ略直状に延びる下端縁部３１と、上下方向へ略直状に延びる両側縁部３２とを有する。プリーツ型中性能フィルタ１２ａは、空気流入面２８の側に位置する第１折曲部分３３と、空気流出面２９の側に位置する第２折曲部分３４とを有する。

プレフィルタ１１又は中性能フィルタ１２をプリーツ加工することで、それらフィルタ１１，１２の空気流入面２１，２８の１０倍以上のフィルタ１１，１２を折り込むことが可能となり、それらフィルタ１１，１２を通過する空気の面速を遅くさせることができるとともに、それらフィルタ１１，１２に多量の空気を通流させることができるから、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプレフィルタ１１又は中性能フィルタ１２に確実に捕集させることができ、多量の空気を効率よく清浄化することができる。

プリーツ型プレフィルタ１１ａ（プレフィルタ１１）やプリーツ型中性能フィルタ１２ａ（中性能フィルタ１２）とフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）やフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）とには、主に合成繊維製不織布を使用したフィルタが使用されている。プレフィルタ１１（プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂ）は、２．５～５００μｍの塵埃（粉塵）を捕集し、その捕集効率が４５～８２％である。中性能フィルタ１２（プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ）は、１～５００μｍの塵埃（粉塵）を捕集し、その捕集効率が６０～９０％である。

プレフィルタ１１（プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂ）には、塩化ビニリデン系繊維を塵埃の捕集に適した形状に点接着したフィルタ、ポリオレフィン繊維をタック編みによって所定の厚み寸法の繊維網に加工したフィルタ、サラン繊維をスクリーン状に織ったフィルタ、ガラス繊維（グラスファイバー）をランダム方向へ層状にしたフィルタ、ガラス繊維をカールさせて立体的に交叉させたフィルタを使用することもできる。中性能フィルタ１２（プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ）には、ポリエステル繊維やビニロン繊維、ポリプロピレン繊維、オレフィン系繊維、ガラス繊維（グラスファイバー）から作られたフィルタを使用することもできる。

プリーツ加工されたプリーツ型プレフィルタ１１ａ及びプリーツ型中性能フィルタ１２ａの互いに対向する対向部分の間にはセパレータ３５が配置され、それらセパレータ３５によって所定の空隙が形成されている。セパレータ３５は、アルミニウムやステンレス等の金属、合成樹脂、特殊紙のいずれかから作られている。

多孔質フィルタ１３は、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の下流側に位置し、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着する。多孔質フィルタ１３にはプリーツ加工が施され、多孔質フィルタ１３が幅方向に向かって波状に折り畳まれている。多孔質フィルタ１３は、プリーツ化されたプリーツ型多孔質フィルタ１３ａである。なお、多孔質フィルタ１３には、図６に示す一方向へ略フラットに延びるフラット型多孔質フィルタ１３ｂを使用することもできる。

プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）は、所定の厚み寸法Ｌ３を有し、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）に対向する所定面積の矩形の空気流入面３６と、空気流入面３６の反対側に位置してＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５に対向する所定面積の矩形の空気流出面３７と、幅方向へ略直状に延びる上端縁部３８及び幅方向へ略直状に延びる下端縁部３９と、上下方向へ略直状に延びる両側縁部４０とを有する。プリーツ型多孔質フィルタ１３ａは、空気流入面３６の側に位置する第１折曲部分４１と、空気流出面３７の側に位置する第２折曲部分４２とを有する。

多孔質フィルタ１３をプリーツ加工することで、多孔質フィルタ１３の空気流入面３６の１０倍以上のフィルタ１３を折り込むことが可能となり、多孔質フィルタ１３を通過する空気の面速を遅くさせることができるとともに、多孔質フィルタ１３に多量の空気を通流させることができるから、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を多孔質フィルタ１３に確実に吸着させることができ、多量の空気を効率よく清浄化することができる。

プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）には、合成繊維製不織布に多数の微細な粒状活性炭（活性炭粉末も可）が保持された活性炭フィルタ（プリーツ型活性炭フィルタ又はフラット型活性炭フィルタ）、不織布形態の活性炭素繊維や編み物形態の活性炭素繊維、織物形態の活性炭素繊維から作られた活性炭素繊維フィルタ（プリーツ型活性炭素繊維フィルタ又はフラット型活性炭素繊維フィルタ）、不織布形態の活性炭素繊維や編み物形態の活性炭素繊維、織物形態の活性炭素繊維に多数の微細な粒状活性炭を保持させた活性炭シートフィルタ（プリーツ型活性炭シートフィルタ又はフラット型活性炭シートフィルタ）のうちのいずれかが使用されている。

プリーツ加工されたプリーツ型多孔質フィルタ１３ａの互いに対向する対向部分の間にはセパレータ３５が配置され、それらセパレータ３５によって所定の空隙が形成されている。活性炭素繊維は、有機繊維を焼成して炭化し、さらに高温で熱処理をして作られる。活性炭素繊維には、セルロース系やアクリル系、フェノール系、ピッチ系を使用することができる。活性炭素繊維には、その表面から厚み方向へ延びる複数のミクロポアが形成されている。

ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５は、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の下流側であってエアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）における空気の流出側に位置し、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集する。

ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５にはプリーツ加工が施され、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５が幅方向に向かって波状に折り畳まれている。ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５は、プリーツ化されたプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａである。なお、ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５には、図６に示す一方向へ略フラットに延びるフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂを使用することもできる。

プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂは、所定の厚み寸法Ｌ４を有し、プリーツ型多孔質フィルタ又はフラット型多孔質フィルタ（多孔質フィルタ）に対向する所定面積の矩形の空気流入面４３と、空気流入面４３の反対側に位置する所定面積の矩形の空気流出面４４と、幅方向へ略直状に延びる上端縁部４５及び幅方向へ略直状に延びる下端縁部４６と、上下方向へ略直状に延びる両側縁部４７とを有する。プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａは、空気流入面４３の側に位置する第１折曲部分４８と、空気流出面４４の側に位置する第２折曲部分４９とを有する。

ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５をプリーツ加工することで、それらフィルタ１４，１５の空気流入面の１０倍以上のフィルタ１４，１５を折り込むことが可能となり、それらフィルタ１４，１５を通過する空気の面速を遅くさせることができるとともに、それらフィル１４，１５タに多量の空気を通流させることができるから、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５に確実に捕集させることができ、多量の空気を効率よく清浄化することができる。

プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）は、ガラス繊維から作られ、０．３μｍの微粒子を９９．９７％の効率で捕集する。プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）は、特殊ガラス繊維から作られ、０．１μｍの微粒子を９９．９９９５％の効率で捕集する。プリーツ加工されたプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａの互いに対向する対向部分の間にはセパレータ３５が配置され、それらセパレータ３５によって所定の空隙が形成されている。

第１保持フレーム１６（第１フィルタ枠）は、プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）の上端縁部２３の外側に位置して上端縁部２３を支持する上端外枠材５０と、フィルタ１１ａ，１１ｂの下端縁部２４の外側に位置して下端縁部２４を支持する下端外枠材５１と、フィルタ１１ａ，１１ｂの両側縁部２５の外側に位置して両側縁部２５を支持する両側外枠材５２とから形成され、プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂを気密に保持（固定）する。第１保持フレーム１６には、矩形の空気流入口５３及び矩形の空気流出口５４が画成されている。第１保持フレーム１６では、プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂの空気流入面２１（第１折曲部分２６）が空気流入口５３の側に位置し、フィルタ１１ａ，１１ｂの空気流出面２２（第２折曲部分２７）が空気流出口５４の側に位置している。

第１保持フレーム１６は、アルミやステンレス、亜鉛鉄板、合成樹脂、合板のいずれかから作られ、リベット止めや溶接加工によってその枠形態が維持されている。第１保持フレーム１６には、プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）が着脱可能かつウレタン樹脂又はシリコン樹脂等のシール材によって気密に保持（固定）される。第１保持フレーム１６には、プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂの型くずれや変形を防止する押さえ棒や止め金、押え網が設置されている。

第２保持フレーム１７（第２フィルタ枠）は、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の上端縁部３０の外側に位置して上端縁部３０を支持する上端外枠材５５と、フィルタ１２ａ，１２ｂの下端縁部３１の外側に位置して下端縁部３１を支持する下端外枠材５６と、フィルタ１２ａ，１２ｂの両側縁部３２の外側に位置して両側縁部３２を支持する両側外枠材５７とから形成され、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂを気密に保持（固定）する。第２保持フレーム１７には、矩形の空気流入口５８及び矩形の空気流出口５９が画成されている。第２保持フレーム１７では、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂの空気流入面２８（第１折曲部分３３）が空気流入口５８の側に位置し、フィルタ１２ａ，１２ｂの空気流出面２９（第２折曲部分３４）が空気流出口５９の側に位置している。

第２保持フレーム１７は、アルミやステンレス、亜鉛鉄板、合成樹脂、合板のいずれかから作られ、リベット止めや溶接加工によってその枠形態が維持されている。第２保持フレーム１７には、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）が着脱可能かつウレタン樹脂又はシリコン樹脂等のシール材によって気密に保持（固定）される。第２保持フレーム１７には、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂの型くずれや変形を防止する押さえ棒や止め金、押え網が設置されている。

第３保持フレーム１８（第３フィルタ枠）は、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の上端縁部３８の外側に位置して上端縁部３８を支持する上端外枠材６０と、フィルタ１３ａ，１３ｂの下端縁部３９の外側に位置して下端縁部３９を支持する下端外枠材６１と、フィルタ１３ａ，１３ｂの両側縁部４０の外側に位置して両側縁部４０を支持する両側外枠材６２とから形成され、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂを気密に保持（固定）する。第３保持フレーム１８には、矩形の空気流入口６３及び矩形の空気流出口６４が画成されている。第３保持フレーム１８では、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂの空気流入面３６（第１折曲部分４１）が空気流入口６３の側に位置し、フィルタ１３ａ，１３ｂの空気流出面３７（第２折曲部分４２）が空気流出口６４の側に位置している。

第３保持フレーム１８は、アルミやステンレス、亜鉛鉄板、合成樹脂、合板のいずれかから作られ、リベット止めや溶接加工によってその枠形態が維持されている。第３保持フレーム１８には、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）が着脱可能かつウレタン樹脂又はシリコン樹脂等のシール材によって気密に保持（固定）される。第３保持フレーム１８には、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂの型くずれや変形を防止する押さえ棒や止め金、押え網が設置されている。

第４保持フレーム１９（第４フィルタ枠）は、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）やプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の上端縁部４５の外側に位置して上端縁部４５を支持する上端外枠材６５と、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの下端縁部４６の外側に位置して下端縁部４６を支持する下端外枠材６６と、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの両側縁部４７の外側に位置して両側縁部４７を支持する両側外枠材６７とから形成され、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂやプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂを気密に保持（固定）する。

第４保持フレーム１９には、矩形の空気流入口６８及び矩形の空気流出口６９が画成されている。第４保持フレーム１９では、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）やプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の空気流入面４３（第１折曲部分４８）が空気流入口６８の側に位置し、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの空気流出面４４（第２折曲部分４９）が空気流出口６９の側に位置している。第４保持フレーム１９は、アルミやステンレス、亜鉛鉄板、合成樹脂、合板のいずれかから作られ、リベット止めや溶接加工によってその枠形態が維持されている。

第４保持フレーム１９には、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）やプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）が着脱可能かつウレタン樹脂又はシリコン樹脂等のシール材によって気密に保持（固定）される。第４保持フレーム１９には、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂやプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの型くずれや変形を防止する押さえ棒や止め金、押え網が設置されている。

フィルタハウジング２０は、アルミやステンレス、亜鉛鉄板、合成樹脂、合板のいずれかから作られ、第１～第４保持フレーム１６～１９を着脱可能かつ空気通流方向（前後方向）と交差する幅方向へスライド可能に収容しつつ、第１～第４保持フレーム１６～１９を空気通流方向へ気密に連結する。フィルタハウジング２０は、第１～第４保持フレーム１６～１９の上端枠材５０，５５，６０，６５の外側に位置してそれらフレーム１６～１９の上端枠材５０，５５，６０，６５を気密に保持する所定面積の頂壁７０と、第１～第４保持フレーム１６～１９の下端枠材５１，５６，６１，６６の外側に位置してそれらフレーム１６～１９の下端枠材５１，５６，６１，６６を気密に保持する所定面積の底壁７１と、第１～第４保持フレーム１６～１９の両側枠材５２，５７，６２，６７の外側に位置してそれらフレーム１６～１９の両側枠材５２，５７，６２，６７を気密に保持する所定面積の両側壁７２とから形成されている。

フィルタハウジング２０では、一方の側壁７２の下端縁が底壁７１の一方の側縁に回転可能に取り付けられ、一方の側壁７２がその下端縁を中心として上下方向上方と下方とへ旋回可能である。フィルタハウジング２０の底壁７１には、幅方向へ延びる第１～第４レール（図示せず）が設置（敷設）されている。第１レールには、第１保持フレーム１６の下端外枠材５１がスライド可能に載置され、第２レールには、第２保持フレーム１７の下端外枠材５６がスライド可能に載置されている。第３レールには、第３保持フレーム１８の下端外枠材６１がスライド可能に載置され、第４レールには、第４保持フレーム１９の下端外枠材６６がスライド可能に載置されている。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、第１保持フレーム１６の空気流出口５４と第２保持フレーム１７の空気流入口５８とが空気通流方向（前後方向）へ対向し、プリーツ型プレフィルタ１１ａ又はフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）の空気流出面２１とプリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の空気流入面２８とが対向している。第２保持フレーム１７の空気流出口５９と第３保持フレーム１８の空気流入口６３とが空気通流方向（前後方向）へ対向し、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ又はフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の空気流出面２９とプリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の空気流入面３６とが対向している。

更に、第３保持フレーム１８の空気流出口６４と第４保持フレーム１９の空気流入口６８とが空気通流方向（前後方向）へ対向し、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の空気流出面３７とプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）やプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の空気流入面４３とが対向している。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）を空気が最適な流速（速度）でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１１ａ，１１ｂの面速及び圧力損失が設定されている。更に、空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１１ａ，１１ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１１ａ，１１ｂの厚み寸法Ｌ１とそれらフィルタ１１ａ，１１ｂの目付とそれらフィルタ１１ａ，１１ｂのみかけの嵩密度とが設定されているとともに、プリーツ加工されたプリーツ型プレフィルタ１１ａの空気流入面２１の側の第１折曲部分２６から空気流出面２２の側に第２折曲部分２７までの長さ寸法Ｈ１が設定されている。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）の厚み寸法Ｌ１、目付、みかけの嵩密度を調節するとともに、プリーツ型プレフィルタ１１ａの第１折曲部分２６から第２折曲部分２７までの長さ寸法Ｈ１を調節し、それらフィルタ１１ａ，１１ｂの面速及び圧力損失を空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１１ａ，１１ｂを通流する面速及び圧力損失にすることで、フィルタ１１ａ，１１ｂにおける空気の滞留を防ぐことができ、フィルタ１１，１２間における空気のコンタミネーションを防ぐことができるとともに、それらフィルタ１１ａ，１１ｂを空気が最適の流速でスムーズに通流するから、それらフィルタ１１ａ，１１ｂの塵埃捕集機能を最大限に利用することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）を空気が最適な流速（速度）でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１２ａ，１２ｂの面速及び圧力損失が設定されている。更に、空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１２ａ，１２ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１２ａ，１２ｂの厚み寸法Ｌ２とそれらフィルタ１２ａ，１２ｂの目付とそれらフィルタ１２ａ，１２ｂのみかけの嵩密度とが設定されているとともに、プリーツ加工されたプリーツ型中性能フィルタ１２ａの空気流入面２８の側の第１折曲部分３３から空気流出面２９の側に第２折曲部分３４までの長さ寸法Ｈ２が設定されている。

プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の厚み寸法Ｌ２、目付、みかけの嵩密度を調節するとともに、プリーツ型中性能フィルタ１２ａの第１折曲部分３３から第２折曲部分３４までの長さ寸法Ｈ２を調節し、それらフィルタ１２ａ，１２ｂの面速及び圧力損失を空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１２ａ，１２ｂを通流する面速及び圧力損失にすることで、フィルタ１２ａ，１２ｂにおける空気の滞留を防ぐことができ、フィルタ１１，１２，１３間における空気のコンタミネーションを防ぐことができるとともに、それらフィルタ１２ａ，１２ｂを空気が最適の流速でスムーズに通流するから、それらフィルタ１２ａ，１２ｂの塵埃捕集機能を最大限に利用することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）を空気が最適な流速（速度）でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１３ａ，１３ｂの面速及び圧力損失が設定されている。更に、空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１３ａ，１３ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１３ａ，１３ｂの厚み寸法Ｌ３とそれらフィルタ１３ａ，１３ｂの目付とそれらフィルタ１３ａ，１３ｂのみかけの嵩密度とが設定されているとともに、プリーツ加工されたプリーツ型多孔質フィルタ１３ａの空気流入面３６の側の第１折曲部分４１から空気流出面３７の側に第２折曲部分４２までの長さ寸法Ｈ３が設定されている。

プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ又はフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の厚み寸法Ｌ３、目付、みかけの嵩密度を調節するとともに、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａの第１折曲部分４１から第２折曲部分４２までの長さ寸法Ｈ３を調節し、それらフィルタ１３ａ，１３ｂの面速及び圧力損失を空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１３ａ，１３ｂを通流する面速及び圧力損失にすることで、フィルタ１３ａ，１３ｂにおける空気の滞留を防ぐことができ、フィルタ１２，１３，１４間における空気のコンタミネーションを防ぐことができるとともに、それらフィルタ１３ａ，１３ｂを空気が最適の流速でスムーズに通流するから、それらフィルタ１３ａ，１３ｂの粒子吸着機能を最大限に利用することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）を空気が最適な流速（速度）でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの面速及び圧力損失が設定されている。更に、空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの厚み寸法Ｌ４とそれらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの目付とそれらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂのみかけの嵩密度とが設定されているとともに、プリーツ加工されたプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａの空気流入面４３の側の第１折曲部分４８から空気流出面４４の側に第２折曲部分４９までの長さ寸法Ｈ４が設定されている。

プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の厚み寸法Ｌ４、目付、みかけの嵩密度を調節するとともに、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａの第１折曲部分４８から第２折曲部分４９までの長さ寸法Ｈ４を調節し、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの面速及び圧力損失を空気が最適な流速（速度）でスムーズにそれらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを通流する面速及び圧力損失にすることで、フィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂにおける空気の滞留を防ぐことができ、フィルタ１３，１４間における空気のコンタミネーションを防ぐことができるとともに、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを空気が最適の流速でスムーズに通流するから、それらフィルタ１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂの粒子捕集機能を最大限に利用することができる。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）の面速、プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の面速、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の面速、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）の面速、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の面速は、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは、１０～３０ｃｍ／ｓｅｃの範囲にある。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ又はプリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの面速が１０ｃｍ／ｓｅｃ未満では、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２を通流する空気の流速が遅く、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２における空気の濾過量が減少し、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの面速が１０ｃｍ／ｓｅｃ未満では、多孔質フィルタ１３を通流する空気の流速が遅く、多孔質フィルタ１３における空気の濾過量が減少する。プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの面速が１０ｃｍ／ｓｅｃ未満では、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５を通流する空気の流速が遅く、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５における空気の濾過量が減少する。従って、所定の時間内におけるそれらフィルタ１１～１５の空気の濾過量が低下し、清浄空気を効率的に作ることができない。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ又はプリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの面速が４０ｃｍ／ｓｅｃを超過すると、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２を空気が素早く通流し、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２の塵埃捕集効率が低下し、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの面速が４０ｃｍ／ｓｅｃを超過すると、多孔質フィルタ１３を空気が素早く通流し、多孔質フィルタ１３の粒子吸着効率が低下する。プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの面速が４０ｃｍ／ｓｅｃを超過すると、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５を空気が素早く通流し、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５の粒子捕集効率が低下する。従って、それらフィルタ１１～１５に塵埃や粒子を確実に捕集させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、それらフィルタ１１～１５の面速が１０～４０ｃｍ／ｓｅｃ、好ましくは、１０～３０ｃｍ／ｓｅｃの範囲にあり、プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）、プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）を空気が最適な流速でスムーズに通流するから、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂに確実に捕集させることができ、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに確実に吸着させることができるとともに、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに確実に捕集させることができ、それらフィルタ１１～１５を利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）の圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）の圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の圧力損失が１００～２５０Ｐａの範囲にある。

１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂの圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの圧力損失が１００Ｐａ未満では、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２を空気が素早く通流し、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２の塵埃捕集効率が低下し、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの圧力損失が１００Ｐａ未満では、多孔質フィルタ１３を空気が素早く通流し、多孔質フィルタ１２の粒子吸着効率が低下する。１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂの圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの圧力損失が１００Ｐａ未満では、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５を空気が素早く通流し、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５の粒子捕集効率が低下する。従って、それらフィルタ１１～１５に塵埃や粒子を確実に捕集させることができない。

１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂの圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの圧力損失が２５０Ｐａを超過すると、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２を通流する空気の流速が遅く、プレフィルタ１１や中性能フィルタ１２における空気の濾過量が減少し、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの圧力損失が２５０Ｐａを超過すると、多孔質フィルタ１３を通流する空気の流速が遅く、多孔質フィルタ１３における空気の濾過量が減少する。１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂの圧力損失、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの圧力損失が２５０Ｐａを超過すると、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５を通流する空気の流速が遅く、ＨＥＰＡフィルタ１４やＵＬＰＡフィルタ１５における空気の濾過量が減少する。従って、所定の時間内におけるそれらフィルタ１１～１５の空気の濾過量が低下し、清浄空気を効率的に作ることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速におけるそれらフィルタ１１～１５の圧力損失が１００～２５０Ｐａの範囲にあるから、所定の面速に対するフィルタ１１～１５の圧力損失が小さく、空気がそれらフィルタ１１～１５を最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタ１１～１５における空気の滞留やそれらフィルタ１１～１５間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂの塵埃捕集機能、プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの塵埃捕集機能を最大限に利用することができ、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの粒子吸着機能を最大限に利用することができるとともに、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂの粒子捕集機能、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの粒子捕集機能を最大限に利用することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂに確実に捕集させることができ、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに確実に吸着させることができるとともに、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに確実に捕集させることができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型プレフィルタ１１ａ及びフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ）の厚み寸法Ｌ１が６～１０ｍｍの範囲にあり、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ及びフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の厚み寸法Ｌ２が６～１０ｍｍの範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１１，１２の厚み寸法Ｌ１，Ｌ２が前記範囲において設定されている。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの厚み寸法Ｌ１，Ｌ２が６ｍｍ未満では、それらフィルタ１１，１２に対する空気の接触時間が短く、それらフィルタ１１，１２の塵埃捕集機能が低下し、空気に含まれる塵埃をそれらフィルタ１１，１２に確実に捕集させることができない。プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの厚み寸法Ｌ１，Ｌ２が１０ｍｍを超過すると、それらフィルタ１１，１２を通流する空気の流速が遅く、それらフィルタ１１，１２における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ及びフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の厚み寸法Ｌ３が４～９ｍｍの範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、フィルタ１３の厚み寸法Ｌ３が前記範囲において設定されている。

プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの厚み寸法Ｌ３が４ｍｍ未満では、フィルタ１３に対する空気の接触時間が短く、フィルタ１３の粒子吸着機能が低下し、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をフィルタ１３に確実に吸着させることができない。プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの厚み寸法Ｌ３が９ｍｍを超過すると、フィルタ１３を通流する空気の流速が遅く、フィルタ１３における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ及びフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）の厚み寸法Ｌ４が２～９ｍｍの範囲にあり、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ及びフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の厚み寸法Ｌ４が２～９ｍｍの範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１４，１５の厚み寸法が前記範囲において設定されている。

プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの厚み寸法Ｌ４が２ｍｍ未満では、それらフィルタ１４，１５に対する空気の接触時間が短く、それらフィルタ１４，１５の粒子捕集機能が低下し、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をそれらフィルタ１４，１５に確実に捕集させることができない。プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの厚み寸法Ｌ４が９ｍｍを超過すると、それらフィルタ１４，１５を通流する空気の流速が遅く、それらフィルタ１４，１５における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂは、前記範囲の厚み寸法Ｌ１，Ｌ２を有するプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂに空気に含まれる所定の大きさの塵埃を捕集させ、前記範囲の厚み寸法Ｌ３を有するプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着させるとともに、前記範囲の厚み寸法Ｌ４を有するプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集させるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、空気がそれらフィルタ１１～１５を最適な流速でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１１～１５の厚み寸法Ｌ１～Ｌ４を前記範囲で調節することができるから、それらフィルタを空気が最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタ１１～１５における空気の滞留やそれらフィルタ１１～１５間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの塵埃捕集機能、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの粒子吸着機能、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの粒子捕集機能を最大限に利用することができ、それらフィルタ１１～１５を利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型プレフィルタ１１ａ及びフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）の目付が２００～３５０ｇ／ｍ^２の範囲にあり、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ及びフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）の目付が２００～３５０ｇ／ｍ^２の範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１１，１２の目付が前記範囲において設定されている。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの目付が２００ｇ／ｍ^２未満では、それらフィルタ１１，１２に対する空気の接触時間が短く、それらフィルタ１１，１２の塵埃捕集機能が低下し、空気に含まれる塵埃をそれらフィルタ１１，１２に確実に捕集させることができない。プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの目付が３５０ｇ／ｍ^２を超過すると、それらフィルタ１１，１２を通流する空気の流速が遅く、それらフィルタ１１，１２における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ及びフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）の目付が１８０～３３０ｇ／ｍ^２の範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、フィルタ１３の目付が前記範囲において設定されている。

プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの目付が１８０ｇ／ｍ^２未満では、フィルタ１３に対する空気の接触時間が短く、フィルタ１３の粒子吸着機能が低下し、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をフィルタ１３に確実に吸着させることができない。プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの目付が３３０ｇ／ｍ^２を超過すると、フィルタ１３を通流する空気の流速が遅く、フィルタ１３における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ及びフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）の目付が１６０～３２０ｇ／ｍ^２の範囲にあり、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ及びフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）の目付が１６０～３２０ｇ／ｍ^２の範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１４，１５の目付が前記範囲において設定されている。

プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの目付が１６０ｇ／ｍ^２未満では、それらフィルタ１４，１５に対する空気の接触時間が短く、それらフィルタ１４，１５の粒子捕集機能が低下し、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をそれらフィルタ１４，１５に確実に捕集させることができない。プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの目付が３２０ｇ／ｍ^２を超過すると、それらフィルタ１４，１５を通流する空気の流速が遅く、それらフィルタ１４，１５における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂは、前記範囲の目付を有するプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂに空気に含まれる所定の大きさの塵埃を捕集させ、前記範囲の目付を有するプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着させるとともに、前記範囲の目付を有するプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集させるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、空気がそれらフィルタ１１～１５を最適な流速でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１１～１５の目付を前記範囲で調節することができるから、それらフィルタ１１～１５を空気が最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタ１１～１５における空気の滞留やそれらフィルタ１１～１５間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの塵埃捕集機能、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの粒子吸着機能、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの粒子捕集機能を最大限に利用することができ、それらフィルタ１１～１５を利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型プレフィルタ１１ａ及びフラット型プレフィルタ１１ｂ（プレフィルタ１１）のみかけの嵩密度が０．０８～０．１３ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ及びフラット型中性能フィルタ１２ｂ（中性能フィルタ１２）のみかけの嵩密度が０．０８～０．１３ｇ／ｃｍ^３の範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１１，１２のみかけの嵩密度が前記範囲において設定されている。

プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂのみかけの嵩密度が０．０８ｇ／ｃｍ^３未満では、それらフィルタ１１，１２に対する空気の接触時間が短く、それらフィルタ１１，１２の塵埃捕集機能が低下し、空気に含まれる塵埃をそれらフィルタ１１，１２に確実に捕集させることができない。プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂのみかけの嵩密度が０．１３ｇ／ｃｍ^３を超過すると、それらフィルタ１１，１２を通流する空気の流速が遅く、それらフィルタ１１，１２における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ及びフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）のみかけの嵩密度が０．０６～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、フィルタ１３のみかけの嵩密度が前記範囲において設定されている。

プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂのみかけの嵩密度が０．０６ｇ／ｃｍ^３未満では、フィルタ１３に対する空気の接触時間が短く、フィルタ１３の粒子吸着機能が低下し、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をフィルタ１３に確実に吸着させることができない。プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂのみかけの嵩密度が０．１１ｇ／ｃｍ^３を超過すると、フィルタ１３を通流する空気の流速が遅く、フィルタ１３における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ及びフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）のみかけの嵩密度が０．０３～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１４ａ及びフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）のみかけの嵩密度が０．０３～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にある。エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂでは、空気が最適な流速（速度）でスムーズにプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂを通流する面速及び圧力損失となるように、それらフィルタ１４，１５のみかけの嵩密度が前記範囲において設定されている。

プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂのみかけの嵩密度が０．０３ｇ／ｃｍ^３未満では、それらフィルタ１４，１５に対する空気の接触時間が短く、それらフィルタ１４，１５の粒子捕集機能が低下し、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をそれらフィルタ１４，１５に確実に捕集させることができない。プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂのみかけの嵩密度が０．１１ｇ／ｃｍ^３を超過すると、それらフィルタ１４，１５を通流する空気の流速が遅く、それらフィルタ１４，１５における空気の濾過量が減少するとともに、最適な流速（速度）でスムーズに空気を通流させることができない。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、前記範囲のみかけの嵩密度を有するプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂに空気に含まれる所定の大きさの塵埃を捕集させ、前記範囲のみかけの嵩密度を有するプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子を吸着させるとともに、前記範囲のみかけの嵩密度を有するプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子を捕集させるから、空気に含まれる塵埃やｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ、ｎｍサイズ未満の微粒子の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂは、空気がそれらフィルタ１１～１５を最適な流速でスムーズに通流するようにそれらフィルタ１１～１５のみかけの嵩密度を前記範囲で調節することができるから、それらフィルタ１１～１５を空気が最適な流速でスムーズに通流し、各フィルタ１１～１５における空気の滞留やそれらフィルタ１１～１５間における空気のコンタミネーションを防ぎつつ、プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂの塵埃捕集機能、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの粒子吸着機能、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの粒子捕集機能を最大限に利用することができ、それらフィルタ１１～１５を利用して塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を作ることができる。

フィルタハウジング２０における第１～第４保持フレーム１６～１９（フィルタ１１～１５）の取り付け及び取り外しの手順の一例は、以下のとおりである。フィルタハウジング２０の一方の側壁７２と頂壁７０とを固定する固定手段（図示せず）を解除し、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２をその下端縁を中心として上下方向下方へ旋回させ、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２を開放した後、フィルタハウジング２０の底壁７１に設置された第１レールに第１保持フレーム１６（第１フィルタ枠）を載置し、第１保持フレーム１６を第１レールにおいてフィルタハウジング２０の内部にスライドさせる。第２レールに第２保持フレーム１７（第２フィルタ枠）を載置し、第２保持フレーム１７を第２レールにおいてフィルタハウジング２０の内部にスライドさせ、第３レールに第３保持フレーム１８（第３フィルタ枠）を載置し、第３保持フレーム１８を第３レールにおいてフィルタハウジング２０の内部にスライドさせるとともに、第４レールに第４保持フレーム１９（第４フィルタ枠）を載置し、第４保持フレーム１９を第４レールにおいてフィルタハウジング２０の内部にスライドさせる。

次に、ハウジング２０の一方の側壁７２をその下端縁を中心として上下方向下方へ旋回させ、固定手段によってハウジング２０の側壁７２を頂壁７０に気密に固定する。第１～第４保持フレーム１６～１９は、フィルタハウジング２０において空気通流方向（前後方向）へ気密に連結される。なお、図示はしていないが、エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）の下流側にファン（送風機）が設置されている。

使用済みの各フィルタ１１～１５を交換するには、固定手段を解除してフィルタハウジング２０の一方の側壁７２と頂壁７０との固定を解除し、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２をその下端縁を中心として上下方向下方へ旋回させ、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２を開放した後、第１～第４保持フレーム１６～１９をフィルタハウジング２０の内部から幅方向外方へスライドさせ、それらフレーム１６～１９をフィルタハウジング２０から取り外す。次に、新しいフィルタ１１～１５を取り付けた新たな第１～第４保持フレーム１６～１９を第１～第４レールに載置し、第１～第４保持フレーム１６～１９をフィルタハウジング２０の内部にスライドさせ、固定手段によってハウジング２０の側壁７２を頂壁７０に気密に固定する。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、ファン（送風機）が起動すると、空気が第１保持フレーム１６の空気流入口５３（プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂの空気流入面２１）からプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂに流入し、第１保持フレーム１６の空気流出口５４（プリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂの空気流出面２２）から流出した空気が第２保持フレーム１７の空気流入口５８（プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの空気流入面２８）からプリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂに流入する。

第２保持フレーム１７の空気流出口５９（プリーツ型中性能フィルタ１２ａやフラット型中性能フィルタ１２ｂの空気流出面２９）から流出した空気は第３保持フレーム１８の空気流入口６３（プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの空気流入面３６）からプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに流入し、第３保持フレーム１８の空気流出口６４（プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの空気流出面３７）から流出した空気は第４保持フレーム１９の空気流入口６８（プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの空気流入面４３）からプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに流入する。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）では、空気に含まれる塵埃がプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂに捕集され、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子がプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに吸着されるとともに、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子がプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに捕集される。それらフィルタ１１～１５によって塵埃やμｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子が除去された空気は、第４保持フレーム１９の空気流出口６９（プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの空気流出面４４）から給気される。

エアーフィルタ１０Ａ，１０Ｂ（エアーフィルタユニット）は、それが空気の流入側に位置するプリーツ型プレフィルタ１１ａやフラット型プレフィルタ１１ｂ、プリーツ型中性能フィルタ１２ａ、フラット型中性能フィルタ１２ｂと、フィルタ１２の下流側に位置するプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂと、フィルタ１３の下流側であって空気の流出側に位置するプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂとから形成され、空気に含まれる所定の大きさの塵埃をフィルタ１１，１２が捕集し、空気に含まれるｎｍサイズ（ナノメートルサイズ）の微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をフィルタ１３が吸着するとともに、フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズ及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をフィルタ１４，１５が捕集するから、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子やｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、μｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

図８は、他の一例として示すエアーフィルタ１０Ｃの斜視図であり、図９は、図８のエアーフィルタ１０Ｃを形成する多孔質フィルタ１３やＨＥＰＡフィルタ１４、ＵＬＰＡフィルタ１５を保持した状態の第３及び第４保持フレーム１８，１９の一例を示す斜視図である。図１０は、他の一例として示すエアーフィルタ１０Ｄの斜視図であり、図１１は、図１０のエアーフィルタ１０Ｄを形成する多孔質フィルタ１３やＨＥＰＡフィルタ１４、ＵＬＰＡフィルタ１５を保持した状態の第３及び第４保持フレーム１８，１９の一例を示す斜視図である。図１２は、フィルタハウジング２０における第３及び第４保持フレーム１８，１９の取り付け及び取り外しの一例を説明する図である。図８，図１０では、上下方向を矢印Ａ、幅方向を矢印Ｂで示し、空気通流方向（前後方向）を矢印Ｃで示す。

図８や図１０のエアーフィルタ１０Ｃ，１０Ｄ（エアーフィルタユニット）が図１や図４のそれらと異なるところはエアーフィルタ１０Ｃ，１０Ｄにプレフィルタ１１及び中性能フィルタ１２が含まれていない点にあり、その他の構成は図１や図４のそれらと同一であるから、図１や図４と同一の符号を付すとともに図１や図４の説明を援用することで、エアーフィルタ１０Ｃ，１０Ｄにおけるその他の構成の詳細な説明が省略する。

エアーフィルタ１０Ｃ（エアーフィルタユニット）は、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ（多孔質フィルタ１３）と、プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ（ＨＥＰＡフィルタ１４）又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ（ＵＬＰＡフィルタ１５）と、第３及び第４保持フレーム１８，１９と、フィルタハウジング２０とから形成されている。エアーフィルタ１０Ｃは、空気中に含まれる微細な粒子を除去する。エアーフィルタ１０Ｃでは、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａ→プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａの順でそれらフィルタ１３ａ～１５ａが空気通流方向（前後方向）へ並んでいる。

エアーフィルタ１０Ｄ（エアーフィルタユニット）は、フラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）と、フラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４）又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＵＬＰＡフィルタ１５）と、第３及び第４保持フレーム１８，１９と、フィルタハウジング２０とから形成されている。エアーフィルタ１０Ｄは、空気中に含まれる微細な粒子を除去する。エアーフィルタ１０Ｄでは、フラット型多孔質フィルタ１３ｂ→フラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの順でそれらフィルタ１３ｂ～１５ｂが空気通流方向（前後方向）へ並んでいる。

図８に示すエアーフィルタ１０Ｃのプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａは、図３のそれらと同一であり、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａを保持する第３及び第４保持フレーム１８，１９は、図２のそれらと同一である。図１０に示すエアーフィルタ１０Ｄのフラット型多孔質フィルタ１３ｂやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂは、図６のそれらと同一であり、フラット型多孔質フィルタ１３ｂやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂを保持する図１１の第３及び第４保持フレーム１８，１９は、図５のそれらと同一である。

フィルタハウジング２０に第３及び第４保持フレーム１８，１９（フィルタ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ）を取り付けるには、固定手段を解除し、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２をその下端縁を中心として上下方向下方へ旋回させて側壁７２を開放した後、フィルタハウジング２０の底壁７１に設置された第３レールに第３保持フレーム１８（第３フィルタ枠）を載置し、第３保持フレーム１８を第３レールにおいてフィルタハウジング２０の内部にスライドさせ、第４レールに第４保持フレーム１９（第４フィルタ枠）を載置し、第４保持フレーム１９を第４レールにおいてフィルタハウジング２０の内部にスライドさせる。次に、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２をその下端縁を中心として上下方向上方へ旋回させ、固定手段によって側壁７２を頂壁７０に気密に固定する。第３及び第４保持フレーム１８，１９は、フィルタハウジング２０において空気通流方向（前後方向）へ気密に連結される。

使用済みの各フィルタ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを交換するには、固定手段を解除してフィルタハウジング２０の一方の側壁７２と頂壁７０との固定を解除し、フィルタハウジング２０の一方の側壁７２をその下端縁を中心として上下方向下方へ旋回させて側壁７２を開放した後、第３及び第４保持フレーム１８，１９をフィルタハウジング２０の内部から幅方向外方へスライドさせ、それらフレーム１８，１９をフィルタハウジング２０から取り外す。次に、新しいフィルタ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂを取り付けた新たな第３及び第４保持フレーム１８，１９を第３及び第４レールに載置し、その第３及び第４保持フレーム１８，１９をフィルタハウジング２０の内部にスライドさせ、固定手段によってフィルタハウジングの側壁７２を頂壁７０に気密に固定する。

エアーフィルタ（エアーフィルタユニット）では、ファン（送風機）が起動すると、空気が第３保持フレーム１８の空気流入口６３（プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの空気流入面３６）からプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに流入し、第３保持フレーム１８の空気流出口６４（プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂの空気流出面３７）から流出した空気は第４保持フレーム１９の空気流入口６８（プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの空気流入面４３）からプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに流入する。

エアーフィルタ１０Ｃ，１０Ｄ（エアーフィルタユニット）では、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子がプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂに吸着されるとともに、プリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂを通過した空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子がプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂに捕集される。それらフィルタ１３ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂによってμｍサイズを超過する微粒子やμｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子が除去された空気は、第４保持フレーム１９の空気流出口６９（プリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ、プリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａ、フラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂの空気流出面４４）から給気される。

エアーフィルタ１０Ｃ，１０Ｄ（エアーフィルタユニット）は、それが空気の流入側に位置するプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂ（多孔質フィルタ１３）と多孔質フィルタ１３の下流側であって空気の流出側に位置するプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂ（ＨＥＰＡフィルタ１４又はＵＬＰＡフィルタ１５）とから形成され、空気に含まれるｎｍサイズ（ナノメートルサイズ）の微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子をプリーツ型多孔質フィルタ１３ａやフラット型多孔質フィルタ１３ｂが吸着するとともに、多孔質フィルタ１３を通過した空気に含まれるｎｍサイズ及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子をプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ１４ａやフラット型ＨＥＰＡフィルタ１４ｂ又はプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ１５ａやフラット型ＵＬＰＡフィルタ１５ｂが捕集するから、空気に含まれるｎｍサイズの微粒子やｎｍサイズ未満の微粒子、μｍサイズの微粒子、μｍサイズを超過する微粒子を確実に除去することができ、μｍサイズを超過する微粒子、μｍサイズの微粒子、ｎｍサイズの微粒子、ｎｍサイズ未満の微粒子を除去した清浄空気を給気することができる。

１０Ａ エアーフィルタ（エアーフィルタユニット）
１０Ｂ エアーフィルタ（エアーフィルタユニット）
１０Ｃ エアーフィルタ（エアーフィルタユニット）
１０Ｄ エアーフィルタ（エアーフィルタユニット）
１１ プレフィルタ
１２ 中性能フィルタ
１３ 多孔質フィルタ
１４ ＨＥＰＡフィルタ
１５ ＵＬＰＡフィルタ
１６ 第１保持フレーム
１７ 第２保持フレーム
１８ 第３保持フレーム
１９ 第４保持フレーム
２０ フィルタハウジング
２１ 空気流入面
２２ 空気流出面
２３ 上端縁部
２４ 下端縁部
２５ 両側縁部
２６ 第１折曲部分
２７ 第２折曲部分
２８ 空気流入面
２９ 空気流出面
３０ 上端縁部
３１ 下端縁部
３２ 両側縁部
３３ 第１折曲部分
３４ 第２折曲部分
３５ セパレータ
３６ 空気流入面
３７ 空気流出面
３８ 上端縁部
３９ 下端縁部
４０ 両側縁部
４１ 第１折曲部分
４２ 第２折曲部分
４３ 空気流入面
４４ 空気流出面
４５ 上端縁部
４６ 下端縁部
４７ 両側縁部
４８ 第１折曲部分
４９ 第２折曲部分
５０ 上端外枠材
５１ 下端外枠材
５２ 両側外枠材
５３ 空気流入口
５４ 空気流出口
５５ 上端外枠材
５６ 下端外枠材
５７ 両側外枠材
５８ 空気流入口
５９ 空気流出口
６０ 上端外枠材
６１ 下端外枠材
６２ 両側外枠材
６３ 空気流入口
６４ 空気流出口
６５ 上端外枠材
６６ 下端外枠材
６７ 両側外枠材
６８ 空気流入口
６９ 空気流出口
７０ 頂壁
７１ 底壁
７２ 両側壁

Claims (7)

1. 空気に含まれる粒子を除去するエアーフィルタにおいて、
   前記エアーフィルタが、前記空気の流入側に位置するプレフィルタと、前記プレフィルタの下流側に位置する中性能フィルタと、前記中性能フィルタの下流側に位置する多孔質フィルタと、前記多孔質フィルタの下流側であって前記空気の流出側に位置するＨＥＰＡフィルタ又はＵＬＰＡフィルタとから形成され、前記プレフィルタを保持する第１保持フレームと、前記中性能フィルタを保持する第２保持フレームと、前記多孔質フィルタを保持する第３保持フレームと、前記ＨＥＰＡフィルタ又は前記ＵＬＰＡフィルタを保持する第４保持フレームと、前記第１～第４保持フレームを着脱可能に収容しつつ該第１～第４保持フレームを空気通流方向へ気密に連結するフィルタハウジングとを含み、
   前記エアーフィルタでは、前記空気に含まれる塵埃が前記プレフィルタと前記中性能フィルタとに捕集され、前記空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びｎｍサイズ未満の微粒子が前記多孔質フィルタに吸着されるとともに、前記多孔質フィルタを通過した前記空気に含まれるｎｍサイズの微粒子及びμｍサイズの微粒子並びにμｍサイズを超過する微粒子が前記ＨＥＰＡフィルタ又は前記ＵＬＰＡフィルタによって捕集されることを特徴とするエアーフィルタ。
2. 前記プレフィルタが、所定面積の空気流入面と前記空気流入面の反対側に位置して前記中性能フィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、前記中性能フィルタが、所定面積の空気流入面と前記空気流入面の反対側に位置して前記多孔質フィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、前記多孔質フィルタが、前記中性能フィルタに対向する所定面積の空気流入面と前記空気流入面の反対側に位置して前記ＨＥＰＡフィルタ又は前記ＵＬＰＡフィルタに対向する所定面積の空気流出面とを有し、前記ＨＥＰＡフィルタ又は前記ＵＬＰＡフィルタが、前記多孔質フィルタに対向する所定面積の空気流入面と前記空気流入面の反対側に位置する所定面積の空気流出面とを有し、前記エアーフィルタでは、前記中性能フィルタの空気流出面と前記多孔質フィルタの空気流入面とが対向し、前記多孔質フィルタの空気流出面と前記ＨＥＰＡフィルタ又は前記ＵＬＰＡフィルタの空気流入面とが対向するように、それらフィルタが空気通流方向に並んでいる請求項１に記載のエアーフィルタ。
3. 前記プレフィルタ及び前記中性能フィルタが、プリーツ加工されたプリーツ型プレフィルタ及びプリーツ型中性能フィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型プレフィルタ及びフラット型中性能フィルタであり、前記多孔質フィルタが、プリーツ加工されたプリーツ型多孔質フィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型多孔質フィルタであり、前記ＨＥＰＡフィルタ又は前記ＵＬＰＡフィルタが、プリーツ加工されたプリーツ型ＨＥＰＡフィルタ及びプリーツ型ＵＬＰＡフィルタ、又は、一方向へ略フラットに延びるフラット型ＨＥＰＡフィルタ及びフラット型ＵＬＰＡフィルタである請求項１又は請求項２に記載のエアーフィルタ。
4. 前記多孔質フィルタが、粒状活性炭を保持した活性炭フィルタと、活性炭素繊維から作られた活性炭素繊維フィルタと、活性炭素繊維に活性炭粉末を保持させた活性炭シートフィルタとのうちのいずれかである請求項１ないし請求項３いずれかに記載のエアーフィルタ。
5. 前記プレフィルタ及び前記中性能フィルタの面速と前記多孔質フィルタの面速と前記ＨＥＰＡフィルタ及び前記ＵＬＰＡフィルタの面速とが、１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの範囲にある請求項１ないし請求項４いずれかに記載のエアーフィルタ。
6. 前記１０～４０ｃｍ／ｓｅｃの面速における前記プレフィルタ及び前記中性能フィルタの圧力損失と前記多孔質フィルタの圧力損失と前記ＨＥＰＡフィルタ及び前記ＵＬＰＡフィルタの圧力損失とが、１００～２５０Ｐａの範囲にある請求項５に記載のエアーフィルタ。
7. 前記プレフィルタ及び前記中性能フィルタのみかけの嵩密度が、０．０８～０．１３ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、前記多孔質フィルタのみかけの嵩密度が、０．０６～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にあり、前記ＨＥＰＡフィルタ及び前記ＵＬＰＡフィルタのみかけの嵩密度が、０．０３～０．１１ｇ／ｃｍ^３の範囲にある請求項１ないし請求項６いずれかに記載のエアーフィルタ。

Images