JP2009202069A - 局所空間の空気清浄化装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】函体ケーシング2は、高さ寸法及び幅寸法に対して奥行き寸法が小さく設定された薄型の函体ケーシングとされ、奥行き方向の中間位置でケーシング内部を仕切り壁5によって2分し、吸込チャンバ6と給気チャンバ7とを形成するとともに、仕切り壁5の底部に吸込チャンバと給気チャンバとの連通部8を形成し、前記給気チャンバ7内にエアフィルタ4を配設するとともに、前記連通部8に送風機3を配設し、前記函体ケーシング2の上面であって前記吸込チャンバ6側に複数の吸込ダクト9を接続するとともに、前記函体ケーシング2の上面であって前記給気チャンバ7側に複数の給気ダクト10を接続する。
【選択図】図1
Description
前記函体ケーシングは、高さ寸法及び幅寸法に対して奥行き寸法が小さく設定された薄型の函体ケーシングとされ、奥行き方向の中間位置でケーシング内部を仕切り壁によって2分し、吸込チャンバと給気チャンバとを形成するとともに、仕切り壁の底部に吸込チャンバと給気チャンバとの連通部を形成し、前記給気チャンバ内にエアフィルタを配設するとともに、前記連通部に送風機を配設し、前記函体ケーシングの上面であって前記吸込チャンバ側に複数の吸込ダクトを接続するとともに、前記函体ケーシングの上面であって前記給気チャンバ側に複数の給気ダクトを接続したことを特徴とする局所空気の清浄化装置が提供される。
〔第1形態例〕
図1は本発明の第1形態例に係る局所空間の空気清浄化装置1の縦断面図である。
図2に示される第2形態例に係る空気清浄化装置1’は、上記第1形態例に対して、送風機から発塵対策と、排気側から空気逆流防止対策を施したものである。
(1)上記空気清浄化装置1、1’は、クリーンルーム以外に、クリーンブース又はクリーンチャンバなどに対しても適用が可能である。
前述した空気清浄化装置1,1’の使用例について幾つかの例を述べる。
局所空間(1):S1>R1
局所空間(2):S2<R2
局所空間(3):S3>R3
局所空間(4):S4=R4
この場合でも、給気と吸込の総量は同量であるため、加工チャンバ21内の差圧は0となる。なお、加工チャンバ21内の圧力バランスを変えたい場合は、図3に示される方法で調整する。
Claims (6)
- 函体ケーシング内に送風機とエアフィルタとを内蔵した局所空間の空気清浄化装置であって、
前記函体ケーシングは、高さ寸法及び幅寸法に対して奥行き寸法が小さく設定された薄型の函体ケーシングとされ、奥行き方向の中間位置でケーシング内部を仕切り壁によって2分し、吸込チャンバと給気チャンバとを形成するとともに、仕切り壁の底部に吸込チャンバと給気チャンバとの連通部を形成し、前記給気チャンバ内にエアフィルタを配設するとともに、前記連通部に送風機を配設し、前記函体ケーシングの上面であって前記吸込チャンバ側に複数の吸込ダクトを接続するとともに、前記函体ケーシングの上面であって前記給気チャンバ側に複数の給気ダクトを接続したことを特徴とする局所空気の清浄化装置。 - 前記吸込ダクトの接続部及び前記給気ダクトの接続部にそれぞれ、空気量調整用ダンパを配設してある請求項1記載の局所空気の清浄化装置。
- 前記送風機の出側と入側とに夫々、プレフィルタを配設してある請求項1、2いずれかに記載の局所空間の空気清浄化装置。
- 前記エアフィルタの出側と入側との差圧を計測する差圧計を配設するとともに、差圧異常を検出した際の警報発生手段及び/又は緊急停止手段を備えている請求項1〜3いずれかに記載の局所空間の空気清浄化装置。
- 前記ダクトは、フレキシブルホースが使用されている請求項1〜4いずれかに記載の局所空間の空気清浄化装置。
- 前記函体ケーシングは、移動用キャスターによって移動可能としてある請求項1〜5いずれかに記載の局所空間の空気清浄化装置。
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