JP3845560B2 - 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
空気調和装置及び半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3845560B2 JP3845560B2 JP2001246067A JP2001246067A JP3845560B2 JP 3845560 B2 JP3845560 B2 JP 3845560B2 JP 2001246067 A JP2001246067 A JP 2001246067A JP 2001246067 A JP2001246067 A JP 2001246067A JP 3845560 B2 JP3845560 B2 JP 3845560B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- chamber
- processing
- adsorption filter
- chemical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は,化学物質吸着フィルタを有する空気調和装置及び空気調和装置を備えたクリーンルームを使用した半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
たとえば外気を処理してクリーンルームに清浄空気を供給する際,化学物質吸着フィルタ(以下,「ケミカルフィルタ」という)が外気取入系等に設置されることがある。この場合,ケミカルフィルタ(たとえば活性炭フィルタ)は通常パネル等によって筒状に形成されたチャンバ内において通過面が処理空気と垂直になるように配置され,当該チャンバと一体になったケミカルフィルタユニットとして,粗塵を捕集するプレフィルタと,ケミカルフィルタ自体からの発塵をも捕集する高性能フィルタとの間に設置されている。
これによって塵埃除去フィルタユニットを通過した処理空気は,常時ケミカルフィルタユニットの通過面を通過して,処理されるようになっていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで,実際には,外気中の化学物質が許容濃度以下の場合には,ケミカルフィルタで処理する必要がない場合がある。
この点従来の方式では,処理空気を常時ケミカルフィルタを通過させて処理空気中の化学物質を常時吸着し続けているので,寿命を迎えるのが速かった。そのため交換のサイクルが短く問題であった。またケミカルフィルタは,通常の塵埃除去フィルタよりも高価であるため,コスト面でも問題があった。
さらにまたケミカルフィルタは流れる空気の圧力損失が他のフィルタに比べて大きいため,ケミカルフィルタを必要としない間も余分なエネルギー(送風動力=風量×ケミカルフィルタ圧力損失分)を消費し続け,省エネ上も問題であった。
【0004】
本発明は,かかる点に鑑みてなされたものであり,ケミカルフィルタをはじめとする各種の対象吸着フィルタの寿命をのばして交換サイクルを長くし,かつ従来よりも省エネ効果の優れた空気調和装置を提供して,前記問題の解決を図ることをその目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため,本発明の空気調和装置は,処理空気が通過するチャンバと,このチャンバ内に配置され前記処理空気を清浄化するための化学物質吸着フィルタと,チャンバ内に処理空気を導入するためのファンと,前記化学物質吸着フィルタの下流側に設置された空調処理部とを有する空気調和装置であって,前記チャンバ内に,前記化学物質吸着フィルタを通過せずに前記空調処理部に通ずるバイパス流路が設けられ,前記チャンバ内に導入された処理空気を,前記化学物質吸着フィルタ側又は前記バイパス流路側に選択的に切り換えて流すためのダンパが,前記チャンバに設けられ,前記チャンバの処理空気の入口は,前記バイパス流路の入口と前記化学物質吸着フィルタに至る入口とに区画され,区画された2つの入口が交互に隣接して配置されていることを特徴としている。
【0006】
本発明によれば,ダンパの切替によって,処理空気を化学物質吸着フィルタ側又はバイパス流路側に切り換えて空調処理部に導入することができるので,たとえば対象としている化学物質吸着フィルタが,ケミカルフィルタの場合,汚染物質が許容量以下の場合には,化学物質吸着フィルタを通過させることなくバイパス流路からそのまま空調処理部に導入することが可能である。したがって,常時対象となる化学物質吸着フィルタで処理することはなく,真に必要な場合にのみ対象となる化学物質吸着フィルタでの処理が行われるので,化学物質吸着フィルタの寿命が延びる。それと共に,対象となる化学物質吸着フィルタ処理時の時間が減少するので圧力損失によるエネルギーの浪費が抑えられる。またバイパス流路をチャンバ内に設定することで,全体として1つのまとまったユニットとして構成されている。
【0007】
なお空調処理部は,冷却,加熱,加湿,減湿等のうちの少なくとも1つの処理を行う機構を有しているものであればよい。空調処理部は化学物質吸着フィルタを内部に配置したチャンバ内に一体に構成されていてもよいが,フィルタチャンバとは別枠で空調処理部をケーシング内に収容し,両者をダクト接続してもよい。ファンについてもフィルタチャンバ内,空調処理部を有するケーシング内,外気取入口とフィルタチャンバの間,空調処理部の下流側など,その設置場所は任意である。また本発明においては,前記化学物質吸着フィルタ及びバイパス流路路の下流側に,別途除塵フィルタ等の他のフィルタを設置することを妨げない。
【0008】
前記パイパス流路の入口は,前記チャンバ内において均等に配置されていることがこのましい。これによって,バイパス流路を通過した処理空気が偏って流れることを防止できる。かかる観点からすれば,化学物質吸着フィルタの入口とバイパス流路の入口とは複数設定されたり,たとえば化学物質吸着フィルタの入口を挟んで両側にバイパス流路の入口が位置していたり,その逆にバイパス流路の入口を挟んで両側に化学物質吸着フィルタの入口が位置していたり,さらには各々複数設定されて,各入口が交互に設定されていることが好ましい。
【0009】
処理空気がパイパス流路を流れる際には,前記ファンの回転数を高くなるように制御されていてもよい。これによってたとえばバイパス流路を広く取れない場合に,風速を速くすることで下流側の空調処理部において,必要な流量を確保することが可能である。
【0010】
さらにまた,チャンバ内に導入される処理空気中の,前記化学物質吸着フィルタによって除去しようとする汚染物質の濃度を測定するセンサを備え,前記センサの測定結果に基づいて,前記ダンパの動作が制御するようにしてもよい。これによって化学物質吸着フィルタが除去しようとする汚染物質の濃度が許容値以下の場合にはバイパス流路に処理空気を流し,許容値を超えた場合にはじめて化学物質吸着フィルタで処理するという動作が自動的に行える。
また本発明の半導体装置の製造方法は,処理空気が通過するチャンバと,このチャンバ内に配置され前記処理空気を清浄化するための化学物質吸着フィルタと,前記化学物質吸着フィルタの下流側に設置された空調処理部とを有する空気調和装置を用いて,半導体装置を製造する方法であって,前記チャンバ内の処理空気の入口は,前記化学物質吸着フィルタに至る入口と,前記化学物質吸着フィルタを通過せずに前記空調処理部に通ずるバイパス流路の入口とが区画されて,かつこれら区画された入口が交互に隣接して配置されている。
そして本発明の半導体装置の製造方法は,処理空気に含まれる汚染物質の濃度を測定する工程と,前記濃度が予め定められた濃度を超える場合には,前記処理空気を前記化学物質吸着フィルタに至る入口に導入して化学物質吸着フィルタを通して空調処理部へ導入させ,前記濃度が予め定められた濃度以下の場合には,前記処理空気を前記バイパス流路の入口に導入して前記化学物質吸着フィルタを通さずに空調処理部に導入する工程と,前記空調処理部又はその上流側にて前記処理空気の塵埃除去を行った後に,前記処理空気をクリーンルーム内に導入させる工程と,清浄化された前記処理空気を含む前記クリーンルーム内で半導体ウエハの処理を行う工程とを,含むことを特徴としている。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下,本発明の好ましい実施の形態について説明すると,図1は,フィルタユニットを組み込んだ,クリーンルーム等に清浄な空気を供給する本実施の形態にかかる空気調和装置1の構成の概略を示しており,図2は同じく平面からみた構成の概略を示している。
【0012】
方形のトンネル状のチャンバ2内には,外気OAの取入口3側から,塵埃除去フィルタユニット4,たとえば化学吸着や触媒作用で化学物質を捕集,除去するケミカルフィルタユニット5,活性炭等の粉塵を除去する粉塵除去フィルタユニット6,冷却コイルユニット7,加熱コイルユニット8が順に設置されている。これらは1つのチャンバ2に納められ,外調機を形成しているが,各々の構成要素をダクト接続してもよい。
【0013】
加熱コイルユニット8の下流側には,加湿装置(図示せず)が配置されている加湿エリア9が形成されている。そして加湿エリア9の下流側には,モータ10で駆動するファン11が設置されており,これら一連のユニットを通過して所望の清浄度,温湿度に調整された処理空気を,給気SAとしてファン11の上部の吹出口12から供給するようになっている。本実施の形態においては,冷却コイルユニット7,加熱コイルユニット8,加湿エリア9が空調処理部を構成している。
【0014】
ケミカルフィルタユニット5自体は,2つのユニット21,21を,後述するバイパス流路を挟んで並列に接続して構成されている。各ユニット21は,本実施の形態ではさらに同形同大の6つの(2列3段)ユニットに分割されて設けられている。ケーシングを構成するパネル材22によって両側板,天板,底板が形成され,たとえば活性炭を有する化学物質吸着フィルタのろ材は,このケーシング内に設けられている。
【0015】
そして各ユニット21上流側の入口部27には,回動自在な複数のダンパ23が多段に設けられている。各ダンパ23は連動して回動する。すなわち,各ダンパ23の回動支点は,ユニット21の入口部27に水平に設定され,各ダンパの上流側端部は,適宜のリンク材(図示せず)を介して上下方向に移動する垂直に配置された支持柱24に回動自在に支持されている。したがって,支持柱24が上方に移動すると,それに伴って各ダンパ23の前端部が持ち上がり,ユニット21の入口部が閉鎖されるようになっている。図1に示した状態では,各ダンパ23は水平状態にあり,ユニット21の入口部27は開放している。
【0016】
支持柱24は,駆動部25よって上下動する。すなわち,支持柱24の下端部は,リンク材26の一端部に接続され,このリンク材26の他端部は,駆動部25の駆動軸とキー結合されている。したがって駆動軸が回動すると,リンク材26は上下に移動する。本実施の形態では,駆動部25にモジュトロールモータを使用している。
【0017】
ケミカルフィルタユニット5におけるユニット21,21の間,すなわちチャンバ2内の流路の中央には,ユニット21の側板とチャンバ2の天板,底板によって形成されたバイパス流路31が形成されている。バイパス流路31の入口部32は,フレーム材によって方形に構成されており,当該入口部32は,この入口部32を開閉自在な複数のダンパ33が設けられている。
【0018】
このダンパ33は,前記ユニット21のダンパ23と同一の構成を有し,各ダンパ33は,支持柱24の上方への移動によって回動し,支持柱24自体は,駆動部25の駆動軸の駆動によって上下動する。
【0019】
駆動部25の制御は,制御装置41によってその動作が制御される。すなわち,ケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23を開放しているときには,バイパス流路31の入口部32のダンパ33を閉鎖させ,その逆にケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23を閉鎖しているときには,バイパス流路31の入口部32のダンパ33を開放させるように,制御装置41は駆動部25を制御している。
【0020】
さらに制御装置41は,ファン11のモータ10の回転速度も制御する機能を有している。すなわち,ケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23を閉鎖し,バイパス流路31の入口部32のダンパ33を開放しているときには,モータ10の回転速度を下げて,ファン11の回転速度を抑えて,チャンバ2内に導入する処理空気の量を増加させるように制御するようになっている。すなわちケミカルフィルタユニット5の圧力損失は大きいため,ファン11はそれにうち勝つ速度で運転しなければならないが,バイパス流路31では圧力損失が小さく,同じ運転では風量が多すぎ,かつ省エネルギに反することになる。したがってファン11を抑える運転とするのである。
【0021】
本実施の形態にかかる空気調和装置1は,以上のように構成されており,ファン11の作動によってチャンバ2内に導入される処理空気中の汚染化学物質の濃度が許容値を超えている場合には,図1,図2に示したように,ケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23が開放され,バイパス流路31の入口部32のダンパ33が閉鎖される。これによって,チャンバ2内に導入され塵埃除去フィルタユニット4によって塵埃が除去された後の処理空気は,ケミカルフィルタユニット5のユニット21を通過して,汚染化学物質が除去される。そしてその後粉末除去フィルタユニット6によって活性炭等の粉末を除去された後,冷却コイルユニット7,加熱コイルユニット8,加湿エリア9で温湿度調整された後,吹出口12から吹き出される。その後処理空気はクリーンルーム(図示せず)内に送られ,該クリーンルーム内は清浄化処理された空気で満たされることになる。このようなクリーンルームでは,半導体装置を製造するクリーンルームとして使用され,該クリーンルーム内で半導体ウエハなどが処理されることになる。
【0022】
そして処理空気中の化学汚染物質の濃度が許容値以下の場合には,ケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23が閉鎖され,バイパス流路31の入口部32のダンパ33が開放される。したがってチャンバ2内に導入された処理空気は,図3に示したように,ケミカルフィルタユニット5のユニット21を通過することなく,そのままバイパス流路31を流れ,以下,後粉末除去フィルタユニット6によって活性炭等の粉末を除去され,冷却コイルユニット7,加熱コイルユニット8,加湿エリア9で温湿度調整された後,吹出口12から吹き出される。
【0023】
このとき,バイパス流路31の断面積がケミカルフィルタユニット5のユニット21のそれよりも狭いが,圧力損失が少ないため,ファン11の回転速度は抑えられてもバイパス流路31を流れる空気は高速であり,所定の風量は得られる。なおファン11の回転速度(回転数)は,ファン11の吹出し口近傍の風量か,またはファン11から出た空気が供給される室の室圧を検出して制御するようにしてもよい。
【0024】
このように,本実施の形態によれば,処理空気中の化学汚染物質の濃度が許容値以下の場合,換言すればケミカルフィルタで処理する必要のない場合には,処理空気はケミカルフィルタユニット5のユニット21を通過することなく,バイパス流路を流れてそのまま下流側の空調処理部へと送られていく。したがって,ケミカルフィルタユニット5に使用されているケミカルフィルタの寿命が延び,また圧力損失に伴うエネルギの浪費を抑えることが可能である。
【0025】
前記実施の形態では,ケミカルフィルタユニット5の中央部分にバイパス流路31を設定し,その両側にケミカルフィルタを搭載したユニット21,21を配置した構成であったが,図4,図5に示した第2の実施の形態の空気調和装置51のように,2つのバイパス流路31,31をチャンバ2内に設定し,ケミカルフィルタユニット5のユニット21と交互に配置し,かつ左右対称にバイパス流路31,31を設けるようにしてもよい。
【0026】
さらにまたこの第2の実施の形態においては,塵埃除去フィルタユニット4とケミカルフィルタユニット5との間に,ケミカルフィルタの除去対象となる化学汚染物質の処理空気中の濃度を策定する濃度センサ52が設けられている。この濃度センサ52による測定結果は,制御装置41へと送信され,当該測定の結果,処理空気中の化学汚染物質の濃度が許容値を越えている場合には,制御装置41は,ケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23を開放し,バイパス流路31の入口部32のダンパ33を閉鎖するように制御する。その結果,図5に示したように,チャンバ2内に導入された処理空気は,塵埃除去フィルタユニット4によって塵埃が除去された後,ケミカルフィルタユニット5のユニット21を通過して,汚染化学物質が除去される。そしてその後粉末除去フィルタユニット6によって活性炭等の粉末を除去された後,冷却コイルユニット7,加熱コイルユニット8,加湿エリア9で温湿度調整された後,吹出口12から吹き出される。
【0027】
また濃度センサ52による測定の結果,化学汚染物質の濃度が許容値以下の場合には,ケミカルフィルタユニット5のユニット21のダンパ23が閉鎖され,バイパス流路31の入口部32のダンパ33が開放される制御が制御装置41によってなされる。その結果,チャンバ2内に導入された処理空気は,図6に示したように,ケミカルフィルタユニット5のユニット21を通過することなく,そのままバイパス流路31,31を流れる。
したがって,第2の実施の形態にかかる空気調和装置51によれば,化学物質の濃度によって自動的にチャンバ2内の流路が切り換えられる。
【0028】
この場合,2つのバイパス流路31,31がケミカルフィルタユニット5のユニット21と交互に配置し,かつ左右対称にバイパス流路31,31が配置されているので,バイパス流路31,31を流れた空気は,偏ることなく下流側へと流れていく。また前記実施の形態の場合と同様,バイパス流路31,31の断面積がケミカルフィルタユニット5のユニット21のそれよりも狭く,また圧力損失を勘案しても,所定の風量が得られない場合には,ファン11の回転速度が高められて,チャンバ2内に導入する処理空気の量が増加されるように制御される。
【0029】
以上の実施の形態ではダンパの開閉の切換を自動で行っていたが,外気の化学物質,例えばSOxの濃度を保守員が計測器で計測し,手動でダンパの切換を行ってもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば,化学物質吸着フィルタが除去しようとする汚染物質の濃度によって化学物質吸着フィルタで処理したり,化学物質吸着フィルタを通過させないでそのまま下流側の空調処理部へと導くことかぎ可能である。したがって,対象となる化学物質吸着フィルタの寿命を従来よりも長くとることができ,さらに省エネ効果も従来より優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態にかかる空気調和装置の構成の概略を示す斜視図である。
【図2】第1の実施の形態にかかる空気調和装置において,処理空気がケミカルフィルタを通過している様子を示す平面からの説明図である。
【図3】第1の実施の形態にかかる空気調和装置において,処理空気がバイパス流路を通過している様子を示す平面からの説明図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態にかかる空気調和装置の構成の概略を示す斜視図である。
【図5】第2の実施の形態にかかる空気調和装置において,処理空気がケミカルフィルタを通過している様子を示す平面からの説明図である。
【図6】第2の実施の形態にかかる空気調和装置において,処理空気がバイパス流路を通過している様子を示す平面からの説明図である。
【符号の説明】
2 チャンバ
5 ケミカルフィルタユニット
7 冷却コイルユニット
8 加熱コイルユニット
9 加湿エリア
11 ファン
21 ユニット
23 ダンパ
25 駆動部
31 バイパス流路
33 ダンパ
Claims (4)
- 処理空気が通過するチャンバと,このチャンバ内に配置され前記処理空気を清浄化するための化学物質吸着フィルタと,チャンバ内に処理空気を導入するためのファンと,前記化学物質吸着フィルタの下流側に設置された空調処理部とを有する空気調和装置であって,
前記チャンバ内に,前記化学物質吸着フィルタを通過せずに前記空調処理部に通ずるバイパス流路が設けられ,
前記チャンバ内に導入された処理空気を,前記化学物質吸着フィルタ側又は前記バイパス流路側に選択的に切り換えて流すためのダンパが,前記チャンバに設けられ,
前記チャンバの処理空気の入口は,前記バイパス流路の入口と前記化学物質吸着フィルタに至る入口とに区画され,区画された2つの入口が交互に隣接して配置されていることを特徴とする,空気調和装置。 - 処理空気が通過するチャンバと,このチャンバ内に配置され前記処理空気を清浄化するための化学物質吸着フィルタと,チャンバ内に処理空気を導入するためのファンと,前記化学物質吸着フィルタの下流側に設置された空調処理部とを有する空気調和装置であって,
前記チャンバ内に,前記化学物質吸着フィルタを通過せずに前記空調処理部に通ずるバイパス流路が設けられ,
前記チャンバ内に導入された処理空気を,前記化学物質吸着フィルタ側又は前記バイパス流路側に選択的に切り換えて流すためのダンパが,前記チャンバに設けられ、
処理空気がパイパス流路を流れる際には,前記ファンの回転数が高くなるように制御されることを特徴とする,空気調和装置。 - チャンバ内に導入される処理空気中の,前記化学物質吸着フィルタによって除去しようとする汚染物質の濃度を測定するセンサを備え,前記センサの測定結果に基づいて,前記ダンパの動作が制御されることを特徴とする,請求項1又は2に記載の空気調和装置。
- 処理空気が通過するチャンバと,このチャンバ内に配置され前記処理空気を清浄化するための化学物質吸着フィルタと,前記化学物質吸着フィルタの下流側に設置された空調処理部とを有する空気調和装置を用いて,半導体装置を製造する方法であって,
前記チャンバ内の処理空気の入口は,前記化学物質吸着フィルタに至る入口と,前記化学物質吸着フィルタを通過せずに前記空調処理部に通ずるバイパス流路の入口とが区画されて,かつこれら区画された入口が交互に隣接して配置されており,
処理空気に含まれる汚染物質の濃度を測定する工程と,
前記濃度が予め定められた濃度を超える場合には,前記処理空気を前記化学物質吸着フィルタに至る入口に導入して化学物質吸着フィルタを通して空調処理部へ導入させ,前記濃度が予め定められた濃度以下の場合には,前記処理空気を前記バイパス流路の入口に導入して前記化学物質吸着フィルタを通さずに空調処理部に導入する工程と,
前記空調処理部又はその上流側にて前記処理空気の塵埃除去を行った後に,前記処理空気をクリーンルーム内に導入させる工程と,
清浄化された前記処理空気を含む前記クリーンルーム内で半導体ウエハの処理を行う工程と,
含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001246067A JP3845560B2 (ja) | 2001-08-14 | 2001-08-14 | 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001246067A JP3845560B2 (ja) | 2001-08-14 | 2001-08-14 | 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003056898A JP2003056898A (ja) | 2003-02-26 |
JP3845560B2 true JP3845560B2 (ja) | 2006-11-15 |
Family
ID=19075698
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001246067A Expired - Fee Related JP3845560B2 (ja) | 2001-08-14 | 2001-08-14 | 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3845560B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102450581B1 (ko) * | 2021-11-29 | 2022-10-06 | 주식회사 금영이엔지 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4604603B2 (ja) * | 2003-08-26 | 2011-01-05 | ダイキン工業株式会社 | 環境提供システム、環境提供装置、制御装置及び環境提供方法 |
JP4449686B2 (ja) * | 2004-10-07 | 2010-04-14 | 株式会社日立プラントテクノロジー | ケミカルエアフィルタ運転制御システム |
KR100902502B1 (ko) | 2008-09-23 | 2009-06-15 | 서번산업엔지니어링주식회사 | 폐열회수 겸용 환기용 열교환기 및 이를 이용한 공기조화기, 이 공기조화기의 제어방법 |
JP2013521473A (ja) * | 2010-03-05 | 2013-06-10 | エックストラリス・テクノロジーズ・リミテッド | フィルタバイパス |
KR101524200B1 (ko) * | 2013-12-24 | 2015-06-01 | 한국철도기술연구원 | 전동차 차량용 냉·난방장치 |
KR101524201B1 (ko) * | 2013-12-24 | 2015-06-01 | 한국철도기술연구원 | 고속 철도 차량용 냉·난방장치 |
KR102214166B1 (ko) * | 2019-12-04 | 2021-02-09 | (주)이에스 | 스마트 공기조화장치 및 그 제어방법 |
-
2001
- 2001-08-14 JP JP2001246067A patent/JP3845560B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102450581B1 (ko) * | 2021-11-29 | 2022-10-06 | 주식회사 금영이엔지 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003056898A (ja) | 2003-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4304534B2 (ja) | 気体浄化装置 | |
KR101824148B1 (ko) | 환기장치 | |
JP4124665B2 (ja) | 清浄空気ダクト及び清浄室用空気提供装置 | |
KR102381927B1 (ko) | 환기장치 | |
KR200481427Y1 (ko) | 내부공기순환방식 지하철 공기정화기 | |
KR20080021999A (ko) | 조절가능한 여과능력을 갖는 폐열회수형 환기장치 | |
JP3845560B2 (ja) | 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2008145090A (ja) | 空気調和機の室内機 | |
KR101197822B1 (ko) | 조습 시스템 | |
JP4860079B2 (ja) | フィルタユニット装置 | |
JP2010139190A (ja) | 空調機の外気導入装置 | |
KR20120094731A (ko) | 공기청정기 | |
JP4181078B2 (ja) | 空気清浄化装置 | |
KR20190001334A (ko) | 선택적으로 가습 기능과 공기 청정 기능을 수행할 수 있는 가습 공기 청정기 | |
KR20110061084A (ko) | 제습형 공기청정기 | |
JP2003347397A (ja) | ウエハポッドの清浄化システム、ウエハポッド | |
KR102371827B1 (ko) | 공기조화기의 제어방법 및 공기조화기 | |
JP3986905B2 (ja) | 清浄空気供給システム及びその運転方法 | |
KR100531084B1 (ko) | 공기청정시스템 및 그 운전방법 | |
KR200347521Y1 (ko) | 모듈형 공기 조화기 | |
KR100511690B1 (ko) | 크린룸장치 | |
KR101923149B1 (ko) | 공기 청정기 | |
JP4138367B2 (ja) | フィルタユニット | |
JPH10189530A (ja) | 回転式基板乾燥装置 | |
CN109084418B (zh) | 空调的控制方法及空调 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060516 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060718 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060815 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3845560 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090825 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120825 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130825 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140825 Year of fee payment: 8 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |