KR102450581B1 - 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 - Google Patents
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- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 81
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 71
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 36
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 claims description 2
- MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N tunicamycin Natural products CC(C)CCCCCCCCCC=CC(=O)NC1C(O)C(O)C(CC(O)C2OC(C(O)C2O)N3C=CC(=O)NC3=O)OC1OC4OC(CO)C(O)C(O)C4NC(=O)C MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 12
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000013135 deep learning Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000010801 machine learning Methods 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 1
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 1
- 230000001149 cognitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 230000001932 seasonal effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011426 transformation method Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/50—Control or safety arrangements characterised by user interfaces or communication
- F24F11/56—Remote control
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/62—Control or safety arrangements characterised by the type of control or by internal processing, e.g. using fuzzy logic, adaptive control or estimation of values
- F24F11/63—Electronic processing
- F24F11/64—Electronic processing using pre-stored data
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/08—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates
- F24F13/10—Air-flow control members, e.g. louvres, grilles, flaps or guide plates movable, e.g. dampers
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/20—Casings or covers
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F7/00—Ventilation
- F24F7/04—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation
- F24F7/06—Ventilation with ducting systems, e.g. by double walls; with natural circulation with forced air circulation, e.g. by fan positioning of a ventilator in or against a conduit
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
- F24F13/20—Casings or covers
- F24F2013/205—Mounting a ventilator fan therein
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
- F24F2110/10—Temperature
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
- F24F2110/20—Humidity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F2221/00—Details or features not otherwise provided for
- F24F2221/34—Heater, e.g. gas burner, electric air heater
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Signal Processing (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fuzzy Systems (AREA)
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- Air Conditioning Control Device (AREA)
- Human Computer Interaction (AREA)
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Abstract
외부에서 유입되는 공기의 자체 온도에 따른 대류현상을 이용하여 공급경로를 분리할 수 있는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템이 개시된다. 이와 같은 본 발명에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템은, 수평 구획판(115)이 설치된 외조기 본체부(110)와; 상기 공기 유입구(111)를 통해 유입되는 외부 공기온도에 따라 개폐방향이 조절되는 분기형 전자밸브(130)와; 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 상부 공간부(110a)에서 유입되는 공기를 가변적으로 냉각시키는 냉각부재(140)와; 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 하부 공간부(110b)에서 유입되는 공기를 가변적으로 가열시키는 가열부재(150)와; 상기 클린룸에 설치된 배출기(700)의 단위 시간당 배출량을 감지하며, 상기 외조기 본체부(110)의 내부에 설치된 상기 냉각부재(140) 및 상기 가열부재(150)의 각각의 구동시간을 감지하여 출력하는 센싱부(170)와; 상기 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)를 통하여 클린룸 내부로 공급되는 공기를 미리 설정된 압력으로 강제적으로 송풍하는 송풍팬(180)과; 클린룸에 설치된 배출기(700)를 통하여 외부로 배출된 단위 시간당 공기 배출량과, 송풍팬(180)을 통하여 클린룸의 내부로 보충되는 공기의 단위 시간당 공기 공급량을 각각 감지하는 제어부(190)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 클린룸 외조기에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 외부에서 유입되는 공기의 자체 온도에 따른 대류현상을 이용하여 공급경로를 분리할 수 있는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템을 제공하기 위한 것이다.
클린룸이란 실내의 청정도 및 양압을 유지하기 위해서 많은 외기를 도입하며, 외기를 공조기에 의해 보통 12℃, 90%RH의 급기(SA, supply air) 상태로 공조되어 클린룸 실내로 공급되고, 클린룸 실내는 22~24℃, 45~55%RH의 일정한 온·습도로 유지시킨다.
최근 클린룸 관리의 경향은 마이크 단위의 입자관리에서 나노 단위의 유해가스 관리 쪽으로 변화되고 있으며, 클린룸을 지속적으로 유지하기 위해서는 먼지의 유입방지/발생방지/집적방지/신속제거 등의 원칙에 의해 실내에는 팬필터유닛(FAN FILTER UNIT, FFU)이나 축류팬(AXIAL FAN)등의 순환용 송풍기가 필요하고 클린룸 내의 양압유지와 100% 실외의 공기를 유입하여 냉난방 부하를 관리하여야 하기 때문에 외조기가 규모에 비하여 에너지 소비량이 대단히 많은 시설이다. 더욱이 최근에 신설되는 반도체, 밧데리, LCD용 클린룸의 규모는 연면적이 수십만㎡에 이르고 있어 클린룸 공장에서 소비하는 에너지는 매우 큰 것이 사실이다.
종래의 클린룸 공조 시스템은 크게 리턴되는 공기 없이 외부 공기로만 장비 배기 및 클린룸의 양압을 유지하기 위한 공기를 클린룸에 적합하도록 온습도 및/또는 청정도를 공조하여 공급하는 외조기(100)와, 외조기(100)에서 공급되는 공기를 생산장소인 팹(FAB)에 공급하는 통로를 제공하는 공급 플레넘(300)과, 공급 플레넘(300)에서 팹(FAB)으로 공급하는 공기를 필터링처리하여 배출하는 팬필터유닛(Fan Filter Unit:FFU)(400)과, 팹(FAB)에서 하측으로 빠진 공기를 재공급하는 리턴 플레넘(500)과, 리턴 플레넘(500)에서 팹(FAB)(400)으로 재공급되는 공기를 가열하는 가열부재(600)와, 오염된 공기나 가스를 팹(FAB)의 외부로 강제적으로 배출시키는 배출기(700)로 구성된다.
이와 같은 외조기는 동절기와 하절기가 다르게 운전되는데 동절기에는 저온 저습한 외기를 여러 단계의 가열부재에 통과시켜 외기를 가열한 후 송풍기 직전에 가습기로 클린룸 내부에 설정된 절대습도에 가깝게 가습한 후 토출하게 되며, 하절기에는 고온 다습한 외기를 여러 단계의 냉각부재(COOLING COIL)에 통과시켜 클린룸 내부에 설정된 절대습도에 가깝게 제습냉각 한 후 필요 이상 냉각된 공기는 재열 코일에 통과시켜 가열한 후 클린룸 내부로 토출하여 클린룸 내부 습도값을 맞출 수 있다.
한편, 종래에 반도체 제조용 클린룸 외조기의 운영 구성별 에너지 사용 비율을 살펴보면 냉방에 전체 에너지의 45%가 사용되고, 가습에 26%, 난방에 16%, 송풍에 13%가 사용되는 것으로 알려져 있으며, 반도체용 클린룸의 외조기와 건조 냉각부재의 연간 부하량을 살펴보면, 외조기 운전부하는 약 20%정도이다. 이러한 외조기의 운전부하는 크게 난방부하와 냉방부하, 송풍기 부하의 합으로 알 수 있으며, 주로 하절기에는 냉방부하가, 동절기에는 난방부하가 집중되는 에너지 소비 형태이며, 클린룸 내부의 건조 냉각부재의 냉방부하는 계절 변화에 상관없이 연중 일정한 부하를 유지한다. 이러한 외조기 운전부하와 건조냉각부재의 운전부하의 총 부하는 전체 클린룸 가동부하 중에서 약 7%에 해당되는 것으로 생산원가에 매우 큰 비중을 차지하고 있으며, 특히 클린룸에서 동절기에 온수와 스팀을 외조기 등에 공급하기 위한 난방부하와, 외기가 저온임에도 불구하고 건조냉각부재 및 생산 장비 냉각용 냉수 공급을 위한 냉방부하가 동시에 발생하는 특징을 가지고 있다.
이에 따라 크린룸의 외조기의 에너지만이라도 효과적으로 절약할 수 있다면 클린룸 전체 에너지 소비를 크게 개선할 수 있을 것으로 기대된다.
본 발명은 이상에서 설명한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 외부에서 유입되는 공기의 자체 온도에 따른 대류현상을 이용하여 공급경로를 분리할 수 있는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 외부에서 유입되는 공기를 클린룸에 공급하기 전에 외조기의 내부에서 온도 및 습도를 관리자에 의해 설정된 목표 온도 및 습도에 최대한 가깝도록 조절할 수 있는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템을 제공하기 위한 것이다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템은,
전단에 공기 유입구(111)와 후단에 공기 배출구(113)가 각각 형성되며, 전단부를 상부 공간부(110a)와 하부 공간부(110b)로 구획하도록 수평 구획판(115)이 설치된 외조기 본체부(110)와;
상기 외조기 본체부(110)의 공기 유입구(111)의 후단에 설치되며, 상기 공기 유입구(111)를 통해 유입되는 외부 공기가 미리 설정된 더운 온도이면 상부 공간부(110a)가 배출되고, 외부 공기가 미리 설정된 차가운 온도이면 하부 공간부(110b)가 배출되도록 개폐방향이 조절되는 분기형 전자밸브(130)와;
상기 상부 공간부(110a)를 형성하도록 상기 수평 구획판(115)의 끝단부 상면에 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 상부 공간부(110a)에서 유입되는 공기를 가변적으로 냉각시키는 냉각부재(140)와;
상기 하부 공간부(110b)를 형성하도록 상기 수평 구획판(115)의 끝단부의 밑면에 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 하부 공간부(110b)에서 유입되는 공기를 가변적으로 가열시키는 가열부재(150)와;
클린룸 내부, 상기 외조기 본체부(110)의 내부, 상기 클린룸 외부의 온도 및 습도를 감지하며, 상기 클린룸에 설치된 배출기(700)의 단위 시간당 배출량을 감지하며, 상기 외조기 본체부(110)의 내부에 설치된 상기 냉각부재(140) 및 상기 가열부재(150)의 각각의 동작시간을 감지하여 출력하는 센싱부(170)와;
상기 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)의 전단에 설치되며, 상기 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)를 통하여 클린룸 내부로 공급되는 공기를 미리 설정된 압력으로 강제적으로 송풍하는 송풍팬(180)과;
상기 분기형 전자밸브(130), 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)와 전기적으로 연결되도록 설치되며, 상기 센싱부(170)의 감지값에 따라 상기 분기형 전자밸브(130), 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)의 구동을 선택적으로 제어하며, 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)의 동작시간을 각각 감지하며, 클린룸에 설치된 배출기(700)를 통하여 외부로 배출된 단위 시간당 공기 배출량과, 송풍팬(180)을 통하여 클린룸의 내부로 보충되는 공기의 단위 시간당 공기 공급량을 각각 감지하는 제어부(190)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템에 따르면, 외부에서 유입되는 공기의 자체 온도에 따른 대류현상을 이용하여 공급경로를 분리할 수 있어, 외조기의 내부로 유입되는 공기의 온도에 따라 공기의 대류현상을 이용하기 때문에 냉각부재 또는 가열부재의 용량과 부하를 상대적으로 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 외부에서 유입되는 공기를 클린룸에 공급하기 전에 외조기의 내부에서 온도 및 습도를 관리자에 의해 설정된 목표 온도 및 습도에 최대한 가깝도록 조절할 수 있어, 클린룸으로 공급되는 공기의 온도 및 습도를 정확하게 제어할 수 있기 때문에 클린룸에 대한 연간 에너지 소비량의 절감할 수 있을 것으로 기대된다. 이에 따라 본 발명에 따른 클린룸을 통하여 만들어진 제품에 대한 매출 및 수출 증대와 더불어 제품의 제조 비용이 크게 절감될 수 있는 효과가 있다. 이와 같은 효과는 공업용 클린룸, 바이오 클린품, 데이터센터 등의 분야에서 에너지를 절감할 수 있는 효과까지 기대할 수 있다.
도 1은 종래의 클린룸의 구성을 개괄적으로 나타낸 도면.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 외조기의 블록 구성도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 블록구성도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 공기의 냉각 및 가열동작을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 웹서버 시스템에 구축되는 인공신경망을 설명하기 위한 도면.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 외조기의 동작을 각각 설명한 도면.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 외조기의 블록 구성도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 블록구성도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 공기의 냉각 및 가열동작을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 웹서버 시스템에 구축되는 인공신경망을 설명하기 위한 도면.
도 6 내지 도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 외조기의 동작을 각각 설명한 도면.
전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명을 첨부 도면에 의하여 상세하게 기술하면 다음과 같으며 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지의 구성 요소에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 외조기의 블록 구성도이다. 도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템은, 전단에 공기 유입구(111)와 후단에 공기 배출구(113)가 각각 형성되며, 전단부를 상부 공간부(110a)와 하부 공간부(110b)로 구획하도록 수평 구획판(115)이 설치된 외조기 본체부(110)와; 외조기 본체부(110)의 공기 유입구(111) 내측에 설치되며, 외부에서 유입되는 공기를 필터링하여 통과시키는 필터부(120)와; 외조기 본체부(110)의 공기 유입구(111)의 후단에 설치되며, 공기 유입구(111)를 통해 유입되는 외부 공기가 미리 설정된 더운 온도이면 상부 공간부(110a)가 배출되고, 외부 공기가 미리 설정된 차가운 온도이면 하부 공간부(110b)가 배출되도록 개폐방향이 조절되는 분기형 전자밸브(130)와; 상부 공간부(110a)를 형성하도록 수평 구획판(115)의 끝단부 상면에 수직방향으로 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상부 공간부(110a)에서 유입되는 공기를 가변적으로 냉각시키는 냉각부재(140)와; 하부 공간부(110b)를 형성하도록 수평 구획판(115)의 끝단부의 밑면에 설치된 냉각부재(140)에 수직방향으로 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 하부 공간부(110b)에서 유입되는 공기를 가변적으로 가열시키는 가열부재(150)와; 외조기 본체부(110)의 수평 구획판(115)의 우측에 형성된 통합 공간부(110c)에 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 냉각부재(140) 또는 가열부재(150)에서 배출되는 공기의 습도를 조절하는 가습부재(160)와; 클린룸 내부, 외조기 본체부(110)의 내부, 클린룸 외부의 온도 및 습도를 감지하며, 클린룸의 배출기(700)의 단위 시간당 배출량을 감지하며, 외조기 본체부(110)의 내부에 설치된 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160)의 각각의 동작상태와 구동시간을 감지하여 출력하는 센싱부(170)와; 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)의 전단에 설치되며, 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)를 통하여 클린룸의 내부로 공급되는 공기를 미리 설정된 압력으로 강제적으로 송풍하는 송풍팬(180)과; 분기형 전자밸브(130), 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180)과 전기적으로 연결되도록 설치되며, 센싱부(170)의 감지값에 따라 분기형 전자밸브(130), 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180)의 구동을 선택적으로 제어하며, 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180)의 동작상태와 구동시간을 감지하며, 클린룸에 설치된 배출기(700)를 통하여 외부로 배출된 단위 시간당 공기 배출량과, 송풍팬(180)을 통하여 클린룸의 내부로 보충되는 공기의 단위 시간당 공기 공급량을 각각 감지하는 제어부(190)로 구성된다.
여기서, 분기식 전자밸브(130)는 전자석에 의해 개폐를 실행하는 3웨이형 솔레노이드 밸브가 사용되며, 제어부(180)의 제어신호에 의해 전자코일의 전자력을 제어하여 자동적으로 밸브의 개폐방향을 상부 공간부(110a) 또는 하부 공간부(110b)로 개폐시킨다.
또한, 냉각부재(140)는 전기식 냉각코일을 사용하며, 가열부재(150) 또한 전기식 가열코일을 사용하며, 가습부재(160)는 통상의 전기식 가습기를 사용하는 것이 바람직하다.
또한, 센싱부(170)는, 클린룸 외부에 설치되며, 클린룸 외부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 출력하는 하나 이상의 제1 습온도센서(171)와, 클린룸 내부에 설치되며, 클린룸 내부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 출력하는 하나 이상의 제2 습온도센서(173)와, 외조기(100)의 내부에 설치되며, 외조기 본체부(110) 내부 공기의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 출력하는 하나 이상의 제3 습온도센서(175)와, 외조기 본체부(110)의 내부에 각각 설치된 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180) 그리고 클린룸의 배출기(700)에 각각 설치되며, 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180) 그리고 클린룸의 배출기(700)의 동작상태 구동시간을 감지하여 각각 출력하는 다수개의 LED센서등(177)를 포함하여 구성된다.
또한, 클린룸에 설치된 배출기(700)와 외조기 본체부(110)에 설치된 송풍기(180)의 배출 및 송풍 용량은 동일하게 설치하는 것이 바람직하며, 제어부(190)는 미리 설정된 단위시간(예 1분)당 클린룸에 설치된 배출기(700)의 공기 배출량과 송풍기(180)의 공기 송풍량 정보를 각각 감지하여 저장하고 있으며, 제어부(190)는 냉각부재(140)와 가열부재(150)를 구동시킬 때 관리자의 제어명령 또는 설정에 따라 미리 설정된 다단의 조절레벨 중에서 가변적으로 선택하여 조절할 수 있다.
여기서, 외조기 본체부(110)의 내측 밑부분에는 외조기 본체부(110)에서 클린룸으로 공급되는 공기가 냉각되면서 결로현상에 의해 발생하는 응축수를 배출하기 위한 드레인부재(270)가 설치될 수 있다.
또한, 하부 공간부(110b)의 내부에는 압축기(210)가 설치되고, 압축기(210)의 토출관에서 연장 형성된 분기관을 통하여 응축기(220)로 공급되는 냉매 중 일부가 가열부재(150)로 공급될 수 있으며, 냉매가 압축기(210)-응축기(220)-팽창수단-냉각부재(140)로 순환하는 구성과 동작은 공지의 설명을 따르기로 한다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템의 동작을 설명하면 다음과 같다.
센싱부(170)의 감지동작
센싱부(170)의 제1 습온도센서(171)는 도 3에 도시된 바와 같이, 클린룸 외부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달하고, 제2 습온도센서(173)는 클린룸 내부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달하고, 제3 습온도센서(175)는 외조기 본체부(110) 내부의 공기의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달한다(S100).
또한, 클린룸 배출기(700)에 설치된 LED센서등(177)도 배출기의 동작상태와 구동시간정보를 실시간으로 제어부(190)로 전달하여, 제어부(190)는 미리 설정된 단위 시간 별로 외부로 배출된 공기량을 감지할 수 있다(S200).
제어부(190)의 제어동작
이에 따라 제어부(190)는 도 6에 도시된 바와 같이, 미리 설정된 단위 시간 (예를 들어, 1분) 동안 클린룸에서 배출기(700)의 구동 시간을 계산하여 클린룸 내부 공기가 미리 설정된 용량 이상 배출되었는지를 판단한다(S300).
S300의 판단결과, 미리 설정된 시간 단위 동안 클린룸에서 배출기(700)를 통하여 외부로 미리 설정된 용량 이상의 공기가 배출된 경우, 제어부(190)는 클린룸 배출기(700)를 통하여 외부로 배출된 공기 배출량에 상응하도록 보충할 공기 유입량을 외조기 본체부(110)를 통하여 유입시키도록 외조기 본체부(110)의 내부에 각각 설치된 분기형 전자밸브(130), 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180)의 구동을 제어한다(S400).
이때, 제어부(190)는 외조기 본체부(110)의 내부에 각각 설치된 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180) 그리고 클린룸의 배출기(700)에 각각 설치된 각각의 조명감지센서(179)를 통하여 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180) 그리고 클린룸의 배출기(700)의 구동상태 및 구동시간을 감지하고, 클린룸 배출기(700)를 통하여 단위 시간당 외부로 배출된 공기 배출량정보와 외조기 본체부(110)를 통하여 단위 시간당 클린룸에 보충된 공기 유입량정보를 각각 계산하여 저장한다(S500).
이하에서 S400단계의 동작에 대해 첨부된 도 7 내지 도 8을 참조하여 상세히 설명한다.
먼저, 제어부(190)는 도 7에 도시된 바와 같이, 제1 습온도센서(171)가 클린룸 외부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달한 클린룸 외부 온도 및 습도값과 제2 습온도센서(173)가 클린룸 내부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달한 관리자가 설정한 클린룸 내부의 목표 온도값(24~25℃) 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값을 서로 비교하여 클린룸의 외부 공기의 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 미리 설정된 온도 범위(예를 들어, 3℃) 이상 큰지를 판단한다(S41단계).
이때, 클린룸 외부의 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 미리 설정된 온도 범위(예를 들어, 3℃) 이상 큰 경우로 판단되면, 제어부(190)는 도 4에 도시된 바와 같이, 현재 클린룸 외부의 온도가 무더운 날씨로 판단하고, 외조기 본체부(110)로 유입되는 공기를 냉각시키기 위하여 분기형 전자밸브(130)의 하부 공간부(110b)는 폐쇄하고 상부 공간부(110a)는 개방되도록 개폐방향을 제어하면서, 냉각부재(140)를 구동시켜 공기 유입구(111)-분기형 전자밸브(130)-상부 공간부(110a)-냉각부재(140)-통합 공간부(110c)-송풍팬(180)-공기 배출구(113)로 형성되는 제1 공기보충통로(h1)를 형성하고(S42), 상부 공간부(110a)에 유입되는 공기를 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값에 최대한 가깝게 냉각시키도록 냉각부재(140)의 구동을 미리 설정된 다수개의 냉각레벨을 조절하면서 제어한다(S43).
이때, 공기 유입구(111)를 통하여 외조기 본체부(110)의 내부로 유입되는 공기의 온도는 클린룸의 내부 공기 보다 상대적으로 더 높기 때문에 분자의 운동이 활발하여 즉, 단위 부피당 분자가 분자의 운동이 느린 찬공기에 비해 상대적으로 밀도가 낮아서 순환팬을 이용하지 않더라도 더운 공기가 공기대류원리에 따라 상부 공간부(110a)로 이동할 수 있다.
한편, 제어부(190)는 클린룸에 설치된 배출기(700)의 LED센서등(177)가 감지한 배출기(700)의 구동시간에 상응하는 클린룸의 공기 배출량 만큼 외부 공기를 보충하기 위하여 송풍팬(180)의 구동 시간을 제어하면서(S44), 제3 습온도센서(175)가 외조기 본체부(110) 내부의 공기의 온도를 감지한 외조기 내부 온도값과 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값와 비교하여 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 보다 상대적으로 설정된 온도 범위(예를 들어 2℃) 이상 큰지를 판단한다(S45).
이때, 판단 결과로 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 상대적으로 설정된 온도 범위 이상 큰 것으로 판단되면, 상부 공간부(110a)에 유입되는 공기를 현재 보다 강하게 냉각시키도록 냉각부재(140)의 구동을 미리 설정된 다단의 냉각레벨을 조절하면서 제어한다(S46).
이때 제어부(190)는 상부 환풍팬(230) 및 상부 댐퍼(240)를 구동시키면서 상부 공간부(110a)-냉각부재(140)-통합 공간부(110c)-상부 환풍팬(230)-상부 댐퍼(240)-상부 공간부(110a)로 이루어지는 제1 공기순환경로(h2)를 형성할 수 있다(S47).
그러나, 판단 결과로 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도값 보다 상대적으로 설정된 온도 범위 이상 크지 않은 것으로 판단되면, 제어부(190)는 상부 환풍팬(230) 및 상부 댐퍼(240)를 구동시키지 않고, 상부 공간부(110a)에 유입되는 공기를 현재 냉각레벨 보다 강한 냉각레벨로 냉각시키도록 냉각부재(140)의 구동을 제어한다(S48).
한편, S41단계에서 클린룸 외부 온도값이 클린룸 내부의 온도값 또는 클린룸 목표 온도값 보다 미리 설정된 온도 범위(예를 들어, 3℃) 이상 크지 않은 경우로 판단되면, 제어부(190)는 도 8에 도시된 바와 같이, 클린룸 외부 온도값이 클린룸 내부의 온도값 또는 클린룸 목표 온도값 보다 미리 설정된 온도 범위(예를 들어, 3℃) 이상 작은지를 판단한다(S51). 이때, S51의 판단결과, 클린룸 외부 온도값이 클린룸 내부의 온도값 또는 클린룸 목표 온도값 보다 미리 설정된 온도 범위(예를 들어, 3℃) 이상 작은경우로 판단되면, 제어부(190)는 클린룸의 외부가 차가운 날씨로 판단하고, 외조기 본체부(110)로 유입되는 공기를 가열시키기 위하여 도 4에 도시된 바와 같이, 분기형 전자밸브(130)의 상부 공간부(110a)는 폐쇄하고, 하부 공간부(110b)는 개방되도록 개폐방향을 제어하면서 공기 유입구(111)-분기형 전자밸브(130)-하부 공간부(110b)-가열부재(150)-통합 공간부(110c)-송풍팬(180)-공기 배출구(113)로 형성되는 제2공기보충통로(c1)를 형성하고(S52), 하부 공간부(110b)에 유입되는 공기를 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값에 최대한 가깝게 가열시키도록 미리 설정된 다수개의 가열레벨을 조절하면서 가열부재(150)의 구동을 제어한다(S53).
이때, 공기 유입구(111)를 통하여 외조기 본체부(110)의 내부로 유입되는 공기의 온도는 클린룸의 내부 공기 보다 상대적으로 더 낮기 때문에 분자의 운동이 활발하지 못하여 즉, 단위 부피당 분자가 분자의 운동이 빠른 더운공기에 비해 상대적으로 밀도가 높아서 순환팬을 이용하지 않더라도 차가운 공기가 공기대류원리에 따라 하부 공간부(110b)로 이동할 수 있다.
한편, 제어부(190)는 클린룸에 설치된 배출기(700)의 LED센서등(177)가 감지한 배출기(700)의 구동시간에 상응하는 클린룸의 공기 배출량 만큼 외부 공기를 보충하기 위하여 송풍팬(180)의 구동 시간을 제어하면서(S54), 제3 습온도센서(175)가 외조기 본체부(110) 내부의 공기의 온도를 감지한 외조기 내부 온도값과 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값을 비교하여 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 상대적으로 설정된 온도 범위(예를 들어 2℃) 이상 작은지를 판단한다(S55).
이때, 판단 결과로 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 상대적으로 설정된 온도 범위 이상 작은 것으로 판단되면, 제어부(190)는 하부 공간부(110b)에 유입되는 공기를 현재 보다 강하게 가열시키도록 가열부재(150)의 구동을 미리 설정된 다단의 가열레벨을 조절하면서 제어한다(S56).
이때 제어부(190)는 하부 환풍팬(250) 및 하부 댐퍼(260)를 구동시키면서 공기 유입구(111)-분기형 전자밸브(130)-하부 공간부(110b)-냉각부재(140)-통합 공간부(110c)-하부 환풍팬(250)-하부 댐퍼(260)로 이루어지는 제2 공기순환경로(c2)를 형성할 수 있다(S57).
이어 제어부(190)는 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 상대적으로 설정된 온도 범위 이상 작은지를 판단한다(S58).
이때, 외조기 내부 온도값이 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 상대적으로 설정된 온도 범위 이상 작지 않은 것으로 판단되면, 제어부(190)는 하부 환풍팬(250) 및 하부 댐퍼(260)를 구동시키지 않고 하부 공간부(110b)에 유입되는 공기를 현재 가열레벨 보다 강한 가열레벨로 가열시키도록 가열부재(150)의 구동을 제어한다(S59).
한편, 제어부(190)는 제1 습온도센서(171)가 클린룸 외부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달한 클린룸 외부의 습도값과 제2 습온도센서(173)가 클린룸 내부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 제어부(190)로 전달한 클린룸 내부의 습도값을 서로 비교하여 클린룸의 외부 습도값이 클린룸 내부의 목표 습도값 또는 클린룸 내부의 습도값 보다 미리 설정된 습도 범위(예를 들어, 5% RH) 이상 차이 나는지를 판단한다(S60).
이때, 클린룸 외부 습도값이 클린룸 내부의 목표 습도값 또는 클린룸의 내부 습도값 보다 미리 설정된 습도 범위(예를 들어, 50%RH) 이상 큰 차이를 갖는 경우로 판단되면, 제어부(190)는 입력되는 공기의 습도를 조절하기 위하여 통합 공간부(100c)의 내부에 설치된 가습부재(160)의 구동을 현재 가습레벨 보다 상대적으로 강한 가습레벨이나 약한 가습레벨로 제어한다(S61).
이와 같은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템에 따르면, 외조기 본체부(110)로 유입되는 공기가 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도값 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도값 보다 높은 온도 또는 낮은 온도냐에 따라 공기의 대류특성에 따라 별도의 순환경로나 순환팬을 사용하지 않고서도 외조기 본체부(110)에서 크린룸으로 공급되는 공기의 온도 및 습도를 조절하도록 제어할 수 있으며(S62), 이때 냉각부재(140) 또는 가열부재(150)의 용량과 부하를 상대적으로 줄일 수 있는 장점을 갖는다.
한편, 본 발명의 바람직한 실시 예에서는 웹서버 시스템(270)을 이용하여 클린룸의 온도 및 습도를 원격으로 제어할 수 도 있는데, 이를 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명한다.
이 경우, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템은, 제어부(190)로부터 수신한 클린룸의 배출기(700)의 구동시간정보를 계산하여 클린룸의 내부에서 미리 설정된 단위 시간(매 1분)당 외부로 강제적으로 배출된 공기량 정보를 계산하고, 외부로 배출된 공기량에 상응하는 외부 공기를 보충하기 위하여 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160) 및 송풍팬(180)의 구동시간정보를 제어부(190)으로부터 수신하여 축적 및 학습하고, 분기형 전자밸브(130), 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 송풍팬(180)의 구동을 선택적으로 제어하여 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도를 갖는 공기를 보충할 구동시간을 계산하고, 외조기 본체부(110)에서 클린룸으로 보충될 공기의 온도 및 습도와 미리 설정된 단위 시간당 공기 배출량을 제어하기 위한 제어신호를 제어부(190)로 전달하는 웹 서버 시스템(270)과, 인터넷을 통하여 웹 서버 시스템(270)과 무선 통신가능하도록 연결되며, 웹 서버 시스템(270)와 통신하여 원격으로 데이터베이스 내역을 조회하고 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160) 및 송풍팬(180)의 구동을 제어하여 외조기 본체부(110)에서 클린룸의 내부로 공급되는 공기의 온도나 습도를 조절하기 위한 명령을 인가하는 적어도 하나 이상의 사용자 단말기(280)와, 인터넷을 통하여 웹 서버 시스템(270)과 통신 가능하도록 연결되어 외부 온도, 습도, 풍속 냉각 효과, 풍향, 풍속정보를 포함하는 환경 변수정보를 웹 서버 시스템(270)으로 제공하는 기상데이터제공 서버(290)를 더 포함한다.
여기서, 웹 서버 시스템(270)은 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 및 송풍부재(180)의 전원 LED에 부착에 각각 부착된 LED센서등(177)를 활용하여 온/오프 상태 및 구동시간을 각각 측정한다. 또한, 웹 서버 시스템(270)에 구비된 데이터베이스에는 센싱부(170)에서 감지한 클린룸 내부의 온도, 습도를 온도/습도값을 각각 저장하고, 기상데이터제공 서버(290)에서 제공되는 외부의 온도, 습도, 풍향, 풍속, 강수량 데이터를 가져와서 저장된다. 이러한 데이터는 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160) 및 송풍팬(180)가 구동중일 경우에 미리 설정된 단위 시간(매 1분)에 한 번씩 저장하도록 한다. 저장된 데이터를 활용하여 파이썬의 케라스 딥러닝 라이브러리를 사용해서 고안한 인공신경망의 모델을 학습할 수 있다.
또한, 웹 서버 시스템(270)은 인공신경망, 딥러닝 알고리즘을 사용하여 외조기에서 클린룸의 내부로 공기를 보충할 수 있는 시간을 예측한다. 인공신경망은 뇌의 뉴런 신경망 구조를 모델로 만든 기계 학습 구조이고 딥러닝은 여러 비선형 변환기법의 조합을 통해 높은 수준의 추상화를 시도하는 기계학습이다. 이 알고리즘을 이용해서 클린룸 내부의 목표 온도까지 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160) 및 송풍팬(180)의 구동시간을 예측할 수 있으며, 정확한 냉각 또는 가열시간 및 가습시간의 예측이 가능하면 외조기 본체부(110)에서 미리 설정된 단위 시간당 온도 및 습도가 조절된 공기의 공급시간의 계산이 가능할 것이다.
본 발명의 바람직한 실시 예에서 센서부(170) 및 제어부(190)에서 전송되는 정보의 수집과 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 제1 및 제2 순환팬(230,250) 그리고 제1 및 제2 댐퍼(240,250)의 동작을 선택적으로 제어하기 위한 웹 서버 시스템(270)에는 정보의 수집 및 연산기능을 담당하는 라즈베리파이가 탑재된다.
한편, 웹 서버 시스템(270)은 단위 시간당 냉각부재(140)의 냉방시간 또는 가열부재(150)의 난방 시간 및 가습부재(160)의 가습시간을 예측하기 위해서 인공신경망을 구축한다. 인공신경망은 기계학습과 인지과학에서 생물학의 신경망에 영감을 얻은 통계학적 학습 알고리즘으로서, 본 발명의 실시 예에서 구축한 인공신경망은 총 8개의 노드를 가진 입력 층, 22개의 노드를 가진 은닉층 그리고 예측 시간(분)을 결과로 출력하는 출력층 1개로 구성된다. 각 층의 노드들은 다음 층과 완전히 연결(Fully Connected) 되며 모든 노드는 ReLu를 활성화 함수로 사용한다. 신경망을 학습할 때 사용되는 배치 크기는 100을 경사 하강법으로는 Adagradient 기법을 사용하는 것이 바람직하다.
여기서, 입력층을 구성하기 위하여 입력층의 각 노드의 파라미터는 냉각부재(140) 및 가열부재(150)의 냉난방에 영향을 주는 요인 분석을 통하여 얻을 수 있다. 단위 시간당 냉각부재(140), 가열부재(150) 및 가습부재(160)의 냉난방 및 가습시간을 예측하기 위해서 필요한 입력층의 노드는 도 5에 도시된 바와 같이, 목표 온도(°C), 현재 온도(°C), 현재 습도(%), 평균 외부온도(°C), 평균 외부습도(%), 풍속 냉각 효과(°C), 풍량(도), 그리고 풍속(m/s)을 사용한다.
또한, 은닉층과 출력층을 구성하기 위하여, 은닉층은 22개의 노드로 구성시키며 입력층과 완전히 연결된다. 은닉층의 노드의 개수는 다음의 검증된 공식을 활용하여 얻었다. 여기서 Ni는 입력층의 노드 개수, No는 출력층의 노드 개수, Ns는 학습할 데이터의 양, 마지막으로 α는 상수값 5이다.
또한, 출력층은 하나로 구성되며 은닉층과 완전히 연결되며, 출력층에서는 모델이 입력을 통하여 예측한 냉난방 및 가습시간에 필요한 예상 시간(분)을 출력한다.
한편, 신경망의 학습 데이터 축적 및 학습 방법을 설명하면, 신경망은 지도학습을 통하여 학습을 시키게 된다. 지도학습을 하기 위해서는 실제 입력데이터와 출력 데이터를 축적해야 한다. 학습에 필요한 데이터는 입력층에 들어갈 8개의 데이터와 출력층에서 나오는 시간(분) 데이터이다. 이러한 데이터는 단위 시간당 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 및 송풍부재(180)를 가동하면서 축적하게 된다. 처음에는 관리자가 필요에 따라 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 및 송풍부재(180)를 가동시키며, 설정된 단위 시간(예를 들어, 1분)이 변화할 때 마다 현재 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160) 및 송풍부재(180)의 동작상태와 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도까지 도달하는데 걸린 각각의 구동시간을 측정하고 데이터베이스에 저장한다.
또한, 기상데이터제공 서버(290)는 야후나 구글에서 제공하는 기상 데이터를 활용하며, 학습을 할 때는 최근의 1000개의 데이터를 사용하여 학습을 진행한다. 학습 주기는 100개의 데이터가 축적될 때마다 진행하는 것이 바람직하다.
한편, 관리자는 사용자 단말기(280)를 사용하여 웹 서버 시스템(270)을 원격으로 조정하고 데이터베이스의 내역을 조회하며, 목표 시간에 목표 온도를 설정할 수 있도록 하기 위해서 안드로이드 모바일 애플리케이션을 사용자 단말기(280)에 탑재한다.
이에따라, 관리자는 사용자 단말기(280)를 사용하여 클린룸 내부의 온도/습도 상태를 조회하고, 특정 시간에서의 목표 온도를 설정할 수 있으며, 이러한 설정을 토대로 고안된 인공신경망이 가동하여 단위 시간당 배출된 공기량에 상응하는 외조기에서 클린룸의 내부로 온도 및 습도가 조절된 공기의 보충시간을 예측하여 출력하고, 출력된 예측 시간을 토대로 온도 및 습도가 조절된 공기의 보충을 실행하기 위하여 냉각부재(140), 가열부재(150), 가습부재(160), 및 송풍부재(180)의 구동을 제어신호를 생성하여 제어부(190)로 전달한다.
이상에서 설명한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어서 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위내에서 여러 가지 치환, 변경이 가능하므로 전술한 실시예에 한정되는 것은 아니다.
외조기 본체(110) 상부 공간부(110a)
하부 공간부(110b) 공기 유입구(111)
공기 배출구(113) 수평 구획판(115)
필터부(120) 분기형 전자밸브(130)
냉각부재(140) 가열부재(150)
가습부재(160) 제1 습온도센서(171)
제2 습온도센서(173) 제3 습온도센서(175)
LED센서등(177) 센싱부(170)
토출팬(180) 제어부(190)
압축기(210) 응축기(220)
상부 환풍팬(230) 상부 댐퍼(240)
하부 환풍팬(250) 하부 댐퍼(260)
웹 서버 시스템(270) 사용자 단말기(280)
기상데이터제공 서버(290)
하부 공간부(110b) 공기 유입구(111)
공기 배출구(113) 수평 구획판(115)
필터부(120) 분기형 전자밸브(130)
냉각부재(140) 가열부재(150)
가습부재(160) 제1 습온도센서(171)
제2 습온도센서(173) 제3 습온도센서(175)
LED센서등(177) 센싱부(170)
토출팬(180) 제어부(190)
압축기(210) 응축기(220)
상부 환풍팬(230) 상부 댐퍼(240)
하부 환풍팬(250) 하부 댐퍼(260)
웹 서버 시스템(270) 사용자 단말기(280)
기상데이터제공 서버(290)
Claims (4)
- 전단에 공기 유입구(111)와 후단에 공기 배출구(113)가 각각 형성되며, 전단부를 상부 공간부(110a)와 하부 공간부(110b)로 구획하도록 수평 구획판(115)이 설치된 외조기 본체부(110)와;
상기 외조기 본체부(110)의 공기 유입구(111)의 후단에 설치되며, 상기 공기 유입구(111)를 통해 유입되는 외부 공기가 미리 설정된 더운 온도이면 상부 공간부(110a)가 배출되고, 외부 공기가 미리 설정된 차가운 온도이면 하부 공간부(110b)가 배출되도록 개폐방향이 조절되는 분기형 전자밸브(130)와;
상기 상부 공간부(110a)를 형성하도록 상기 수평 구획판(115)의 끝단부 상면에 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 상부 공간부(110a)에서 유입되는 공기를 가변적으로 냉각시키는 냉각부재(140)와;
상기 하부 공간부(110b)를 형성하도록 상기 수평 구획판(115)의 끝단부의 밑면에 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 하부 공간부(110b)에서 유입되는 공기를 가변적으로 가열시키는 가열부재(150)와;
클린룸 내부, 상기 외조기 본체부(110)의 내부, 상기 클린룸 외부의 온도 및 습도를 감지하며, 상기 클린룸에 설치된 배출기(700)의 단위 시간당 배출량을 감지하며, 상기 외조기 본체부(110)의 내부에 설치된 상기 냉각부재(140) 및 상기 가열부재(150)의 각각의 구동시간을 감지하여 출력하는 센싱부(170)와;
상기 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)의 전단에 설치되며, 상기 외조기 본체부(110)의 공기 배출구(113)를 통하여 클린룸 내부로 공급되는 공기를 미리 설정된 압력으로 강제적으로 송풍하는 송풍팬(180)과;
상기 분기형 전자밸브(130), 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)와 전기적으로 연결되도록 설치되며, 상기 센싱부(170)의 감지값에 따라 상기 분기형 전자밸브(130), 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)의 구동을 선택적으로 제어하며, 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)의 구동시간을 각각 감지하며, 클린룸에 설치된 배출기(700)를 통하여 외부로 배출된 단위 시간당 공기 배출량과, 송풍팬(180)을 통하여 클린룸의 내부로 보충되는 공기의 단위 시간당 공기 공급량을 각각 감지하는 제어부(190)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 외조기 본체부(110)의 수평 구획판(115)의 우측에 형성된 통합 공간부(110c)에 설치되며, 관리자의 설정 또는 명령에 따라 상기 냉각부재(140) 또는 상기 가열부재(150)에서 배출되는 공기의 습도를 조절하여 배출하는 가습부재(160)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 센싱부(170)는,
상기 클린룸 외부에 설치되며, 상기 클린룸 외부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 상기 제어부(190)로 출력하는 하나 이상의 제1 습온도센서(171)와;
상기 클린룸 내부에 설치되며, 상기 클린룸 내부의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 상기 제어부(190)로 출력하는 하나 이상의 제2 습온도센서(173)와;
상기 외조기 본체부(110)의 내부에 설치되며, 상기 외조기 본체부(110) 내부의 공기의 온도 및 습도를 주기적으로 감지하여 출력하는 하나 이상의 제3 습온도센서(175)와;
상기 외조기 본체부(110)의 내부에 각각 설치된 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 외조기 본체부(110)에 설치된 가습부재(160), 상기 송풍팬(180) 그리고 상기 클린룸의 배출기(700)에 각각 설치되며, 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 가습부재(160), 상기 송풍팬(180) 그리고 상기 클린룸의 배출기(700)의 구동시간을 각각 감지하여 제어부(190)으로 각각 출력하는 다수개의 LED센서등(177)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 제어부(190)로부터 수신한 상기 클린룸의 배출기(700)의 구동시간정보를 계산하여 상기 클린룸의 내부에서 미리 설정된 단위 시간당 외부로 강제적으로 배출된 공기량 정보를 계산하고, 외부로 배출된 공기량에 상응하는 외부 공기를 보충하기 위하여 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150) 및 상기 송풍팬(180)의 구동시간정보를 제어부(190)으로부터 수신하여 축적 및 학습하고, 상기 분기형 전자밸브(130), 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)의 구동을 선택적으로 제어하여 클린룸 내부의 목표 온도 및 습도 또는 클린룸 내부의 온도 및 습도를 갖는 공기를 보충할 구동시간을 계산하고, 상기 외조기 본체부(110)에서 상기 클린룸의 내부로 보충될 공기의 온도 및 습도와 미리 설정된 단위 시간당 공기 배출량을 제어하기 위한 제어신호를 제어부(190)로 전달하는 웹 서버 시스템(270)과;
인터넷을 통하여 상기 웹 서버 시스템(270)과 무선 통신가능하도록 연결되며, 상기 웹 서버 시스템(270)와 통신하여 원격으로 데이터베이스 내역을 조회하고 상기 분기형 전자밸브(130), 상기 냉각부재(140), 상기 가열부재(150), 상기 송풍팬(180)의 구동을 제어하여 상기 외조기 본체부(110)에서 클린룸으로 공급되는 공기의 온도나 습도를 조절하기 위한 명령을 인가하는 적어도 하나 이상의 사용자 단말기(280)와;
상기 인터넷을 통하여 웹 서버 시스템(270)과 통신 가능하도록 연결되어 외부 온도, 습도, 풍속 냉각 효과, 풍향, 풍속정보를 포함하는 환경 변수정보를 웹 서버 시스템(270)으로 제공하는 기상데이터제공 서버(290)를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210166482A KR102450581B1 (ko) | 2021-11-29 | 2021-11-29 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
| KR1020220112468A KR102659485B1 (ko) | 2021-11-29 | 2022-09-06 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210166482A KR102450581B1 (ko) | 2021-11-29 | 2021-11-29 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220112468A Division KR102659485B1 (ko) | 2021-11-29 | 2022-09-06 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102450581B1 true KR102450581B1 (ko) | 2022-10-06 |
Family
ID=83597346
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210166482A KR102450581B1 (ko) | 2021-11-29 | 2021-11-29 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
| KR1020220112468A KR102659485B1 (ko) | 2021-11-29 | 2022-09-06 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020220112468A KR102659485B1 (ko) | 2021-11-29 | 2022-09-06 | 클린룸 외조기의 온도 및 습도 자동 조절시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (2) | KR102450581B1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102678444B1 (ko) * | 2024-04-15 | 2024-06-26 | 한국이미지시스템(주) | 기상 상태에 기반한 예측 급기 상태와 전환 급기 상태를 기반으로 제어되는 강화학습 제어모델을 이용하여 빌딩 에너지 관리 시스템을 제어하기 위한 방법 및 빌딩 에너지 관리 시스템 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030075719A (ko) | 2002-03-20 | 2003-09-26 | 한국건설기술연구원 | 냉각탑 일체형 멀티수냉식 컨덴싱 유닛 공조시스템 |
| JP3845560B2 (ja) * | 2001-08-14 | 2006-11-15 | 高砂熱学工業株式会社 | 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 |
| KR101632270B1 (ko) | 2016-01-25 | 2016-06-21 | (주)휴텍 | 수가습 장치의 제어 방법 및 장치 |
| KR101699534B1 (ko) | 2015-09-15 | 2017-01-24 | 한국생산기술연구원 | 프리 쿨링 시스템 및 프리 쿨링 시스템 제어방법 |
| KR20210091028A (ko) * | 2020-01-13 | 2021-07-21 | 주식회사 우현기술 | 예측 공조로 최적화 운전이 가능한 스마트 공기 조화 시스템 |
-
2021
- 2021-11-29 KR KR1020210166482A patent/KR102450581B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-09-06 KR KR1020220112468A patent/KR102659485B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3845560B2 (ja) * | 2001-08-14 | 2006-11-15 | 高砂熱学工業株式会社 | 空気調和装置及び半導体装置の製造方法 |
| KR20030075719A (ko) | 2002-03-20 | 2003-09-26 | 한국건설기술연구원 | 냉각탑 일체형 멀티수냉식 컨덴싱 유닛 공조시스템 |
| KR101699534B1 (ko) | 2015-09-15 | 2017-01-24 | 한국생산기술연구원 | 프리 쿨링 시스템 및 프리 쿨링 시스템 제어방법 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR102659485B1 (ko) | 2024-04-19 |
| KR20230080294A (ko) | 2023-06-07 |
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