JP7030483B2 - クリーンルームの空調システム - Google Patents
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Description
ただし、機器2の発熱量が多いなど、風量が多く要求される場合には、さらに閉鎖パネルグリッドの一部を送風ユニット8に代替して風量を稼ぐことになる。被加工物4である基板等の製品の集積度は近年においても未だに向上しており、その生産装置である機器2内において化学反応等により生じる熱も増えている。こうした発熱への対応のため、機器2の種類によってはエリア毎に送風ユニット8の数を増減させる必要があり、場合によっては、天井構成材としての天井セルは天井3の全面に必要になる。
また、従来例においては、大空間(ボールルーム)全体を必要最小限の循環風量で浄化するため、パンチングパネル等により構成した上げ床1aの開孔9から床下の空間に空気Aを引き込んで下向きの気流を形成していた。古い型のクリーンルームより少ない風量で空気Aを確実に循環させるためであるが、このことが床下の空間の用途に制限を生じさせることにもなっていた。
前記送風ユニットから集中して前記高度清浄域へと吹き降ろされる空気は、前記機器同士の間や、機器と垂壁との間、垂壁と床面との間をすり抜けて、前記機器前面部から排熱を受け取って前記非高度清浄域へ移動するが、前記機器全体の排熱に対する前記機器前面部からの排熱の比率分だけ前記吹き降ろされる空気温度を下げて前記非高度清浄域へ移動する際の空気温度を被加工物品にとって適正な温度に設定することができる。
この温度成層の下方における空気Aの温度は、機器2からの排熱を受け取りつつも周辺の冷えた空気Aと混合するため、25℃前後である。温度成層の上方においては、上述の如く30℃程度である。
3 天井
4 被加工物
5 天井搬送装置
6 搬送レール
8 送風ユニット
11 冷却ユニット
14 天井側壁
15 スラブ面
16 垂壁
17 第二の天井側壁
19 連通口
20 第二の天井
A 空気
C 天井内空間
C1 吸込チャンバ(第二の天井内空間)
S 対象空間
S1 高度清浄域
S2 非高度清浄域
Claims (7)
- 対象空間のうち、他の領域に比べて高い清浄度の要求される領域を高度清浄域に設定すると共に、該高度清浄域以外の領域を非高度清浄域に設定し、
対象空間に浄化した空気を供給する送風ユニットは、高度清浄域の上方に位置する天井に設置され、且つ前記送風ユニットから供給される空気は前記高度清浄域に集中して供給され、
前記高度清浄域に供給された空気は床上を通って前記非高度清浄域に至り、該非高度清浄域内を上昇するよう構成され、
前記高度清浄域の上方には、前記送風ユニットの設置された天井と、該天井より上方に位置するスラブ面が位置し、
前記高度清浄域の上方における前記天井と前記スラブ面に挟まれた空間は、天井側壁により天井内空間として画成され、
前記送風ユニットは、前記天井内空間から前記高度清浄域へ下向きに空気を供給するよう前記天井に設置され、
前記非高度清浄域内の空気は、前記天井内空間を経由すると共に、前記天井高さレベルから上で冷却されるべく、前記天井高さレベルから上方に空気を冷却する冷却ユニットが配置され、該冷却ユニットにより冷却された空気が前記天井内空間から前記送風ユニットにより前記高度清浄域に供給され、
前記非高度清浄域の上方には、前記スラブ面と、該スラブ面の一部の下方に位置する第二の天井が位置し、
前記非高度清浄域の上方における前記スラブ面と前記第二の天井に挟まれた空間は、第二の天井側壁により吸込チャンバとして画成され、
前記非高度清浄域から前記天井内空間へ移動する空気は、前記第二の天井側壁の開口から前記吸込チャンバを経由すると共に、該吸込チャンバから前記天井内空間へ至る経路に設置された前記冷却ユニットで冷却された上で前記送風ユニットにより前記高度清浄域に供給されること
を特徴とするクリーンルームの空調システム。 - 前記第二の天井は、前記天井と同じ高さで連続し、前記吸込チャンバは、前記天井内空間と隣接する、請求項1に記載のクリーンルームの空調システム。
- 対象空間のうち、他の領域に比べて高い清浄度の要求される領域を高度清浄域に設定すると共に、該高度清浄域以外の領域を非高度清浄域に設定し、
対象空間に浄化した空気を供給する送風ユニットは、高度清浄域の上方に位置する天井に設置され、且つ前記送風ユニットから供給される空気は前記高度清浄域に集中して供給され、
前記高度清浄域に供給された空気は床上を通って前記非高度清浄域に至り、該非高度清浄域内を上昇するよう構成され、
前記高度清浄域の上方には、前記送風ユニットの設置された天井と、該天井より上方に位置するスラブ面が位置し、
前記高度清浄域の上方における前記天井と前記スラブ面に挟まれた空間は、天井側壁により天井内空間として画成され、
前記送風ユニットは、前記天井内空間から前記高度清浄域へ下向きに空気を供給するよう前記天井に設置され、
前記非高度清浄域内の空気は、前記天井内空間を経由すると共に、前記天井高さレベルから上で冷却されるべく、前記天井高さレベルから上方に空気を冷却する冷却ユニットが配置され、該冷却ユニットにより冷却された空気が前記天井内空間から前記送風ユニットにより前記高度清浄域に供給され、
前記天井側壁に連通口を設けると共に、該連通口に前記冷却ユニットを設置し、
前記非高度清浄域内の空気は、前記連通口から前記天井内空間へ導かれること
を特徴とするクリーンルームの空調システム。 - 前記高度清浄域と前記非高度清浄域との間における床より上方の位置に、鉛直方向に沿って延びる垂壁を設けること
を特徴とする請求項1~3のいずれか一項に記載のクリーンルームの空調システム。 - 前記高度清浄域と前記非高度清浄域との間に跨って設置される生産装置である機器が複数並列されて設けられ、
前記送風ユニットから集中して前記高度清浄域へと吹き降ろされる空気は、前記機器同士の間や、機器と垂壁との間、垂壁と床面との間をすり抜けて、前記機器前面部から排熱を受け取って前記非高度清浄域へ移動するが、前記機器全体の排熱に対する前記機器前面部からの排熱の比率分だけ前記吹き降ろされる空気温度を下げて前記非高度清浄域へ移動する際の空気温度を被加工物品にとって適正な温度に設定することを特徴とする請求項4に記載のクリーンルームの空調システム。 - 前記天井は、構成材を格子状に組んだ天井セルを備えて構成されること
を特徴とする請求項4または5に記載のクリーンルームの空調システム。 - 前記対象空間には、前記高度清浄域の上方に設置され、被加工物を搬送する天井搬送装置を構成する搬送レールが設置されており、
前記高度清浄域として、前記搬送レールの周辺の領域を設定することを特徴とする請求項1~6のいずれか一項に記載のクリーンルームの空調システム。
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