JPH09313869A

JPH09313869A - 気体清浄装置

Info

Publication number: JPH09313869A
Application number: JP8158868A
Authority: JP
Inventors: Ryochi Nagahashi; 良智長橋
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1996-05-30
Filing date: 1996-05-30
Publication date: 1997-12-09
Anticipated expiration: 2016-05-30
Also published as: JP3856497B2

Abstract

(57)【要約】【課題】フィルタ交換の頻度が少なく、且つ交換時間
の短い気体清浄装置を提供すること。【解決手段】汚染物質を濾過する複数のフィルタ（３
８，４０，４２，４４）をカートリッジ（２２）内に気
体の流れに対して直列に並べて収容し、当該複数のフィ
ルタ（３８，４０，４２，４４）を一体で交換可能にす
る。フィルタ（３８，４０，４２，４４）の間に、当該
フィルタ同士を良好に保持する調整部材（４６，４８，
５０，５２）を配置する。フィルタ（３８，４０，４
２，４４）の各々は、気体の汚染物質を除去する濾過部
材（６６，７２）と、当該濾過部材（６６，７２）を支
持する外枠部材（６４，７０）とを有する。調整部材
（４６，４８，５０，５２）は、フィルタ（３８，４
０，４２，４４）の外枠部材（６４，７０）に当接する
ように配置され、互いに当接する外枠部材（６４，７
０）と調整部材（４６，４８，５０，５２）との少なく
とも一方の当接面に気密用シール材（４６ａ，６４ａ，
７０ａ）を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、原子力、医療、半
導体製造等の分野において適用される汚染物質を含まな
い清浄な気体を生成する気体清浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】原子力分野では放射線による汚染物質の
ない清浄な空気が、医療・医薬・バイオ分野では大気中
から細菌等の汚染粒子を除去した清浄な空気が、半導体
分野では汚染粒子およびイオン性のケミカル汚染物質が
除去された清浄な気体が用いられるのが一般的である。
特に、半導体製造分野におけるケミカル汚染物質が除去
された清浄な気体を生成するために、一般に、大別して
２種類のフィルタが目的に応じて使用され、特定の物質
を対象としたフィルタが市販されている。第一の種類
は、濾材に活性炭を用いるもので、活性炭の微小な穴で
汚染物質を物理的に吸着し除去するものである。これ
は、有機汚染物質の除去に適している。第二の種類は、
濾材にイオン交換体を用いるもので、空気中にイオンの
状態で存在する汚染物質をイオン交換能をもつ物質によ
り陰イオンおよび陽イオンを選択的に吸着させる。これ
はアルカリ性または酸性の汚染物質の除去に適してい
る。

【０００３】近年、半導体製造の行われるクリーンルー
ム内の空気のケミカル汚染が問題となり各種の対策が施
されている。特に、投影露光装置の結像性能に及ぼす影
響がクローズアップされている。投影露光装置に与える
大きな影響は２つ上げられる。一つは、エキシマレーザ
光のような短波長の露光光と雰囲気中の物質、たとえば
亜硫酸等との光化学反応による新たな物質の生成であ
る。この生成物が照明光学系や投影光学系の表面に付着
し、曇りを生じさせる。その結果、照明光の透過量が減
少し、照度低下をもたらすという問題が発生する。

【０００４】もう一つは、Ｔトップと呼ばれるレジスト
パターンに見られる線幅不安定性による解像度の低下で
ある。エキシマレーザ光用の投影露光装置においては、
化学増幅型フォトレジストが用いられる。このレジスト
は、光吸収率が低く高い光透過率を有するので、現像後
にレジスト断面形状がほぼ矩形になるという従来のレジ
ストでは得られない好ましい特徴がある。ところが、こ
のレジストの表面にアルカリ性物質、たとえばアンモニ
ア等が存在すると、露光によって発生する感光を促進す
る酸と前記のアルカリ性物質とが反応して、化学増幅型
フォトレジストの表層に不溶解層を生ずる。このため現
像後のレジスト断面形状が図７に示すように、略「Ｔ」
字形状となり、所望の線幅をもったレジストパターンが
得られなくなる。図７において、符号１２０はシリコン
ウエハ、１２２は被エッチング材料、１２４は現像後の
フォトレジスト、１２６は不溶解層を示す。

【０００５】上記のような２つの問題の原因は、クリー
ンルーム内にあるケミカル汚染物質である。これを除去
するために主たる対象汚染物質とその濃度に応じて前記
２種類のフィルタから最適なフィルタを設計、製作し、
気体清浄装置に組み込み、より清浄な空気を投影露光装
置に供給している。その様子を図８に示す。図８におい
て、１１０は投影露光装置１１２を収容するチャンバ、
１１４及び１１６は気体清浄装置を構成するフィルタ・
ファン・ユニット（ＦＦＵ）、１１８はフィルタ・ファ
ン・ユニット１１６の架台である。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の技
術においては、一種類のフィルタにより対象としている
主たる汚染物質の除去はできるが、その他の汚染物質は
残留してしまう。しかも、フィルタの寿命は比較的短い
ために、取り替え頻度が多く、その都度、露光作業を停
止しなければならなかった。すなわち、露光装置におけ
る所謂ダウンタイムの増加は避けられないという問題が
あった。また、特に活性炭を用いたフィルタは、それ自
体が発塵源に成り得るため、フィルタから落下したパー
ティクル等の異物が気体清浄装置内や、露光装置が設置
されたクリーンルーム内に残ってしまう可能性がある。

【０００７】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、フィルタ交換の頻度が少なく、且つ交換時
間の短い気体清浄装置を提供することを目的とする。ま
た、フィルタによる発塵を良好に防止できる気体清浄装
置を提供することを他の目的とする。

【０００８】

【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するため
に、本発明の気体清浄装置は、汚染物質を濾過する複数
のフィルタ（３８，４０，４２，４４）と；これら複数
のフィルタ（３８，４０，４２，４４）を気体の流れに
対して直列に並べて収容し、当該複数のフィルタ（３
８，４０，４２，４４）を一体で交換可能に保持するカ
ートリッジ（２２）と；複数のフィルタ（３８，４０，
４２，４４）の間にそれぞれ配置され、当該フィルタ同
士を良好に保持する調整部材（４６，４８，５０，５
２）とを備えている。更に、複数のフィルタ（３８，４
０，４２，４４）の各々は、気体の汚染物質を除去する
濾過部材（６６，７２）と、当該濾過部材（６６，７
２）を支持する外枠部材（６４，７０）とを有する。ま
た、調整部材（４６，４８，５０，５２）は、フィルタ
（３８，４０，４２，４４）の外枠部材（６４，７０）
に当接するように配置され、互いに当接する外枠部材
（６４，７０）と調整部材（４６，４８，５０，５２）
との少なくとも一方の当接面に気密用シール材（４６
ａ，６４ａ，７０ａ）を設けている。

【０００９】上記のような気体清浄装置において、好ま
しくは、複数のフィルタ（３８，４０，４２，４４）の
外枠部材（６４，７０）を調整部材（４６，４８，５
０，５２）側に押し付ける押し付け部材（６０，５８
ａ，５８ｂ，５８ｃ）をカートリッジ（２２）に取り付
ける。また、カートリッジ（２２）の吸気側と排気側の
少なくとも一方に、フィルタ（３８，４０，４２，４
４）から生じる異物の飛散を防止する発塵防止フィルタ
（２４，２６）を設ける。このような発塵防止フィルタ
としては、カートリッジ（２２）の吸気側及び排気側を
塞ぐように、カートリッジ（２２）に直接取り付けられ
た発塵防止フィルタ（６８）とすることができる。

【００１０】また、本発明の他の態様として、カートリ
ッジ（８０ａ，８０ｂ）を並列に複数配置すると共に、
当該複数のカートリッジ（８０ａ，８０ｂ）を選択的に
使用するように、気体の流路を複数のカートリッジ（８
０ａ，８０ｂ）に対して変更する流路切換手段（８６，
８８）を備える。

【００１１】

【作用】従来の気体清浄装置では、一種類の濾材からな
る一枚のフィルタを収納するのが一般的であるが、本発
明では、カートリッジ（２２）中に汚染物質の種類と濃
度に応じて、適した濾材の種類と厚さを選定して作られ
た複数のフィルタ（３８，４０，４２，４４）を収納可
能であるため、複数の汚染物質を同時に除去できる。ま
た、調整部材（４６，４８，５０，５２）とフィルタ
（３８，４０，４２，４４）の外枠部材（６４，７０）
との少なくとも一方の当接面に気密用シール材（４６
ａ，６４ａ，７０ａ）を設けているため、清浄化される
べき気体は必ずフィルタ（３８，４０，４２，４４）の
濾過部材（６６，７２）を通過することになる。すなわ
ち、各フィルタ（３８，４０，４２，４４）のサイズの
違いが調整部材（４６，４８，５０，５２）によって吸
収（調整）される。その結果、市販のフィルタの使用が
可能となり、気体清浄装置の製作において量産が可能と
なる。

【００１２】また、汚染物質の種類と濃度を予め計測す
ることにより、厚さに比例して定まる濾材の寿命を各フ
ィルタ（３８，４０，４２，４４）とも同程度になるよ
うに設計すれば、全てのフィルタ（３８，４０，４２，
４４）の交換時期を一致させることができ、全てのフィ
ルタを無駄なく効率良く使用することができる。更に、
カートリッジ（２２）の交換により、複数のフィルタ
（３８，４０，４２，４４）を一度に交換できるため、
清浄化された空気が供給されるべき装置（露光装置等）
の停止時間（ダウンタイム）が短くなり、生産性の向上
に寄与することになる。

【００１３】また、押し付け部材（６０，５８ａ，５８
ｂ，５８ｃ）によって、複数のフィルタ（３８，４０，
４２，４４）の外枠部材（６４，７０）を調整部材（４
６，４８，５０，５２）側に押し付けることにより、フ
ィルタ（３８，４０，４２，４４）をカートリッジ（２
２）内に確実に保持することができる。また、カートリ
ッジ（２２）の吸気側と排気側に発塵防止フィルタ（２
４，２６）を設けた場合には、カートリッジ（２２）交
換時に、カートリッジ（２２）内のパーティクル（微粒
子またはゴミ）の落下または飛散の恐れがなくなる。特
に、カートリッジ（２２）の吸気側及び排気側を塞ぐよ
うに、発塵防止フィルタ（６８）をカートリッジ（２
２）に直接取り付ければ、カートリッジ（２２）を交換
することにより、古いカートリッジ（２２）に存在して
いたパーティクル等の異物は、そのカートリッジと共に
除去されることになる。

【００１４】更に、カートリッジ（８０ａ，８０ｂ）を
並列に複数配置した場合には、流路切換手段（８６，８
８）によって気体の流路を変えることにより、当該複数
のカートリッジ（８０ａ，８０ｂ）を選択的に使用する
ことができる。その結果、フィルタの交換は、フィルタ
・カートリッジ（８０ａ，８０ｂ）の切り換え、すなわ
ち空気の流路の切り換えのみで済むので、清浄化された
空気が供給されるべき装置（露光装置等）のダウンタイ
ムが極めてゼロに近くなる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例に基づいて説明する。なお、本実施例は、半導体デバ
イスの製造に用いられる投影露光装置用の気体清浄装置
に本発明を適用したものである。

【００１６】

【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を説明す
る。図１は、投影露光装置に適用した本実施例による気
体清浄装置（ＦＦＵ）の概略構成を示す。また、図２は
本実施例の気体清浄装置の詳細な構成を示す。本実施例
の気体清浄装置は、チャンバー１０内に収容された投影
露光装置１２の照明系１４に供給される空調用の空気を
清浄化するものであり、必要な構成部品はチャンバー１
０の外部に配置された筐体１６内に収容されている。気
体清浄装置（筐体１６）は、４つのキャスター１８によ
って移動可能に構成され、チャンバ１０に隣接して設置
することも、またクリーンルーム内の所定の場所や別室
へ移動することもできる。また、筐体１６は、固定ジャ
ッキ５６（図２参照）によって床に固定可能となってい
る。筐体１６の上部には、操作パネル２０が設けられ、
オペレータが所定の操作を行うようになっている。ま
た、筐体１６の下部には、空気取り入れ口２８が設けら
れ、外気を筐体１６内部に取り入れるようになってい
る。筐体１６は、上下が開放された四角筒状に成形され
ている。なお、筐体１６の形状は四角筒状に限らず、円
筒状に成形することも可能である。

【００１７】筐体１６のほぼ中央部分には、４枚のケミ
カルフィルタ３８、４０、４２、４４（図２参照）を備
えたフィルタ・カートリッジ２２が出し入れ可能に収容
されている。筐体１６の正面には、フィルタ・カートリ
ッジ２２を出し入れするためのカートリッジ交換扉（不
図示）が設けられている。フィルタ・カートリッジ２２
の上部及び下部には、発塵防止フィルタ２４、２６が設
けられており、各ケミカルフィルタ（３８，４０，４
２，４４）からのパーティクルの落下、飛散を防止し、
フィルタ・カートリッジ２２の交換時の振動や衝撃によ
る発塵を防止している。発塵防止フィルタ２４，２６と
しては、不織布やＵＬＰＡフィルタを用いることができ
る。

【００１８】図２において、筐体１６の上部には、フィ
ルタ・カートリッジ２２を通過した清浄な空気を照明系
１４に供給するホース（図示せず）に接続される３本の
バルブ機構３０が設けられている。各バルブ機構３０
は、気体清浄装置から供給される空気の流量を計測する
流量計３２と、ボールバルブ３４と、ホースへの接続部
３６とから構成されている。発塵防止フィルタ２６の下
方には、気体取り入れ口２８から取り込まれた空気をフ
ィルタ・カートリッジ２２側に強制的に送り込む軸流フ
ァン５４が配置されている。軸流ファン５４によって送
り込まれた空気は、発塵防止フィルタ２６、フィルタ・
カートリッジ２２及び発塵防止フィルタ２４を通ってバ
ルブ機構３０に達する。

【００１９】次に、フィルタ・カートリッジ２２の構成
について、図２に加えて図３を参照して説明する。フィ
ルタ・カートリッジ２２内には、複数の異なるタイプの
ケミカルフィルタを直列に収容され、各フィルタの間に
は、スペーサ４６，４８，５０，５２が挿入されてい
る。フィルタ・カートリッジ２２に収容するフィルタの
数は、実施例のように４枚に限らず、その厚さ等に応じ
て３枚や５枚にすることもできる。また、ケミカルフィ
ルタ３８，４０，４２，４４として市販のものを使用で
きるように設計されている。各ケミカルフィルタ３８，
４０，４２，４４は、汚染物質の種類と濃度に応じて、
それぞれ適した濾材の種類と厚さを選定して作られてい
る。

【００２０】スペーサ４６，４８，５０，５２は、フィ
ルタ３８と４０，４０と４２，４２と４４との間にそれ
ぞれ配置され、これらのフィルタの間隔を保つ機能と同
時にフィルタ３８，４０，４２，４４の外枠（６４，７
０）の大きさに合わせて加工が施され、市販品の互換性
を保つ機能を有している。すなわち、仕様の異なるフィ
ルタを組み合わせて使用した場合にも、各々のフィルタ
同士が良好に重ね合わせられるようになっている。スペ
ーサ４６，４８，５０，５２の高さ（厚さ）は、フィル
タ・カートリッジ２２内のフィルタ枚数および各フィル
タの厚さの大小によって変わることになる。すなわち、
フィルタ・カートリッジ２２内のフィルタ（３８，４
０，４２，４４）の組合せは、フィルタ・カートリッジ
２２の高さ方向の寸法の許す限り自由に設計、選択でき
る。各ケミカルフィルタ３８，４０，４２，４４として
は、単一汚染物質を除去するフィルタとすることもでき
るが、複数の汚染物質が除去可能な濾材を組み合わせた
複合フィルタを使用することもできる。

【００２１】図４に示すように、スペーサ４６は、上下
のフィルタ（３８，４０）間を気密状態に保つようにな
っている。すなわち、スペーサ４６は、ケミカルフィル
タ３８の外枠と、ケミカルフィルタ４０の外枠７０とに
密着して、全ての空気が両フィルタ３８，４０のフィル
タ部６６，７２（濾材）のみを通過するように設計され
ている。なお、図４は、フィルタ・カートリッジ２２の
上部に配置された発塵防止フィルタ２４（図２参照）に
代えて、フィルタ・カートリッジ２２の上部に固定され
た他の発塵防止フィルタ６８を使用した例を示す。この
ように、発塵防止フィルタは、フィルタ・カートリッジ
２２の上下の開口部に直接付けても良く、また、図２に
示すように、フィルタ・カートリッジ２２の外部に配置
しても良い。発塵防止フィルタ６８をフィルタ・カート
リッジ２２の上下の開口部を覆うように設けた場合に
は、フィルタ３８，４０，４２，４４から落下した異物
がフィルタ・カートリッジ２２の外部に飛散するのを防
止することができる。これにより、気体清浄装置内のみ
ならず、クリーンルーム内での発塵を防止することがで
きる。

【００２２】スペーサ４６は、図５に示すように、額縁
状に成形され、基部４６ｂとその上面に塗布されたシー
ル材４６ａと、中央の中空部４６ｃとから構成される。
図４にも示すように、スペーサ４６のシール材４６ａ
は、フィルタ３８の外枠６４の下面に接触し、フィルタ
４０の外枠７０の上表面に形成されたシール材７０ａと
接触する。これによって、フィルタ・カートリッジ２２
内でのフィルタ４０とフィルタ３８との気密状態が保た
れ、フィルタ４０のフィルタ部（濾材）７２を通過した
空気は外部に漏れることなく全てフィルタ３８のフィル
タ部６６を通過することになる。なお、図４において
は、フィルタ３８，４０とスペーサ４６との関係につい
てのみ示しているが、フィルタ４０，４２とスペーサ４
８、フィルタ４２，４４とスペーサ５０とについても同
様に構成されている。すなわち、各フィルタ３８，４
０，４２，４４のフィルタ部（６６，７２）は、それぞ
れスペーサ４６，４８，５０，５２によって気密状態を
保たれ、従って、軸流ファン５４から送り込まれた空気
は、全て各フィルタのフィルタ部（濾材）を通過するこ
とになる。

【００２３】図３及び図４に示すように、フィルタ・カ
ートリッジ２２内の最上部のフィルタ３８の外枠６４の
四隅上には、当て板６０が配置され、フィルタ・カート
リッジ２２の上面四隅の対応する位置に挿通した締め付
けネジ５８ａ，５８ｂ，５８ｃ，５８ｄ（図示せず）に
よって下方に押し付けられるようになっている。すなわ
ち、４つの当て板６０を介して、締め付けネジ５８ａ，
５８ｂ，５８ｃ，５８ｄによってフィルタ３８の外枠６
４に対して押圧力を加えることにより、４枚のフィルタ
３８，４０，４２，４４をフィルタ・カートリッジ２２
内に固定する。フィルタ・カートリッジ２２の両側面に
は、縦長の孔６２が形成されており、フィルタ・カート
リッジ２２の交換時に筐体１６から引き出しやすいよう
に配慮されている。なお、図３では、正面の孔６２のみ
を示すが、その裏面にも同様の孔が形成されている。ま
た、フィルタ・カートリッジ２２の取り扱いを容易にす
るために、取っ手を設ける等の他の手段を講じることも
できる。

【００２４】以上説明した第１実施例にかかる気体清浄
装置においては、複数のフィルタ３８，４０，４２，４
４がカートリッジ２２内に直列に設けてあるので、従
来、未処理または残留せざるを得なかった汚染物質をほ
ぼ完全に除去することが可能となる。その結果、例え
ば、投影露光装置においては、結像性能に影響を与える
レジストの線幅不安定性および照明系等での照度低下を
防止する効果がある。また、各フィルタ３８，４０，４
２，４４のサイズの違いをスペーサ４６，４８，５０，
５２によって吸収（調整）しているため、市販のフィル
タの使用が容易で、気体清浄装置の製作において量産が
可能となる。また、汚染物質の種類と濃度を予め計測す
ることにより、厚さに比例して定まる濾材の寿命を各フ
ィルタ（３８，４０，４２，４４）とも同程度になるよ
うに設計できる。これにより、全てのフィルタ３８，４
０，４２，４４の交換時期が同時に起こり、全てのフィ
ルタを無駄なく使用することができる。更に、本実施例
においては、複数のフィルタ３８，４０，４２，４４を
カートリッジ方式で一度に交換できるため、清浄化され
た空気が供給されるべき装置（露光装置等）のダウンタ
イムが短くなり、生産性の向上に貢献する効果がある。

【００２５】図６は、本発明の第２実施例にかかる気体
清浄装置の内部構成を示す。この装置は、筐体７８内に
２つのフィルタ・カートリッジ８０ａ，８０ｂを横並び
（並列）に収容したものである。筐体７８の上方には、
フィルタ・カートリッジ８０ａ，８０ｂを通過した清浄
化された空気を図示しない気体供給ホースに連結する３
本のホース連結部８４が設けられている。また、筐体７
８の正面下方には、外気を筐体７８に取り入れるための
気体取り入れ口９２が設けられている。筐体７８の底面
には、筐体７８を移動可能にする４つのキャスタ７９が
設けられている。

【００２６】２つのフィルタ・カートリッジ８０ａ，８
０ｂは、それぞれ図２に示した第１実施例のフィルタ・
カートリッジ２２と同じ構成である。各フィルタ・カー
トリッジ８０ａ，８０ｂの上方には、発塵防止フィルタ
８２ａ，８２ｂが配置されている。また、各フィルタ・
カートリッジ８０ａ，８０ｂの下方にも発塵防止フィル
タ８３ａ，８３ｂが配置されている。フィルタ・カート
リッジ８０ａ，８０ｂの上部には、スライド式のシャッ
タ８６が設けられており、どちらのフィルタ・カートリ
ッジから供給される空気をホース連結部８４に導くかを
切り替えるようになっている。各フィルタ・カートリッ
ジ８０ａ，８０ｂの下方には、それぞれ軸流ファン９０
ａ，９０ｂが配置されており、気体取り入れ口９２から
取り入れられた空気をフィルタ・カートリッジ８０ａ，
８０ｂにそれぞれ強制的に送り込むようになっている。
軸流ファン９０ａ，９０ｂの上方には、スライド式のシ
ャッタ８８が設けられており、２つのフィルタ・カート
リッジ８０ａ，８０ｂの内のどちらのフィルタ・カート
リッジに空気を送り込むかを切り替えるようになってい
る。

【００２７】上記のような第２実施例において、気体が
フィルタ・カートリッジ８０ａの流路を通るように選択
されたときには、シャッタ８６，８８によってフィルタ
・カートリッジ８０ｂの流路を閉じる。これにより、気
体取り入れ口９２から入ってきた空気は軸流ファン９０
ａ、発塵防止フィルタ８３ａ、フィルタ・カートリッジ
８０ａ、発塵防止フィルタ８２ａを経て、ホース連結部
８４を介して清浄気体取り出しホースに達する。一方、
フィルタ・カートリッジ８０ａの交換時期となった等の
場合には、未使用のフィルタ・カートリッジ８０ｂを使
用するため、シャッタ８６，８８をスライドさせて、フ
ィルタ・カートリッジ８０ａの流路を閉じる。気体取り
入れ口９２から入ってくる空気は、軸流ファン９０ｂ、
発塵防止フィルタ８３ｂ、フィルタ・カートリッジ８０
ｂ、発塵防止フィルタ８２ｂを介して、ホース連結部８
４に達する。

【００２８】なお、シャッタ８６，８８はスライド式に
限らず、回転式、ロールブラインド式あるいは複数の羽
を並べたブレード式等を採用してもよい。また、フィル
タ・カートリッジは２台に限らず、３台以上を一つの筐
体７８内に収納することもできる。さらに、各フィルタ
・カートリッジに収納されるフィルタの種類も同一であ
る必要はなく、汚染物質の種類、濃度、フィルタの寿命
を勘案して各々異なるフィルタを使用することができ
る。

【００２９】以上のように本実施例によれば、フィルタ
・カートリッジ８０ａ，８０ｂを並列に設けているた
め、フィルタの交換はフィルタ・カートリッジ８０ａ，
８０ｂの切り換え、すなわち空気の流路の切り換えのみ
で済むので、ダウンタイムが極めてゼロに近くなる。

【００３０】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明はこの様な実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された要旨を逸脱しない範囲
で変更可能である。すなわち、本発明による気体清浄装
置は、半導体製造分野に限られず、清浄な気体を必要と
する原子力分野や医療・医薬・バイオ分野あるいは食品
分野にも適用可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、投影露光装置に適用した本発明の第１
実施例にかかる気体清浄装置（ＦＦＵ）の使用状態を示
す概略図である。

【図２】図２は、第１実施例にかかる気体清浄装置の内
部構成を示す正面図（一部断面）である。

【図３】図３は、第１実施例の気体清浄装置に用いられ
るフィルタ・カートリッジの内部構造を示す斜視図であ
る。

【図４】図４は、第１実施例の要部の構成を示す断面図
である。

【図５】図５は、第１実施例のフィルタ・カートリッジ
に用いられるスペーサの構成を示す斜視図である。

【図６】図６は、本発明の第２実施例にかかる気体清浄
装置の構成を示す概略図である。

【図７】図７は、従来の問題点を示す断面図である。

【図８】図８は、従来の気体清浄装置の使用状態を示す
概念図である。

【符号の説明】

１２・・・投影露光装置１４・・・照明系１６・・・気体清浄装置の筐体２２，８０ａ，８０ｂ・・・フィルタ・カートリッジ２４，２６，６８，８２ａ，８２ｂ，８３ａ，８３ｂ・
・・発塵防止フィルタ３８，４０，４２，４４・・・ケミカルフィルタ４６，４８，５０，５２・・・スペーサ４６ａ，６４ａ，７０ａ・・・シール材８６，８８・・・シャッタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体中の汚染物質を除去する気体清浄装置
において、前記汚染物質を濾過する複数のフィルタと；前記複数の
フィルタを前記気体の流れに対して直列に並べて収容
し、当該複数のフィルタを一体で交換可能に保持するカ
ートリッジと；前記複数のフィルタの間にそれぞれ配置
され、当該フィルタ同士を良好に保持する調整部材とを
備え、前記複数のフィルタの各々は、前記気体の汚染物質を除
去する濾過部材と、当該濾過部材を支持する外枠部材と
を有し、前記調整部材は、前記フィルタの外枠部材に当接するよ
うに配置され、互いに当接する前記外枠部材と前記調整部材との少なく
とも一方の当接面に気密用シール材を設けたことを特徴
とする気体清浄装置。
【請求項２】前記カートリッジに設けられ、前記複数の
フィルタの外枠部材を前記調整部材側に押し付ける押し
付け部材を更に備えたことを特徴とする請求項１に記載
の気体清浄装置。
【請求項３】前記カートリッジの吸気側と排気側の少な
くとも一方に、前記フィルタから生じる異物の飛散を防
止する発塵防止フィルタを更に備えたことを特徴とする
請求項１に記載の気体清浄装置。
【請求項４】前記発塵防止フィルタは、前記カートリッ
ジの吸気側及び排気側を塞ぐように、前記カートリッジ
に直接取り付けられていることを特徴とする請求項３に
記載の気体清浄装置。
【請求項５】前記カートリッジを並列に複数配置すると
共に、当該複数のカートリッジを選択的に使用するように、前
記気体の流路を前記複数のカートリッジに対して変更す
る流路切換手段を更に備えたことを特徴とする請求項１
に記載の気体清浄装置。