JPH08168628A

JPH08168628A - 多機能エアフィルター及び該フィルターが組込まれた空気循環式クリーンユニット

Info

Publication number: JPH08168628A
Application number: JP6319267A
Authority: JP
Inventors: Hisashi Muraoka; 久志村岡
Original assignee: PIYUARETSUKUSU KK; Toshiba Corp
Current assignee: PIYUARETSUKUSU KK; Toshiba Corp
Priority date: 1994-11-29
Filing date: 1994-11-29
Publication date: 1996-07-02

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】空気中の化学汚染物質を半導体工業用プロセス
装置等に要求される非常に低い濃度レベルまで除去する
ことが可能な多機能エアフィルタ及びフィルタが組み込
まれた空気循環式クリーンユニットを提供する。【構成】本発明の多機能エアフィルターは、エア導入側
開口部１とエア排出側開口部２を有するフィルターケー
ス３、フィルターケースの内部にリークの無いように周
縁が固定されたプリーツ状エアフィルターエレメント４
とから成り、該エアフィルターエレメントの折り畳みに
よって形成されているエア導入側溝内には、化学物質吸
収性繊維で織られた少なくとも１枚のフィルターエレメ
ント布５が配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、空気中の化学汚染物質
を半導体工業用プロセス装置等に要求される非常に低い
濃度レべルまで除去することが可能な多機能エアフィル
ター及び該フィルターが組み込まれた空気循環式クリー
ンユニットに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、空気中の化学汚染物質、即ち有機
物、ＨＦ，ＨＣｌのような酸性ガス、ＮＨ₃やアミンの
ようなアルカリ性ガス、ＮＯｘ，ＳＯｘ等を除去する為
のエアフィルターは通常ケミカルフィルターと呼ばれ、
そのフィルターエレメントを構成する吸収剤としては活
性炭、活性炭に吸着性物質を添着したもの、イオン交換
樹脂等が使われている。このようなフィルターは一定の
汚染物除去能を示す所定流量での圧力損失が少なく、か
つ軽いことが望ましい。この為に、該フィルターとして
は、微粒子除去用のＨＥＰＡ（high efficiency partic
ulate air ）フィルターと同構造のものが使われてい
る。即ち、フィルターエレメントを構成するシートを平
らなままでエア流に横断する形で配置すると濾過面積が
小さく、エレメント内のエア滞留時間が短い。そこで、
このシートをプリーツ状に折りたたんで濾過面積を拡大
し、エレメント単位面積あたりの流量を下げることによ
ってエア滞留時間を長くするようにしている。

【０００３】半導体工業用プロセス装置等に用いるクリ
ーンべンチは通常はＨＥＰＡフィルターだけが装備され
ているが、化学汚染物質も十分に除く必要のある場合
は、上記のプリーツ型のケミカルフィルターはＨＥＰＡ
フィルターの風上側に装備することが行われている。

【０００４】市販されている代表的なプリーツ型ケミカ
ルフィルターは、活性炭微粒子または吸着性物質添着活
性炭微粒子を含有させた厚さ約５mmのポリエステル繊維
のシートをプリーツとしたＤＰＣＣ（dry processed ca
rbon composite）と呼ばれるEXTRACTION SYSTEMS INC.
社製のもので、シート自体に適度な剛性がある為、プリ
ーツを支える支持具を必要としない。他には、シート状
エレメントとして厚さ１〜４mmの活性炭繊維によるフェ
ルト状織布あるいはイオン交換樹脂繊維によるフェルト
状織布を用い、ＨＥＰＡフィルターのように波型支持具
でプリーツ状に固定したものがある。

【０００５】

【発明が解決しようとしている課題】プロセス装置が特
定の１種の化学汚染物質のみの除去を対象とした清浄環
境を必要とする場合は、上述のような１種のケミカルフ
ィルターとＨＥＰＡフィルターの直列２段配置方式で良
い。しかし、プロセス装置が有機物，酸性ガス，アルカ
リ性ガス，ＮＯｘ，ＳＯｘなどの空気中の化学汚染物質
のすベてについて十分な低濃度レべルまで除去された環
境（以下、「超清浄環境」と呼ぶ）を必要とする場合
は、ケミカルフィルターは１種だけではこれを実現する
ことはできない。例えばＮＯｘ，ＳＯｘの除去が可能な
プリーツ型フィルターとしては、現在のところ吸着性物
質添着活性炭微粒子を含有させたＤＰＣＣしか市販され
ていないが、これは酸性ガスは除去できるがＮＨ₃のよ
うなアルカリ性ガスやある種の有機物には除去能力が弱
い。従ってアルカリ性ガス又はその有機物を除去するこ
とがができる別のケミカルフィルターと組み合わせた、
ケミカルフィルターの２段以上の配置が必要となる。

【０００６】ところが、プリーツ型フィルターは本質的
に厚みが大きく、通常の市販プリーツ型フィルターは１
５〜３０cm程度の厚さがあるので、半導体用のクリーン
ルームのように天井の高さに制限のある所では、ＨＥＰ
Ａを含めて３段以上フィルターを配置したクリーンべン
チは背が高くなり過ぎ、実用性に欠ける。たとえ３段以
上設置したとしてもケミカルフィルターはＨＥＰＡフィ
ルターよりも寿命がかなり短いのでケミカルフィルター
のみ先に交換する必要が生じるが、そのような交換は手
間がかかる。また、従来のプリーツ型ケミカルフィルタ
ーは使用後産業廃棄物として処分が容易でないという問
題があった。

【０００７】従って本発明の課題は、１個だけで超清浄
環境の為の化学汚染物質の除去を可能にし、かつ交換が
容易であるプリーツ型のケミカルフィルターを提供する
ことにある。本発明の他の課題は、上記のフィルターを
用いた空気循環式クリーンユニットを提供することにあ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、エア導
入側開口部とエア排出側開口部を有するフィルターケー
ス、該フィルターケースの内部に前記エア導入側開口部
から前記エア排出側開口部へのエア流を横断する形で配
置され、周縁が前記ケースに隙間なく固定されているプ
リーツ状エアフィルターエレメントとから成り、該エア
フィルターエレメントのプリーツ状折り畳みによって形
成されているエア導入側溝内には、化学物質吸収性繊維
で織られた少なくとも１枚のフィルターエレメント布が
配置されている多機能エアフィルターが提供される。

【０００９】本発明によれば更に、外部環境から内部を
隔離する容器と；該容器内に設けられ、エア入口とエア
出口とを有し内部にプロセス装置を収納するための室
と；前記エア出口から排出されたエアを前記エア入口へ
再循環させるエア流路と；前記室内の、前記のプロセス
装置収納室の前の位置に、エア流路を横断する形で配置
された１又は２以上のエアフィルターと、を有してなる
空気循環式クリーンユニットにおいて、前記エアフィル
ターが前記の多機能エアフィルターを備えていることを
特徴とするクリーンユニットが提供される。

【００１０】本発明を、以下、添付図面に示す具体例に
基づいて詳細に説明する。多機能エアフィルター図１において、本発明の多機能エアフィルターは、エア
導入側（風上側）開口部１とエア排出側（風下側）開口
部２を有するフィルターケース３と、該フィルターケー
ス内に収容されたプリーツ状エアフィルターエレメント
４及び化学物質吸収性繊維で織られたフィルターエレメ
ント布５とから成っている。フィルターケース３は前壁
３ａ、後壁３ｂ、２つの側壁３ｃ，３ｄで構成され、前
壁３ａは説明の便宜上一部切欠いた状態で示されてい
る。

【００１１】プリーツ状のフィルターエレメント４は、
隙間なく周囲の壁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに固定されて
いる。該エレメント４としては、活性炭微粒子または吸
着性物質添着活性炭微粒子を含有させたポリエステル繊
維シートよりなるＤＰＣＣの比較的剛性を有するプリー
ツが最も好適である。例えば後述する実施例１で使用さ
れている EXTRACTION SYSTEMS INC.社製の DPCC 1073 K
（商品名）は、ＮＯ₂，Ｓ０₂等を酸性ガスに変える物
質とＫＯＨが添着された活性炭が基材になっており、こ
れら分子の他、酸性ガスを除去する。さらに有機物やＯ
₃に対してもかなり有効な除去作用がある。図２は本発
明の多機能エアフィルターの別の実施態様を示し、図１
における部材に対応する部材には同一の図番を付してあ
る。図２の例では、可とう性のフェルト状繊維エレメン
ト４が使用されている。この場合には、プリーツ形状を
維持するために、屋根部６を有する支持体７をプリーツ
の各山部を支えるように配することにより、エレメント
４を支持する。支持体７としては、波型の非金属素材、
例えばプラスチック製のものが好適である。さらに、エ
アフィルターエレメント４としては、微粒子除去用のフ
ィルター、例えばＨＥＰＡフィルターに使用されている
ガラス繊維シート等も使用することができる。

【００１２】図１及び２においては、化学物質吸収性繊
維で織られたフィルターエレメント布５としてシート状
のものが使用されており、プリーツ状のエアフィルター
エレメント４の風上側の溝内に敷き込まれている。この
ようにすると、該布５が劣化した時容易に交換を行うこ
とができる。フィルターエレメント布５は図１，２に示
すように溝の途中まで埋め込んでもよいし、溝の底まで
埋め込んでもよい。勿論、フィルターエレメント布５の
裁断片を上記の溝内に埋め込むこともできる。本発明の
多機能エアフィルターの長寿命を期待する場合は、裁断
片の埋め込みを行えば良い。

【００１３】上記のエレメント布５としては、市販の活
性炭繊維織布、該織布に対してＫＯＨやＫＭｎＯ₄のよ
うな化学汚染物吸着性物質を添着したもの、陽イオン交
換樹脂繊維織布、陰イオン交換樹脂繊維織布及び両繊維
の混紡織布等、いずれも市販のものが利用可能である。
これらは、目的とする化学汚染物質の除去機能に応じ
て、１種単独でも、２種以上を組み合わせて使用するこ
とができる。

【００１４】例えば、フェルト状の活性炭繊維織布は、
ＮＨ₃やアミンのようなアルカリ性ガス、有機物及びＯ
₃を有効に除去する。フェルト状陰イオン交換樹脂繊維
織布等は、酸性ガスを除去するのに有効である。

【００１５】ー般にフィルターは圧力損失があり、リー
クがあると除去性能が極端に落ちるため、フィルター構
成の土台となっているプリーツ状エレメント４は、リー
クの無いようケースの壁３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄに隙間
なく接着固定されている。例えばＤＰＣＣフィルターの
場合平均風速０．５ｍ／秒で圧力損失は２．０mmＨ₂Ｏ
である。この溝に敷き込むフェルト状活性炭繊維織布や
イオン交換樹脂繊維織布は厚さ２mm以下では圧力損失は
概ねこの値よりかなり小さい。従って図１のように敷き
込まれたエレメント布５は、その周縁において壁に固定
されていないので、周縁部において明らかにリーク状態
である。しかし、その周縁部においてエレメント布５を
通らずに通過する空気はわずかであり、ほとんどの空気
がこのエレメント布５の繊維の間を通過する。したがっ
て、エアが循環処理されるうちに、エレメント布５の繊
維は空気中の化学汚染物質に十分に作用し、除去する。
フィルターエレメント布裁断片をプリーツ溝に埋め込ん
だ場合も同様である。本発明の多機能エアフィルターで
は、ケース３に固定したプリーツ状フィルターエレメン
ト４の織布を厚くすると急激に圧力損失が増すので、該
フィルターエレメント４の溝内のエレメント布５も一層
通過空気に接触し作用する。

【００１６】本発明の多機能エアフィルターの除去対象
である化学汚染物質、即ち半導体プロセス上有害な空気
中の化学汚染物質はＨＦ，ＨＣｌ，Ｈ₂ＳＯ₄のような
酸性ガス、ＮＨ₃やアミンのようなアルカリ性ガス、大
気汚染が主のＮＯ₂，ＳＯ₂等或いはＯ₃のような無機
分子、べアシリコン表面に吸着しやすい有機物分子であ
る。これらの除去には、後述する実施例で示すように少
なくとも２種のケミカルフィルターエレメントが必要で
ある。

【００１７】これらのケミカルフィルターエレメントは
それ自身の除去性能が７０％程度までに低下しても、例
えば空気循環式クリーンユニットの中で使用する限り、
汚染の累乗的減少効果が利いて、ユニット内プロセス装
置が必要とする非常に低い化学汚染物質濃度レべルが達
成される。

【００１８】空気循環式クリーンユニット本発明の空気循環式クリーンユニットを示す図３及び図
４において、このクリーンユニットは、容器１０内に仕
切り壁１１が垂直に設けられ、該仕切り壁１１は容器１
０内の上面壁１２にも底面壁１３にも到達していない
が、２つの側壁１４，１５に隙間なく固定されている。
該仕切壁１１、容器１０の前面壁１６及び２つの側壁１
４，１５により、プロセス装置１７を収納する室１８が
形成されている。前面壁１６の一部は開閉自在なドア２
７である。この容器１０の上部には通気性の仕切り１
９、例えば格子からなるもの、が設けられ、該室１８の
下端（エア出口）にも通気性の仕切り２０が設けられ、
プロセス装置１７を置けるようになっている。仕切り壁
１１、後面壁２１及び２つの側壁１４，１５によりエア
再循環路（ダクト）２２が形成されている。通気性仕切
り２０と底１３との間の空間２２ａ、及び通気性仕切り
１９と上面壁１２との間の空間２２ｂは、エア再循環路
２２の一部をなす。エアフィルター２３及び２６を通過
後室１８から通気性仕切り２０を介して空間２２ａに排
出されたエアはダクト２２及び空間２２ｂ、さらに通気
性仕切り１９を通って室１８に再循環される。図４にお
いて矢印２８はエアの流れを示す。容器１０の上部には
本発明の多機能エアフィルター２３が設けられている。

【００１９】前記プロセス装置収納室１８は、容器１０
の壁によって外部環境から隔離されており、その内部に
はプロセス装置１７が収容されている。仕切り１９の直
後には、ユニット内空気を循環させる為の送風機２４が
組み込まれている。送風機はダクト２２内に設けてもよ
い。さらに、ユニット内プロセス装置１７の清掃時、保
守時、緊急時における急速排気等の為にダクト２２の１
部にシャッターを伴う排気口２５が通常設けられる。多
機能エアフィルター２３の風下側には、ＨＥＰＡフィル
ター２６が設置されている。

【００２０】即ち、送風機２４によりフィルター２３を
通過した化学汚染物質が低減された空気は、ＨＥＰＡフ
ィルター２６で除塵され、プロセス装置１７の収納室１
８を通って、格子２０から排出され、ダクト２２を経て
ダクト２２ｂからフィルタ─２３に戻される。この空気
の流れが繰り返される。

【００２１】超清浄環境を得るためには、原則として多
機能エアフィルター２３とＨＥＰＡフィルター２６との
２段積み重ね構造が採用される。しかし、ＨＥＰＡフィ
ルターは必須ではない。多機能エアフィルター２３にお
けるプリーツ状フィルターエレメント４として、ＨＥＰ
Ａフィルターのガラス繊維シートを使用し、そのひだの
間隔を通常のものより広げて、即ちエレメント面積を犠
牲にして図２に示す構造の多機能エアフィルター８を使
用した場合には、ＨＥＰＡフィルター２６を使用せず
に、十分に超清浄環境を得ることができる。

【００２２】本発明において、図１のようにエレメント
布５を敷き込むとその周縁部ではリークがあり、エアの
一部がエレメント布５を通過せずにフィルターを通過す
る。したがって、エアを一回だけ本発明の多機能エアフ
ィルターに通しただけでは、汚染物除去性能は満足でき
るものではない。しかし、この多機能エアフィルターを
本発明の空気循環式クリーンユニットの中に組み込む
と、そのなかのプロセス装置収納室は確実に超清浄環境
となり得る。例えば、このユニットを通常プロセス装置
が必要とする０．５ｍ／秒程度の風速で稼働させると、
換気回数は１０回／秒以上になる。フィルター２３内を
同一空気がこのように高頻度で通過するので、フィルタ
ーにエアを一回通した場合の除去性能は低くてもこの空
気中の汚染物の量は累乗的に減少する。従ってユニット
稼動開始後短時間で清浄度が向上するのである。勿論、
化学物質吸収性繊維からなるフィルターエレメント布５
を配するためにフィルターエレメント４がひだの間隔を
広げると、多機能エアーフィルタの除塵効率は低下する
が、上記クリーンユニット内に組込まれた状態では十分
な除塵効果を与える。

【００２３】

【実施例】実施例１ケミカルフィルター DPCC 1073K （商品名、EXTRACTION
SYSTEMS INC. 製）のプリーツ状エレメント４の溝に、
厚さ２mmのフェルト状活性炭繊維織布（商品名アドー
ル）５を図１のように溝の幅一杯にかつ補助具を使って
溝の深さのほぼ半分程度敷き込んで多機能エアフィルタ
ーを作成し、図３及び図４に示すフィルター２３として
クリーンユニットに組み込んだ。プロセス装置１７とし
て、紫外線とそれによって空気から生じるＯ₃でシリコ
ンウェーハを処理するドライ洗浄装置を置いた。装置の
横に石英ガラス製インピンジャーを置いて、まずクリー
ンユニットだけを２時間稼働させ、その間インピンジャ
ー中の超純水に吸着させた空気中の無機ガスをイオンク
ロマトグラフで、有機物はＴＯＣ（Total organic carb
on）測定器で分析した。

【００２４】その結果、ＨＣｌやＨ₂ＳＯ₄のような酸
性ガスも、またＮＯ₂等も、いずれも0.1ppb未満であっ
た。さらにＴＯＣ測定器による有機物濃度も、測定器検
出限界の０．３μｇ/ ｍ³未満であった。そこで、ＲＣ
Ａ洗浄後標準的なＨＦ処理で仕上げた６”ウェーハにつ
いて、Ｏ₃発生の為の空気は装置収納室１８からそのま
ま使用して、上記のドライ洗浄装置によるドライ洗浄を
施した。洗浄後のウェーハ表面吸着物を５０ml超純水に
溶出させ、上記と同様の分析を試みたが、通常ＲＣＡ洗
浄後は必ず検出限界以上である酸イオン濃度及びＴＯＣ
による有機物濃度の測定結果は、何れも検出限界未満で
あった。また発生したＯ₃は、そのままユニットの中を
流れたが、処理終了後１分以内に戸９を開けてもＯ₃は
まったく臭わなかった。

【００２５】実施例２ケミカルフィルター DPCC 1073K のプリーツ状エレメン
トを用いた時、空気中のＮＯ₂，ＳＯ₂等に対し、ＨＣ
ｌ，ＨＦ等の酸性ガスが比較的少ない場合、ＮＯ₂，Ｓ
Ｏ₂等にＫＯＨが優先的に作用して酸性ガスの除去率が
悪くなることがある。このような恐れのある場合は、本
実施例のように３種のケミカルフィルターエレメントで
対応する。プリーツ状フィルターエレメント４としてＨ
ＥＰＡフィルターに用いられるガラス繊維シートを使用
し、ひだの間隔を通常のものより広げ、図２の構造の多
機能エアフィルターを作成した。尚、フィルターエレメ
ント４の風上側の溝に敷き込んだフェルト状化学物質吸
収性繊維織布としては、風上側から活性炭繊維織布、陽
イオン交換樹脂・陰イオン交換樹脂繊維の混紡織布、Ｎ
Ｏ₂，ＳＯ₂等を酸性ガスに変える物質とＫＯＨを添着
した活性炭繊維織布の順に、３枚を重ねて用いた。即
ち、フェルト状活性炭繊維織布で有機物及びＯ₃を除
く。次のフェルト状陽イオン交換樹脂・陰イオン交換樹
脂繊維の混紡織布が酸性ガス及びアルカリ性ガスを除去
する。最後のフェルト状活性炭繊維織布がＮＯ₂，ＳＯ
₂等を主に除去する。この多機能エアフィルターを図３
のフィルター２３として使用し、ＨＥＰＡフィルター２
６を取り外した以外は、実施例１と同様にして空気循環
式クリーンユニットを組み立てた。

【００２６】ここでユニットを５分間稼働させて、装置
収納室１８のダストカウントを行ったところ、ＡＳＴＭ
に規定のクラス１０以下であった。その後、実施例１と
同様の清浄度評価実験を行ったところ、まったく同様の
実験結果を得た。

【００２７】実施例３本発明の多機能エアフィルターの効果をシミュレーショ
ンにより測定するために、図５に示すように、厚さ２mm
のフェルト状活性炭繊維織布( 商品名アドール) にＫＯ
Ｈを１．５mg／cm²添着した、直径４cmの円板状ケミカ
ルフィルターエレメント３１，３２を２枚重ね、これを
更に酸性ガス吸着用の円板状ＤＰＣＣ１０７３Ｋエレメ
ント１枚（３３）に重ね３枚重ねフィルターとした。Ｄ
ＰＣＣ１０７３Ｋエレメント３３はホルダー３５内に環
状に設けられた溝３４に隙間なくしっかりと保持されて
いる。フィルターエレメント３１と３２はその周縁部に
わずかな隙間を残している。このように３枚のフィルタ
ーが設けられたパイプ状ホルダー３５に、アドール側か
ら矢印３６で示すように１cm²当り１００〜２００ml／
分の流速で、放射性同位元素³⁶Ｃｌで標識した塩酸１０
０ｐｐｂを含む空気を流した。この流速は、クリーンル
ームやクリーンベンチでの通常条件である。１００時間
後、夫々のフィルターエレメントが捕捉した³⁶Ｃｌ量を
イメージングプレートを利用して測定したところ、３枚
のフィルターエレメントの捕捉総量に対して、空気流入
側のアドールフィルターエレメントによる捕捉量は７１
％、２枚目のアドールフィルターエレメントは１４％、
ＤＰＣＣ１０７３Ｋフィルターエレメントは１５％であ
った。この結果から、空気流入側の最初のフェルトエレ
メント布が除去対象のガスのかなりの部分を吸着するこ
とがわかる。したがって、エアをこのように積層したフ
ィルターエレメントに本発明のクリーンユニットにおけ
るように循環し、通過させれば、エアは累乗的に洗浄化
されることが理解される。また、最初のフェルトエレメ
ント布に寿命が来たら、これのみを新品に交換すること
でフィルターとしての塩酸除去能を回復させることがで
きることがわかる。

【００２８】

【発明の効果】本発明の多機能エアフィルターは、ケミ
カルフィルターとしての半導体工場内の空間を占有する
容積を大巾に低減できるので、設置に融通性が出、ケミ
カルフィルターの通用範囲が広まる。しかもその多機能
化は、例えばフェルト状のフィルターエレメント布の取
付けだけで、実施が容易である。従って、劣化時の交換
も容易であり、変換は数分で行うことができ、しかもほ
こりっぽくない。多くの場合、劣化したフィルターエレ
メントは再生に使用することができる。この多機能エア
フィルターは、複数個のケミカルフィルターを用いた場
合に比し、空気が１回通過したところで使用される場合
は清浄化能力が劣るが、空気循環式クリーンユニットに
組込めば、簡単に超清浄環境を作り出すことができる。
しかもこのユニットはコンパクトに作ることができ、ク
リーンべンチ型としても背がそれほど高くならないので
クリーンルーム内に支障なく設置できる。また、本発明
の多機能エアフィルターでは、化学物質吸収性フィルタ
ーエレメント布は、土台となっているプリーツ状のフィ
ルターエレメント布の溝内に単に置かれているだけなの
で、化学物質吸収能が低下して寿命が来たら容易に吸収
能のある新品に交換することができる。こうしてフィル
ターから除去した化学物質吸収性フィルターエレメント
布は、有害化学物質の吸収が添着剤による場合には該エ
レメント布を温水等に浸漬することで反応生成物を除去
した後、新たな添着を行うことで容易に再生することが
できる。また、有害化学物質の吸収がイオン交換樹脂繊
維による場合には、イオン交換樹脂再生の周知の技術で
吸収能を再生することができる。さらに、化学物質吸収
性フィルターエレメント布がもはや再生不可能となった
場合には、焼却により容易に処分することができ、産業
廃棄物を生じる問題はない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の多機能エアフィルターの一例を示す斜
視図であり、前面の壁３ａが一部切欠かれて示されてい
る。

【図２】本発明の多機能エアフィルターの他の例を示す
斜視図であり、前面の壁３ａが一部切欠かれて示されて
いる。

【図３】上記の多機能エアフィルターを用いた本発明の
空気循環式クリーンユニットのの構造の概略を示す縦断
面図。

【図４】図３のクリーンユニットのＡ−Ａ線に沿う側面
の縦断面図である。

【図５】本発明のエアフィルターの効果をシミュレーシ
ョンにより測定するために，三枚のフィルターエレメン
トを内部に設置したパイプ状ホルダーの縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１エア導入側開口部２エア排出側開口部３フィルターケース４プリーツ状エアフィルターエレメント５化学物質吸収性繊維で織られたフィルターエレメン
ト布１０ケース１１仕切り壁１７プロセス装置１８室１９通気性の仕切り２０通気性の仕切り２２エア再循環路（ダクト）２４送風機２６ＨＥＰＡフィルター

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｂ０１Ｄ 53/81 53/50 53/56 Ｂ０１Ｄ 53/34 １２９Ａ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】エア導入側開口部とエア排出側開口部を
有するフィルターケース、該フィルターケースの内部に
前記エア導入側開口部から前記エア排出側開口部へのエ
ア流を横断する形で配置され、周縁が前記ケースに隙間
なく固定されているプリーツ状エアフィルターエレメン
トとから成り、該エアフィルターエレメントのプリーツ
状折り畳みによって形成されているエア導入側溝内に
は、化学物質吸収性繊維で織られた少なくとも１枚のフ
ィルターエレメント布が配置されている多機能エアフィ
ルター。
【請求項２】前記フィルターケース内には、プリーツ
状エアフィルターエレメントの形状を維持する為の屋根
部を備えた支持具が複数個設けられている請求項１に記
載の多機能エアフィルター。
【請求項３】前記プリーツ状エアフィルターエレメン
トが、微粒子除去用フィルターである請求項１に記載の
多機能エアフィルター。
【請求項４】前記溝内に設けられるフィルターエレメ
ント布は、１枚のシートであり、該シートが屈曲して各
溝内に入り込んでいる請求項１に記載の多機能エアフィ
ルター。
【請求項５】前記溝内に設けられるフィルターエレメ
ント布は、裁断片の形で該溝内に埋め込まれている請求
項１に記載の多機能エアフィルター。
【請求項６】外部環境から内部を隔離する容器と；該
容器内に設けられ、エア入口とエア出口とを有し、内部
にプロセス装置を収納する室と；前記エア出口から排出
されたエアを前記エア入口へ再循環させるエア流路と；
前記室内の、前記のプロセス装置収納室の前の位置に、
エア流路を横断する形で配置された１又は２個以上のエ
アフィルターとを有してなる空気循環式クリーンユニッ
トにおいて、前記エアフィルターが請求項１に記載の多機能エアフィ
ルターを含んでいることを特徴とするクリーンユニッ
ト。
【請求項７】前記多機能エアフィルターの風下側には
ＨＥＰＡフィルターが設けられている請求項６の空気循
環式クリーンユニット。