JP2002170874A

JP2002170874A - 基板搬送容器

Info

Publication number: JP2002170874A
Application number: JP2000369322A
Authority: JP
Inventors: Akira Tanaka; 亮田中; Takashi Kishi; 貴士岸
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2000-12-04
Filing date: 2000-12-04
Publication date: 2002-06-14

Abstract

(57)【要約】【課題】基板搬送容器の外形寸法を国際的な標準規格
に適合する寸法に維持しつつ、且つ容器内部に気流強制
循環手段と汚染物質除去手段とを備えた基板搬送容器を
提供する。【解決手段】基板を内部に収容すると共に基板搬出入
用の開口部を持った容器本体１と、開口部を開閉可能な
ドア２とで構成される基板搬送容器において、容器本体
１は角筒状であり、基板は略円形であり、角筒状の容器
本体１の隅の内壁面と略円形の基板３または基板保持具
４との間に形成されるスペースに、容器１内の気体を循
環させるファン７と、ファンにより強制循環される気体
を清浄化するフィルタ５とを配置した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、フ
ォトマスクまたはハードディスク等の被処理物を極めて
清浄度の高い雰囲気下で保管または搬送するのに使用し
て好適な基板搬送容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子の微細化が進むにつれて、よ
り高度な清浄空間が必要になることが予測されている。
例えば、パターン欠陥や配線短絡の原因になる粒子状汚
染物質の管理対象粒径は、0.1μm以下になることが予測
されている。更に、粒子状汚染物質に加えてガス状汚染
物質の低減も必要になってくる。各種炭化水素分子は、
半導体ウエハに吸着することにより、ゲート酸化膜の耐
圧不良や成膜後の膜厚のバラツキを引き起こし、塩基性
ガスは化学増幅型レジストと反応して解像度劣化にな
り、酸性ガスは配線コロージョンの原因になる。

【０００３】それに加えて近年では水分（湿気）も低減
対象物質になってきた。これは、微細化に伴い配線材料
や成膜材料が多様化して、環境中の水分が上記材料と結
合して不具合を引き起こす場合があるからである。一
方、微細化とは別に、半導体ウエハの大口径化と処理の
自動化も進んでいく。半導体製造ラインの自動化は、汚
染源である人と基板を隔離する必要があることと、半導
体ウエハの大口径化によって搬送容器の重量が10kg程度
になり、人による取り扱いが困難になるためである。

【０００４】このような背景のなか、基板搬送容器内を
不活性ガスで置換したり、空気清浄器を組み込んだ基板
搬送容器が製品化されている。不活性ガス置換可能な搬
送容器はSEMI (Semiconductor Equipment and Material
s International)によって国際的に規格化された自動化
対応基板搬送容器の標準寸法を満足するものの、置換後
に容器内部から発生する汚染物質に対して無力であるこ
と、不活性ガスの漏洩による安全上の問題がある。一
方、空気清浄器を搭載した基板搬送容器は、一部製品化
されているものの、上記SEMI標準規格を満足するような
自動化対応搬送容器は製品化されていない。

【０００５】これは、SEMIで規格化された標準寸法内
で、空気清浄器を搭載することが困難なためであると考
えられる。空気清浄器に加えて除湿機能まで持たせたも
のは更に困難である。仮に少ない空間に無理やり空気清
浄器を配置しても、容器内の空気を無闇にかき回してし
まい、かえって容器内面に付着していた汚染物質を基板
に付着させてしまう恐れがある。また、厳しいSEMI規格
の寸法制限によりフィルタ寸法、特に開口寸法が小さく
なるため、圧力損失の低いフィルタ選定も必要になる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述した事情
に鑑みてなされたもので、基板搬送容器の外形寸法を国
際的な標準規格に適合する寸法に維持しつつ、且つ容器
内部に気流強制循環手段と汚染物質除去手段とを備えた
基板搬送容器を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の基板搬送容器
は、基板を内部に収容すると共に基板搬出入用の開口部
を持った容器本体と、前記開口部を開閉可能なドアとで
構成される基板搬送容器において、前記容器本体は角筒
状であり、前記基板は略円形であり、前記角筒状の容器
本体の隅の内壁面と前記略円形の基板または基板保持具
との間に形成されるスペースに、前記容器内の気体を循
環させるファンと、該ファンにより強制循環される気体
を清浄化するフィルタとを配置したことを特徴とするも
のである。

【０００８】これにより、国際的な標準規格を満足する
寸法の基板搬送容器が提供されるので、規格化された専
用ドア開閉装置によって自動開閉可能で、半導体製造装
置の自動化にも容易に適合できる。そして、前記容器内
の気体を循環させるファンと、該ファンにより強制循環
される気体を清浄化するフィルタとを配置したことか
ら、前記容器内において半導体ウエハ等を常に清浄な環
境に保持することが可能となる。

【０００９】前記フィルタは、ガス状不純物捕捉素子
と、粒子状汚染物質捕捉素子とからなることが好まし
く、前記ファンとフィルタとは棒体状に一体に構成され
たことを特徴とする。これにより、角筒状の容器本体の
隅の内壁面と略円形の基板または基板保持具との間に形
成される狭いスペースに、容器内の気体を循環させるフ
ァンと、該ファンにより強制循環される気体を清浄化す
るフィルタとを配置することができる。

【００１０】前記フィルタは円筒状であり、内部の気体
をフィルタ素子を通過させつつ半径方向に送出し、容器
内に循環流を形成することが好ましい。また、前記フィ
ルタは角柱状であり、前記ファンより送出された気体を
軸方向にフィルタ素子を通過させ、ダクトおよび整流板
を介して容器内に循環流を形成するようにしてもよい。
フィルタ素子は、基板保持具に保持された基板にフィル
タ素子を通過した気体が直接当たるように配置されてい
る。これにより、容器内を万遍なく循環して汚染物質を
効率的に除去する気流を形成することができる。

【００１１】また、本発明の基板搬送容器は、基板を内
部に収容すると共に基板搬出入用の開口部を持った容器
本体と、前記開口部を開閉可能なドアとで構成され、前
記基板搬送容器には、該容器内に循環気流を形成するフ
ァンと、該ファンに電力を供給する給電端子とを備え、
前記基板搬送容器が固定側の給電ステーションから給電
を受けている時のみ、前記ファンを回転駆動するように
したことを特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第一の実施の形態
を図１乃至図4を参照して説明する。この基板搬送容器
は、一辺が約260mmの角筒状の箱体で、容器本体1と、基
板を搬出入するためのラッチ機構を持ったドア２とで構
成され、その内部に例えば8インチウエハ３を25枚また
は26枚収納したカセット（保持具）４が収容されてい
る。この容器本体１およびドア２は、SEMIで規格化され
た標準寸法を満足する。従って、専用ドア開閉装置によ
ってドア２を自動開閉することが可能で、半導体製造装
置への半導体ウエハの自動装填等の自動化に容易に適合
可能である。また、不活性ガスまたは乾燥空気を注入す
るための供給ポートを備え、不活性ガスまたは乾燥空気
で容器内雰囲気を置換することが可能である。

【００１３】この容器１内に空気清浄器10を収容し、ド
ア２には、ファン駆動用二次電池11とファン運転制御基
板12と外部から給電するための接点13を有している。空
気清浄器10は、空気吸い込み口９、逆流防止フィルタ
８、ファンモータ７、レデューサ６、一体型複合膜フィ
ルタ５等から構成されている。この実施の形態では、円
環形状の一体型複合膜フィルタ５を採用している。容器
内の気体の流れは、ファンモータ７によって空気清浄器
10の下部に配置した吸込み口９から空気を吸い込み、一
体型複合膜フィルタ５で不純物を吸着、除去した清浄空
気を360度方向に吹き出し、容器１内を万遍なく循環換
気する。

【００１４】換気効率の向上と基板の汚染防止の観点か
ら、容器内の気流の最適化が重要である。スーパークリ
ーンルームのように、天井または側壁前面にフィルタを
配置し、一方向の気流を形成し、循環経路を設けて循環
換気するのが理想的であるが、基板搬送容器のような場
合は困難である。そこで本発明では、フィルタ類を通過
した清浄気体が、種々の汚染物が付着している恐れがあ
り、面積も大きい容器内面等に接触することなく基板に
供給され、基板通過後は、内壁に沿ってファンモータに
戻る循環流路を確保することにより、気流の最適化を達
成するものである。基板には常に清浄空気を供給するこ
とができる。また、容器内面に付着していた汚染物が空
気中に遊離しても基板の下流側になるため、フィルタで
吸着・除去することができる。

【００１５】空気清浄機10は、圧力損失の小さい粒子除
去手段と、ガス状不純物除去手段とからなるフィルタ
と、最大静圧を少なくとも30Pa以上持つ小型ファンモー
タとから構成される。ここに、容器内の水分を除去する
除湿手段を配置するようにしても良い。

【００１６】粒子除去手段としてはエアフィルタを使用
する方法が一般的である。JIS規格では、対象粒径と捕
集効率等によって以下の４種類に大別している。粗塵用エアフィルタ：主として５μmより大きい粒子
の除去に用いるエアフィルタ。中性能フィルタ：主として５μmより小さい粒子に対
して中程度の粒子捕集効率を持つエアフィルタ。 HEPAフィルタ：定格風量で粒径が0.3μmの粒子に対
して99.97%以上の粒子捕集効率を持ち、かつ圧力損失が
245Pa以下の性能を持つエアフィルタ。 ULPAフィルタ：定格風量で粒径が0.1μmの粒子に対
して99.9995%以上の粒子捕集効率を持ち、かつ圧力損失
が245Pa以下の性能を持つエアフィルタ。

【００１７】本発明の対象とする基板搬送容器のように
高度な清浄空間を創る場合には、HEPAフィルタまたはUL
PAフィルタを用いるのが良い。ULPAフィルタは一般的に
ひだ折りした濾材に流路を確保するためのスペーサを設
けた構造である。このULPAフィルタの圧力損失は、濾材
の通気抵抗や濾材の折り込み量、流路の均一性等によっ
て変わる。構造的にフィルタの開口面積が小さくなる場
合は、奥行き寸法を大きくし、より多くの濾材を充填し
てやることにより極力圧力損失が小さいフィルタを用い
ることが好ましい。濾材もガラス繊維、弗素樹脂等、種
々製品化されており、どの濾材を用いても良いが、耐薬
品性に優れ、発ガスが少なく、通気抵抗の小さい弗素系
樹脂が好ましい。開口面積が大きくできる場合は、奥行
き寸法を小さくし、限られた空間を有効に使用するのが
良い。

【００１８】ガス状不純物除去手段としては、除去対象
物質に応じて種々選択することができる。塩基性ガス除
去手段としては、強酸性、弱酸性カチオン交換不織布ま
たは繊維、あるいは強酸性、弱酸性カチオン交換ビーズ
で効率良く除去することができる。また、酸性薬液を添
着した活性炭やセラミックでも除去できる。酸性ガスや
ボロン、リンの除去手段としては、強塩基性、弱塩基性
アニオン交換不織布または繊維、あるいは強塩基性、弱
塩基性カチオン交換ビーズで効率良く除去することがで
きる。また、塩基性薬液を添着した活性炭やセラミック
でも除去できる。有機物は、活性炭、活性炭素繊維、ゼ
オライト、モレキュラーシーブ、シリカゲル、多孔質セ
ラミックで除去できる。オゾンは、粒状またはシート状
の二酸化マンガンを担持または添着したメディアや活性
炭などで除去できる。また、ベーパー状でイオン化した
メタル、例えば硫酸銅などは、イオン交換不織布やイオ
ン交換ビーズで除去できる。吸着素材構成は除去対象物
質とフィルタの許容寸法、形状、圧力損失などに応じて
適宜選択することができる。

【００１９】小型のファンモータとしては、軸流ファ
ン、シロッコファン、スクロールファンなどが市販され
ているが、ブラシレス軸流ファンまたはシロッコファン
が好適である。容器内の換気風量は、ファンモータの風
量-静圧曲線とフィルタ類の風量-圧力損失曲線から計算
することができる。ファンモータの静圧は、風量の増加
と共に低下する。一方、フィルタの圧力損失は、風量の
増加と共に増加する。この2本の曲線の交差した点が、
計算上の換気風量になる。フィルタの圧力損失を低くす
るには限度があるため、ある程度の換気風量を確保する
には、少なくとも最大静圧30Pa以上、望ましくは50Pa以
上のファンモータを用いるのが良い。

【００２０】次に、除湿器について説明する。空気中の
水分を除去するには、例えばシリカゲル、ゼオライト
（合成ゼオライト含む）、炭酸カルシウム、塩化マグネ
シウムを主成分とした除湿材で除湿する方法がある。除
湿材を使う場合は、シリカゲルのように加熱脱離して再
利用できる除湿材で、カートリッジタイプで簡便に交換
ができ、自動交換が可能な構造が好ましい。容器を冷却
したり、冷却した棒を一定時間容器内に挿入して湿気分
を結露水にして回収する方法も考えられる。また、固体
高分子電解質膜を使用した除湿ユニットも利用可能であ
る。この方法は、除湿対象空間中の水分子を触媒によっ
て水素と酸素に分解し、所定電圧を印加した固体高分子
電解質膜を介して対象空間の外側に水素を放出して除湿
するものである。いずれの方法も、ファンによって容器
内の気体が流動することにより、より短時間で除湿が可
能になる。本発明の実施に当たっては、機器類を配置可
能な手段であればどの除湿手段を用いても良い。また、
容器本体またはドアに高純度窒素や不活性ガスあるいは
乾燥空気の給気、排気ポートを配置し、容器内空気の置
換を除湿器と併用すれば、容器内を低湿度にする時間を
削減することが可能になる。

【００２１】以下にこの実施の形態の好ましい具体例に
ついて説明する。一体型複合膜フィルタ５は、図３及び
図４に示すように、多孔板やメッシュ状の内筒５ａと、
同じく多孔板やメッシュ状の外筒５ｂと、前記内筒と外
筒の間に濾過及び吸着素材を収納し、上下のキャップ５
ｃで固定したものである。空気は内筒５ａに流入し、濾
過・吸着素材を通過後、外筒５ｂから半径方向に吹き出
す構造である。濾過・吸着素材は、内側から順に強塩基
性アニオン交換不織布５ｄ、強酸性カチオン交換不織布
５ｅを巻きつけ、その外側に活性炭をバインドしたシー
ト状素材または活性炭素繊維５ｆとULPA濾材５ｇを一緒
にひだ折りしたものを巻きつけ、最後に素材保護と形状
維持のための外筒５ｂで覆ってある。

【００２２】また、ファンモータ７停止時に汚染物質の
拡散を防ぐための逆流防止フィルタ８を、ファンモータ
７の上流側に配置している。逆流防止フィルタ８は、本
実施の形態では、粗塵フィルタを用いているが、通気抵
抗が少なく、不純物ガスの放出や発塵が無く、ガス状及
び／または粒子状汚染物質を吸着・除去する素材を選定
しても良い。

【００２３】本実施の形態では、直径36mm、高さ45mmの
ブラシレスファンモータを搭載している。このファンモ
ータは、最大風量360L/min、最大静圧120Paであり、容
器内循環風量は、空気清浄器1基当たり、30L/minであ
る。ファンモータ７は原則として、ドア２内部に配置し
た制御基板12で運転が制御され、二次電池11で駆動す
る。同じくドア２内部には、二次電池を充電したり、外
部電源から給電してファンモータを運転するための給電
用接点13を持つ。制御基板12によりファンモータ７は、
間欠運転を行なったり、回転数を変えて運転することが
可能である。尚、二次電池は外部から給電を受けて各種
電気部品が動作する場合には、必ずしも必要ではない。

【００２４】更に、この制御基板12は、ファンモータ７
の運転時間を積算する機能を持っており、搭載フィルタ
を交換するまでの時間を設定しておけば、簡便なフィル
タ寿命管理も可能である。なお、本実施例では、ファン
モータ７が容器本体側に配置されており、固定側の給電
ステーションに基板搬送容器が着座した時に給電用接点
１３を通して電力の供給を受けるようになっている。基
板搬送容器の移動時、またはドア２の開放時には、この
接点が離れ、自動的にファンモータ７の運転が停止し、
汚染物質を含んだ装置内や外部環境中の空気を吸い込ま
ない。給電ステーションに基板搬送容器が着座すると、
ファンモータ７のみならず、除湿装置等の電気部品が必
要に応じて作動するようになっていて、着座している間
に所要の清浄度に容器内部の気体を浄化する。

【００２５】なお、本発明の基板搬送容器には、作業者
がファンモータ７の運転状況を認識するための表示部を
設けているが、この表示内容としては、少なくとも運転
または停止を示すもの、動作不良等のエラーメッセージ
を示すもの、そしてフィルタの交換時期がきたことを示
す警告表示を持つ。なお、本実施の形態では、空気清浄
器を２基搭載しているが、性能が達成できるならば１基
でも構わない。

【００２６】次に、本発明の第二の実施の形態につい
て、図５乃至図８を参照して説明する。この基板搬送容
器は、一辺が約260mmの角筒状の箱体で、容器本体１
と、基板を搬出入するためのラッチ機構を持ったドア２
とで構成されている。８インチウエハ３を25枚または26
枚収納したカセット４をこの容器内に収容する。この容
器内には、空気清浄器17と固体高分子電解質膜を用いた
除湿器16を備え、ドア２には、ファン及び除湿器運転制
御基板20と外部から給電するための接点13を有してい
る。

【００２７】容器内の気体の流れは、ファンモータ７に
よって空気清浄器17の下部に配置した吸込み口９から空
気を吸い込み、ガス状不純物捕捉フィルタ15と粒子状汚
染物質除去フィルタ14で不純物を吸着、除去した清浄空
気を、更に接続ダクト18を経由して整流ユニット19から
吹き出し、容器内を循環換気する。整流ユニット19は２
基の空気清浄器の気流を分離するため中央部で仕切られ
ており、空気吹き出し部19aは、多孔板を用いている。
この多孔板19aは、特に上下方向、即ちウエハの積層方
向に均一に空気を流すことができれば良く、本実施例で
は、上から29%、38%、18%、９%と４種の異なる開口率に
している（図７参照）。多孔板の代わりに、通気抵抗の
異なる不織布や、メッシュ状材料などを用いても良い。

【００２８】本実施の形態で使用している粒子除去フィ
ルタ14は、一般的なひだ折り構造のフィルタであるが、
フィルタの縦横寸法が40mm×40mmと小さいため、奥行き
寸法を65mmにして圧力損失の低減を図っている。一方、
ガス状不純物捕捉フィルタ15は、粒状活性炭21を強塩基
性アニオン交換不織布22と強酸性カチオン交換不織布23
と網状の補強材24でサンドイッチし、外枠材25に収納し
ている（図９参照）。ガス状不純物捕捉フィルタ15の素
材は用途に応じて選定すれば良く、この構造や素材に限
定するものではない。

【００２９】また、ファンモータ７の停止時に汚染物質
の拡散を防ぐための逆流防止フィルタ８を、ファンモー
タ７の上流側に配置している。逆流防止フィルタ８は、
本実施の形態では、粗塵フィルタを用いているが、通気
抵抗が少なく、不純物ガスの放出や発塵が無く、ガス状
及び／または粒子状汚染物質を吸着・除去する素材を選
定しても良い。

【００３０】固体高分子電解質膜16は２枚に分けて、整
流ユニット９内の気体に接触する位置に配置している。
この位置は、空気の通過速度が速く、固体高分子電解質
膜16に積極的に空気が接触するため、除湿性能を最大限
引き出すことができる。本実施例では、12.5cm²の固体
高分子電解質膜16を２枚配置しており、環境湿度25℃、
50%RHで運転した場合、容器内湿度を約5%RHまで低下で
きる能力を持つ。

【００３１】なお、低湿度保持を目的にした場合、容器
の材料は、吸水率が小さい材料を使用するのが良い。こ
れは、クリーンルームの一般的な設定条件である25℃、
50%RHの環境で、基板搬送容器内だけを湿度低下する
と、容器を構成する高分子材料中に含まれる水が、湿
度勾配によって低い方へ移動する、容器外環境空気に
含まれる水が容器内との湿度勾配で透過し、内側に水が
移動する、容器接合部からの容器外環境空気の漏れ込
み、の３種類の原因によって湿度の低い容器内に移動す
る。高い気密性を持った基板搬送容器の場合、これらの
原因のうち、容器内湿度の上昇に最も影響を与える原因
は、の高分子材料に吸水していた水が低湿度側に移動
することである。

【００３２】高分子材料の吸水率は一般的にASTM (Amer
ican Society for Testing and Materials) D570規格に
よって実施されており、文献または高分子材料製造メー
カのカタログなどに記載されている。基板搬送容器の高
分子材料は、ポリカーボネートが良く用いられるが、ポ
リカーボネートの吸水率は0.2〜0.3%であり、例えば容
器本体及びドア重量３kg中には６〜９gの水を含む計算
になる。吸水率を少なくとも0.1%以下の材料で成型する
ことにより、容器内に持ち込まれる水の量を低減するこ
とが可能であり、除湿器の性能向上にも寄与する。吸水
率0.1%以下の高分子材料は、ポリエチレン <0.01%、ポ
リプロピレン 0.03%、ポリブチレンテレフタレート 0.0
6〜0.08%、ポリフェニレンスルフィド 0.02%、ポリテト
ラフルオロエチレン <0.01%、カーボンを20%添加したポ
リカーボネート0.1%、カーボンを20%添加したポリブチ
レンテレフタレート 0.05%などがある。このうち、基板
搬送容器には、耐薬品性、高温特性に優れ、成型収縮率
の低いポリフェニレンスルフィドやポリブチレンテレフ
タレートまたは前記材料にカーボンを添加した材料を用
いるのが好ましい。

【００３３】また、低湿度にすると、ウエハが帯電しや
すくなるので、少なくともウエハに接するウエハ支持部
材とウエハ支持部材から容器下部に接地するドアは、カ
ーボン等を添加した導電性材料が特に好ましい。更に、
ガス状不純物捕捉素子として用いるイオン交換不織布や
活性炭は、製造直後の状態で水を吸着しているので、予
め脱水処理をして使用するのが好ましい。

【００３４】ファンモータ７と除湿器16は原則として、
ドア２内部に配置した制御基板20で運転が制御される。
本実施の形態では、電力消費量の大きい除湿器16を搭載
しているため、駆動電源を外部から給電端子13を通じて
供給する仕様にしている。高価な二次電池を搭載しない
ことにより、コスト低減もできる。制御基板20によりフ
ァンモータ７は、間欠運転を行なったり、回転数を変え
て運転することが可能である。また、複数器数搭載した
除湿器16の運転パターンの設定などを記憶し、制御する
ICを内蔵している。

【００３５】更にこの制御基板20は、ファンモータ７の
運転時間を積算する機能を持っており、搭載フィルタを
交換するまでの時間を設定しておけば、簡便なフィルタ
寿命管理も可能である。なお、本実施例では、ファンモ
ータ７及び除湿器16が容器本体側に配置され、外部から
給電するための接点がドアに収納しているため、ドア２
開放時には、この接点が離れ、自動的にファンモータ７
及び除湿器16の運転が停止し、汚染物質を含んだ装置内
や外部環境中の空気を吸い込まない。なお、本発明の基
板搬送容器には、作業者がファンモータ７の運転状況を
認識するための表示部を設けているが、この表示内容と
しては、少なくともファン及び除湿器16の運転または停
止を示すもの、動作不良等のエラーメッセージを示すも
の、そしてフィルタの交換時期を示す警告表示を持つ。

【００３６】なお、本実施の形態では、空気清浄器を２
基搭載しているが、性能が達成できるならば１基でも構
わない。但し、１基の場合は、整流ユニット19の構造や
多孔板19の開口率を変える必要がある。また、空気清浄
器は本実施例の形態に限らず、性能を達成できるなら
ば、容器本体の隅の内壁面と略円形の基板又は基板保持
具との間に形成されるスペースに、必要個数設けても良
い。

【００３７】また、本発明の基板搬送容器の給電や充電
場所は、図１０に示すように、半導体製造装置31，32の
ロードポート33，34に給電ステーションを設け、原則と
して容器30が給電・充電端子を持った所定の位置に着座
したときに行う。また、PGV、RGV、AGVといった搬送装
置を用いて搬送を行う際にも、搬送台車35に給電ステー
ションを備え、容器30が給電ステーションに着座した時
に給電を行う。搬送台車35への給電は接触式端子や電磁
誘導を利用した非接触式端子を用いて行うのが良い。接
触式を使用する場合は、端子の破損防止機構を持つもの
が良い。また、本発明の実施の形態は底部にドアを持っ
た基板搬送容器について記載したが、前面にドアを持つ
FOUP (Front Opening Unified Pod)にも勿論適用可能で
ある。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
国際的な標準規格（SEMI）で規定した標準寸法範囲を満
足した基板搬送容器に、粒子状・ガス状汚染物質を除去
するための空気清浄器を内蔵し、更に水分を除去する除
湿器を内蔵することができる。従って、半導体製造装置
や搬送装置との干渉が無く、容器内を効率良く循環換気
することで、各種不純物によって基板が汚染するのを防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の空気清浄器を搭載
した自動化対応基板搬送容器を示す側面断面図である。

【図２】図１の上面断面図である。

【図3】図１の空気清浄器に搭載した一体型複合膜フィ
ルタの側面図である。

【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。

【図５】本発明の第２の実施の形態の空気清浄器を搭載
した自動化対応基板搬送容器を示す側面断面図である。

【図６】図５の上面断面図である。

【図7】図６のＢ−Ｂ矢視図である。

【図８】図５の自動化対応基板搬送容器の背面図であ
る。

【図９】図５の空気清浄器に搭載したガス状不純物捕捉
フィルタの断面図である。

【図１０】基板搬送容器への給電例を示す図である。

【符号の説明】

１容器本体２ウエハ搬出入ドア 3 半導体ウエハ 4 ウエハカセット 5 一体型複合膜フィルタ 5a 内筒 5b 外筒 5c キャップ 5d 強塩基性アニオン不織布 5e 強酸性カチオン交換不織布 5f 活性炭バインド不織布 5g ULPA濾材 6 レデューサ 7 ファンモータ 8 逆流防止フィルタ 9 空気吸い込み口 10 空気清浄器 11 二次電池 12 制御基板 13 給電端子 14 粒子除去フィルタ 15 ガス状不純物捕捉フィルタ 16 除湿ユニット（固体高分子電解質膜） 17 空気清浄器 18 連結ダクト 19 整流ユニット 20 制御基板 21 粒状活性炭 22 強塩基性アニオン不織布 23 強酸性カチオン交換不織布 24 網状補強材 25 外枠材

フロントページの続きＦターム(参考） 3E096 AA06 AA13 BA16 BB04 CA05 CA08 CB03 DA01 DA26 DC02 FA03 GA03 GA20 3F022 AA08 BB06 BB08 CC02 EE05 5F031 CA02 CA07 DA09 EA12 EA14 EA19 EA20 FA01 FA04 NA14 NA15 NA18 PA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を内部に収容すると共に基板搬出入
用の開口部を持った容器本体と、前記開口部を開閉可能
なドアとで構成される基板搬送容器において、前記容器本体は角筒状であり、前記基板は略円形であ
り、前記角筒状の容器本体の隅の内壁面と前記略円形の
基板または基板保持具との間に形成されるスペースに、
前記容器内の気体を循環させるファンと、該ファンによ
り強制循環される気体を清浄化するフィルタとを配置し
たことを特徴とする基板搬送容器。
【請求項２】前記フィルタは、ガス状不純物捕捉素子
と、粒子状汚染物質捕捉素子とからなることを特徴とす
る請求項１記載の基板搬送容器。
【請求項３】前記ファンとフィルタとは棒体状に一体
に構成されたことを特徴とする請求項１記載の基板搬送
容器。
【請求項４】前記フィルタは円筒状であり、内部の気
体をフィルタ素子を通過させつつ半径方向に送出し、容
器内に循環流を形成することを特徴とする請求項３記載
の基板搬送容器。
【請求項５】前記フィルタは角柱状であり、前記ファ
ンより送出された気体を軸方向にフィルタ素子を通過さ
せ、ダクトおよび整流板を介して容器内に循環流を形成
することを特徴とする請求項３記載の基板搬送容器。
【請求項６】前記容器内部に電気式除湿手段を備えた
ことを特徴とする請求項1乃至５のいずれかに記載の基
板搬送容器。
【請求項７】基板を内部に収容すると共に基板搬出入
用の開口部を持った容器本体と、前記開口部を開閉可能
なドアとで構成される基板搬送容器において、基板保持
具に保持された基板に向かって、フィルタ素子を通過し
た気体が、直接当たるように基板近傍にフィルタ素子を
設けたことを特徴とする基板搬送容器。
【請求項８】基板を内部に収容すると共に基板搬出入
用の開口部を持った容器本体と、前記開口部を開閉可能
なドアとで構成される基板搬送容器において、前記基板搬送容器には、該容器内に循環気流を形成する
ファンと、該ファンに電力を供給する給電端子とを備
え、前記基板搬送容器が固定側の給電ステーションから
給電を受けている時のみ、前記ファンを回転駆動するよ
うにしたことを特徴とする基板搬送容器。
【請求項９】基板を内部に収容すると共に基板搬出入
用の開口部を持った容器本体と、前記開口部を開閉可能
なドアとで構成される基板搬送容器において、前記基板搬送容器には、該容器内に循環気流を形成する
ファンと、該ファンに電力を供給する給電端子とを備
え、前記基板搬送容器が固定側の給電ステーションから
給電を受けている時のみ、前記ファンを回転駆動するよ
うにしたことを特徴とする気体の浄化方法。
【請求項１０】前記基板搬送容器が固定側の給電ステ
ーションから給電を受けている間に、所要の清浄度に到
達することを特徴とする請求項９に記載の気体の浄化方
法。
【請求項１１】基板を内部に収容すると共に基板搬出
入用の開口部を持った容器本体と、前記開口部を開閉可
能なドアとで構成される基板搬送容器を用い、前記基板
搬送容器には、該容器内の気体を清浄化する電気部品
と、該電気部品に電力を供給する給電端子とを備え、前
記基板搬送容器が固定側の給電ステーションから給電を
受けている時のみ、前記電気部品を作動させ、容器内気
体を清浄化するようにしたことを特徴とする基板搬送容
器の使用方法。