JP3240318B2 - 雰囲気中有害化学物質除去装置 - Google Patents
雰囲気中有害化学物質除去装置Info
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Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は雰囲気中有害不純物除
去装置に関し、特に半導体デバイス製造用クリーンルー
ム等における無塵空気中の酸、アンモニア等の有害化学
物質の除去に有用な装置に関する。
去装置に関し、特に半導体デバイス製造用クリーンルー
ム等における無塵空気中の酸、アンモニア等の有害化学
物質の除去に有用な装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の装置に用いられるフィル
ター（以下ケミカルフィルターと略称）としては多孔質
粒状の活性炭もしくは活性アルミナに雰囲気中の有害不
純物が化学反応を受けて不動化する化学物質（以下吸着
物質と略称、代表的な物質としては過マンガン酸カリウ
ムがある）を添着し、この吸着物質添着粒を通気可能な
箱に充填したものが使われていた。このようなフィルタ
ーは重量が重い上に、吸着の進行と共に粒が崩れて発塵
するなどの欠点がある。そこで、吸着物質を添着した微
細な活性炭粉が分散付着した厚い織布をプリーツ型の構
造としたフィルターが提案された。また活性炭自体がＮ
Ｈ3 や各種の有機物等の吸収する働きをもつので、繊維
状活性炭を含む厚い織布でプリーツ型構造をもつものも
提案されている。プリーツ型のものは粒充填型のものよ
り同じ吸着能力で比較してはるかに軽く、かつ除塵用の
ＨＥＰＡフィルターと開口部がほぼ同形状の箱形に作ら
れているので使用しやすい。容積はフィルターに要求さ
れる寿命にもよるが、実用上ＨＥＰＡフィルターと同じ
程度に作られている。
ター（以下ケミカルフィルターと略称）としては多孔質
粒状の活性炭もしくは活性アルミナに雰囲気中の有害不
純物が化学反応を受けて不動化する化学物質（以下吸着
物質と略称、代表的な物質としては過マンガン酸カリウ
ムがある）を添着し、この吸着物質添着粒を通気可能な
箱に充填したものが使われていた。このようなフィルタ
ーは重量が重い上に、吸着の進行と共に粒が崩れて発塵
するなどの欠点がある。そこで、吸着物質を添着した微
細な活性炭粉が分散付着した厚い織布をプリーツ型の構
造としたフィルターが提案された。また活性炭自体がＮ
Ｈ3 や各種の有機物等の吸収する働きをもつので、繊維
状活性炭を含む厚い織布でプリーツ型構造をもつものも
提案されている。プリーツ型のものは粒充填型のものよ
り同じ吸着能力で比較してはるかに軽く、かつ除塵用の
ＨＥＰＡフィルターと開口部がほぼ同形状の箱形に作ら
れているので使用しやすい。容積はフィルターに要求さ
れる寿命にもよるが、実用上ＨＥＰＡフィルターと同じ
程度に作られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】高性能の除塵フィルタ
ーを装備したクリーンルームの空気は、クリーンといわ
れるのは微粒子に関してのみである。一般に空気中の不
純物として問題とされる公害物質のＳＯｘ、ＮＯｘ等、
Ｈ2 ＳＯ4 、ＨＣｌ等の酸のミストなどはこの除塵フィ
ルターを通過してクリーンルーム内を汚染している。ま
た半導体製造用のクリーンルームでは製造装置から酸類
あるいはアンモニアのミストが発生して、室外よりもむ
しろこれらの濃度はクリーンルーム内の方が高い場合も
多い。またこれら無機系不純物よりも高いレベルで有機
炭素が空気中に含まれている。これらは半導体デバイス
製造上非常に有害であることが分ってきた。
ーを装備したクリーンルームの空気は、クリーンといわ
れるのは微粒子に関してのみである。一般に空気中の不
純物として問題とされる公害物質のＳＯｘ、ＮＯｘ等、
Ｈ2 ＳＯ4 、ＨＣｌ等の酸のミストなどはこの除塵フィ
ルターを通過してクリーンルーム内を汚染している。ま
た半導体製造用のクリーンルームでは製造装置から酸類
あるいはアンモニアのミストが発生して、室外よりもむ
しろこれらの濃度はクリーンルーム内の方が高い場合も
多い。またこれら無機系不純物よりも高いレベルで有機
炭素が空気中に含まれている。これらは半導体デバイス
製造上非常に有害であることが分ってきた。
【０００４】従ってこのような化学汚染物質をも除いた
クリーンルームの為には除塵用ＨＥＰＡフィルターの前
に上記ケミカルフィルターを装備することが行われてい
る。ところが、クリーンルーム内の空気には多種かつ多
様な濃度、組成で種々の有害化学物質が含まれている。
一方、ＳＯｘやＮＯｘ用、酸用、アンモニア用、有機炭
素用のケミカルフィルターは夫々除去機構が異なるの
で、一つのケミカルフィルターでこれらの有害化学物質
すべてを除去することが出来ず、せいぜい二種の化学物
質の除去機構を併せ持たせられるにすぎない。従って、
多数の有害化学物質を除去しようとすると、各有害化学
物質に対応する多数のケミカルフィルターを直列に配置
しなければならなくなる。これでは場所をとりすぎるの
で、最も除去が求められる有害化学物質に合せて一個の
ケミカルフィルターを選択し、これにＨＥＰＡフィルタ
ーを組合わせて使用しているのが実状である。
クリーンルームの為には除塵用ＨＥＰＡフィルターの前
に上記ケミカルフィルターを装備することが行われてい
る。ところが、クリーンルーム内の空気には多種かつ多
様な濃度、組成で種々の有害化学物質が含まれている。
一方、ＳＯｘやＮＯｘ用、酸用、アンモニア用、有機炭
素用のケミカルフィルターは夫々除去機構が異なるの
で、一つのケミカルフィルターでこれらの有害化学物質
すべてを除去することが出来ず、せいぜい二種の化学物
質の除去機構を併せ持たせられるにすぎない。従って、
多数の有害化学物質を除去しようとすると、各有害化学
物質に対応する多数のケミカルフィルターを直列に配置
しなければならなくなる。これでは場所をとりすぎるの
で、最も除去が求められる有害化学物質に合せて一個の
ケミカルフィルターを選択し、これにＨＥＰＡフィルタ
ーを組合わせて使用しているのが実状である。
【０００５】そこで、この発明は１個のケミカルフィル
ターにより除去を必要とするすべての有害化学物質を除
くことができる雰囲気中有害化学物質除去装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
ターにより除去を必要とするすべての有害化学物質を除
くことができる雰囲気中有害化学物質除去装置を提供す
ることを目的としてなされたものである。
【０００６】
【問題を解決する為の手段】この発明によれば、空気中
の異なる有害化学物質を効果的に捕集可能な、活性炭繊
維が包含された布はくが少なくとも二枚重ねられてなる
フィルターを備えた雰囲気中有害化学物質除去装置が提
供される。
の異なる有害化学物質を効果的に捕集可能な、活性炭繊
維が包含された布はくが少なくとも二枚重ねられてなる
フィルターを備えた雰囲気中有害化学物質除去装置が提
供される。
【０００７】活性炭布はく この発明に使用される布はくは、織布でも不織布でもよ
い。好ましい例としてはフェルト状の布地が挙げられ
る。活性炭繊維は、この布はくの中に包含されていれば
よく、通常布はくを構成する繊維として織り込まれてい
てもよい。また、該布はくは、活性炭繊維のみから構成
されてもよいし、強度等を考慮しその他の繊維との合繊
であってもよい。活性炭繊維の太さは、例えば、１０〜
２０μｍ程度でよい。市販のフェルト状活性炭布地はい
ずれも同様に使用可能である。
い。好ましい例としてはフェルト状の布地が挙げられ
る。活性炭繊維は、この布はくの中に包含されていれば
よく、通常布はくを構成する繊維として織り込まれてい
てもよい。また、該布はくは、活性炭繊維のみから構成
されてもよいし、強度等を考慮しその他の繊維との合繊
であってもよい。活性炭繊維の太さは、例えば、１０〜
２０μｍ程度でよい。市販のフェルト状活性炭布地はい
ずれも同様に使用可能である。
【０００８】本発明のフィルターはかかる布はくが複数
枚重ねられてなるが、それらの布はくの少なくとも一枚
が特定の有害化学物質に対し捕集性を有する吸着物質が
添着された活性炭繊維を包含している。
枚重ねられてなるが、それらの布はくの少なくとも一枚
が特定の有害化学物質に対し捕集性を有する吸着物質が
添着された活性炭繊維を包含している。
【０００９】また、活性炭繊維自体が特定の有害化学物
質に対しては吸着能を有するので、複数枚の布はくの少
なくとも一枚がいずれの吸着物質も添着されていない活
性炭繊維を包含しているものであってもよい。
質に対しては吸着能を有するので、複数枚の布はくの少
なくとも一枚がいずれの吸着物質も添着されていない活
性炭繊維を包含しているものであってもよい。
【００１０】添着用吸着物質 添着用吸着物質としては、例えば、酸除去用にはＫＯＨ
のようなアルカリ性物質が使われる。またＳＯ2 ，ＮＯ
2 ，Ｈ2 Ｓ等に対してはＫＭｎＯ4 のような酸化剤でか
つ反応後にＫＯＨのようなアルカリを生じる吸着剤を使
う。酸化でこれらの不純物が酸になるからである。酸化
だけの作用のある吸着物質を添着したフェルト状活性炭
布地と上記アルカリ性吸着物質添着布はくを組合わせて
もよい。
のようなアルカリ性物質が使われる。またＳＯ2 ，ＮＯ
2 ，Ｈ2 Ｓ等に対してはＫＭｎＯ4 のような酸化剤でか
つ反応後にＫＯＨのようなアルカリを生じる吸着剤を使
う。酸化でこれらの不純物が酸になるからである。酸化
だけの作用のある吸着物質を添着したフェルト状活性炭
布地と上記アルカリ性吸着物質添着布はくを組合わせて
もよい。
【００１１】前記のように、除去対象である有害化学物
質の種類によっては添着されない活性炭繊維が使用され
る。例えば、半導体製造関連クリーンルーム中の有害ア
ルカリ性物質はＮＨ3 と有機アルカリであるが、いずれ
も繊維状活性炭自身にこれらに対し強い吸着能力がある
ので、添着剤無しでかなり効果的に除去が出来る。必要
に応じて還元性添着剤を添着させてもよい。
質の種類によっては添着されない活性炭繊維が使用され
る。例えば、半導体製造関連クリーンルーム中の有害ア
ルカリ性物質はＮＨ3 と有機アルカリであるが、いずれ
も繊維状活性炭自身にこれらに対し強い吸着能力がある
ので、添着剤無しでかなり効果的に除去が出来る。必要
に応じて還元性添着剤を添着させてもよい。
【００１２】繊維状活性炭はそれ自体で空気中の有機炭
素にも吸着除去能力を示す。この能力はこの活性炭の製
造法や材料によって特色を生じるので、対象とする有機
炭素に対してもっとも効果的なフェルト状活性炭布地の
銘柄を選ぶのが望ましい。この場合も、必要に応じて添
着剤を使用してもよい。
素にも吸着除去能力を示す。この能力はこの活性炭の製
造法や材料によって特色を生じるので、対象とする有機
炭素に対してもっとも効果的なフェルト状活性炭布地の
銘柄を選ぶのが望ましい。この場合も、必要に応じて添
着剤を使用してもよい。
【００１３】フィルター 対象とする空気の有害不純物の種類に応じて上記の中か
ら複数種のフェルト状活性炭布はくを準備する。空気中
に含まれる有害化学物質の種類の応じて各布はくに包含
される活性炭繊維を、即ち無添着のものあるいは特定の
吸着物質が添着されたものを、最適な組合わせで選択す
るようにする。また、吸着物質の異なる２種以上の布は
くを使って化学作用の類似する有害不純物群毎に除去機
能を最適化するように組み合わせることが望ましい。
ら複数種のフェルト状活性炭布はくを準備する。空気中
に含まれる有害化学物質の種類の応じて各布はくに包含
される活性炭繊維を、即ち無添着のものあるいは特定の
吸着物質が添着されたものを、最適な組合わせで選択す
るようにする。また、吸着物質の異なる２種以上の布は
くを使って化学作用の類似する有害不純物群毎に除去機
能を最適化するように組み合わせることが望ましい。
【００１４】半導体製造用クリーンルームには必ず有害
な酸並びにアンモニアと有機物があるので、少なくとも
アルカリ添着と吸着物質無添着のものを準備する。
な酸並びにアンモニアと有機物があるので、少なくとも
アルカリ添着と吸着物質無添着のものを準備する。
【００１５】これらは見かけ比重が極めて小さくフィル
ターとして使う時、通過する空気の圧力損失が極めて小
さいので、夫々多数枚を交互に重ねてフィルターを形成
する。このようなケミカルフィルターは空気の流速が低
くてよい場合に適し、確実に対象有害不純物を除くこと
が出来る。
ターとして使う時、通過する空気の圧力損失が極めて小
さいので、夫々多数枚を交互に重ねてフィルターを形成
する。このようなケミカルフィルターは空気の流速が低
くてよい場合に適し、確実に対象有害不純物を除くこと
が出来る。
【００１６】繊維状活性炭ではミクロポアはその表面に
のみ整列しているので、例えば酸用ＫＯＨ添着活性炭に
付着した反応生成物のＫＣｌ，Ｋ2 ＳＯ4 ，ＫＮＯ3 等
は主に水洗を主とする洗浄で除去され、あらためてＫＯ
Ｈを添着して再使用することが出来る。即ちフェルト状
活性炭布地が劣化しても容易に再生出来る。
のみ整列しているので、例えば酸用ＫＯＨ添着活性炭に
付着した反応生成物のＫＣｌ，Ｋ2 ＳＯ4 ，ＫＮＯ3 等
は主に水洗を主とする洗浄で除去され、あらためてＫＯ
Ｈを添着して再使用することが出来る。即ちフェルト状
活性炭布地が劣化しても容易に再生出来る。
【００１７】空気の流速を十分に必要とする場合は、夫
々の種類を１枚ずつ重ねたものをプリーツ状に形成して
フィルターとする。この場合も勿論１個のケミカルフィ
ルターで対象有害不純物のすべてを除くことが出来る。
ただし多数枚使用の場合より高効率での除去期間が短く
なるので、フィルターを循環して使用するようなクリー
ン化システムに用い、劣化の影響を少なくすることが望
ましい。
々の種類を１枚ずつ重ねたものをプリーツ状に形成して
フィルターとする。この場合も勿論１個のケミカルフィ
ルターで対象有害不純物のすべてを除くことが出来る。
ただし多数枚使用の場合より高効率での除去期間が短く
なるので、フィルターを循環して使用するようなクリー
ン化システムに用い、劣化の影響を少なくすることが望
ましい。
【００１８】
【実施例】以下実施例によりこの発明を説明する。
【００１９】実施例１ 活性炭繊維として太さ１０〜２０μｍ、比表面積１００
０ｍ2 ／ｇ、厚さ約２ｍｍ、見かけ比重約０．１のもの
が織り込まれたフェルト状活性炭布地にＫＯＨを１．５
ｍｇ／ｃｍ2 の濃度で添着した酸用フェルト（以下Ａタ
イプとする）と無添着のもの（以下Ｂタイプとする）と
２枚準備し、これから３０ｍｍφの試験片を切出し、図
１の如き試験片ホルダーで１のように試験片をセット
し、これを図２の試験装置に２のようにセットし、３か
ら不純物濃度既知のテスト空気を送り、４と５のインピ
ンジャー中の水６，７に吸収された不純物量をイオンク
ロマトグラフで分析して、試験片通過後の空気中の不純
物濃度を算出し、試験片の不純物捕集性能を調べた。結
果を表１に示す。尚テスト空気の不純物濃度はすべて１
ｐｐｍである。
０ｍ2 ／ｇ、厚さ約２ｍｍ、見かけ比重約０．１のもの
が織り込まれたフェルト状活性炭布地にＫＯＨを１．５
ｍｇ／ｃｍ2 の濃度で添着した酸用フェルト（以下Ａタ
イプとする）と無添着のもの（以下Ｂタイプとする）と
２枚準備し、これから３０ｍｍφの試験片を切出し、図
１の如き試験片ホルダーで１のように試験片をセット
し、これを図２の試験装置に２のようにセットし、３か
ら不純物濃度既知のテスト空気を送り、４と５のインピ
ンジャー中の水６，７に吸収された不純物量をイオンク
ロマトグラフで分析して、試験片通過後の空気中の不純
物濃度を算出し、試験片の不純物捕集性能を調べた。結
果を表１に示す。尚テスト空気の不純物濃度はすべて１
ｐｐｍである。
【００２０】このホルダーの試験片の空気通過面積は２
０ｍｍφで、流速は１Ｌ／分即ちレジデンスタイムが
０．０３６秒で実験した。通常の除去性能測定よりもか
なり早い流速条件なのに効果的な除去が出来ている。
０ｍｍφで、流速は１Ｌ／分即ちレジデンスタイムが
０．０３６秒で実験した。通常の除去性能測定よりもか
なり早い流速条件なのに効果的な除去が出来ている。
【００２１】ＡタイプのＫＯＨ添着量の濃度は計算上は
ＨＣｌ１００ｐｐｂ含有空気を５０００時間中和出来る
ものなので、通常のクリーンルーム中の酸濃度が１０ｐ
ｐｂ以下であることから、この実験のＫＯＨ添着濃度は
概ね妥当といえる。この実施結果から不純物除去機構の
異なる２枚重ねが効果的であることが分る。
ＨＣｌ１００ｐｐｂ含有空気を５０００時間中和出来る
ものなので、通常のクリーンルーム中の酸濃度が１０ｐ
ｐｂ以下であることから、この実験のＫＯＨ添着濃度は
概ね妥当といえる。この実施結果から不純物除去機構の
異なる２枚重ねが効果的であることが分る。
【００２２】
【表１】
【００２３】実施例２ ＫＯＨの代わりに、空気中のＳＯｘ，ＮＯｘを含めてＳ
Ｏ2 ，ＮＯ2 を酸化して除去し得るＫＭｎＯ4 を２ｍｇ
／ｃｍ2 の濃度で添着したものである以外は実施例１と
同様のフェルト状活性炭布地の３０ｍｍφの試験片（以
下Ｃタイプとする）を準備した。実施例１と同様にし
て、かつ９枚の試験片を重ねてセット出来るホルダーを
３個準備し、夫々にＣＡＢＣＡＢＣＡＢの順に３個ずつ
の試験片をセットした。これらの夫々にＳＯ2 １ｐｐ
ｍ，ＨＦ１ｐｐｍ、ブタノール１ｐｐｍのテスト空気を
１Ｌ／分の流速で１００時間流した（これらの１０ｐｐ
ｂを含む空気を１０，０００時間流した寿命試験に相
当）後、ラジオアイソトープを使って試験片の劣化状態
を調べた。
Ｏ2 ，ＮＯ2 を酸化して除去し得るＫＭｎＯ4 を２ｍｇ
／ｃｍ2 の濃度で添着したものである以外は実施例１と
同様のフェルト状活性炭布地の３０ｍｍφの試験片（以
下Ｃタイプとする）を準備した。実施例１と同様にし
て、かつ９枚の試験片を重ねてセット出来るホルダーを
３個準備し、夫々にＣＡＢＣＡＢＣＡＢの順に３個ずつ
の試験片をセットした。これらの夫々にＳＯ2 １ｐｐ
ｍ，ＨＦ１ｐｐｍ、ブタノール１ｐｐｍのテスト空気を
１Ｌ／分の流速で１００時間流した（これらの１０ｐｐ
ｂを含む空気を１０，０００時間流した寿命試験に相
当）後、ラジオアイソトープを使って試験片の劣化状態
を調べた。
【００２４】まず36Ｓで標識したＳＯ2 （以下36ＳＯ2
と表記）の５ｐｐｂを含む空気を４Ｌ／分（濾材面に垂
直に送風する場合は実用上この程度の流速でも使えるこ
とが必要と思われる）で１時間流した。その後ホルダー
から試験片を脱し、それらを１枚毎にイメージングプレ
ート（富士フィルム製）によって放射能量を測定し、ホ
ルダーに入った放射性不純物が夫々の試験片にどのよう
に分布するかを求めた。この方法は極めて高感度で微量
に吸着しているものの測定が可能である。残りの２個の
ホルダーに対しては、夫々18Ｆで標識したＨＦ（以下Ｈ
18Ｆと表記）と14Ｃで標識したブタノール（以下
［14Ｃ］ブタノールと表記）とで同様の実験を行った。
結果を表２に示す。
と表記）の５ｐｐｂを含む空気を４Ｌ／分（濾材面に垂
直に送風する場合は実用上この程度の流速でも使えるこ
とが必要と思われる）で１時間流した。その後ホルダー
から試験片を脱し、それらを１枚毎にイメージングプレ
ート（富士フィルム製）によって放射能量を測定し、ホ
ルダーに入った放射性不純物が夫々の試験片にどのよう
に分布するかを求めた。この方法は極めて高感度で微量
に吸着しているものの測定が可能である。残りの２個の
ホルダーに対しては、夫々18Ｆで標識したＨＦ（以下Ｈ
18Ｆと表記）と14Ｃで標識したブタノール（以下
［14Ｃ］ブタノールと表記）とで同様の実験を行った。
結果を表２に示す。
【００２５】レジデンスタイムが０．０１秒以下のかな
り速い流速でテスト空気が流れているのに拘らず、最後
の９枚目の試験片では不純物は検出限界以下である。即
ち長時間使用した後でもこのように除去機構の異なるフ
ェルト状活性炭布地を多数枚重ねたものでは、問題とす
る不純物をすべてｐｐｔレベルまで除去出来る。
り速い流速でテスト空気が流れているのに拘らず、最後
の９枚目の試験片では不純物は検出限界以下である。即
ち長時間使用した後でもこのように除去機構の異なるフ
ェルト状活性炭布地を多数枚重ねたものでは、問題とす
る不純物をすべてｐｐｔレベルまで除去出来る。
【００２６】
【表２】
【００２７】実施例３ Ａ，Ｂ，Ｃの試験片と同様に作られた４ｍ2 の３枚のフ
ェルト素材を市販のプリーツ型フィルターと同様に構成
して、ひだの数１５個、６０ｃｍ×６０ｃｍ×３０ｃｍ
の大きさのケミカルフィルターを作成した。これを図３
のように組合わせて清浄エリアを作り、循環してフィル
ターが働くようにした。約１０００時間稼動の後、この
エリアにインピンジャーをおいて約５時間サンプリング
を行い、十分に空気中の不純物をインピンジャー内の超
純水に移行させて、イオンクロマトグラフで陰イオンを
ＴＯＣメーターで有機炭素を測定した。このエリアの空
気中のＨＣｌ，Ｈ2 ＳＯ4 ，ＨＦ，ＳＯ2 ，ＮＯ，ＮＯ
2 ，ＮＨ3 のいずれもが検出限界の０．０５ｐｐｂ以
下、また有機炭素は０．５ｐｐｂ以下であった。
ェルト素材を市販のプリーツ型フィルターと同様に構成
して、ひだの数１５個、６０ｃｍ×６０ｃｍ×３０ｃｍ
の大きさのケミカルフィルターを作成した。これを図３
のように組合わせて清浄エリアを作り、循環してフィル
ターが働くようにした。約１０００時間稼動の後、この
エリアにインピンジャーをおいて約５時間サンプリング
を行い、十分に空気中の不純物をインピンジャー内の超
純水に移行させて、イオンクロマトグラフで陰イオンを
ＴＯＣメーターで有機炭素を測定した。このエリアの空
気中のＨＣｌ，Ｈ2 ＳＯ4 ，ＨＦ，ＳＯ2 ，ＮＯ，ＮＯ
2 ，ＮＨ3 のいずれもが検出限界の０．０５ｐｐｂ以
下、また有機炭素は０．５ｐｐｂ以下であった。
【００２８】
【発明の効果】クリーンルーム内の空気中の多種、多様
な有害化学物質に対しては従来複数種のケミカルフィル
ターが必要であったが、本発明の装置によれば１個のケ
ミカルフィルターですべて除去することができる。
な有害化学物質に対しては従来複数種のケミカルフィル
ターが必要であったが、本発明の装置によれば１個のケ
ミカルフィルターですべて除去することができる。
【００２９】しかもクリーンルームのような広い領域に
はプリーツ型、プロセス装置対応には多数枚重畳型によ
ることが出来、設置空間上極めて有利である。いずれも
構成材料が極めて低比重なため圧力損失が極めて少な
い。これは運転動力費が軽減出来ることを意味する。
はプリーツ型、プロセス装置対応には多数枚重畳型によ
ることが出来、設置空間上極めて有利である。いずれも
構成材料が極めて低比重なため圧力損失が極めて少な
い。これは運転動力費が軽減出来ることを意味する。
【００３０】しかも吸着物質の添着する活性炭繊維表面
のミクロポアは整列しており、添着効率が高く、重量の
わりに寿命が長い。従来の６ｍｍ程度の厚い織布に添着
される場合と同じ吸着除去能力が厚さ２ｍｍで達成出来
る。かつ活性炭の表面構造の特長から添着剤が水洗で除
去しやすくなり、従って再生が可能であり、経済上や廃
棄物管理の面でも有利である。
のミクロポアは整列しており、添着効率が高く、重量の
わりに寿命が長い。従来の６ｍｍ程度の厚い織布に添着
される場合と同じ吸着除去能力が厚さ２ｍｍで達成出来
る。かつ活性炭の表面構造の特長から添着剤が水洗で除
去しやすくなり、従って再生が可能であり、経済上や廃
棄物管理の面でも有利である。
【図１】実施例１で使用された試験変ホルダーの説明
図。
図。
【図２】実施例１で使用された試験装置の説明図。
【図３】実施例３で使用された有害化学物質除去装置の
構成を説明する図。
構成を説明する図。
１ 試験片 ２ 試験片ホルダー ３ テスト空気 ４ インピンジャー ５ インピンジャー ６ 水 ７ 水
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 53/81 ＺＡＢ Ｂ０１Ｄ 53/34 １１９ Ｈ０１Ｌ 21/02 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 53/34 ZAB B01D 39/14 B01D 53/40 B01D 53/42 B01D 53/81 ZAB H01L 21/02
Claims (6)
- 【請求項１】空気中の異なる有害化学物質を効果的に捕
集可能な、活性炭繊維が包含された布はくが少なくとも
二枚重ねられてなるフィルターを備え、前記布はくの少
なくとも１枚がアルカリ性物質（但し、酸化作用を有す
るものを除く）が添着された活性炭繊維を包含している
ものであることを特徴とする雰囲気中有害化学物質除去
装置。 - 【請求項２】請求項１記載の装置であって、さらに、前
記布はくの少なくとも１枚が有害物質との酸化反応によ
りアルカリ性物質を生じる酸化剤が添着された活性炭繊
維を包含していることを特徴とする雰囲気中有害化学物
質除去装置。 - 【請求項３】請求項１または２記載の装置であって、前
記フィルターが有する布はくの数が少なくとも二枚また
は三枚であり、さらに、これら布はくの少なくとも１枚
がいずれの物質も添着されていない活性炭繊維を包含す
る布はくであることを特徴とする雰囲気中有害化学物質
除去装置。 - 【請求項４】請求項１記載の装置であって、空気流が流
入する側から、前記酸化剤添着活性炭繊維を包含する布
はく、次に前記アルカリ性物質（但し、酸化作用を有す
るものを除く）添着活性炭繊維を包含する布はく、次に
いずれの物質も添着されていない活性炭繊維を包含する
布はくがこの順で配置されているセットを含むことを特
徴とする雰囲気中有害化学物質除去装置。 - 【請求項５】請求項１記載の装置であって、前記布はく
が活性炭繊維が織り込まれたフェルト状布地からなる雰
囲気中有害化学物質除去装置。 - 【請求項６】請求項１〜５のいずれか１項に記載の装置
であって、前記布はくがプリーツ状に形成されている雰
囲気中有害化学物質除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19904893A JP3240318B2 (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 雰囲気中有害化学物質除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19904893A JP3240318B2 (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 雰囲気中有害化学物質除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0724246A JPH0724246A (ja) | 1995-01-27 |
| JP3240318B2 true JP3240318B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=16401251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19904893A Expired - Lifetime JP3240318B2 (ja) | 1993-07-15 | 1993-07-15 | 雰囲気中有害化学物質除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3240318B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7868670B2 (en) | 2006-08-18 | 2011-01-11 | Texas Instruments Deutschland Gmbh | Phase-locked loop (PLL) circuit and method |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6641648B2 (en) * | 2001-04-17 | 2003-11-04 | Foster-Miller, Inc. | Passive filtration system |
| WO2023203575A1 (en) * | 2022-04-20 | 2023-10-26 | Prerna Goradia | Molecular filters for selective removal and repurposing of gaseous fumes and emissions |
-
1993
- 1993-07-15 JP JP19904893A patent/JP3240318B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7868670B2 (en) | 2006-08-18 | 2011-01-11 | Texas Instruments Deutschland Gmbh | Phase-locked loop (PLL) circuit and method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0724246A (ja) | 1995-01-27 |
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