JP3164159B2 - 海塩粒子除去用エレクトレットエアフィルター - Google Patents
海塩粒子除去用エレクトレットエアフィルターInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、空気中の微粒子や有害
ガス状成分を除去するエレクトレットエアフィルターに
関するものである。
ガス状成分を除去するエレクトレットエアフィルターに
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】海岸近郊の工場、特に半導体工場に代表
される工業用クリーンルームにおいては、換気に伴い外
気と共に進入してくる海塩粒子が工場設備、製品に悪影
響を与えることが知られている。さらに、空気中に含ま
れる酸性ガス（窒素酸化物、硫黄酸化物、塩酸等）や塩
基性ガス（アンモニア等）あるいは炭化水素類のガスが
製品を汚染することも明らかになってきた。こうした海
塩粒子や有害なガス状成分を除去するために、従来工業
用クリーンルームにおいては工場に導入する空気は、海
塩粒子除去専用中性能フィルターによるミクロンオーダ
ーの海塩粒子の除去、次いで粒状活性炭等を充填した吸
着装置による有害ガス状成分の除去、更にガラス繊維Ｈ
ＥＰＡ （High EfficeincyParticulate Air Filterの
略）フィルターによるサブミクロン微小粒子の除去とい
った具合に多段階で処理し、空気の清浄化が行われてき
た。
される工業用クリーンルームにおいては、換気に伴い外
気と共に進入してくる海塩粒子が工場設備、製品に悪影
響を与えることが知られている。さらに、空気中に含ま
れる酸性ガス（窒素酸化物、硫黄酸化物、塩酸等）や塩
基性ガス（アンモニア等）あるいは炭化水素類のガスが
製品を汚染することも明らかになってきた。こうした海
塩粒子や有害なガス状成分を除去するために、従来工業
用クリーンルームにおいては工場に導入する空気は、海
塩粒子除去専用中性能フィルターによるミクロンオーダ
ーの海塩粒子の除去、次いで粒状活性炭等を充填した吸
着装置による有害ガス状成分の除去、更にガラス繊維Ｈ
ＥＰＡ （High EfficeincyParticulate Air Filterの
略）フィルターによるサブミクロン微小粒子の除去とい
った具合に多段階で処理し、空気の清浄化が行われてき
た。
【０００３】海塩粒子除去専用中性能フィルターとして
は、ガラス繊維より成り空気流入側の繊維充填率を粗に
空気流出側の繊維充填率を密にした２層構造のフィルタ
ーや、空気流入側に撥水性の合成繊維を空気流出側に吸
湿性の繊維を配した２層構造のフィルターなどが提案さ
れている。前者はガラス繊維間距離を大きくとり繊維間
に塩分を含んだ水膜が張らないようにしたものであり、
後者は潮解した海塩粒子を吸湿性の繊維で保持しようと
したものであるが、いずれも中性能から高性能クラスの
フィルターでありミクロンオーダーの海塩粒子は除去で
きるものの、サブミクロンの海塩粒子は除去できなかっ
た。
は、ガラス繊維より成り空気流入側の繊維充填率を粗に
空気流出側の繊維充填率を密にした２層構造のフィルタ
ーや、空気流入側に撥水性の合成繊維を空気流出側に吸
湿性の繊維を配した２層構造のフィルターなどが提案さ
れている。前者はガラス繊維間距離を大きくとり繊維間
に塩分を含んだ水膜が張らないようにしたものであり、
後者は潮解した海塩粒子を吸湿性の繊維で保持しようと
したものであるが、いずれも中性能から高性能クラスの
フィルターでありミクロンオーダーの海塩粒子は除去で
きるものの、サブミクロンの海塩粒子は除去できなかっ
た。
【０００４】一方、最終フィルターであるガラス繊維Ｈ
ＥＰＡフィルターはサブミクロン微小粒子の除去には極
めて有効に働くが、ガラス繊維ＨＥＰＡフィルターに捕
捉された海塩粒子が湿度の変化により潮解すると、ガラ
ス繊維が親水性である事とガラス繊維間距離が短い事の
ためにガラス繊維間に塩分を含んだ水膜を張り圧力損失
が急上昇して、塩分を含んだミストがフィルター後方へ
飛散したり、フィルターが破損したりするため必ずしも
満足のゆくものではなかった。
ＥＰＡフィルターはサブミクロン微小粒子の除去には極
めて有効に働くが、ガラス繊維ＨＥＰＡフィルターに捕
捉された海塩粒子が湿度の変化により潮解すると、ガラ
ス繊維が親水性である事とガラス繊維間距離が短い事の
ためにガラス繊維間に塩分を含んだ水膜を張り圧力損失
が急上昇して、塩分を含んだミストがフィルター後方へ
飛散したり、フィルターが破損したりするため必ずしも
満足のゆくものではなかった。
【０００５】こうした背景から、海塩粒子が完全に除去
でき且つ海塩粒子が潮解しても塩分を含んだミストのフ
ィルター後方への飛散やフィルターの破損といった問題
点の無いＨＥＰＡフィルターが切望されていた。
でき且つ海塩粒子が潮解しても塩分を含んだミストのフ
ィルター後方への飛散やフィルターの破損といった問題
点の無いＨＥＰＡフィルターが切望されていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、エレクトレ
ット化されたＨＥＰＡフィルターとして優れた性能を有
すると共に該フィルターに捕捉された海塩粒子の潮解に
伴う圧力損失の急上昇により起こる塩分を含んだミスト
のフィルター後方への飛散とかガラス繊維ＨＥＰＡフィ
ルターの破損といった問題点を解消する新規なエレクト
レットエアフィルターである。
ット化されたＨＥＰＡフィルターとして優れた性能を有
すると共に該フィルターに捕捉された海塩粒子の潮解に
伴う圧力損失の急上昇により起こる塩分を含んだミスト
のフィルター後方への飛散とかガラス繊維ＨＥＰＡフィ
ルターの破損といった問題点を解消する新規なエレクト
レットエアフィルターである。
【０００７】
【課題を解決する手段】かかる従来の海塩粒子の除去お
よび有害ガス状成分の除去における課題を解決するた
め、各種エアフィルターの構成およびその構造を鋭意検
討してきた結果エレクトレット化された疎水性合成繊
維、ことにポリオレフィン系エレクトレット繊維からな
るエアフィルターを用いると優れた海塩粒子除去用エア
フィルターとなることを見出した。さらに該フィルター
に吸着フィルターを組み合わせると有害ガス状成分も除
去できるエアフィルターとなり、省スペース・省エネル
ギー性に優れたエアフィルターとなることを見出した。
よび有害ガス状成分の除去における課題を解決するた
め、各種エアフィルターの構成およびその構造を鋭意検
討してきた結果エレクトレット化された疎水性合成繊
維、ことにポリオレフィン系エレクトレット繊維からな
るエアフィルターを用いると優れた海塩粒子除去用エア
フィルターとなることを見出した。さらに該フィルター
に吸着フィルターを組み合わせると有害ガス状成分も除
去できるエアフィルターとなり、省スペース・省エネル
ギー性に優れたエアフィルターとなることを見出した。
【０００８】すなわち本発明は、エレクトレット化され
た疎水性合成繊維とくにポリオレフィン系エレクトレッ
ト繊維からなるエアフィルターにおいて、幾何平均繊維
直径が１〜４μｍ、該平均繊維直径の幾何標準偏差が
１．５〜３．０、繊維充填率が０．０７〜０．２０cc／
ccであることを特徴とする海塩粒子除去用フィルターと
該フィルターと吸着フィルターを組み合わせることを特
徴とするエアフィルターに関するものである。本発明の
海塩粒子除去用フィルターで、捕捉された海塩粒子が潮
解しても塩分を含んだミストがフィルター後方へ飛散し
ない理由を以下に説明する。まず繊維が撥水性のポリオ
レフィン系の素材より成るからである。次にエレクトレ
ット繊維を用いているのでガラス繊維ＨＥＰＡフィルタ
ーのように繊維径をサブミクロンオーダーに細くして繊
維間距離を小さくしなくても、言い換えればフィルター
の目開きが大きくても静電気力により粒子を捕捉できる
からである。繊維が撥水性であり、繊維間距離が大きい
から海塩粒子が潮解しても繊維間に水膜が張らず繊維上
に水滴として残り圧力損失が上昇しにくく、さらにフィ
ルター自体がエレクトレット化によりガラス繊維ＨＥＰ
Ａフィルターと同じ粒子除去性能でもより低圧力損失化
できるので、塩分を含んだミストがフィルター後方へ飛
散するレベルまで圧力損失が達しないからである。
た疎水性合成繊維とくにポリオレフィン系エレクトレッ
ト繊維からなるエアフィルターにおいて、幾何平均繊維
直径が１〜４μｍ、該平均繊維直径の幾何標準偏差が
１．５〜３．０、繊維充填率が０．０７〜０．２０cc／
ccであることを特徴とする海塩粒子除去用フィルターと
該フィルターと吸着フィルターを組み合わせることを特
徴とするエアフィルターに関するものである。本発明の
海塩粒子除去用フィルターで、捕捉された海塩粒子が潮
解しても塩分を含んだミストがフィルター後方へ飛散し
ない理由を以下に説明する。まず繊維が撥水性のポリオ
レフィン系の素材より成るからである。次にエレクトレ
ット繊維を用いているのでガラス繊維ＨＥＰＡフィルタ
ーのように繊維径をサブミクロンオーダーに細くして繊
維間距離を小さくしなくても、言い換えればフィルター
の目開きが大きくても静電気力により粒子を捕捉できる
からである。繊維が撥水性であり、繊維間距離が大きい
から海塩粒子が潮解しても繊維間に水膜が張らず繊維上
に水滴として残り圧力損失が上昇しにくく、さらにフィ
ルター自体がエレクトレット化によりガラス繊維ＨＥＰ
Ａフィルターと同じ粒子除去性能でもより低圧力損失化
できるので、塩分を含んだミストがフィルター後方へ飛
散するレベルまで圧力損失が達しないからである。
【０００９】本発明において、エレクトレット繊維とし
ては高絶縁性で疎水性を有する物質が望ましくポリエチ
レン、ポリプロピレンやαポリオレフィンなどのオレフ
ィン系ポリマー、ポリエステル、ポリスチレン、ポリフ
ッ化ビニリデン、テフロン、ポリカーボネート、ポリサ
ルホン、ポリアクリルニトリル、ポリ塩化ビニリデンな
どの合成樹脂、それらの２種以上の共重合体やブレンド
組成物などが挙げられるが、ポリプロピレンやαポリオ
レフィンなどのオレフィン系ポリマーが高絶縁性・疎水
性の観点から最も好ましい。
ては高絶縁性で疎水性を有する物質が望ましくポリエチ
レン、ポリプロピレンやαポリオレフィンなどのオレフ
ィン系ポリマー、ポリエステル、ポリスチレン、ポリフ
ッ化ビニリデン、テフロン、ポリカーボネート、ポリサ
ルホン、ポリアクリルニトリル、ポリ塩化ビニリデンな
どの合成樹脂、それらの２種以上の共重合体やブレンド
組成物などが挙げられるが、ポリプロピレンやαポリオ
レフィンなどのオレフィン系ポリマーが高絶縁性・疎水
性の観点から最も好ましい。
【００１０】本発明で用いられるエレクトレット繊維の
繊維直径は、エアフィルターの電子顕微鏡写真（倍率１
０００）を撮り、この写真から無作為に１００本の繊維
径をゲージ付拡大鏡で測長し、この１００本の繊維径の
データから得られる幾何平均繊維直径と幾何標準偏差に
より決定した。本発明において、下記数式１で求まる幾
何平均繊維直径が１〜４μｍのものが好適であり、繊維
直径のばらつきは、下記数式２で求まる幾何標準偏差が
１．５〜３．０であることが好ましい。
繊維直径は、エアフィルターの電子顕微鏡写真（倍率１
０００）を撮り、この写真から無作為に１００本の繊維
径をゲージ付拡大鏡で測長し、この１００本の繊維径の
データから得られる幾何平均繊維直径と幾何標準偏差に
より決定した。本発明において、下記数式１で求まる幾
何平均繊維直径が１〜４μｍのものが好適であり、繊維
直径のばらつきは、下記数式２で求まる幾何標準偏差が
１．５〜３．０であることが好ましい。
【００１１】
【数式１】
【００１２】
【数式２】
【００１３】上記数式１、数式２において、Ｘは幾何平
均繊維直径、ｘは測定された繊維直径、ｎは測定した繊
維直径のデータ数、σは幾何標準偏差である。
均繊維直径、ｘは測定された繊維直径、ｎは測定した繊
維直径のデータ数、σは幾何標準偏差である。
【００１４】本発明で用いられるエレクトレット繊維の
集合形態としては、不織布、織布およびその複合体など
が挙げられ、その目付は３０〜２００ｇ／ｍ2 が好まし
い。エレクトレット繊維の製法は特に限定しないがメル
トブロー法、スパンボンド法により作られるものが好ま
しい例である。また、その繊維充填率は０．０７〜０．
２０cc／ccが好ましい。本発明において、繊維充填率は
圧縮弾性試験機（東洋精器社製）にて試料にかかる荷重
が１．２５ｇ／cm2 のもとで試料の厚みを測定し、下記
数式３で求められる値である。
集合形態としては、不織布、織布およびその複合体など
が挙げられ、その目付は３０〜２００ｇ／ｍ2 が好まし
い。エレクトレット繊維の製法は特に限定しないがメル
トブロー法、スパンボンド法により作られるものが好ま
しい例である。また、その繊維充填率は０．０７〜０．
２０cc／ccが好ましい。本発明において、繊維充填率は
圧縮弾性試験機（東洋精器社製）にて試料にかかる荷重
が１．２５ｇ／cm2 のもとで試料の厚みを測定し、下記
数式３で求められる値である。
【００１５】
【数式３】
【００１６】上記数式３においてＷ、ρ、Ｔはそれぞ
れ、 Ｗ：試料の目付（ｇ／ｍ2 ） ρ：試料を構成する繊維材料の密度（ｇ／cc） Ｔ：試料の厚さ（cm） である。
れ、 Ｗ：試料の目付（ｇ／ｍ2 ） ρ：試料を構成する繊維材料の密度（ｇ／cc） Ｔ：試料の厚さ（cm） である。
【００１７】本発明でエレクトレット繊維の幾何平均繊
維直径が１〜４μｍ、その幾何標準偏差が１．５〜３．
０、エレクトレット繊維の集合形態として繊維充填率が
０．０７〜０．２０cc／ccとした理由は、幾何平均繊維
直径が１μｍ以下、幾何標準偏差が１．５以下、繊維充
填率が０．２０cc／cc以上になると、繊維間距離が短く
なりまたはフィルターの圧力損失が高くなり海塩粒子が
飛散し易くなるからである。また、幾何平均繊維直径が
４μｍ以上、その幾何標準偏差が３．０以上、繊維充填
率が０．０７cc／cc以下になると、エアフィルターとし
ての粒子除去性能が低下しする。
維直径が１〜４μｍ、その幾何標準偏差が１．５〜３．
０、エレクトレット繊維の集合形態として繊維充填率が
０．０７〜０．２０cc／ccとした理由は、幾何平均繊維
直径が１μｍ以下、幾何標準偏差が１．５以下、繊維充
填率が０．２０cc／cc以上になると、繊維間距離が短く
なりまたはフィルターの圧力損失が高くなり海塩粒子が
飛散し易くなるからである。また、幾何平均繊維直径が
４μｍ以上、その幾何標準偏差が３．０以上、繊維充填
率が０．０７cc／cc以下になると、エアフィルターとし
ての粒子除去性能が低下しする。
【００１８】本発明で用いられるエレクトレット繊維の
エレクトレット化法としては、コロナ荷電法、電界荷電
法、電子線照射法が挙げられ、その際繊維は繊維単独で
も良く、不織布、織布およびその複合体であっても良
く、エレクトレット化が充分行えるものであれば特に問
題はない。
エレクトレット化法としては、コロナ荷電法、電界荷電
法、電子線照射法が挙げられ、その際繊維は繊維単独で
も良く、不織布、織布およびその複合体であっても良
く、エレクトレット化が充分行えるものであれば特に問
題はない。
【００１９】本発明で用いられる海塩粒子除去用フィル
ターは、被処理流体が海塩粒子だけでなく前記酸性ガス
を含有する場合吸着フィルターと組合せて用いることが
有効である。該吸着フィルターとしては、粒状活性炭、
活性炭素繊維、ゼオライト粉末、活性アルミナ粒子を混
抄したペーパーや該ペーパーをハニカム形状に加工した
もの、活性炭素繊維のみからなるペーパーや該ペーパー
をハニカム形状等に加工したもの、さらには粒状活性
炭、活性炭素繊維、ゼオライト粉末、活性アルミナ粒子
をウレタンフォーム、スポンジ等に含浸、添着したもの
などが挙げられるが、特にここに述べられたものに限定
されず、ペーパー状、ハニカム形状、スポンジ状等の形
態で吸着性能を有すれば、本発明に係わる吸着フィルタ
ーとして用いることができる。
ターは、被処理流体が海塩粒子だけでなく前記酸性ガス
を含有する場合吸着フィルターと組合せて用いることが
有効である。該吸着フィルターとしては、粒状活性炭、
活性炭素繊維、ゼオライト粉末、活性アルミナ粒子を混
抄したペーパーや該ペーパーをハニカム形状に加工した
もの、活性炭素繊維のみからなるペーパーや該ペーパー
をハニカム形状等に加工したもの、さらには粒状活性
炭、活性炭素繊維、ゼオライト粉末、活性アルミナ粒子
をウレタンフォーム、スポンジ等に含浸、添着したもの
などが挙げられるが、特にここに述べられたものに限定
されず、ペーパー状、ハニカム形状、スポンジ状等の形
態で吸着性能を有すれば、本発明に係わる吸着フィルタ
ーとして用いることができる。
【００２０】本発明でポリオレフィン系エレクトレット
繊維からなるエアフィルターと吸着フィルターを組み合
わせたエアフィルターの形態を図を用いて説明する。図
１は吸着フィルター２をポリオレフィン系エレクトレッ
ト繊維からなるエアフィルター１で挟み込んだフィルタ
ーの断面図であり、図２はポリオレフィン系エレクトレ
ット繊維からなるエアフィルター１と吸着フィルター２
を積層したものの断面図である。また、図３はポリオレ
フィン系エレクトレット繊維からなるエアフィルター１
の繊維間に吸着能を有する繊維あるいは粒子３を混合し
たものの断面図である。このように、ポリオレフィン系
エレクトレット繊維からなるエアフィルターと吸着フィ
ルターを組み合わせることにより本発明の海塩粒子除去
ＨＥＰＡフィルターは粒子除去性能に加えて、有害ガス
状成分を除去する能力を有するエアフィルターとなるの
である。
繊維からなるエアフィルターと吸着フィルターを組み合
わせたエアフィルターの形態を図を用いて説明する。図
１は吸着フィルター２をポリオレフィン系エレクトレッ
ト繊維からなるエアフィルター１で挟み込んだフィルタ
ーの断面図であり、図２はポリオレフィン系エレクトレ
ット繊維からなるエアフィルター１と吸着フィルター２
を積層したものの断面図である。また、図３はポリオレ
フィン系エレクトレット繊維からなるエアフィルター１
の繊維間に吸着能を有する繊維あるいは粒子３を混合し
たものの断面図である。このように、ポリオレフィン系
エレクトレット繊維からなるエアフィルターと吸着フィ
ルターを組み合わせることにより本発明の海塩粒子除去
ＨＥＰＡフィルターは粒子除去性能に加えて、有害ガス
状成分を除去する能力を有するエアフィルターとなるの
である。
【００２１】本発明のエアフィルターの実際の使用例を
図で説明する。図４は、図１〜図３で例示したエアフィ
ルターをひだ折りしエアフィルターユニットとして使用
した例である。また、図５に例示したようにひだ折りさ
れた海塩粒子除去フィルターのスペーサーとしてハニカ
ム形状、ウレタンフォーム、あるいはスポンジ形状の吸
着フィルターを用いることもできる。このように本発明
のエアフィルターをユニット化することにより、海塩粒
子除去性に優れ且つ海塩粒子が潮解しても塩分を含んだ
ミストのフィルター後方への飛散やフィルターの破損と
いった問題点の無い、さらに有害ガス状成分も除去しう
る小型・省エネルギー型のフィルターユニットが得られ
るのである。
図で説明する。図４は、図１〜図３で例示したエアフィ
ルターをひだ折りしエアフィルターユニットとして使用
した例である。また、図５に例示したようにひだ折りさ
れた海塩粒子除去フィルターのスペーサーとしてハニカ
ム形状、ウレタンフォーム、あるいはスポンジ形状の吸
着フィルターを用いることもできる。このように本発明
のエアフィルターをユニット化することにより、海塩粒
子除去性に優れ且つ海塩粒子が潮解しても塩分を含んだ
ミストのフィルター後方への飛散やフィルターの破損と
いった問題点の無い、さらに有害ガス状成分も除去しう
る小型・省エネルギー型のフィルターユニットが得られ
るのである。
【００２２】
【実施例】以下、実施例をもって詳しく本発明を述べる
がこれに限定されるものではない。
がこれに限定されるものではない。
【００２３】実施例１ ポリプロピレンエレクトレット繊維よりなる幾何平均繊
維直径２．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
０、繊維充填率０．１２、目付６０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率を粒
子径０．３μｍのＤＯＰ粒子を用い、図６に示すフィル
ター除去効率測定器により測定した。エアフィルター１
６はダクト８内に設置され、流量計１３をフィルター通
風速度が５．３cm／秒になるようバルブ１４でコントロ
ールし、エアフィルター上流、下流のＤＯＰ粒子個数を
粒子計測器１２（ＲＩＯＮ社製 ＫＣ−１４）で計測し
た。除去効率は数式４を用いて算出した。
維直径２．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
０、繊維充填率０．１２、目付６０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率を粒
子径０．３μｍのＤＯＰ粒子を用い、図６に示すフィル
ター除去効率測定器により測定した。エアフィルター１
６はダクト８内に設置され、流量計１３をフィルター通
風速度が５．３cm／秒になるようバルブ１４でコントロ
ールし、エアフィルター上流、下流のＤＯＰ粒子個数を
粒子計測器１２（ＲＩＯＮ社製 ＫＣ−１４）で計測し
た。除去効率は数式４を用いて算出した。
【００２４】
【数式４】
【００２５】また、該フィルターの海塩粒子除去性を見
るため該フィルターにボールミルで粉砕後目開き３２μ
ｍの篩を通した食塩粒子を、２０℃×３０ＲＨ％の雰囲
気下でフィルター単位面積当たり０．０１ｇ／cm2 捕集
させた後、図６に示すフィルター除去効率測定器に該フ
ィルターを設置し２０℃×９０ＲＨ％の加湿空気を供給
し圧力損失の変化をフィルター通風速度１０cm／秒で計
測した。さらに、圧力損失が平衡に達した後の該フィル
ター単位面積当たり食塩粒子の残量から食塩粒子飛散率
を数式５で求めた。
るため該フィルターにボールミルで粉砕後目開き３２μ
ｍの篩を通した食塩粒子を、２０℃×３０ＲＨ％の雰囲
気下でフィルター単位面積当たり０．０１ｇ／cm2 捕集
させた後、図６に示すフィルター除去効率測定器に該フ
ィルターを設置し２０℃×９０ＲＨ％の加湿空気を供給
し圧力損失の変化をフィルター通風速度１０cm／秒で計
測した。さらに、圧力損失が平衡に達した後の該フィル
ター単位面積当たり食塩粒子の残量から食塩粒子飛散率
を数式５で求めた。
【００２６】
【数式５】
【００２７】実施例２ ポリプロピレンエレクトレット繊維よりなる幾何平均繊
維直径１．５μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
７、繊維充填率０．０９、目付４０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率およ
び食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失
の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求め
た。
維直径１．５μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
７、繊維充填率０．０９、目付４０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率およ
び食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失
の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求め
た。
【００２８】実施例３ ポリ−４−メチルペンテンエレクトレット繊維よりなる
幾何平均繊維直径３．５μｍ、平均繊維直径の幾何標準
偏差１．６、繊維充填率０．１８、目付１８０ｇ／ｍ2
のエアフィルターにおいて、該エアフィルターの粒子除
去効率および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時
の圧力損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様に
して求めた。
幾何平均繊維直径３．５μｍ、平均繊維直径の幾何標準
偏差１．６、繊維充填率０．１８、目付１８０ｇ／ｍ2
のエアフィルターにおいて、該エアフィルターの粒子除
去効率および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時
の圧力損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様に
して求めた。
【００２９】比較例１ ガラス繊維よりなる幾何平均繊維直径０．６μｍ、平均
繊維直径の幾何標準偏差３．５、繊維充填率０．０６、
目付７０ｇ／ｍ2 のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターにお
いて、該エアフィルターの粒子除去効率および食塩粒子
を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失の変化と食
塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求めた。
繊維直径の幾何標準偏差３．５、繊維充填率０．０６、
目付７０ｇ／ｍ2 のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターにお
いて、該エアフィルターの粒子除去効率および食塩粒子
を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失の変化と食
塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求めた。
【００３０】比較例２ ガラス繊維よりなる幾何平均繊維直径０．８μｍ、平均
繊維直径の幾何標準偏差３．０、繊維充填率０．０９、
目付８０ｇ／ｍ2 のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターにお
いて、該エアフィルターの粒子除去効率および食塩粒子
を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失の変化と食
塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求めた。
繊維直径の幾何標準偏差３．０、繊維充填率０．０９、
目付８０ｇ／ｍ2 のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターにお
いて、該エアフィルターの粒子除去効率および食塩粒子
を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失の変化と食
塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求めた。
【００３１】比較例３ ポリプロピレンエレクトレット繊維よりなる幾何平均繊
維直径２．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差１．
２、繊維充填率０．１２、目付６０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率およ
び食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失
の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求め
た。
維直径２．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差１．
２、繊維充填率０．１２、目付６０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率およ
び食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失
の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求め
た。
【００３２】比較例４ ポリプロピレンエレクトレット繊維よりなる幾何平均繊
維直径１．５μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
７、繊維充填率０．２５、目付４０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率およ
び食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失
の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求め
た。
維直径１．５μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
７、繊維充填率０．２５、目付４０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率およ
び食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力損失
の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求め
た。
【００３３】比較例５ ポリ−４−メチルペンテンエレクトレット繊維よりなる
幾何平均繊維直径５．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準
偏差１．６、繊維充填率０．１８、目付２００ｇ／ｍ2
のエアフィルターにおいて、該エアフィルターの粒子除
去効率および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時
の圧力損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様に
して求めた。
幾何平均繊維直径５．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準
偏差１．６、繊維充填率０．１８、目付２００ｇ／ｍ2
のエアフィルターにおいて、該エアフィルターの粒子除
去効率および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時
の圧力損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様に
して求めた。
【００３４】比較例６ ガラス繊維より成り、空気流入側の繊維の幾何平均繊維
直径２０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差１．２、繊
維充填率０．０３、目付６０ｇ／ｍ2 で、空気流出側の
繊維の幾何平均繊維直径５μｍ、幾何標準偏差１．３、
繊維充填率０．０９、目付６０ｇ／ｍ2 の繊維充填率が
粗密の２層構造を有する市販の海塩粒子除去専用中性能
フィルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率
および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力
損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求
めた。
直径２０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差１．２、繊
維充填率０．０３、目付６０ｇ／ｍ2 で、空気流出側の
繊維の幾何平均繊維直径５μｍ、幾何標準偏差１．３、
繊維充填率０．０９、目付６０ｇ／ｍ2 の繊維充填率が
粗密の２層構造を有する市販の海塩粒子除去専用中性能
フィルターにおいて、該エアフィルターの粒子除去効率
および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供給時の圧力
損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同様にして求
めた。
【００３５】比較例７ 空気流入側に撥水性の合成繊維を配し、その幾何平均繊
維直径が２μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．０、
繊維充填率０．１５、目付５０ｇ／ｍ2 で、空気流出側
に吸湿性の繊維を配しその繊維の幾何平均繊維直径１０
μｍ、幾何標準偏差１．２、繊維充填率０．０４、目付
１００ｇ／ｍ2 の２層構造を有する市販の海塩粒子除去
専用中性能フィルターにおいて、該エアフィルターの粒
子除去効率および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供
給時の圧力損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同
様にして求めた。
維直径が２μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．０、
繊維充填率０．１５、目付５０ｇ／ｍ2 で、空気流出側
に吸湿性の繊維を配しその繊維の幾何平均繊維直径１０
μｍ、幾何標準偏差１．２、繊維充填率０．０４、目付
１００ｇ／ｍ2 の２層構造を有する市販の海塩粒子除去
専用中性能フィルターにおいて、該エアフィルターの粒
子除去効率および食塩粒子を捕集させた後の加湿空気供
給時の圧力損失の変化と食塩粒子飛散率を実施例１と同
様にして求めた。
【００３６】実施例１〜３、比較例１〜７の粒子除去効
率および食塩粒子飛散率を第１表に、加湿空気供給時の
圧力損失の変化を図７に示しが、本発明による海塩粒子
除去用フィルターは加湿空気を供給しても圧力損失の変
化が微小で優れた海塩粒子除去性能を有し且つＨＥＰＡ
フィルターとしての除去性能を有しており、本発明の効
果は明らかであった。
率および食塩粒子飛散率を第１表に、加湿空気供給時の
圧力損失の変化を図７に示しが、本発明による海塩粒子
除去用フィルターは加湿空気を供給しても圧力損失の変
化が微小で優れた海塩粒子除去性能を有し且つＨＥＰＡ
フィルターとしての除去性能を有しており、本発明の効
果は明らかであった。
【００３７】実施例４ ポリプロピレンエレクトレット繊維よりなる幾何平均繊
維直径２．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
０、繊維充填率０．１２、目付６０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルター２枚と、活性炭素繊維よりなる目付３０ｇ／ｍ2
の吸着フィルターを第１図に例示したフィルター構成で
積層した。該積層フィルターを１３５mmピッチでヒダ折
り加工し、図４に例示したエアフィルターユニットを作
成した。使用した積層フィルターの面積は１０ｍ2 、エ
アフィルターユニットの外寸は高さ６１０mm、幅６１０
mm、奥行き１５０mmであった。該エアフィルターユニッ
トの粒子径０．３μｍのＤＯＰ粒子の粒子除去率と１ｐ
ｐｍの塩酸ガスのガス除去率およびユニット圧力損失を
風量１７ｍ3 ／分で求めた。該エアフィルターユニット
の粒子除去率は９９．９９９８％、ガス除去率は９９．
９９％、圧力損失は１３mmAqであった。
維直径２．０μｍ、平均繊維直径の幾何標準偏差２．
０、繊維充填率０．１２、目付６０ｇ／ｍ2のエアフィ
ルター２枚と、活性炭素繊維よりなる目付３０ｇ／ｍ2
の吸着フィルターを第１図に例示したフィルター構成で
積層した。該積層フィルターを１３５mmピッチでヒダ折
り加工し、図４に例示したエアフィルターユニットを作
成した。使用した積層フィルターの面積は１０ｍ2 、エ
アフィルターユニットの外寸は高さ６１０mm、幅６１０
mm、奥行き１５０mmであった。該エアフィルターユニッ
トの粒子径０．３μｍのＤＯＰ粒子の粒子除去率と１ｐ
ｐｍの塩酸ガスのガス除去率およびユニット圧力損失を
風量１７ｍ3 ／分で求めた。該エアフィルターユニット
の粒子除去率は９９．９９９８％、ガス除去率は９９．
９９％、圧力損失は１３mmAqであった。
【００３８】比較例８ ガラス繊維よりなる幾何平均繊維直径０．６μｍ、平均
繊維直径の幾何標準偏差２．０、繊維充填率０．０６、
目付７０ｇ／ｍ2 のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターで実
施例４と同様のエアフィルターユニットを作成した。該
エアフィルターユニットの粒子除去率、ガス除去率、ユ
ニット圧力損失を実施例４と同じ条件で求めた。該エア
フィルターユニットの粒子除去率は９９．９９５％、ガ
ス除去率は０％、圧力損失は２４mmAqであった。
繊維直径の幾何標準偏差２．０、繊維充填率０．０６、
目付７０ｇ／ｍ2 のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターで実
施例４と同様のエアフィルターユニットを作成した。該
エアフィルターユニットの粒子除去率、ガス除去率、ユ
ニット圧力損失を実施例４と同じ条件で求めた。該エア
フィルターユニットの粒子除去率は９９．９９５％、ガ
ス除去率は０％、圧力損失は２４mmAqであった。
【００３９】実施例４と比較例８の結果より、本発明に
よる海塩粒子除去用エアフィルターユニットは、高い除
去率を持ち且つ低圧力損失、高粒子除去率のエアフィル
ターユニットであることがわかる。実施例１〜３及び比
較例１〜７の結果を表１及び図７に示す。
よる海塩粒子除去用エアフィルターユニットは、高い除
去率を持ち且つ低圧力損失、高粒子除去率のエアフィル
ターユニットであることがわかる。実施例１〜３及び比
較例１〜７の結果を表１及び図７に示す。
【表１】
【００４０】
【発明の効果】本発明に係わる海塩粒子除去用フィルタ
ーを用いると、従来のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターで
得ることのできなかった高い海塩粒子除去性能を有し、
また従来の海塩粒子除去専用中性能フィルターで得るこ
とのできなかったサブミクロン微小粒子除去性能を示し
且つ吸着フィルターと組み合わせることによって優れた
有害ガス状成分の除去性能を有するまったく新規な海塩
粒子除去用ＨＥＰＡフィルターを得ることができる。
ーを用いると、従来のガラス繊維ＨＥＰＡフィルターで
得ることのできなかった高い海塩粒子除去性能を有し、
また従来の海塩粒子除去専用中性能フィルターで得るこ
とのできなかったサブミクロン微小粒子除去性能を示し
且つ吸着フィルターと組み合わせることによって優れた
有害ガス状成分の除去性能を有するまったく新規な海塩
粒子除去用ＨＥＰＡフィルターを得ることができる。
【図１】吸着フィルターをポリオレフィン系エレクトレ
ット繊維からなるエアフィルターで挟み込んだ複合エア
フィルターの断面図である。
ット繊維からなるエアフィルターで挟み込んだ複合エア
フィルターの断面図である。
【図２】ポリオレフィン系エレクトレット繊維からなる
エアフィルターと吸着フィルターを積層した複合エアフ
ィルターの断面図である。
エアフィルターと吸着フィルターを積層した複合エアフ
ィルターの断面図である。
【図３】ポリオレフィン系エレクトレット繊維からなる
エアフィルターの繊維間に吸着能を有する繊維あるいは
粒子を混合した複合エアフィルターの断面図である。
エアフィルターの繊維間に吸着能を有する繊維あるいは
粒子を混合した複合エアフィルターの断面図である。
【図４】本発明のエアフィルターを用いたエアフィルタ
ーユニットの概略図である。
ーユニットの概略図である。
【図５】本発明のエアフィルター及びスペーサーとして
吸着フィルターを用いた複合エアフィルターユニットの
概略図である。
吸着フィルターを用いた複合エアフィルターユニットの
概略図である。
【図６】本発明のフィルターの性能を評価するためのフ
ィルター除去効率測定器のフローシート図である。
ィルター除去効率測定器のフローシート図である。
【図７】本発明の実施例１〜３、比較例１〜７のフィル
ターの使用による圧力損失の変化を示す図である。
ターの使用による圧力損失の変化を示す図である。
１ エレクトレット化された疎水性合成繊維からなるフ
ィルター ２ 吸着フィルター ３ 吸着能を有する繊維あるいは粒子 ４ ユニットの外枠 ５ ヒダ折りされたポリオレフィン系エレクトレット繊
維からなるフィルタと吸着フィルターからなるフィルタ
ー ６ ヒダ折りされたポリオレフィン系エレクトレット繊
維からなるフィルタ７ 吸着フィルター ８ ダクト ９ 上流側サンプリング管 １０ 下流側サンプリング管 １１ 差圧計 １２ 粒子計測器 １３ 流量計 １４ バルブ １５ ポンプ １６ エアフィルター １７ ＤＯＰ粒子発生器
ィルター ２ 吸着フィルター ３ 吸着能を有する繊維あるいは粒子 ４ ユニットの外枠 ５ ヒダ折りされたポリオレフィン系エレクトレット繊
維からなるフィルタと吸着フィルターからなるフィルタ
ー ６ ヒダ折りされたポリオレフィン系エレクトレット繊
維からなるフィルタ７ 吸着フィルター ８ ダクト ９ 上流側サンプリング管 １０ 下流側サンプリング管 １１ 差圧計 １２ 粒子計測器 １３ 流量計 １４ バルブ １５ ポンプ １６ エアフィルター １７ ＤＯＰ粒子発生器
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−211027（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−267538（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−107820（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−74423（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−86617（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−95416（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−45119（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 39/00 - 39/20
Claims (2)
- 【請求項１】 エレクトレット化された疎水性合成繊維
からなるエアフィルターにおいて、幾何平均繊維直径が
１〜４μｍ、該平均繊維直径の幾何標準偏差が１．５〜
３．０、繊維充填率が０．０７〜０．２０cc／ccである
ことを特徴とする海塩粒子除去用エレクトレットエアフ
ィルター。 - 【請求項２】 請求項１に記載のエレクトレット化繊維
がオレフィン系繊維である海塩粒子除去用エレクトレッ
トエアフィルター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15760491A JP3164159B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 海塩粒子除去用エレクトレットエアフィルター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15760491A JP3164159B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 海塩粒子除去用エレクトレットエアフィルター |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0515716A JPH0515716A (ja) | 1993-01-26 |
| JP3164159B2 true JP3164159B2 (ja) | 2001-05-08 |
Family
ID=15653359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15760491A Expired - Fee Related JP3164159B2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | 海塩粒子除去用エレクトレットエアフィルター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3164159B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD1027682S1 (en) | 2021-09-30 | 2024-05-21 | Carrier Corporation | Refrigerant detection sensor housing |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6123752A (en) * | 1998-09-03 | 2000-09-26 | 3M Innovative Properties Company | High efficiency synthetic filter medium |
| IL132945A0 (en) * | 1999-06-07 | 2001-03-19 | Nicast Ltd | Filtering material and device and method of its manufacture |
| JP2002001023A (ja) * | 2000-06-19 | 2002-01-08 | Toyobo Co Ltd | 工場空調用フィルターシステム及び工場空調方法 |
| JP4932194B2 (ja) * | 2005-08-26 | 2012-05-16 | 日本バイリーン株式会社 | エアフィルタ用濾材及びエアフィルタユニット |
| RU2537617C2 (ru) | 2009-06-12 | 2015-01-10 | Кларкор Эр Филтрейшн Продактс, Инк. | Система воздушного охлаждения со встроенным безмембранным фильтром и/или неразъемной рамкой для фильтра |
| JP6673230B2 (ja) * | 2017-01-12 | 2020-03-25 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルタ濾材 |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP15760491A patent/JP3164159B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USD1027682S1 (en) | 2021-09-30 | 2024-05-21 | Carrier Corporation | Refrigerant detection sensor housing |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0515716A (ja) | 1993-01-26 |
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