KR100693916B1 - 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 관한 것으로써, 가스 불순물 제거수단으로서 액체입자를 발생시키는 액 분사 노즐과 불순물 제거 수단인 걸름판을 고정하기 위한 절결구가 병렬 형성된 다수의 고정판과, 이 절결구에 수직으로 절첩된 걸름판을 삽입하여 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 가스 불순물 제거장치에 있어서, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체는 격자형 수납부를 갖는 격벽으로 이루어진 본체의 각 수납부에 각각 맞춤 수납되고, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에는 흡습형 섬유판재가 부착되어 상기 수납부의 격벽측과 긴밀하게 접촉되도록 구성되어, 가스 불순물 제거 장치의 제거 수단인 걸름판으로 이루어진 박스구조체를 외기 공조기(챔버)에 삽입하기 위한 수단으로서의 격벽의 격자형 수납부와의 긴밀한 맞춤 결합을 통해 수납부의 격벽과 박스구조체의 측면 사이의 틈새를 타고 유동하는 물의 비산을 극력 규제할 수 있도록 하였다.

Description

가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조{Enclosure for gas elliminator}

도 1은 종래의 가스 불순물 제거 장치를 편입한 외기 공조기의 구성을 도시한 사시도,

도 2는 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치 본체의 분해사시도,

도 3은 도 2에서 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치의 본체에 수납되는 박스구조체의 삽입 구조를 도시한 상세 사시도,

도 4는 도 2의 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조의 일부 단면도,

도 5는 도 3에 예시된 박스구조체(10)의 평면 구조도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

3 : 외기 공조기 10 : 박스구조체

11 : 파형 절결구 13 : 액 분사 노즐

15 : 걸름판 17 : 고정판

19 : 고정대 20 : 흡습형 섬유판재

100 : 본체 101 : 수납부

111 : 기립판재 113 : 전방받침선반

115 : 후방받침선반

본 발명은 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 관한 것으로, 특히 가스 불순물 제거수단으로서 액체입자를 발생시키는 액 분사 노즐과 불순물 제거 수단인 걸름판으로 이루어진 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에 흡습형 섬유판재를 부착하여 격벽 구조에 기인하는 장방형 수납부와 채널 박스구조체 사이의 틈을 통해 물이 유동하여 하류로 비산되는 것을 극력 규제하기 위한 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 관련한 것이다.

일반적으로 반도체나 액정 등의 전자 디바이스 제품은 공기 온,습도 및 실내 압력을 일정하게 하고, 동시에 공기중의 부유 입자가, 한정된 청정도레벨 (일반적으로는 미국연방 규격 209D)로 관리된 환경, 소위 클린룸(CR)에서 제조되고 있는 것은 이미 알려져 있다.

그리고, 최근 공기중에 ppb 레벨로 포함되는 NH3, SO2, SO4, NOx, Cl, VOC 또는, F 가스(이하, 가용성 가스 불순물이라 한다)를 서브 ppb 레벨까지 저하시켜 높은 청정도의 환경에 대해서도 엄격한 관리가 요구되게 되었다.

따라서 , 가용성 가스 불순물의 제거는 외기 공조기의 가습 및 온도 제어, 혹은 클린룸 내 공기 순환계에서의 공기를 순환시키면서 필요한 처리를 수행하는 시스템의 온도 제어(냉각)와는 독립된 수단, 예를 들면 케미컬필터에 의해 이루어지고 있었다.

상기와 같은 공기중에 포함된 가스 불순물의 제거 수단으로서는, 종래로부 터 케미컬필터 처리에 의한 제거 방법(건식 제거방법)과 ，액 접촉에 의한 제거 방법이 알려져 있다. 전자의 건식 제거방법은 공기중의 가스 불순물을 화학 결합에 의해 제거하는 것으로 가스 불순물의 종류에 따라 소재의 종류나 처리 방법 및 화학 물질의 종류가 다르다.

한편, 후자의 액 접촉에 의한 제거는 액적의 분무나 기공율이 높은 표면적이 큰 충전제에 액상 물자를 공급한 것에 의해 가스 불순물을 제거하는 방식이다.

그리고, 상기와 같은 액접촉에 의한 가스 불순물 제거 장치는 다각적인 형태의 것이 있지만 그중에서도 엘리미네이터(eliminator)라고 불리는 복수개의 걸름판을 소정의 간격차로 고정시키고 상기 걸름판들 틈새로 기중에 불순물을 함유한 가스를 수평 방향으로 유통시키는 구조로 형성되어 있었다. 상기 가스는 걸름판에 구성된 판상을 따라 좌우로 굽이돌아 유동되고 상기 가스 중에 함유된 불순물은 중량이 가스보다 무겁기 때문에 관성에 영향을 입어 상기 걸름판에 충돌하여 상기 판상에 형성된 미세한 물방울에 흡수되어 종단으로 제거된다.

또, 상기 가스 불순물 제거 장치는 상기 걸름판을 다중 배열하여 일방향으로 공기 유통이 가능하게 박스구조체를 마련하여, 이 박스구조체를 다수의 격자형으로 배열된 격벽 에 의해 형성되는 수납부에 맞춤 삽입하여 다중 배치하는 구조로 되어 있었다.

다만, 이와 같은 구성에 의해, 실제 박스구조체의 삽입방식에 따라 불필요한 틈새가 발생하고, 이로 인해 노즐에 의해 분사되는 물이 격벽을 타고 하류로 흘러들어가는 사태가 발생하는 등의 단점을 내포하고 있었다.

본 발명은 상기의 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 가스 불순물 제거 장치의 제거 수단인 걸름판(15)으로 이루어진 박스구조체를 외기 공조기(3, 이하 챔버로 통칭함) 에 삽입하기 위한 수단으로서의 격벽의 격자형 수납부와의 긴밀한 맞춤 결합을 통해 수납부의 격벽과 박스구조체의 측면 사이의 틈새를 타고 유동하는 물의 비산을 극력 규제하는 데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은,

가스 불순물 제거수단으로서 액체입자를 발생시키는 액 분사 노즐과 불순물 제거 수단인 걸름판을 고정하기 위한 절결구가 병렬 형성된 다수의 고정판과, 이 절결구에 수직으로 절첩된 걸름판을 삽입하여 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 가스 불순물 제거장치에 있어서,

상기 공기 통과형 채널 박스구조체는 격자형 수납부를 갖는 격벽으로 이루어진 본체의 각 수납부에 각각 맞춤 수납되고,

상기 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에는 흡습형 섬유판재가 부착되어 상기 수납부의 격벽측과 긴밀하게 접촉되도록 된 것을 특징으로 한다.

이하 도면을 참조한 상세한 설명으로 본 발명의 구체적인 특징 및 이점은 더욱 명확해 질 것이다.

첨부 도면, 도 2 내지 도 5는 본 발명에 의한 가스 불순물 제거장치의 수 비 산방지구조의 평면도와 설치 상태를 도시한 개략 구조도이다.

본 발명은 상기 도면에서 도시하는 한 일실시 형태와 같이, 흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판(15)을 파도 형태로 고정하기 위한 절결구(11)가 병렬 배치된 플레이트(17 : 이하 고정판이라 통칭한다)와 이 절결구(11)에 수직으로 절첩된 상기 걸름판(15)을 삽입하여 상술한 챔버(3) 내부에 채널 형태로 구성되어지는데 그 자세한 설치예는 다음과 같다.

먼저, 본 발명은 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이 상기 가스 불순물 제거 장치는 상기 액 분사 노즐(13)과 박스형태의 틀로 짜여진 불순물 제거 수단으로 대분되는데 상기 액 분사 노즐(13)은 액적이 상기 걸름판(15, 즉 박스구조체(10)를 지향하는 방향)에 도달 가능하도록 상기 걸름판(15) 전부에 소정의 간격을 두고 설치되며 불순물을 함유한 가스는 도시한 바와 같이 F방향에서 수평하게 파상 유통되는 구조로 되어 있다.

또한, 상기 걸름판(15)은 상술한 실시 형태와 같이, 흡수성의 소재를 판상에 성형한 흡수성의 판을 적절히 조합시키고 배치한 부직포 재질의 필터인 것으로 하며, 상기 걸름판(15)의 실시형태는 가스 불순물의 종류나 필요한 필터 효율에 따라 다양화가 가능하며 일례로 파상의 판자를 여러 단수 겹쳐 연결하거나 파상의 각도를 여러 형태로 변형 실시 가능토록 한다.

그리고, 도 3에 도시된 바와 같이 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조는 상기 걸름판(15)을 고정대(19)를 매개로 하여 박스형태로 고정하기 위해 평면 상에 파형 절결구(11)가 다수개 병렬 형성된 플레이트형태의 고정판(17)과, 상기 고정판(17)의 절결구(11)에 수직 방향으로 상기 걸름판(15)을 삽입하여 구획 형성하여 구성된 박스구조체(10)와 연합되어 있다.

또한, 상기 가스 불순물 제거 장치의 걸름판(15)과 고정판(17)의 구성체를 수납부(101)에 끼우는 방식은 레일 방식 또는 요홈 결합 방식 등을 응용하여 끼우고 그 배열은 규칙적 또는 비규칙적으로 간헐 배열하여도 무방하다.

또, 도 3를 참조하여 설명하면, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)는 격자형 수납부(111)를 갖도록 다수의 격벽(110)으로 이루어진 본체(100)의 각 수납부(111)에 각각 맞춤 수납되어 있다.

또한, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 양측면에는 흡습형 섬유판재(20)가 부착되어 상기 수납부(111)의 내측격벽면과 긴밀하게 접촉되도록 구성되어 있다.

또, 상기 흡습형 섬유판재(20)는 흡습형 부직포로서, 그의 양단이 절곡되어 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 접속구(17a)에 결합되어 있다.

또한, 상기 액 분사 노즐(13)은 상기 본체(100)의 상부에 횡배열되고, 이 노즐(13)의 후부는 수비산규제부재(30)에 의해 가로막힌 구성으로 되어 있다.

또, 상기 본체(100)의 격벽(110)은 병렬 배열형 기립판재(111)와, 상기 기립판재(111)와 직교 상태로 병렬 배열된 전후방 받침선반(113, 115)으로 이루어져 있다.

또한, 상기 후방 받침선반(115)의 후부에는 물받이턱(115a)이 상향 절곡 형성되어 있다.

또, 상기 본체(100)의 격벽(110)의 측단부면에는 격자형 내측벽면을 타고 유동하는 물의 비산을 규제하기 위한 날개부 쌍을 갖는 웨더스트립(40)이 결속되어 있다.

미설명 부호(H)는 노즐 홀더이고, 부호(T)는 노즐(13)로부터의 분사수의 집수 효율을 증대하기 위한 연장 돌출부이다.

또, 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치는 상기와 같은 공기중에 함유된 가스 불순물의 제거의 일환으로서, 상술한 바와 같은 액 접촉에 의한 제거방식으로 액적의 분무나 기공율이 높은 표면적이 큰 충전제에 액상 물자를 공급한 것에 의해 가스 불순물을 흡수처리하여 제거하는 데 사용된다.

또한, 상기 액접촉에 의한 가스 불순물 제거 장치는 복수개의 걸름판(15)을 소정의 간격을 두고 거듭 기대어 세워 산형 공구 고정판(17)에 의해 고정되고 불순물을 함유한 가스는 도면에 도시한 바와 같이 F방향에서 상기 가스 불순물 제거 장치의 전후부를 통해 수평하게 유통하게 된다.

또한, 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치의 격벽은 상기 기립판재와, 상기 걸름판(15)을 필터고정대(20)에 고정하여 마련된 박스구조체(10)의 전후방의 하측면을 지지하는 전방 및 후방 받침선반(13, 115)이 삽입되도록 다수의 슬릿(111a)을 구비하고 있다.

이로써, 상기 박스구조체(10)의 측면을 타고 유동하는 물의 하류 비산을 저지할 수 있음은 물론이고, 내부 송풍력에 의거하여 후방 받침선반(115)의 하류로 물이 비산되는 것 또한 저지될 수 있게 되는 것이다.

또한, 상기 흡습형 섬유판재는 흡습형 부직포로서, 그의 양단이 절곡되어 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 절결구(11)에 일정 거리를 두고 병렬 배열되어 있어, 상기와 같이 물이 하류로 비산되는 것을 방지함과 더불어, 하방향으로 낙하하는 것을 조력할 수 있게 되는 것이다.

그러므로 본 발명에 의한 가스불순물 제거 장치는 걸름판(15)을 박스형태로 고정시 킬 때, 절곡삽입된 흡습형 섬유판재에 의해 박스구조체(10)의 외측이 수납부(111)의 전단에 걸려 벗겨지는 등의 시공하자가 발생할 우려가 적어지고 조립절차의 간소화로 인한 비용절감효과까지 도모할 수 있게 되는 효과를 창출할 수 있게 된다.

이상의 명백한 설명과 같이 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조의 제거 수단인 박스구조체의 효율적인 삽입과 긴밀한 접촉에 의해 물이 비산되는 것을 극력 규제할 수 있음과 동시에 박스구조체와 흡습형 섬유판재의 일체화를 통해 시공상 설치효율을 증대시킬 수 있는 등의 매우 뛰어난 효과가 있는 것이다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

Claims (5)

1. 가스 불순물 제거수단으로서 액체입자를 발생시키는 액 분사 노즐과 불순물 제거 수단인 걸름판을 고정하기 위한 절결구가 병렬 형성된 다수의 고정판과, 이 절결구에 수직으로 절첩된 걸름판을 삽입하여 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 가스 불순물 제거장치에 있어서,

   상기 공기 통과형 채널 박스구조체는 격자형 수납부를 갖는 격벽으로 이루어진 본체의 각 수납부에 각각 맞춤 수납되고,

   상기 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에는 흡습형 섬유판재가 부착되어 상기 수납부의 격벽측과 긴밀하게 접촉되도록 된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 흡습형 섬유판재는 흡습형 부직포로서, 그의 양단이 절곡되어 상기 공기 통과형 채널 박스구조체의 접속구에 결합된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 액 분사 노즐은 상기 본체의 상부에 횡배열되고, 이 노즐의 후부는 수 비산규제부재에 의해 가로막힌 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
4. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 본체의 격벽은 병렬 배열형 기립판재와, 상기 기립판재와 직교 상태로 병렬 배열된 전후방 받침선반으로 이루어지고,

   상기 후방 받침선반의 후부에는 물받이턱이 상향 절곡 형성된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   상기 본체의 격벽의 측단부면에는 격벽면을 타고 유동하는 물의 비산을 규제하기 위한 날개부 쌍을 갖는 웨더스트립이 결속된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.

Images