KR101180968B1

KR101180968B1 - 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조

Info

Publication number: KR101180968B1
Application number: KR1020100062707A
Authority: KR
Inventors: 남승백; 김태형; 하종필; 정재학
Original assignee: (주)신성이엔지
Priority date: 2010-06-30
Filing date: 2010-06-30
Publication date: 2012-09-07
Also published as: KR20120002030A

Abstract

본 발명의 일 실시예는, 흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판을 고정하기 위한 다수의 고정 플레이트와 이 고정 플레이트에 내장 결합된 상기 걸름판을 삽입하여 구성된 박스구조체를 수납부에 다채널 형태로 결합시켜, 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 가스 불순물 제거장치에서, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체는 병렬형 수납부를 갖는 수직 격벽으로 이루어진 본체의 각 수납부에 각각 맞춤 수납되고, 상기 박스구조체의 상면부에는 상측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제1 관통구로서 마련되는 제1 수직 접속부가 형성되며, 상기 박스구조체의 하면부에는 하측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제2 관통구로서 제2 수직 접속부가 형성되어, 상기 박스구조체의 상하면이 상호 긴밀하게 접촉되도록 된 것을 특징으로 한다.

Description

가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조{Enclosure for gas elliminator}

본 발명의 실시예들은 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체나 액정 등의 전자 디바이스 제품은 공기 온,습도 및 실내 압력을 일정하게 하고, 동시에 공기중의 부유입자가, 한정된 청정도레벨 (일반적으로는 미국연방 규격 209D)로 관리된 환경, 소위 클린룸(CR)에서 제조되고 있는 것은 이미 알려져 있다.

그리고, 최근 공기중에 ppb 레벨로 포함되는 NH3, SO2, SO4, NOx, Cl, VOC 또는, F 가스(이하, 가용성 가스 불순물이라 한다)를 서브 ppb 레벨까지 저하시켜 높은 청정도의 환경에 대해서도 엄격한 관리가 요구되게 되었다.

따라서 , 가용성 가스 불순물의 제거는 외기 공조기의 가습 및 온도 제어, 혹은 클린룸 내 공기 순환계에서의 공기를 순환시키면서 필요한 처리를 수행하는 시스템의 온도 제어(냉각)와는 독립된 수단, 예를 들면 케미컬필터에 의해 이루어지고 있었다.

상기와 같은 공기 중에 포함된 가스 불순물의 제거 수단으로서는, 종래로부 터 케미컬필터 처리에 의한 제거 방법(건식 제거방법)과 ，액 접촉에 의한 제거 법이 알려져 있다. 전자의 건식 제거방법은 공기 중의 가스 불순물을 화학 결합에 의해 제거하는 것으로 가스 불순물의 종류에 따라 소재의 종류나 처리 방법 및 화학 물질의 종류가 다르다.

한편, 후자의 액 접촉에 의한 제거는 액적의 분무나 기공율이 높은 표면적이 큰 충전제에 액상 물자를 공급한 것에 의해 가스 불순물을 제거하는 방식이다.

그리고, 상기와 같은 액접촉에 의한 가스 불순물 제거 장치는 다각적인 형태의 것이 있지만 그중에서도 엘리미네이터(eliminator)라고 불리는 후술하는 복수개의 걸름판(15)을 소정의 간격차로 고정시키고 상기 걸름판(15)들 틈새로 기중에 불순물을 함유한 가스를 수평 방향으로 유통시키는 구조로 형성되어 있었다. 상기 가스는 걸름판(15)에 구성된 판상을 따라 좌우로 굽이돌아 유동되고 상기 가스 중에 함유된 불순물은 중량이 가스보다 무겁기 때문에 관성에 영향을 입어 상기 걸름판(15)에 충돌하여 상기 판상에 형성된 미세한 물방울에 흡수되어 종단으로 제거된다.

또, 상기 가스 불순물 제거 장치는 상기 걸름판(15)을 다중 배열하여 일방향으로 공기 유통이 가능하게 박스구조체(10)를 마련하여, 이 박스구조체(10)를 다수의 격자형으로 배열된 수직상 및 수평상 격벽(111, 113, 115)에 의해 형성되는 수납부(110)에 맞춤 삽입하여 다중 배치하는 구조로 되어 있었다.

다시 말해서, 상기 박스구조체(10)는 흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판을 파도 형태로 고정하기 위한 다수의 고정 플레이트(11 : 이하 고정판이라 통칭한다)와 이 고정 플레이트(11)에 내장 결합된 상기 걸름판(15)을 삽입하여 구성된 박스구조체(10)를 도 1에 예시된 챔버(3) 내부에 채널 형태로 구성된다.

다만, 이와 같은 구성에 의해, 실제 박스구조체(15)의 삽입방식에 따라, 상기 수직상 및 수평상 격벽(111, 113, 115)과의 사이에 불필요한 틈새가 발생하고, 이로 인해 노즐(13)에 의해 분사되는 물이 격벽(111, 113, 115)을 타고 챔버(3)의 하류로 흘러들어가는 사태가 발생하는 등의 단점을 내포하고 있었다.

이에, 본원 발명의 실시예들은 가스 불순물 제거 장치의 제거 수단인 걸름판(15)으로 이루어진 박스구조체를 챔버(3, 일명 외기 공조기를 의미함) 에 삽입하기 위한 수단으로서의 격벽(111, 113, 115)의 격자형 수납부(110)와의 긴밀한 맞춤 결합을 통해 수납부(110)의 격벽(111, 113, 115)과 박스구조체(10)의 측면 사이의 틈새를 타고 유동하는 물의 비산을 극력 규제하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조를 용이하게 제공할 수 있도록 하는 설계방법을 제시하고자 한다.

본 발명의 일 실시예는,

흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판을 고정하기 위한 다수의 고정 플레이트와 이 고정 플레이트에 내장 결합된 상기 걸름판을 삽입하여 구성된 박스구조체를 수납부에 다채널 형태로 결합시켜, 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 가스 불순물 제거장치에 있어서,

상기 공기 통과형 채널 박스구조체는 병렬형 수납부를 갖는 수직 격벽으로 이루어진 본체의 각 수납부에 각각 맞춤 수납되고,

상기 박스구조체의 상면부에는 상측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제1 관통구로서 마련되는 제1 수직 접속부가 형성되며,

상기 박스구조체의 하면부에는 하측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제2 관통구로서 제2 수직 접속부가 형성되어,

상기 박스구조체의 상하면이 상호 긴밀하게 접촉되도록 된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에는 흡습형 섬유판재가 부착되어 상기 수납부의 격벽측과 긴밀하게 접촉되도록 구성됨이 바람직하다.

또, 상기 박스구조체의 제1 수직 접속부와 제2 수직 접속부는 상하측으로 각각 돌출하여 절곡형성된 제1 및 제2 절곡격벽들로 이루어지며, 이 제1 및 제2 절곡격벽 중 어느 하나는 양측 절곡격벽이 삭제된 상태로 양측이 개방형성되는 구조로 됨이 바람직하다.

또한, 상술한 구성에 따라, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체가 조립되는 방식으로서, 상기 병렬형 수납부를 갖는 수직 격벽으로 이루어진 상기 수납부에 맞춤 수납됨에 있어, 상하부 보다 중앙부의 수납부의 전면 개구면적이 더 넓도록, 상기 상하부의 각각의 수직격벽의 전단면부에 스트립부재가 각각 크로스 결합되도록 하고, 이 스트립부재가 없는 상기 중앙부의 수납부에 상기 박스구조체를 넣어, 하방향으로 안착시키고, 이 하방향에 안착된 박스구조체의 상부에 다른 박스구조체를 넣어 적층배열하며, 이 적층배열된 다른 박스구조체를 리프팅하여, 추가의 박스구조체를 상기 하나의 박스구조체와 다른 박스구조체의 사이에 삽입 결합시키는 방식으로, 상기 가스 불순물 제거장치에 박스구조체를 수납하는 것이 바람직하다.

상기한 구성적 특징을 구비한 본 발명은, 액체입자를 발생시키는 액 분사 노즐과 불순물 제거 수단인 걸름판으로 이루어진 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에 흡습형 섬유판재를 부착하여 격벽 구조에 기인하는 장방형 수납부와 채널 박스구조체 사이의 틈을 통해 물이 유동하여 하류로 비산되는 것을 극력 규제하기 위한 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조를 제공하는 등의 뛰어난 효과가 있다.

도 1은 종래의 가스 불순물 제거장치의 사시 구조도이다.
도 2는 종래의 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조를 예시한 분해 조립 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조가 차량에 결합된 상태에 대한 개략 구성도이다,
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조를 마련하기 위해 박스구조체가 결합되는 상태를 나타낸 사시구조도이다,
도 5는 도 3의 박스구조체의 조립을 예시한 확대 사시구조도이다.
도 6은 도 5의 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에서, 박스구조체의 양측면에 흡습형 섬유판재가 부착되는 상태를 예시한 결합 구조도이다.

이하, 본 발명인 깃대의 구성을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.

여기서, 하기의 모든 도면에서 동일한 기능을 갖는 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 반복적인 설명은 생략하며, 아울러 후술 되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 것으로서, 이것은 고유의 통용되는 의미로 해석되어야 함을 명시한다.

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조가 차량에 결합된 상태에 대한 개략 구성도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조를 마련하기 위해 박스구조체가 결합되는 상태를 나타낸 사시구조도이며, 도 5은 도 3의 박스구조체의 조립을 예시한 확대 사시구조도이고, 도 6은 도 5의 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에서, 박스구조체의 양측면에 흡습형 섬유판재가 부착되는 상태를 예시한 결합 구조도이다.

본 발명은 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 관한 것으로, 특히 가스 불순물 제거수단으로서 액체입자를 발생시키는 액 분사 노즐과 불순물 제거 수단인 걸름판으로 이루어진 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에 흡습형 섬유판재를 부착하여 격벽 구조에 기인하는 장방형 수납부와 채널 박스구조체 사이의 틈을 통해 물이 유동하여 하류로 비산되는 것을 극력 규제하기 위한 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 관련한 것이다.

일반적으로 반도체나 액정 등의 전자 디바이스 제품은 공기 온,습도 및 실내 압력을 일정하게 하고, 동시에 공기중의 부유입자가, 한정된 청정도레벨 (일반적으로는 미국연방 규격 209D)로 관리된 환경, 소위 클린룸(CR)에서 제조되고 있는 것은 이미 알려져 있다.

그리고, 상기와 같은 액접촉에 의한 가스 불순물 제거 장치는 다각적인 형태의 것이 있지만 그중에서도 엘리미네이터(eliminator)라고 불리는 복수개의 걸름판을 소정의 간격차로 고정시키고 상기 걸름판들 틈새로 기중에 불순물을 함유한 가스를 수평 방향으로 유통시키는 구조로 형성되어 있었다. 상기 가스는 걸름판에 구성된 판상을 따라 좌우로 굽이돌아 유동되고 상기 가스 중에 함유된 불순물은 중량이 가스보다 무겁기 때문에 관성에 영향을 입어 상기 걸름판에 충돌하여 상기 판상에 형성된 미세한 물방울에 흡수되어 종단으로 제거된다.

또, 상기 가스 불순물 제거 장치는 상기 걸름판(15)을 다중 배열하여 일방향으로 공기 유통이 가능하게 박스구조체(10)를 마련하여, 이 박스구조체를 다수의 병렬형으로 배열된 수직 격벽(111) 에 의해 형성되는 수납부에 맞춤 삽입하여 다중 배치하는 구조로 되어 있었다.

다만, 종래에는, 실제 박스구조체의 삽입방식에 따라 불필요한 틈새가 발생하고, 이로 인해 노즐에 의해 분사되는 물이 격벽을 타고 하류로 흘러들어가는 사태가 발생하는 단점이 있는 바, 이를 해결하기 위해 다음과 같은 기술을 창안하게 되었다.

본 발명은 상기 도면에서 도시하는 한 일실시 형태와 같이, 흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판을 파도 형태로 고정하기 위한 다수의 고정 플레이트(11 : 이하 고정판이라 통칭한다)와 이 고정 플레이트(11)에 내장 결합된 상기 걸름판(13)을 삽입하여 구성된 박스구조체(10)를 상술한 챔버(3) 내부에 채널 형태로 구성되어지는데 그 자세한 설치예는 다음과 같다.

먼저, 본 발명은 도 2 내지 도 5에 도시한 바와 같이 상기 가스 불순물 제거 장치는 상기 액 분사 노즐(13)과 박스형태의 틀로 짜여진 불순물 제거 수단으로 대분되는데 상기 액 분사 노즐(13)은 액적이 상기 걸름판(15, 즉 박스구조체(10)를 지향하는 방향)에 도달 가능하도록 상기 걸름판(15) 전부에 소정의 간격을 두고 설치되며 불순물을 함유한 가스는 도시한 바와 같이 F방향에서 수평하게 파상 유통되는 구조로 되어 있다.

또한, 상기 걸름판(15)은 상술한 실시 형태와 같이, 흡수성의 소재를 판상에 성형한 흡수성의 판을 적절히 조합시키고 배치한 부직포 재질의 필터인 것으로 하며, 상기 걸름판(15)의 실시형태는 가스 불순물의 종류나 필요한 필터 효율에 따라 다양화가 가능하며 일례로 파상의 판자를 여러 단수 겹쳐 연결하거나 파상의 각도를 여러 형태로 변형 실시 가능토록 한다.

그리고, 도 3에 도시된 바와 같이 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조는, 흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판(15)을 고정하기 위한 다수의 고정 플레이트(11)와 이 고정 플레이트(11)에 내장 결합된 상기 걸름판(15)을 삽입하여 구성된 박스구조체(10)를 수납부에 다채널 형태로 결합시켜, 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 구성으로 되어 있다.

또, 본원 발명에 따른 가스 불순물 제거장치는, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)는 병렬형 수납부(110)를 갖는 수직 격벽(111)으로 이루어진 본체의 각 수납부(110)에 각각 맞춤 수납되는 구성으로 되어 있다.

또한, 상기 박스구조체(10)의 상면부에는 상측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제1 관통구(10a)로서 마련되는 제1 수직 접속부(12)가 형성되어 있다.

또, 상기 박스구조체(10)의 하면부에는 하측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제2 관통구(10b)로서 제2 수직 접속부(14)가 형성되어, 상기 박스구조체(10)의 상하면이 상호 긴밀하게 접촉되도록 구성되어 있다.

또한, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 양측면에는 흡습형 섬유판재(20)가 부착되어 상기 수납부(110)의 격벽측과 긴밀하게 접촉되도록 구성되어 있다.

또, 상기 박스구조체(10)의 제1 수직 접속부와 제2 수직 접속부는 상하측으로 각각 돌출하여 절곡형성된 제1 및 제2 절곡격벽들로 이루어지며, 이 제1 및 제2 절곡격벽 중 어느 하나는 양측 절곡격벽이 삭제된 상태로 양측이 개방형성되는 구조로 되어 있다.

또한, 상술한 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)는, 상기 병렬형 수납부(110)를 갖는 수직 격벽으로 이루어진 상기 수납부(110)에 맞춤 수납됨에 있어, 상하부 보다 중앙부의 수납부(110)의 전면 개구면적이 더 넓도록, 상기 상하부의 각각의 수직격벽의 전단면부에 스트립부재(117)가 각각 크로스 결합되도록 구성되어 있다.

도 4에 예시된 바와 같이, 상기 박스구조체(10)의 수납 기법으로서, 상기한 스트립부재가 없는 상기 중앙부의 수납부(110)에 상기 박스구조체(10)를 넣어, 하방향으로 안착시키고, 이 하방향에 안착된 박스구조체(10)의 상부에 다른 박스구조체(10)를 넣어 적층배열하며, 이 적층배열된 다른 박스구조체(10)를 리프팅하여, 추가의 박스구조체(10)를 상기 하나의 박스구조체(10)와 다른 박스구조체(10)의 사이에 삽입 결합시키는 방식으로, 상기 가스 불순물 제거장치에 박스구조체(10)를 수납하는 방식을 채용해도 좋다.

또한, 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 양측면에는 흡습형 섬유판재(20)가 부착되어 상기 수납부(110)의 내측 격벽면과 긴밀하게 접촉되도록 구성되어 있다.

또, 상기 흡습형 섬유판재(20)는 흡습형 부직포로서, 그의 양단이 절곡되어 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 양측면에 결합되어도 좋다.

또한, 상기 액 분사 노즐(13)은 상기 본체(100)의 상부에 횡배열되고, 이 노즐(13)의 후부는 수비산규제부재(30)에 의해 가로막힌 구성으로 되어 있다.

미설명 부호(H)는 노즐 홀더이고, 부호(T)는 노즐(13)로부터의 분사수의 집수 효율을 증대하기 위한 연장 돌출부이다.

또, 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치는 상기와 같은 공기중에 함유된 가스 불순물의 제거의 일환으로서, 상술한 바와 같은 액 접촉에 의한 제거방식으로 액적의 분무나 기공율이 높은 표면적이 큰 충전제에 액상 물자를 공급한 것에 의해 가스 불순물을 흡수처리하여 제거하는 데 사용된다.

또한, 상기 액접촉에 의한 가스 불순물 제거 장치는 복수개의 걸름판(15)을 소정의 간격을 두고 거듭 기대어 세워 산형 공구 고정판(17)에 의해 고정되고 불순물을 함유한 가스는 도면에 도시한 바와 같이 F방향에서 상기 가스 불순물 제거 장치의 전후부를 통해 수평하게 유통하게 된다.

이로써, 상기 박스구조체(10)의 측면을 타고 유동하는 물의 하류 비산을 저지할 수 있음은 물론이고, 내부 송풍력에 의거하여 수납부(110)의 하류로 물이 비산되는 것 또한 저지될 수 있게 되는 것이다.

또한, 상기 흡습형 섬유판재는 흡습형 부직포로서, 그의 양단이 절곡되어 상기 공기 통과형 채널 박스구조체(10)의 양측면에 부착 배열되어 있어, 상기와 같이 물이 하류로 비산되는 것을 방지함과 더불어, 하방향으로 낙하하는 것을 조력할 수 있게 되는 것이다.

그러므로 본 발명에 의한 가스불순물 제거 장치는 걸름판(15)을 박스형태로 고정시 킬 때, 절곡삽입된 흡습형 섬유판재에 의해 박스구조체(10)의 외측이 수납부(110)의 전단에 걸려 벗겨지는 등의 시공하자가 발생할 우려가 적어지고 조립절차의 간소화로 인한 비용절감효과까지 도모할 수 있게 되는 효과를 창출할 수 있게 된다.

이상의 명백한 설명과 같이 본 발명에 의한 가스 불순물 제거 장치는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조의 제거 수단인 박스구조체(10)의 효율적인 삽입과 긴밀한 접촉에 의해 물이 비산되는 것을 극력 규제할 수 있음과 동시에 박스구조체(10)와 흡습형 섬유판재의 일체화를 통해 시공상 설치효율을 증대시킬 수 있는 등의 매우 뛰어난 효과가 있는 것이다.

본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다.

이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 설명함에 있어 특정형상 및 방향을 위주로 설명하였으나, 본 발명은 당업자에 의하여 다양한 변형 및 변경이 가능하고, 이러한 변형 및 변경은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 박스구조체
10a : 제1 관통구
10b : 제2 관통구
12 : 제1 수직 접속부
14 : 제2 수직 접속구
20 : 흡습형 섬유판재
110 : 수납부
111 : 수직 격벽
117 : 스트립부재

Claims

흡수성의 섬유소재를 판상으로 성형한 흡수성의 걸름판을 고정하기 위한 다수의 고정 플레이트와 이 고정 플레이트에 내장 결합된 상기 걸름판을 삽입하여 구성된 박스구조체를 수납부에 다채널 형태로 결합시켜, 방형으로 내부에 일정 거리를 두고 다중 적층하여 마련되는 공기 통과형 채널 박스구조체를 포함하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조에 있어서,
상기 공기 통과형 채널 박스구조체는 병렬형 수납부를 갖는 수직 격벽으로 이루어진 본체의 각 수납부에 각각 맞춤 수납되고,
상기 박스구조체의 상면부에는 상측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제1 관통구로서 마련되는 제1 수직 접속부가 형성되며,
상기 박스구조체의 하면부에는 하측으로 돌출하여 절곡형성되며, 내곽부는 제2 관통구로서 제2 수직 접속부가 형성되어,
상기 박스구조체의 상하면이 상호 긴밀하게 접촉되도록 된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
제 1 항에 있어서,
상기 공기 통과형 채널 박스구조체의 양측면에는 흡습형 섬유판재가 부착되어 상기 수납부의 격벽측과 긴밀하게 접촉되도록 된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
제 1 항에 있어서,
상기 박스구조체의 제1 수직 접속부와 제2 수직 접속부는 상하측으로 각각 돌출하여 절곡형성된 제1 및 제2 절곡격벽들로 이루어지며, 이 제1 및 제2 절곡격벽 중 어느 하나는 양측 절곡격벽이 삭제된 상태로 양측이 개방형성된 것을 특징으로 하는 가스 불순물 제거장치의 수 비산방지구조.
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