KR102192344B1 - 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버 - Google Patents

폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정에서 배출하는 폐가스를 제거하는 습식 스크러버에 장착되는 복수기능을 갖는 기액접촉수단 복합체(HBF)를 구성하는 기액접촉수단 단위체(MU)에 관한 것이다.
상기 기액접촉수단 단위체는 가액접촉 기능이 상이한 얇은 판상체 형상의 접촉제요소(UI ~ U4)가 교대로 다수개 배치되어 하나의 기액접촉수단 단위체를 이루는데 있어서 부피가 감소되면서도 복합적인 기액접촉 기능을 나타내는 효과가 있다.
또 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(MU)는 그 좌, 우측면에 형성된 통공에 의해 기액접촉수단 단위체(MU)를 다수개 조합한 기액접촉수단 복합체(HBF)는 그 내부 전반에 걸쳐 유체(폐가스와 세정액)가 유입 및 확산되기 때문에 기액접촉의 효율을 보다향상시키는 특징이 있다.

Description

폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버{Gas-liquid contact device for Waste gas removal scrub and Waste gas removal scrub using the same}
본 발명은 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 반도체 제조공정에서 배출하는 유독성 배기가스 처리에 적합한 복수기능을 갖는 기액접촉수단 복합체를 구성하는 조립식 기액접촉수단 단위체에 관한 것이며, 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버에 관한 것이다.
배기가스의 정화방식으로 건식방식과 습식방식이 알려져 있으며, 습식방식은 배기가스에 세정제를 분사하여 배기가스에 함유된 유해가스를 세정하여 제거하는 폐가스 처리 스크러버로써 이러한 습식 폐가스 처리 스크러버에는 충전층, 흡수층 등의 기액접촉수단이 장착되어 있다.
그리고 일반적으로, 반도체 제조공정의 웨이퍼 상에 박막을 형성 또는 식각 등의 공정으로부터 배출되는 배기가스에는 제조공정의 조건, 가동시간, 생산제품에 따라 불화수소, 황산화물, 질소산화물, 황화수소, 아황산가스 암모나아 등의 여러 형태의 유독가스들이 함유되어 과불화탄소(PFC) 배기가스, 산성 배기가스, 알칼리성 배기가스, 가연 배기가스로 배출되고 있으며, 이들 유독가스는 인체에 유해하고 및 환경오염을 유발하므로 정화여야 한다.
상기 습식 폐가스 처리 스크러버와 관련된 선행기술로 예를 들면 국내 등록특허공보 제10-0816822호에 하우징에 가스유로장치와 기액반응장치 및 제습장치를 설치하여서 된 멀티스크러버를개시하고 있으며, 또 국내 등록특허공보 제10-1320638호에 다공성 필터체를 이용한 기액접촉장치를 개시하고 있으나, 상기한 선행기술은 스크러버(흡수탑) 내부에 기액접촉의 단순기능을 갖는 기액접촉수단을 장착하고 있으므로 제조공정의 조건, 가동시간, 생산제품에 따라 여러형태의 유독가스를 함유하는 반도체 제조공정에서 배출되는 배기가스를 정화에 있어서는 효율성이 떨어진다.
상기한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 출원인이 출원하여 등록된 국내 등록특허공보 등록번호10-1478973호, 10-1564579호, 10-1564580호, 10-1564581호에는 폐가스처리 스크러버에 기액접촉수단 단위체를 조합한 복수기능의 기액접촉수단 복합체를 장착하여 반도체 제조공정에서 공정조건, 가동시간, 생산제품에 따라 여러 형태의 유독가스를 함유하여 배출되는 배기가스의 정화에 적합한 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 기액접촉수단을 장착한 수평식 폐가스 처리 스크러버를 개시하고 있다.
그러나 상기한 본 발명의 출원인의 등록특허는 반도체 제조공정에서 배출되는 배기가스의 정화에 적합하도록 설계되었지만, 기액접촉수단 복합체의 구성을 위하여 기액접촉수단 단위체, 기액접촉수단 중간체를 복수개 조합함에 따라 복합기능의 기액접촉복합체의 부피가 증가하고 또 구조적으로 폐가스 및 세정액이 기액접촉 복합체 전체에 걸쳐 확산하지 못하는 문제점이 있고 또 본 발명의 출원인은 등록특허공보 10-1783376호로 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체를 개발하였으나 폐가스 및 세정액이 기액접촉 복합체 전체에 걸쳐 확산하지 못하는 문제점을 개선하지 못하였다.
본 출원의 발명자는 하나의 기액접촉수단 단위체가 복수의 기액접촉기능을 갖도록 조립이 가능하게 하면서도 부피가 감소되고, 또 폐가스 및 세정액이 기액접촉 복합체 전체에 걸쳐 확산되도록 상기 본 발명의 출원인이 출원하여 등록된 국내 등록특허공보 10-1783376호에서 개시하고 있는 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단를 보다 더 개선하여 본 발명을 완성하였다.
특허문헌1: 대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-0816822호 특허문헌2: 대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1320638호 특허문헌3: 대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1478973호 특허문헌4: 대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1564579호 특허문헌5: 대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1564580호 특허문헌6: 대한민국 등록특허공보 등록번호 제10-1564581호
본 발명에서 해결하고자 하는 과제는 폐가스를 정화하는 습식 스크러버에 장착되는 복수의 기액접촉기능을 갖는 기액접촉수단 복합체를 구성하는 기액접촉수단 단위체의 부피를 감소시키면서 조합 및 분리를 용이하게 하는 조립식 기액접촉수단 단위체의 제공 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버의 제공을 목적으로 하는 것이다.
특히, 본 발명의 출원인이 출원하여 등록된 대한민국 등록특허공보 제10-1783376호에서 개시하고 있는 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단을 보다 더 개선하여 기액접촉기능이 상이한 접촉체요소를 복수개 조합하여 복수 기액접촉기능을 나타내면서도 조립시 부피를 감소시키고, 폐가스 및 세정액이 기액접촉 복합체 전체에 걸쳐 확산되도록 구조를 개선한 조립식 기액접촉수단 단위체를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
본 발명에서 과제의 해결수단으로 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)는 망상(網狀)의 전면(A1), 망상(網狀)의 후면(A2), 좌측면(B1), 우측면(B2), 상부면(C1) 및 하부면(C2)을 가지는 육면체 형상이고, 그 내부에 공간이 형성된 외부케이스(H)와, 상기 외부케이스(H)의 내부에 접촉체요소(U1), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U3) 및 접촉체요소(U4)가 서로 교대로 조합되어 복수개의 접촉체요소가 장착되어 이루어진 기액접촉수단 단위체(MU)에 있어서, 상기 좌측면(B1)은 중앙 영역에 통공(a)이 일정간격을 두고 다수개 나란히 형성되면서 상하방향으로 길게 다수개가 일정간격으로 길게 형성되며, 우측면(B2)은 양쪽 주변영역에 통공(a)이 일정간격을 두고 다수개 나란히 형성되면서 상하방향으로 길게 다수개가 일정간격으로 길게 형성되고, 상기 상부면(C1) 및 하부면(C2)의 각 중심부에 서로 대응하도록 결합요부(P)와 결합돌부(R)가 다수개 형성되고 또 좌측면(B1)의 결합요부(P1. P2)와 우측면(B2)의 결합돌부(R1, R2)가 서로 대응하도록 길게 형성되고, 상부면(C1)은 외부케이스(H)와 착탈 가능하게 형성되는 것으로 이루어진다.
본 발명의 일 실시형태로 상기한 다수개의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)가 각각의 상부면(C1) 및 하부면(C2)에 형성된 결합요부(P)와 결합돌부(R)가 서로 슬라이드 방식으로 체결되고, 좌측면(B1) 및 우측면(B2) 각각에 형성된 결합요부(P1. P2)와 결합돌부(R1, R2)가 서로 슬라이드 방식으로 체결되는 것에 의해 상, 하, 좌, 후 방향으로 분리가능하게 결합된 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)로 이루어진다.
본 발명의 또 다른 실시형태는 일측에 폐가스(G)의 유입구(IP)와 타측에 정화가스 배출구(OP)를 구비하고, 페가스 유입구(IP)와 정화가스 배출구(OP) 사이에 세정액과 배기가스의 접촉을 위해 기액접촉수단를 장착한 습식식 폐가스 처리 스크러버(SB)에 있어서, 상기 기액접촉수단이 상기 본 발명에 따른 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)가 상, 하, 좌, 후 방향으로 다수개 분리가능하게 결합된 하이브리드 필터체(HBF)를 장착한 폐가스 처리 스크러버(SB)로 루어진다.
본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체는 여러 유형의 유독성 폐가스 처리에 적합하도록 기액접촉기능이 상이한 접촉체요소를 복수개 조합하여 복수의 기액접촉기능을 갖는 기액접촉수단 단위체로 형성할 때 기액접촉수단 단위체의 부피를 감소시키는 효과가 있다.
특히, 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체가 다수개 조합된 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)는 기액접촉수단 단위체(MU)의 좌측면(B1) 및 우측면(B2)에 형성된 통공을 통하여 세정액 및 폐가스가 하이브리드 필터체(HBF) 전반으로 유통 및 확산되는 효과가 있어 세정액 및 폐가스의 기액접촉 효율을 보다 향상시키는 특징이 있다.
도 1은 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)을 나타낸 전체 사시도
도 2는 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)을 나타낸 좌, 우측 방향의 전체사시고
도 3은 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)에 따른 외부케이스(H)와 접촉체요소(U1) ~ (U4)의 결합관계를 나타내는 분해사시도
도 4는 외부케이스(H)의 내부에 접촉체요소(U1) ~ (U3)이 교대로 삽입되는 상태를 나타내는 도면
도 5 및 도 6은 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)에 따른 외부케이스(H)의 좌, 우측면을 나타내는 도면
도 7는 본 발명에 따른 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)의 가로방향 단면을 나타내는 도면
도 8 ~ 도12는 본 발명의 접촉체요소(UI) ~ 접촉체요소(U4)의 구조를 나타낸 도면
도 13 및 도 14은 존 발명의 기액접촉수단 단위체(MU)를 복수개 조립한 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)를 나타낸 도면
도 15은 본 발명의 기액접촉수단 단위체(MU)를 이용하여 제작한 하이브리드 필터체(HBF)를 설치한 습식 스크러브를 개략적으로 나타낸 도면
이하에서는 본 발명을 첨부한 도면에 의해 보다 구체적으로 설명하기로 하겠으나 아래 설명에 의하여 본 발명이 제한되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)을 나타낸 전체 사시도이고, 도 2는 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)의 좌, 우측 방향을 나타낸 전체사시도로써, 도 1 및 도 2를 참조하여 본 발명에 따른 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)를 설명하면,
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)는 망상(網狀)의 전면(A1), 망상(網狀)의 후면(A2), 좌측면(B1), 우측면(B2), 상부면(C1) 및 하부면(C2)을 가지는 육면체 형상이고, 내부에 공간이 형성된 외부케이스(H)로 이루어져 있으며, 상부면(C1)는 외부케이스(H)와 분리 가능하게 결합되는 것으로 이루어져 있다.
상기 망상(網狀)의 전면(A1) 및 망상(網狀)의 후면(A2) 각각에는 4각형 통공이 격벽(w)에 의해 4등분으로 분할되면서 중심부에서 격벽(w)이 일정하게 이격된 구조로 이루어진 통공(ha)이 사방연속으로 형성된 망상(網狀)으로 이루어져 있다(도 10면의 접촉체요소(U3) 참조).
상기 망상(網狀)의 전면(A1), 망상(網狀)의 후면(A2)에 형성된 망상구조는 기액접촉수단 단위체(MU)로 유입되는 폐가스 및 세정액을 접촉수단 내부로 신속하게 분산시키면서 유입시키는 기능을 지니고 있다.
상기 상부면(C1)는 전, 후면(A1, A2)과 만나는 모서부분에 결합요부가 형성되어 전 후면(A1, A2)의 모서리부에 형성된 결합돌부와 분리 가능하게 결합되게 형성되어 있으며, 또 상부면(C1)에는 그 중앙부에 결합돌부(R)가 형성되고, 하부면(C2)에는 결합돌부(R)에 대응하는 결합요부(P)가 형성되어 슬라이드방식으로 분리 가능하게 결합되도록 이루어져 있다.
도 3은 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)에 따른 외부케이스(H)와 접촉체요소(U1) ~ (U4)의 결합관계를 나타내는 분해사시도이고, 도 4는 외부케이스(H)의 내부에 접촉체요소(U1) ~ (U3)가 교대로 삽입되는 상태를 나타내는 도면으로써, 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)를 설명하면,
도 3에 도시된 바와 같이 외부케이스(H) 내부로 접촉체요소(U1) ~ (U4)가 교대로 삽입되고, 상부면(C1)이 외부케이스(H)와 분리 가능하게 결합되며, 도 4에 나타낸 바와같이 접촉체요소(U1) ~ (U3)는 접촉체요소(U3), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U1), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U3) 순으로 서로 교대로 조합되고, 양쪽 외측에 접촉체요소(U4)가 설치되게 장착되어 있다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)에 따른 외부케이스(H)의 좌, 우측면(B1, B2)을 나타내는 도면으로써, 도 5 및 도 6을 참조하여 좌, 우측면(B1, B2)에 형성되는 통공(a)에 대하여 설명하면,
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 좌측면(B1)에 형성되는 통공(a)은 좌측면(B1)의 중앙영역에 가로방향으로 일정간격을 두고 다수개가 나란히 형성되면서 세로방향으로 일정간격을 두고 다수개가 길게 형성되어 있으며, 우측면(B2)에 형성되는 통공(a)은 우측면(B2)의 전반에 걸쳐 가로방향으로 일정간격을 두고 다수개가 나란히 형성되면서 세로방향으로 일정간격을 두고 다수개가 길게 형성되어 있는 것으로 이루어져 있다.
상기 좌, 우측면(B1, B2)에 형성된 통공(a) 들은 기액접촉수단 단위체(MU)로 유입되는 폐가스와 세정액을 좌, 우측방향으로 유출 및 확산시키는 작용을 하며, 상기 통공(a)의 기능에 대하여 보다 구체적으로 설명하면,
본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(MU)가 다수개 결합하여 제작된 기액접촉수단 복합체인 하이브리드필터체(HBF)에 의해 폐가스와 세정액을 접촉수단으로 사용할 때 하이브리드필터체(HBF) 내부로 유입되는 폐가스와 세정액이 상기한 좌, 우측면(B1, B2)에 형성된 통공(a) 들은 통하여 좌, 우측방향으로 유출 및 확산되는 것에 의해 하이브리드필터체(HBF)의 내부 전반에 결쳐 폐가스와 세정액이 유입 및 확산되므로 폐가스와 세정액의 기액접촉이 보다 향상되는 특징을 나타낸다.
도 7은 본 발명에 따른 조립식 기액접촉수단 단위체(MU)의 가로방향 단면을 나타내는 도면으로써, 도 7을 참조하여 상기 좌, 우측면(B1, B2)에 형성된 결합요부와 결합돌에 대하여 설명하면,
도 7에 도시된 바와 같이, 상기 좌측면(B1)에는 결합돌부(R1, R2)가 일측 모서리에서 타측 모서리까지 동일 간격을 두고 세로방향으로 길게 다수개 형성되고, 우측면(B2)에는 결합요부(P1, P2)가 상하방향으로 길게 형성되어 있으며, 상기 좌측면(B1)에 형성된 결합돌부(R1, R2)와 우측면(B2)에 형성된 결합요부(P1, P2) 각각은 외부케이스가 다수개 결합될 때 서로 대응하는 결합요부 및 결합돌부가 슬라이딩 방식으로 분리가능하게 결합되는 것으로 이루어져 있다.
도 8 ~ 도 12는 본 발명의 접촉체요소(UI) ~ 접촉체요소(U4)의 구조를 나타낸 도면으로써 도 8 ~ 도 12을 참조하여 본 발명에 따른 접촉체요소(UI) ~ 접촉체요소(U4)를 구체적으로 설명하면,
도 8에 도시된 접촉체요소(U1)는 얇은 사각틀(f)의 내부에 일정직경의 원형봉(d)이 상하방향으로 평행하게 일정간격을 두고 복수개 설치되면서 가로변의 중심에서 격벽(w)에 의해 2등분으로 분할되게 설치되고, 얇은 판상의 구조로 이루어지며, 접촉체요소(U1)는 원형봉(d)들 간격사이로 통과하는 폐가스 및 세정액의 유로를 변경시키는 작용에 의해 기액접촉의 효율을 높이는 작용을 나타낸다.
도 9에 도시된 접촉체요소(U2)는 얇은 사각틀(f)의 내부에 일정크기의 사각형의 통공(h)이 사방연속으로 형성되어 얇은 판상의 망상체로 이루어지며, 접촉체요소(U2)는 망상의 사각형 통공(h)에 의해 폐가스 및 세정액를 균일하게 분산시키는 효과를 나타낸다.
도 10에 도시된 접촉체요소(U3)는 얇은 사각틀(f)의 내부에 4각형 통공이 격벽(w)에 의해 4등분으로 분할되면서 중심부에서 격벽(w)이 일정하게 이격된 구조로 이루어진 통공(ha)가 사방연속으로 형성되는 얇은 판상의 망상체로 이루어지며, 접촉체요소(U3)는 망상의 사각형상의 통공(ha)에 의해 폐가스 및 세정액를 신속하게 유입 ?? 확산시키는 효과를 나타낸다.
도 11 및 도 12에 도시된 접촉체요소(U4)는 상, 하면(1,2)이 대략 ‘目’자 형상의 망상체가 돌출부(3)에 의해 일정두께(t)로 서로 결합된 대략 사각기둥 형상으로 이루어진 지지체(T)가 일정간격으로 복수개 배열되고, 얇은 망상시트(S)가 망상지지체(T)와 망상지지체(T)의 간격사이로 굴곡되면서 대략 물결모양으로 배치되는 것으로 이루어져 있으며, 상기 접촉체요소(U4)의 지지체(T)는 도 11에 도시한 바와같이 돌출부(3)를 분리 가능한 결합구조로 형성하여 분해 및 조립이 가능한 구조로 형성될 수가 있다.
상기 접촉체요소(U4)는 세정액의 거품발생을 유도하여 거품에 의해 폐가스에 함유된 오염입자물질 및 기액접촉시 발생하는 입자물질, 미스트 등을 여과 및 흡수하는 기능을 지니고 있다.
상기 설명한 본 발명에 따른 기액접촉 기능이 상이한 접촉체요소(U1) ~ 접촉체요소(U3)는 얇은 판상으로 형성함으로써 기액접촉 기능이 상이한 접촉체요소(U1) ~ 접촉체요소(U3)를 교대로 조합하여도 하나의 기액접촉수단 단위체(MU)에 의해 복수의 기액접촉기능을 나타내면서도 부피가 감소되는 장점이 있고, 이에 따라 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)의 전, 후면의 길이 즉, 폐가스 및 세정액의 통과구간이 단축됨으로써 폐가스 및 세정액의 흐름 저항을 감소시켜 습식 스크러브의 가동율을 향상시키는 효과를 나타낸다.
또한 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(MU)은 그 좌, 우측면(B1, B2)D에 형성된 다수개의 통공(a)에 의해 기액접촉수단 단위체(MU)의 좌, 우측으로 폐가스 및 세정액이 유출 및 확산되기 때문에 다수개의 기액접촉수단 단위체(MU)로 조합된 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)의 내부 전반에 걸쳐 폐가스 및 세정액이 확산되어 기액접촉의 효율을 향상시키는 특징이 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 기액접촉수단 단위체(MU)가 상, 하, 좌, 우로 복수개 조립된 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)를 나타낸 도면이며, 도 13 및 도 14를 참조하여 본 발명의 기액접촉수단 단위체(MU)의 조립관계를 설명하면,
기액접촉수단 단위체(MU)는 그 좌측면(B1)에 형성된 4개의 결합돌부(R1, R2)가 타의 기액접촉수단 단위체(MU)의 우측면(B2)에 형성된 4개의 결합요부(P1, P2)와 슬라이드 방식으로 접속하면서 결합되고, 이러한 결합이 반복되어 좌, 우측 방향으로 복수개의 기액접촉수단 단위체(MU)이 결합되며 또 기액접촉수단 단위체(MU)의 상부면(C1)에 형성된 결합돌부(R)와 타의 기액접촉수단 단위체(MU)의 하부면(C2)에 형성된 결합요부(P)가 슬라이드 방식으로 접속하면서 결합되고, 이러한 결합이 반복되어 상, 하방향으로 복수개의 기액접촉수단 단위체(MU)이 결합되어 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)가 형성된다.
도 15은 본 발명에 따른 일 실시예로 폐가스(G)를 처리하기 위한 습식 스크러버를 개략적으로 나타낸 도면이며, 도 15를 참조하여 본 발명에 따른 기액접촉수단 단위체(MU)를 이용한 폐가스 처리습식 스크러버를 설명하면,
도 15에 도시된 바와 같이 스크러버(SB)는 폐가스(G)의 유입구(IP)와 정화가스 배출구(OP)를 가지는 수평으로 배치된 하우징 내측으로 유입구(IP)와 배출구(OP) 사이에 일정 간격을 두고 하이브리드 필터체(HBF)가 다수개가 평행하게 장착되고, 상기 하이브리드 필터체(HBF) 각각의 전, 후면에 세정액 분사노즐(N)이 설치되어 있으며, 유출구(0P) 측으로 연무를 제거하는 더미스터(Demister; TH)가 설치되고, 상기 하우징 외부 하측으로 세정제를 유입 및 회수하는 세정액 저장조가 설치되어 있으며, 세정액 저장조에는 일측에 세정액 유입관 및 타측에 세정액 배출관이 설치되며, 상기 하이브리드 필터체(HBF)는 도 14에 나타낸 바와 같이 기액접촉수단 단위체(MU)가 상하좌우 방향으로 다수개 조합되어 있다.
MU: 기액접촉체 단위체, H; 외부케이스, A1, A2, B1, B2, C1, C2; 전, 후면, 좌, 우측면 및 상, 하부면, U1, U2, U3, U4: 접촉제요소, P, P1, P2; 결합요부. R, R1, R2: 결합돌부, a, h, ha: 통공, w; 격벽, S: 망상시트, T: 지지체,
SB; 스크러버, HBF: 하이브리드필터

Claims (4)

  1. 망상(網狀)의 전면(A1), 망상(網狀)의 후면(A2), 좌측면(B1), 우측면(B2), 상부면(C1) 및 하부면(C2)을 가지는 육면체 형상이고 그 내부에 공간이 형성된 외부케이스(H)와, 상기 외부케이스(H)의 내부에 접촉체요소(U1), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U3) 및 접촉체요소(U4)가 서로 교대로 조합되어 다수개의 접촉체요소가 장착되어 이루어진 기액접촉수단 단위체(MU)에 있어서,
    상기 좌측면(B1)은 중앙 영역에 통공(a)이 좌,우방향으로 일정간격을 두고 다수개 나란히 형성되면서 상,하방향으로 다수개가 일정간격으로 길게 형성되고, 우측면(B2)은 양쪽 주변영역에 통공(a)이 좌,우방향으로 일정간격을 두고 다수개 나란히 형성되면서 상,하방향으로 다수개가 일정간격으로 길게 형성되며,
    상기 상부면(C1) 및 하부면(C2)에 서로 대응하도록 결합요부(P)와 결합돌부(R)가 그 중심부분에 일정 간격을 두고 가로방향으로 다수개 형성되고, 또 좌측면(B1)에 결합돌부(R1, R2)를 일측 모서리에서 타측 모서리까지 동일 간격을 두고 세로방향으로 길게 다수개 형성하고, 우측면(B2)에도 좌측면(B1)과 대응하는 위치에 결합요부(P1. P2)를 형성하며, 상부면(C1)은 외부케이스(H)와 착탈 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체.
  2. 청구항1에 있어서 접촉체요소(U1), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U3) 및 접촉체요소(U4)는 외부케이스(H) 내부에 접촉체요소(U4), 접촉체요소(U3), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U1), 접촉체요소(U2), 접촉체요소(U3), 접촉체요소(U4) 순으로 교대로 장착되며,
    상기 망상(網狀)의 전면(A1) 및 망상(網狀)의 후면(A2) 각각에는 내부에 격벽(w)에 의해 4등분으로 분할되어 통공을 형성하면서 중심부에서 격벽(w)이 일정하게 이격된 구조로 이루어진 통공(ha)이 사방연속으로 형성되고,
    상기 접촉체요소(U1)는 얇은 사각틀(f)의 내부에 일정직경의 원형봉(d)이 상하방향으로 평행하게 일정간격을 두고 다수개 설치되면서 사각틀(f) 가로변 중심에서 격벽(w)으로 2등분으로 분할되게 설치되어 얇은 판상의 구조로 형성되고,
    상기 접촉체요소(U2)는 얇은 사각틀(f)의 내부에 일정크기의 사각형상의 통공(h)이 사방연속으로 형성되어 얇은 판상의 망상구조로 형성되고,
    상기 접촉체요소(U3)는 얇은 사각틀(f)의 내부에 사각형상의 통공이 격벽(w)에 의해 4등분으로 분할되면서 중심부에서 격벽(w)이 일정하게 이격된 구조로 이루어진 통공(ha)이 사방연속으로 형성되는 얇은 판상의 망상체 구조로 형성되고,
    상기 접촉체요소(U4)는 상, 하면(1,2)이 각각 ‘目’자 형상인 망상체가 돌출부(3)에 의해 일정두께(t)로 서로 결합되어 사각기둥 형상으로 이루어진 지지체(T)가 일정간격으로 다수개 배열되고, 얇은 망상시트(S)가 망상지지체(T)와 망상지지체(T)의 간격사이로 굴곡되면서 물결모양으로 배치되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2 기재의 기액접촉수단 단위체(MU)를 다수개 결합하여 기액접촉수단 복합체인 하이브리드 필터체(HBF)를 형성함에 있어서,
    상기 기액접촉수단 단위체(MU)의 좌측면(B1)에 형성된 4개의 결합돌부(R1, R2)가 타의 기액접촉수단 단위체(MU)의 우측면(B2)에 형성된 4개의 결합요부(P1, P2)와 슬라이드 방식으로 접속하면서 결합되고, 이러한 결합이 반복되어 좌, 우측 방향으로 다수개의 기액접촉수단 단위체(MU)이 결합되고, 또 상기 기액접촉수단 단위체(MU)의 상부면(C1)에 형성된 결합돌부(R)와 타의 기액접촉수단 단위체(MU)의 하부면(C2)에 형성된 결합요부(P)가 슬라이드 방식으로 접속하면서 결합되고, 이러한 결합이 반복되어 상, 하방향으로 다수개의 기액접촉수단 단위체(MU)이 결합되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 필터체.
  4. 청구항 3 기재의 하이브리드 필터체(HBF)를 폐가스 및 세정액의 접촉수단으로 설치하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리 스크러버.
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