KR102484284B1 - 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치 - Google Patents

카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 폐가스를 처리하는 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 폐가스 처리장치의 외부에서 폐가스 처리장치의 일 측면에서 타 측면으로 카트리지를 밀어내어 상기 카트리지의 교체가 가능하므로, 작업자가 폐가스 처리장치 내에 들어가서 유지보수 활동을 할 필요가 없고, 폐가스 처리장치의 상측에 호이스트를 위치시킬 필요가 없어 폐가스 처리장치 적용 공간을 최소화할 수 있고, 호이스트 등의 부대장치를 사용하지 않아 중량작업으로 인한 환경안전 사고를 예방할 수 있고 호이스트를 작동시키기 위한 전기의 사용을 필요로 하지 않으며, 경량화를 통해 설비의 중량 감소로 폐가스 처리장치의 유지 보수의 용이성을 향상시킬 수 있고, 상기 카트리지는 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하며, 폐가스 처리장치 내에서 폐가스가 수직방향으로 이동하므로, 카트리지 내부의 상측에 공극이 발생하더라도 흡착제에 의해 처리되지 않고 파이패스되는 폐가스가 없도록 할 수 있는 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에 대한 것이다.

Description

카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치{Apparatus for treating waste gas with replaceable cartridge laterally}
본 발명은 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 폐가스 처리장치의 외부에서 폐가스 처리장치의 일 측면에서 타 측면으로 카트리지를 밀어내어 상기 카트리지의 교체가 가능하므로, 작업자가 폐가스 처리장치 내에 들어가서 유지보수 활동을 할 필요가 없고, 폐가스 처리장치의 상측에 호이스트를 위치시킬 필요가 없어 폐가스 처리장치 적용 공간을 최소화할 수 있고, 호이스트 등의 부대장치를 사용하지 않아 중량작업으로 인한 환경안전 사고를 예방할 수 있고 호이스트를 작동시키기 위한 전기의 사용을 필요로 하지 않으며, 경량화를 통해 설비의 중량 감소로 폐가스 처리장치의 유지 보수의 용이성을 향상시킬 수 있고, 상기 카트리지는 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하며, 폐가스 처리장치 내에서 폐가스가 수직방향으로 이동하므로, 카트리지 내부의 상측에 공극이 발생하더라도 흡착제에 의해 처리되지 않고 파이패스되는 폐가스가 없도록 할 수 있는 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에 대한 것이다.
산업 현장의 여러 공정에서는 다양한 화학물질이 사용되며, 이러한 화학물질의 일부는 사용 후 배기가스(폐가스) 형태로 배출되게 되는데, 상기 폐가스는 대부분 인체 및 환경에 유해하여 그대로 대기 중에 배출될 경우 큰 문제를 일으키므로, 상기 폐가스는 하기의 특허문허에 기재된 바와 같은 폐가스 처리장치(스크러버) 등을 이용하여 정화 후 배출되게 된다.
<특허문헌>
공개특허공보 제10-2018-0117805호(2018. 10. 30. 공개) "카트리지 교환장치를 구비한 스크러버"
하지만, 종래의 스크러버는 상단에서 호이스트를 이용하여 카트리지를 교체하므로, 상기 스크러버를 운영함에 있어서, 위험한 작업 환경을 가지며, 호이스트 등의 부대장치를 필요로 하고, 상기 스크러버 상단에 호이스트가 위치할 수 있는 공간을 필요로 하여 상기 스크러버가 설치되는 건물은 높은 층고를 가져야 하는 문제가 있다. 또한, 상기 스크러버의 장시간 운영시, 중력 및 자중에 의해 상기 카트리지 내의 흡착제는 하측으로 이동하여 상기 카트리지 내부의 상측에 공극이 발생하는데, 상기 스크러버 내에서 폐가스는 수평방향으로 이동하므로, 흡착제에 의해 처리되지 않고 바이패스되는 폐가스가 존재하는 문제가 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로,
본 발명은 폐가스 처리장치의 외부에서 폐가스 처리장치의 일 측면에서 타 측면으로 카트리지를 밀어내어 상기 카트리지의 교체가 가능하므로, 작업자가 폐가스 처리장치 내에 들어가서 유지보수 활동을 할 필요가 없고, 폐가스 처리장치의 상측에 호이스트를 위치시킬 필요가 없어 폐가스 처리장치 적용 공간을 최소화할 수 있고, 호이스트 등의 부대장치를 사용하지 않아 중량작업으로 인한 환경안전 사고를 예방할 수 있고 호이스트를 작동시키기 위한 전기의 사용을 필요로 하지 않으며, 경량화를 통해 설비의 중량 감소로 폐가스 처리장치의 유지 보수의 용이성을 향상시킬 수 있는 폐가스 처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 카트리지는 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하며, 폐가스 처리장치 내에서 폐가스가 수직방향으로 이동하므로, 카트리지 내부에 공급이 발생하는 것을 최소화할 수 있고, 카트리지 내부의 상측에 공극이 발생하더라도 흡착제에 의해 처리되지 않고 파이패스되는 폐가스가 없도록 할 수 있는 폐가스 처리장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발병은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진 실시예에 의해 구현된다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치는 외형을 형성하는 하우징과; 상기 하우징의 내부에 위치하며, 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하는 복수 개의 카트리지부와; 상기 카트리지부를 지지하며 상기 카트리지부를 구성하는 카트리지가 좌우 방향으로 이동할 수 있도록 가이드하는 복수 개의 지지가이드부와; 상기 하우징 내부에 위치하여 하우징에 유입된 폐가스가 상하방향으로 이동하여 상기 카트리지부의 상하면을 통과한 후 배출되도록 하는 유로형성부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 카트리지부는 하나의 평면을 이루는 복수 개의 카트리지로 구성되며, 상기 카트리지는 외형을 형성하는 바디와, 상기 바디의 내부에 위치하여 폐가스와 반응하여 유해물질을 흡착하는 흡착제를 포함하고, 상기 바디는 상면 및 하면에 관통형성되어 폐가스가 바디를 통과할 수 있도록 하는 복수 개의 중공을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 하우징은 전측에 형성되어 폐가스가 유입되는 유입부와, 상기 하우징의 후측에 형성되어 흡착제에서 유해물질이 제거된 폐가스가 배출되는 유출부와, 상기 하우징의 일측면 및 타측면에 각각 관통형성되어 카트리지부를 폐가스 처리장치의 외부로 노출시키는 개구부와, 상기 개구부의 개폐를 가능하게 하는 도어를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 카트리지부는 좌우 방향으로 복수 개의 카트리지가 접하여 하나의 카트리지열을 형성하고, 전후 방향으로 일정 간격을 두고 복수개의 카트리지열들이 위치하여 형성되며, 상기 지지가이드부는 카트리지의 전측에만 접하는 제1지지가이드부와, 카트리지의 후측에만 접하는 제2지지가이드부와, 전후 일정 간격을 두고 위치하는 카트리지 사이에 위치하는 제3지지가이드부를 포함하고, 상기 제1지지가이드부는 최전측에 위치하는 카트리지의 전측면에 접하며, 좌우 방향으로 연장 형성되는 제1지지프레임과, 상기 제1지지프레임의 후측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제1가이드부를 포함하며, 상기 제2지지가이드부는 최후측에 위치하는 카트리지의 후측면에 접하며, 좌우 방향으로 연장 형성되는 제2지지프레임과, 상기 제2지지프레임의 전측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제2가이드부를 포함하며, 상기 제3지지가이드부는 전측면은 일 카트리지의 후측면에 접하고 후측면은 타 카트리지의 전측면에 접하며, 좌우 방향으로 연장 형성되는 제3지지프레임와, 상기 제3지지프레임의 전측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제3가이드부와, 상기 제3지지프레임의 후측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제4가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 유로형성부는 상기 하우징의 전측에 위치하여 인접하는 카트리지부 사이로 폐가스 유입되는 것을 막는 제1유로형성부와, 상기 하우징의 후측에 위치하여 인접하는 카트리지부 사이로 유입된 폐가스가 상기 카트리지부의 상하면을 통과하지 않고 바로 유출부를 통해 배출되는 것을 막는 제2유로형성부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 제1가이드부, 제2가이드부, 제3가이드부 및 제4가이드부 각각은 롤러가 사용되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 바디의 일측면에는, 중앙 부근에 돌출되어 전후방향으로 연장되는 중앙돌출부와, 상측 및 하측 부분에서 각각 돌출절곡되어 전후 방향으로 연장되는 상하돌출부가 형성되고, 상기 바디의 타측면에는, 중앙 부근에 전후방향으로 연장형성되며, 상기 중앙돌출부를 수용하는 수용홈을 가지는 중앙수용부와, 상기 상측 및 하측 부분에서 각각 돌출절곡되어 전후 방향으로 연장형성되어 상기 상하돌출부를 수용하는 상하수용부가 형성되며, 상기 바디의 전측면과 후측면에는 접하는 지지가이드부의 기밀을 위한 기밀부재가 형성되고, 상기 상하돌출부는 상기 바디의 일측면 방향으로 돌출되는 제1돌출부와, 상기 제1돌출부의 말단에서 중앙 부위로 수직절곡되는 제1절곡부와, 상기 제1돌출부와 제1절곡부가 형성됨에 따라 바디의 일측면, 제1돌출부 및 제1절곡부에 의해 에워싸지는 공간으로 상하수용부의 제2절곡부가 위치하는 제1수용부를 포함하며, 상기 상하수용부는 상기 바디의 타측면 방향으로 돌출되는 제2돌출부와, 상기 제2돌출부의 말단에서 상측 또는 하측 방향으로 수직절곡되는 제2절곡부와, 상기 제2돌출부와 제2절곡부가 형성됨에 따라 바디의 타측면, 제2돌출부 및 제2절곡부에 의해 에워싸지는 공간으로 상하돌출부의 제1절곡부가 위치하는 제2수용부를 포함하고, 상기 수용홈, 제1수용부 및 제2수용부는 각각 전후 방향으로 연통되므로, 일 카트리지에 대하여 전측 또는 후측 방향으로 타 카트리지를 슬라이딩시켜 결합시킬 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 흡착제는 저농도를 가지는 반도체 폐가스를 처리하며, 유기 악취 가스를 흡착하는 제1흡착제, 알칼리 가스를 흡착하는 제2흡착제 및 산 가스를 흡착하는 제3흡착제가를 포함하고, 상기 바디에 유입된 저농도의 반도체 폐가스가 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제를 차례로 통과한 후 바디에서 배출되며, 상기 저농도의 반도체 폐가스는 1 내지 5ppm의 농도를 가지며, 메틸 메르캅탄, 암모니아 및 황화수소를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 제1흡착제는 석탄계 활성탄 80 내지 120중량부 및 제올라이트 240 내지 360중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 수산화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하는 수산화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 혼합단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고 분쇄하여 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물 형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 160 내지 240중량부 및 알루미나 240 내지 360중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 형성되며, 상기 제2흡착제는 석탄계 활성탄 240 내지 360중량부 및 제올라이트 80 내지 120중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 염화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 염화나트륨 용액을 준비하는 염화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 염화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 세척단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 120 내지 180중량부 및 알루미나 280 내지 420중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 염화칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 형성되고, 상기 제3흡착제는 석탄계 활성탄 240 내지 360중량부 및 제올라이트 80 내지 120중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 수산화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하는 수산화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 세척단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 120 내지 180중량부 및 알루미나 280 내지 420중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 폐가스 처리장치에 있어서 상기 제1흡착제는 2 내지 2.5nm의 기공 크기를 가지며, 상기 제2흡착제는 5 내지 8nm의 기공 크기를 가지고, 상기 제3흡착제는 2.8 내지 3.4의 기공 크기를 가지며, 상기 제3흡착제는 황화수소를 흡착할뿐만 아니라 암모니아를 흡착하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 앞서 본 실시예에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
본 발명은 폐가스 처리장치의 외부에서 폐가스 처리장치의 일 측면에서 타 측면으로 카트리지를 밀어내어 상기 카트리지의 교체가 가능하므로, 작업자가 폐가스 처리장치 내에 들어가서 유지보수 활동을 할 필요가 없고, 폐가스 처리장치의 상측에 호이스트를 위치시킬 필요가 없어 폐가스 처리장치 적용 공간을 최소화할 수 있고, 호이스트 등의 부대장치를 사용하지 않아 중량작업으로 인한 환경안전 사고를 예방할 수 있고 호이스트를 작동시키기 위한 전기의 사용을 필요로 하지 않으며, 경량화를 통해 설비의 중량 감소로 폐가스 처리장치의 유지 보수의 용이성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 카트리지는 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하며, 폐가스 처리장치 내에서 폐가스가 수직방향으로 이동하므로, 카트리지 내부에 공급이 발생하는 것을 최소화할 수 있고, 카트리지 내부의 상측에 공극이 발생하더라도 흡착제에 의해 처리되지 않고 파이패스되는 폐가스가 없도록 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 우측면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 좌측면도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 부분절단 정면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 부분절단 배면도.
도 5는 본 발명의 일 실시에에 따른 폐가스 처리장치의 도어를 개방한 상태의 우측면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 단면도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치에 사용되는 카트리지의 사시도.
도 8은 도 7의 카트리지의 결합관계를 나타내는 도면.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 폐가스 처리장치에서 바이패스되는 폐가스가 없음을 설명하기 위한 참고도.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 폐가스 처리장치의 단면도.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 폐가스 처리장치에서 카트리지를 교체하는 방법을 설명하기 위한 참고도.
이하에서는 본 발명에 따른 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 특별한 정의가 없는 한 본 명세서의 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 기술자가 이해하는 당해 용어의 일반적 의미와 동일하고 만약 본 명세서에 사용된 용어의 의미와 충돌하는 경우에는 본 명세서에 사용된 정의에 따른다. 또한, 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대해 상세한 설명은 생략한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치를 도 1 내지 11을 참조하여 설명하면, 상기 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치는 외형을 형성하는 하우징(1)과; 상기 하우징(1)의 내부에 위치하며, 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하는 복수 개의 카트리지부(2)와; 상기 카트리지부(2)를 지지하며 상기 카트리지부(2)를 구성하는 카트리지(21)가 좌우 방향으로 이동할 수 있도록 가이드하는 복수 개의 지지가이드부(3)와; 상기 하우징(1) 내부에 위치하여 하우징(1)에 유입된 폐가스가 상하방향으로 이동하여 상기 카트리지부(2)의 상하면을 통과한 후 배출되도록 하는 유로형성부(4);를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이하에서는 폐가스가 유입되는 쪽을 전측이라 하고, 폐가스가 배출되는 쪽을 후측이라고 하며, 도 3에 도시된 바와 같은 상태에서 폐가스 처리장치의 왼쪽을 좌측이라 하고 오른쪽을 우측이라 하기로 한다.
상기 하우징(1)은 상기 폐가스 처리장치의 외형을 형성하며, 내부에 카트리지부를 수용하는 구성으로, 상기 하우징(1)의 전측에 형성되어 폐가스가 유입되는 유입부(11)와, 상기 하우징(1)의 후측에 형성되어 흡착제에서 유해물질이 제거된 폐가스가 배출되는 유출부(12)와, 상기 하우징(1)의 일측면(예컨대, 좌측면) 및 타측면(예컨대, 우측면)에 각각 관통형성되어 카트리지부를 폐가스 처리장치의 외부로 노출시키는 개구부(13)와, 상기 개구부(13)의 개폐를 가능하게 하는 도어(14) 등을 포함한다. 도 1 및 2에는 일체형을 가지는 하나의 도어(14)가 도시되어 있으나 이는 일 예로, 폴딩 도어 형태, 복수 개의 도어 등과 같이 상기 개구부(13)를 통해 카트리지부를 폐가스 처리장치의 외부로 노출시킬 수 있도록, 상기 개부부(13)를 개폐할 수 있는 다양한 형태 및 개수의 도어를 가질 수 있다. 상기 유입부(11)를 통해 하우징(1)의 내부에 유입된 폐가스는 상기 카트리지부의 상하면을 통과하여 상기 카트리지부를 구성하는 카트리지 내부의 흡착제와 반응하여 유해물질이 제거된 후 상기 유출부(12)를 통해 하우징(1)의 외부로 배출되게 된다.
상기 카트리지부(2)는 하나의 평면을 이루는 복수 개의 카트리지(21)로 구성되며, 상기 하우징(1) 내에는 상하 일정 간격을 두고 나란하게 복수 개의 카트리지부(2)가 위치하고, 최상측에 위치하는 카트리지부(2)는 하우징(1)의 상면과 일정 간격 이격되어 위치하고, 최하측에 위치하는 카트리지부(2)는 하우징(1)의 하측면과 일정 간격 이격되어 위치하게 된다. 상기 카트리지(21)는 외형을 형성하는 바디(21a)와, 상기 바디(21a)의 내부에 위치하여 폐가스와 반응하여 유해물질을 흡착하는 흡착제(미도시)를 포함한다. 상기 카트리지부(2) 각각은 좌우 방향으로 복수 개의 카트리지(21)가 접하여 하나의 카트리지열(a)을 형성하고, 전후 일정 간격을 두고 복수개의 카트리지열들(b)이 위치하여 형성된다.
상기 바디(21a)는 일정 형상을 가지나 바람직하게 전체적으로 속이 빈 납작한 직육면체의 형태를 가지며, 도 7(도 7의(a)는 상기 바디(21a)를 우측에서 바라본 사시도이고, 도 7의 (b)는 상기 바디(21a)를 좌측에서 바라본 사시도임)에 도시된 바와 같이 상기 바디(21a)의 일측면(예컨대, 우측면)에는, 중앙 부근에 돌출되어 전후방향으로 연장되는 중앙돌출부(211)와, 상측 및 하측 부분에서 각각 돌출절곡되어 전후 방향으로 연장되는 상하돌출부(212)가 형성되고, 상기 바디(21a)의 타측면(예컨대, 좌측면)에는, 중앙 부근에 전후방향으로 연장형성되며, 상기 중앙돌출부(211)를 수용하는 수용홈(213a)를 가지는 중앙수용부(213)와, 상기 상측 및 하측 부분에서 각각 돌출절곡되어 전후 방향으로 연장형성되어 상기 상하돌출부(212)를 수용하는 상하수용부(214)가 형성되며, 상기 바디(21a)의 상면 및 하면에는 바디(21a)의 내부로 폐가스가 유출입될 수 있도록 복수 개의 중공(215)이 형성되며, 상기 바디(21a)의 전면 및 후면에는 접하는 지지가이드부(3)의 기밀을 위한 기밀부재(216, 예컨대, 벨크로 테이프의 루프가 사용될 수 있음)가 형성된다. 상기 상하돌출부(212)는 상기 바디(21a)의 일측면 방향으로 돌출되는 제1돌출부(212a)와, 상기 제1돌출부(212a)의 말단에서 중앙 부위로 수직절곡되는 제1절곡부(212b)와, 상기 제1돌출부(212a)와 제1절곡부(212b)가 형성됨에 따라 바디의 일측면, 제1돌출부(212a) 및 제1절곡부(212b)에 의해 에워싸지는 공간으로 상하수용부(214)의 제2절곡부(214b)가 위치하는 제1수용부(212c)를 포함하며, 상기 상하수용부(214)는 상기 바디(21a)의 타측면 방향으로 돌출되는 제2돌출부(214a)와, 상기 제2돌출부(214a)의 말단에서 상측 또는 하측 방향으로 수직절곡되는 제2절곡부(214b)와, 상기 제2돌출부(214a)와 제2절곡부(214b)가 형성됨에 따라 바디의 타측면, 제2돌출부(214a) 및 제2절곡부(214b)에 의해 에워싸지는 공간으로 상하돌출부(212)의 제1절곡부(212b)가 위치하는 제2수용부(214c)를 포함한다. 상기 수용홈(213a), 제1수용부(212c) 및 제2수용부(214c)는 각각 전후 방향으로 연통되므로, 도 8에 도시된 바와 같이 일 카트리지(21-a)에 대하여 전측 또는 후측 방향으로 타 카트리지(21-b)를 슬라이딩시켜 견고하게 고정시킬 수 있다. 상기 바디(21a)는 다양한 소재로 이루어질 수 있으나, 경량화를 위해 가벼운 금속, 열에 강한 합성수지로 이루어지는 것이 바람직하다. 상기 카트리지들은 견고하게 고정되어 하나의 덩어리가 되므로 하중이 증가하여, 하측에서 상측으로 이동하는 폐가스에 의해 들뜨는 것을 방지할 수 있다.
상기 흡착제는 상기 바디(21a)에 수용되어 상기 하우징(1) 내부에 유입된 폐가스와 반응하여 폐가스의 유해 물질을 제거하는 구성으로, 폐가스에 포함된 유해 가스의 종류에 따라 공지의 다양한 종류의 흡착제가 사용될 수 있으면, 상기 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에 사용되는 흡착제의 일 예는 하기에서 자세히 설명하기로 한다.
상기 지지가이드부(3)는 상기 카트리지부(2)를 지지하며, 상기 카트리지부(2)를 구성하는 카트리지(21)가 좌우 방향으로 이동할 수 있도록 가이드하는 구성으로, 상기 하우징(1) 내에는 상하 일정 간격을 두고 나란하게 복수 개의 지지가이드부(3)가 위치한다. 상기 지지가이드부(3)는 카트리지의 전측에만 접하는 제1지지가이드부(31)와, 카트리지의 후측에만 접하는 제2지지가이드부(32)와, 전후 일정 간격을 두고 위치하는 카트리지 사이에 위치하는 제3지지가이드부(33)를 포함한다. 상기 지지가이드부(3)는 다양한 소재로 이루어질 수 있으나, 바람직하게는 경량화를 위해 AL 프로파일이 사용되는 것이 바람직하다.
상기 제1지지가이드부(31)는 최전측에 위치하는 카트리지(21)의 전측면에 접하고 좌우 방향으로 연장 형성되는 제1지지프레임(31a)과, 상기 제1지지프레임(31a)의 후측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지(21)의 하면을 지지하며 상기 카트리지(21)를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지(21)의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제1가이드부(31b)를 포함한다. 상기 제1가이드부(31b)는 예컨대 롤러가 사용될 수 있다.
상기 제2지지가이드부(32)는 최후측에 위치하는 카트리지(21)의 후측면에 접하고 좌우 방향으로 연장 형성되는 제2지지프레임(32a)과, 상기 제2지지프레임(32a)의 전측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지(21)의 하면을 지지하며 상기 카트리지(21)를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지(21)의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제2가이드부(32b)를 포함한다. 상기 제2가이드부(32b)는 예컨대 롤러가 사용될 수 있다.
상기 제3지지가이드부(33)는 전측면은 일 카트리지의 후측면에 접하고 후측면은 타 카트리지의 전측면에 접하며 좌우 방향으로 연장 형성되는 제3지지프레임(33a)와, 상기 제3지지프레임(33a)의 전측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지(21)의 하면을 지지하며 상기 카트리지(21)를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지(21)의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제3가이드부(33b)와, 상기 제3지지프레임(33a)의 후측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지(21)의 하면을 지지하며 상기 카트리지(21)를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지(21)의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제4가이드부(33c)를 포함한다. 상기 제3가이드부(33b) 및 제4가이드부(33c)는 예컨대 롤러가 사용될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이 3개의 카트리지열을 포함하는 카트리지부(2)에서는 상기 제3지지가이드부(33)가 하나가 사용되나, 도 10에 도시된 바와 같이 4개 이상의 카트리지열을 포함하는 카트리지부(2)에서는 상기 제2지지가이드부(33)가 복수 개 사용되게 된다.
상기 유로형성부(4)는 상기 하우징(1) 내부에 위치하여 하우징(1)에 유입된 폐가스가 상하방향으로 이동하여 상기 카트리지부(2)의 상하면을 통과한 후 배출되도록 하는 구성으로, 상기 하우징(1)의 전측에 위치하여 인접하는 카트리지부(2) 사이로 폐가스 유입되는 것을 막는 제1유로형성부(41)와, 상기 하우징(1)의 후측에 위치하여 인접하는 카트리지부(3) 사이로 유입된 폐가스가 상기 카트리지부(2)의 상하면을 통과하지 않고 바로 유출부(12)를 통해 배출되는 것을 막는 제2유로형성부(42)를 포함하며, 도 10에 도시된 바와 같이 카트리지부(2)가 상하 일정 간격을 두고 여러개가 형성되는 경우, 상기 제1유로형성부(41)는 상하 일정 간격을 두고 이격되어 복수 개가 형성되여, 상기 카트리지부(2)들의 사이 공간은 폐쇄되는 부분과 개방되는 부분이 상하 방향으로 번갈아 형성되고, 상기 제2유로형성부(42)는 상하 일정 간격을 두고 이격되어 복수 개가 형성되여, 상기 카트리지부(2)들의 사이 공간은 폐쇄되는 부분과 개방되는 부분이 상하 방향으로 번갈아 형성되며, 정면에서 보았을 때 상기 제1유형성부(41)와 제2유로형성부(42)는 상하 방향으로 번갈아 위치하여, 상기 하우징(1) 내부에 유입된 폐가스는 상기 카트리지부(2)의 상하면을 통과한 후 유출부(12)를 통해 외부로 배출되게 된다. 상기와 같은 구성을 가지는 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에서 카트리지를 교체하는 과정을 살펴보면, 하우징(1)의 좌측 및 우측의 도어(14)를 열고, 작업자가 일 카트리지열을 좌측 또는 후측 방향으로 밀어 지지가이드부(3)로부터 일 카트리지열을 구성하는 카트리지(21)를 이탈시켜 하우징(1)의 개구부(13)를 통해 외부로 돌출시킬 수 있고 돌출된 특정 카트리지(21)를 전후 방향으로 슬라이딩 시켜 제거하는 것이 가능하게 된다. 새로운 카트리지(21)를 하우징(1)의 내부에 위치시킬 때에는 카트리지를 제거하는 과정과 반대되는 과정으로 작업하면 된다. 또한, 상측에 위치하는 카트리지의 교체시에는 도 11에 도시된 바와 같은 거치대(100)를 이용하여 하우징(1)의 외부에서 용이하게 카트리지를 교체할 수 있다. 상기 스마트 폐가스 처리장치는 바이패스되는 폐가스가 없도록 하는 것을 일 특징으로 하는데 이에 대해 구체적으로 살펴보면, 종래와 같이 하우징에 유입된 폐가스가 좌우방향으로 이동하여 상기 카트리지의 측면을 통과한 후 배출되는 경우, 도 9의 (a)에 도시된 바와 같이 상기 카트리지(200)는 수직 직립되어 내부의 흡착제(210)는 중력과 자중에 큰 영향을 받아 상기 카트리지(200) 내부에 공극(220)이 발생하여 흡착제(210)에 의해 처리되지 않고 바이패스되는 폐가스가 존재하는데 반해, 본원발명과 같이, 상기 하우징에 유입된 폐가스가 상하방향으로 이동하여 상기 카트리지의 상하면을 통과한 후 배출되는 경우, 도 9의 (b)에 도시된 바와 같이 상기 카트리지(21)는 수평 안착되어 내부의 흡착제(21b)는 중력 및 자중에 작은 영향을 받아 공극의 발생을 최소화할 수 있고, 다짐에 의해 공극이 발행하더라도 폐가스는 상하 이동하므로 흡착제(21b)와 반응하지 않고 바이패스되는 폐가스의 발생을 방지할 수 있다.
본 발명의 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치에 사용되는 흡착제(미도시)는 앞서 설명한 바와 같이 폐가스에 포함된 유해물질에 따라 다양한 흡착제가 사용될 수 있는데, 일 예로 플라즈마, 촉매 등에 의해 1차 처리되어 5ppm 이하의 저농도를 가지는 반도체 폐가스를 처리하기 위한 흡착제가 사용될 수 있으며, 상기 흡착제는 저농도의 반도체 폐가스에서 유기 악취 가스(예컨대, 메틸 메르캅탄 등)를 흡착하는 제1흡착제, 저농도의 반도체 폐가스에서 알칼리 가스(예컨대, 암모니아 등)를 흡착하는 제2흡착제 및 저농도의 반도체 폐가스에서 산 가스(예컨대, 황화수소 등)를 흡착하는 제3흡착제가 혼합 사용될 수 있으며, 상기 하우징의 상하방향의 중앙 부위에 위치하는 카트리지들은, 상기 바디(21a)에 유입된 저농도의 반도체 폐가스가 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제를 차례로 통과하여 상기 바디(21a)에서 배출되도록, 상기 바디(21a) 내에 상기 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제가 상하 방향으로 연이어 위치하는 것이 바람직하다. 도시하지 않았지만, 일 예로 상기 바디에 중공이 형성된 복수 개의 격벽을 위치시켜 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제를 연이어 위치시키는 것이 가능하다.
상기 제1 내지 제3흡착제는 저농도 반도체 폐가스 처리에 사용되는 종래의 활성탄과 달리 열적 안정성을 가지는 흡착제가 사용되는 것이 바람직하며, 상기 제1흡착제는 제2흡착제 및 제3흡착제보다 열에 강한 특성을 갖는 것이 바람직하고, 상기 메틸 메르캅탄은 안정한 물질로 입자 크기가 작으므로 상기 제1흡착제는 2 내지 2.5nm의 기공 크기를 가지는 것이 바람직하다. 상기 제2흡착제 및 제3흡착제는 산, 알칼리 가스의 제거 효율을 향상시키기 위해 3 내지 7nm의 기공 크기를 가지는 것이 바람직하다.
상기 제1흡착제는 석탄계 활성탄 80 내지 120중량부 및 제올라이트 240 내지 360중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 수산화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하는 수산화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 혼합단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고 분쇄하여 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물 형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 160 내지 240중량부 및 알루미나 240 내지 360중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 제조되게 된다. 상기 제1흡착제는 2 내지 2.5nm의 기공 크기를 가지는 것이 바람직하다.
상기 제2흡착제는 석탄계 활성탄 240 내지 360중량부 및 제올라이트 80 내지 120중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 염화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 염화나트륨 용액을 준비하는 염화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 염화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 세척단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 120 내지 180중량부 및 알루미나 280 내지 420중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 염화칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 제조되게 된다. 상기 제2흡착제는 5 내지 8nm의 기공 크기를 가지는 것이 바람직하다.
상기 제3흡착제는 석탄계 활성탄 240 내지 360중량부 및 제올라이트 80 내지 120중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 수산화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하는 수산화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 세척단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 120 내지 180중량부 및 알루미나 280 내지 420중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 제조되게 된다. 상기 제3흡착제는 2.8 내지 3.4의 기공 크기를 가지는 것이 바람직하다. 상기와 같이 형성된 제3흡착제는 황화수소를 흡착할뿐만 아니라 암모니아를 흡착할 수 있게 된다. 상기 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제는 저농도의 반도체 폐가스를 처리하는 활성탄에 비해 열적 안정성이 뛰어나나, 상기 제1흡착제는 제2흡착제 및 제3흡착제에 비해 열적 안정성이 더 뛰어나므로, 반도체 폐가스와 가장 먼저 반응할 수 있도록 바디 내에 위치하게 된다. 또한, 제3흡착제는 황화수소를 흡착할 뿐만 아니라 물리적 흡착에 의해 암모니아 흡착하므로, 가장 마지막에 폐가스와 접촉하도록 바디 내에 위치하게 된다. 상기 폐가스 처리장치에 사용되는 흡착제는 활성탄의 사용 비율 등을 조절하여 열적 안정성을 향상시키고, 기공 크기 조절을 통해 선택적으로 유해물질을 제거하여 저농도의 반도체 폐가스를 처리하므로, 비교적 갑싼 재료를 간단한 방법으로 흡착제를 제조할 수 있어 경제성을 향상시킬 수 있다.
앞서 설명한 카트리지 측면 교체 방식의 폐가스 처리장치의 제조방법을 설명하면, 상기 제조방법은 저농도의 반도체 폐가스에서 유기 악취 가스(예컨대, 메틸 메르캅탄 등)를 제거하기 위한 제1흡착제를 제조하는 제1단계와, 저농도의 반도체 폐가스에서 알칼리 가스(예컨대, 암모니아 등)를 제거하기 위한 제2흡착제를 제조하는 제2단계와, 저농도의 반도체 폐가스에서 산 가스(예컨대, 황화수소 등)를 제거하기 위한 제3흡착제를 제조하는 제3단계와, 카트리지의 바디에 상하 방향으로 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제를 차례로 적층하는 제3단계와, 상기 카트리지를 하우징 내부에 위치시키는 단계를 포함한다. 상기 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제를 제조하는 방법 및 카트리지를 하우징 내부에 위치히는 방법은 앞서 자세히 설명하였으므로, 생략하기로 한다.
이하, 실시예를 통해서 본 발명을 보다 상세히 설명하기로 한다. 하지만, 이들은 본 발명을 보다 상세하게 설명하기 위한 것일 뿐, 본 발명의 권리범위가 이에 한정되는 것은 아니다.
<실시예 1> 흡착제의 제조
1. 석탄계 활성탄 100g 및 제올라이트 300g을 혼합하여 혼합분말을 준비하고, 수산화나트륨 400g을 증류수 1000ml에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하고, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합하고 1시간 동안 교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 3회 세척하였다. 이후, 150℃에서 3시간 동안 건조하고 350℃에서 1시간 동안 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하고, 상기 분쇄물에 실리카 200g 및 알루미나 300g을 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하였다. 이후, 상기 혼합 파우더에 2.5mol의 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 회전성형기를 이용하여 구형 형태로 성형한 후 건조하여 흡착제 1을 형성하였다.
2. 석탄계 활성탄 300g 및 제올라이트 100g을 혼합하여 혼합분말을 준비하고, 수산화나트륨 400g을 증류수 1000ml에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하고, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합하고 1시간 동안 교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 3회 세척하였다. 이후, 150℃에서 3시간 동안 건조하고 350℃에서 1시간 동안 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하고, 상기 분쇄물에 실리카 150g 및 알루미나 350g을 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하였다. 이후, 상기 혼합 파우더에 2.5mol의 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 회전성형기를 이용하여 구형 형태로 성형한 후 건조하여 흡착제 2를 형성하였다.
3. 석탄계 활성탄 300g 및 제올라이트 100g을 혼합하여 혼합분말을 준비하고, 염화나트륨 400g을 증류수 1000ml에 녹여 염화나트륨 용액을 준비하고, 상기 혼합분말을 상기 염화나트륨 용액에 혼합하고 1시간 동안 교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 3회 세척하였다. 이후, 150℃에서 3시간 동안 건조하고 350℃에서 1시간 동안 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하고, 상기 분쇄물에 실리카 150g 및 알루미나 350g을 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하였다. 이후, 상기 혼합 파우더에 2.5mol의 염화칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 회전성형기를 이용하여 구형 형태로 성형한 후 건조하여 흡착제 3을 형성하였다.
4. 석탄계 활성탄 100g, 제올라이트 300g, 실리카 200g 및 알루미나 300g을 혼합하여 혼합분말을 준비하고, 수산화나트륨 400g을 증류수 1000ml에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하고, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합하고 1시간 동안 교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 3회 세척하였다. 이후, 150℃에서 3시간 동안 건조하고 350℃에서 1시간 동안 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하였다. 이후, 상기 분쇄물에 2.5mol의 염화칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 회전성형기를 이용하여 구형 형태로 성형한 후 건조하여 흡착제 4를 형성하였다.
5. 석탄계 활성탄 300g, 제올라이트 100g, 실리카 150g 및 알루미나 350g을 혼합하여 혼합분말을 준비하고, 수산화나트륨 400g을 증류수 1000ml에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하고, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합하고 1시간 동안 교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 3회 세척하였다. 이후, 150℃에서 3시간 동안 건조하고 350℃에서 1시간 동안 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하였다. 이후, 상기 혼합 파우더에 2.5mol의 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 회전성형기를 이용하여 구형 형태로 성형한 후 건조하여 흡착제 5를 형성하였다.
6. 석탄계 활성탄 300g, 제올라이트 100g, 실리카 150g 및 알루미나 350g을 혼합하여 혼합분말을 준비하고, 염화나트륨 400g을 증류수 1000ml에 녹여 염화나트륨 용액을 준비하고, 상기 혼합분말을 상기 염화나트륨 용액에 혼합하고 1시간 동안 교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 3회 세척하였다. 이후, 150℃에서 3시간 동안 건조하고 350℃에서 1시간 동안 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하였다. 이후, 상기 혼합 파우더에 2.5mol의 염화칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 회전성형기를 이용하여 구형 형태로 성형한 후 건조하여 흡착제 6을 형성하였다.
7. 석탄계 활성탄 100g, 제올라이트 300g 대신에 석탄계 활성탄 200g, 제올라이트 200g을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1의 1과 동일하게 하여 흡착제 7을 형성하였다.
8. 석탄계 활성탄 300g, 제올라이트 100g 대신에 석탄계 활성탄 200g, 제올라이트 200g을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1의 3과 동일하게 하여 흡착제 8을 형성하였다.
9. 실리카 200g 및 알루미나 300g 대신에 실리카 150g 및 알루미나 350g을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1의 1과 동일하게 하여 흡착제 9를 형성하였다.
10. 실리카 150g 및 알루미나 350g 대신에 실리카 200g 및 알루미나 300g을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1의 2와 동일하게 하여 흡착제 10을 형성하였다.
11. 염화칼슘 용액 대신에 탄산칼슘 용액을 사용한 것을 제외하고는 다른 조건을 실시예 1의 3과 동일하게 하여 흡착제 11을 형성하였다.
<실시예 2> 열적 안정성 평가
1. 저농도의 반도체 폐가스 처리에 일반적으로 사용되는 활성탄 및 흡착제 1 내지 11에 대하여, 불을 직접 가할 때(직화) 발화가 있었는지 확인하여, 그 결과를 표 1에 나타내였다. 또한, 흡착제 1 내지 3에 대하여 열중량분석기(TGA)를 이용하여 실험하여 열적 안정성을 상대 비교하였다.
2. 표 1을 보면, 활성탄은 직화시 발화가 발생하나 흡착제 1 내지 11은 발화가 일어나지 않은 것을 확인할 수 있고, TGA 실험 결과 흡착제 1이 흡착제 2 및 3에 비하여 열정 안정성이 더 우수한 것을 확인할 수 있었다.

활성탄		 흡착제
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
발화여부 ○ × × × × × × × × × × ×
<실시예 3> 물성 평가
1. 활성탄, 흡착제 1 내지 3 및 7에 대하여 비중, 기공크기, 비표면적을 측정하여 그 결과를 표 2에 나타내었다.
2. 표 2를 보면, 활성탄의 기공 크기는 1.85nm이며, 흡착제 1의 기공 크기는 2.48nm이고, 흡착제 2의 기공 크기는 3.1nm이고, 흡착제 3의 기공 크기는 6.66nm이고, 흡착제 7의 기공 크기는 2.80nm임을 확인할 수 있다.
비중(g/ml) 기공크기(nm) 비표면적
BET(m3/g)
활성탄 0.55 1.85 999
흡착제 1 0.7 2.48 300
흡착제 2 0.7 3.10 406
흡착제 3 0.8 6.66 215
흡착제 7 0.72 2.80 360
<실시예 4> 반도체 폐가스의 제거 효율 평가
1. 산 가스(H2S) 및 알칼리 가스(NH3)의 흡착 능력 평가
(1) 활성탄 및 흡착제 1 내지 11 각각을 유리반응실린더에 채워넣고, 불활성 가스 N2와 혼합된 H2S 가스, 불활성 가스 N2와 혼합된 NH3 가스 각각을 유리반응실린더에 1LPM으로 흘러주고, 반응 후 흘러나온 가스는 FT-IR을 통해 분석하여 흡착제(또는 활성탄) 1L당 제거된 H2S 가스(또는 NH3 가스)의 양을 계산하여 그 결과를 표 3에 나타내었다.
(2) 표 3을 보면, 흡착제 2는 황화수소 흡착 능력이 뛰어나고, 흡착제 3은 암모니아 흡착 능력이 뛰어남을 알 수 있다. 또한, 흡착제 1이 흡착제 4에 비하여 흡착 능력이 뛰어나고, 흡착제 2가 흡착제 5에 비하여 흡착 능력이 뛰어나고, 흡착제 3이 흡착제 6에 비하여 흡착 능력이 뛰어남을 확인할 수 있어, 흡착제를 구성하는 분말을 한꺼번에 혼합하여 생성하는 경우 흡착 능력이 떨어짐을 알 수 있다. 또한, 흡착제 7이 흡착제 1에 비해 흡착 능력이 뛰어나고, 흡착제 3이 흡착제 8에 비해 흡착 능력이 뛰어남을 확인할 수 있어, 활성탄과 제올라이트의 양을 조절하는 경우, 황화 수소 가스 및 암모니아 가스의 흡착량을 향상시킬 수 있음을 알 수 있다. 또한, 실시예 2가 실시예 10에 비하여 흡착 능력이 뛰어남을 알 수 있어, 실리카와 알루미나의 양을 조절하여 가스 흡착량이 변화됨을 알 수 있다.
H2S 흡착량(L/L) NH3 흡착량(L/L)
활성탄 0.07 0.21
흡착제 1 0.27 0.53
흡착제 2 1.21 2.38
흡착제 3 0.07 4.75
흡착제 4 0.25 0.48
흡착제 5 0.58 0.89
흡착제 6 0.06 2.01
흡착제 7 0.89 1.55
흡착제 8 0.04 3.54
흡착제 9 0.25 0.47
흡착제 10 1.11 2.11
흡착제 11 0.66 3.24
2. 저농도 반도체 폐가스의 구성 성분의 흡착 능력 평가
(1) 저농도의 반도체 폐가스는 5ppm 이하의 메틸 메르캅탄, 황화수소, 암모니아 등을 포함하는데, 상기 흡착제가 저농도의 메틸 메르캅탄, 황화수소, 암모니아를 흡착하는지 실험하여 그 결과를 표 4에 나타내었다. 상기 실험은 활성탄, 흡착제 1 내지 4, 7 및 9가 채워진 반응기에 4.84PPM의 메틸 메르캅탄을 주입하고 출구에서 메틸 메르캅탄의 농도를 측정하였으며, 흡착제 2가 채워진 반응기에 4.94PPM의 황화수소를 주입하고 출구에서 황화수소의 농도를 측정하였으며, 흡착제 3이 채워진 반응기에 4.86PPM의 암노니아를 주입하고 출구에서 암모니아의 농도를 측정하였다.
(2) 표 4를 보면, 흡착제 1이 저농도의 메틸 메르캅탄을 완전히 제거하고, 흡착제 2가 저농도의 황화수소를 완전히 제거하고, 흡착제 3이 저농도의 암모니아를 완전히 제거함을 알 수 있다. 또한, 흡착제 1이 흡착제 2, 3, 4, 7 및 9에 비해 저농도의 메틸 메르캅탄 흡착 효율이 뛰어남을 알 수 있어, 흡착제 구성 성분의 혼합 방법, 활성탄과 제올라이트의 양, 실리카와 알루미나의 양을 조절하여 가스 흡착량이 변화됨을 알 수 있다.
GAS 종류 INLET 농도(PPM) 흡착제 OUTLET 농도(PPM)
Methyl mercaptan 4.84 활성탄 0
흡착제 1 0
흡착제 2 0.14
흡착제 3 0.96
흡착제 4 0.22
흡착제 7 0.09
흡착제 9 0.04
Hydrogen sulfide 4.94 흡착제 2 0
Ammonia 4.86 흡착제 3 0
이상에서, 출원인은 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시예일 뿐이며 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경예 또는 수정예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다.
1: 하우징 2: 카트리지부 3: 지지가이드부
4: 유로형성부 11: 유입부 12: 유출부
13: 개구부 14: 도어 21: 카트리지
31: 제1지지가이드부 32: 제2지지가이드부 33: 제3지지가이드부
41: 제1유로형성부 42: 제2유로형성부 21a: 바디
31a: 제1지지프레임 31b: 제1가이드부 32a: 제2지지프레임
32b: 제2가이드부 33a: 제3지지프레임 33b: 제3가이드부
33c: 제4가이드부 211: 중앙돌출부 212: 상하돌출부
213: 중앙수용부 214: 상하수용부 215: 중공
216: 기밀부재 213a: 수용홈 212a: 제1돌출부
212b: 제1절곡부 212c: 제1수용부 214a: 제2돌출부
214b: 제2절곡부 214c: 제2수용부

Claims (10)

  1. 외형을 형성하는 하우징과; 상기 하우징의 내부에 위치하며, 상하 일정 간격을 두고 나란하게 위치하는 복수 개의 카트리지부와; 상기 카트리지부를 지지하며 상기 카트리지부를 구성하는 카트리지가 좌우 방향으로 이동할 수 있도록 가이드하는 복수 개의 지지가이드부와; 상기 하우징 내부에 위치하여 하우징에 유입된 폐가스가 상하방향으로 이동하여 상기 카트리지부의 상하면을 통과한 후 배출되도록 하는 유로형성부;를 포함하며,
    상기 카트리지부는 하나의 평면을 이루는 복수 개의 카트리지로 구성되며,
    상기 카트리지는 외형을 형성하는 바디와, 상기 바디의 내부에 위치하여 폐가스와 반응하여 유해물질을 흡착하는 흡착제를 포함하고,
    상기 바디는 상면 및 하면에 관통형성되어 폐가스가 바디를 통과할 수 있도록 하는 복수 개의 중공을 포함하고,
    상기 하우징은 전측에 형성되어 폐가스가 유입되는 유입부와, 상기 하우징의 후측에 형성되어 흡착제에서 유해물질이 제거된 폐가스가 배출되는 유출부와, 상기 하우징의 일측면 및 타측면에 각각 관통형성되어 카트리지부를 폐가스 처리장치의 외부로 노출시키는 개구부와, 상기 개구부의 개폐를 가능하게 하는 도어를 포함하며,
    상기 카트리지부는 좌우 방향으로 복수 개의 카트리지가 접하여 하나의 카트리지열을 형성하고, 전후 방향으로 일정 간격을 두고 복수개의 카트리지열들이 위치하여 형성되며,
    상기 지지가이드부는 카트리지의 전측에만 접하는 제1지지가이드부와, 카트리지의 후측에만 접하는 제2지지가이드부와, 전후 일정 간격을 두고 위치하는 카트리지 사이에 위치하는 제3지지가이드부를 포함하고,
    상기 제1지지가이드부는 최전측에 위치하는 카트리지의 전측면에 접하며, 좌우 방향으로 연장 형성되는 제1지지프레임과, 상기 제1지지프레임의 후측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제1가이드부를 포함하며,
    상기 제2지지가이드부는 최후측에 위치하는 카트리지의 후측면에 접하며, 좌우 방향으로 연장 형성되는 제2지지프레임과, 상기 제2지지프레임의 전측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제2가이드부를 포함하며,
    상기 제3지지가이드부는 전측면은 일 카트리지의 후측면에 접하고 후측면은 타 카트리지의 전측면에 접하며, 좌우 방향으로 연장 형성되는 제3지지프레임와, 상기 제3지지프레임의 전측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제3가이드부와, 상기 제3지지프레임의 후측면에 좌우 방향으로 일정 간격을 두고 복수 개가 형성되어 상기 카트리지의 하면을 지지하며 상기 카트리지를 좌우 방향으로 밀때 상기 카트리지의 좌우 방향의 이동을 가이드하는 제4가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 유로형성부는 상기 하우징의 전측에 위치하여 인접하는 카트리지부 사이로 폐가스 유입되는 것을 막는 제1유로형성부와, 상기 하우징의 후측에 위치하여 인접하는 카트리지부 사이로 유입된 폐가스가 상기 카트리지부의 상하면을 통과하지 않고 바로 유출부를 통해 배출되는 것을 막는 제2유로형성부를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1가이드부, 제2가이드부, 제3가이드부 및 제4가이드부 각각은 롤러가 사용되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 바디의 일측면에는, 중앙 부근에 돌출되어 전후방향으로 연장되는 중앙돌출부와, 상측 및 하측 부분에서 각각 돌출절곡되어 전후 방향으로 연장되는 상하돌출부가 형성되고, 상기 바디의 타측면에는, 중앙 부근에 전후방향으로 연장형성되며, 상기 중앙돌출부를 수용하는 수용홈을 가지는 중앙수용부와, 상기 상측 및 하측 부분에서 각각 돌출절곡되어 전후 방향으로 연장형성되어 상기 상하돌출부를 수용하는 상하수용부가 형성되며, 상기 바디의 전측면과 후측면에는 접하는 지지가이드부의 기밀을 위한 기밀부재가 형성되고,
    상기 상하돌출부는 상기 바디의 일측면 방향으로 돌출되는 제1돌출부와, 상기 제1돌출부의 말단에서 중앙 부위로 수직절곡되는 제1절곡부와, 상기 제1돌출부와 제1절곡부가 형성됨에 따라 바디의 일측면, 제1돌출부 및 제1절곡부에 의해 에워싸지는 공간으로 상하수용부의 제2절곡부가 위치하는 제1수용부를 포함하며,
    상기 상하수용부는 상기 바디의 타측면 방향으로 돌출되는 제2돌출부와, 상기 제2돌출부의 말단에서 상측 또는 하측 방향으로 수직절곡되는 제2절곡부와, 상기 제2돌출부와 제2절곡부가 형성됨에 따라 바디의 타측면, 제2돌출부 및 제2절곡부에 의해 에워싸지는 공간으로 상하돌출부의 제1절곡부가 위치하는 제2수용부를 포함하고,
    상기 수용홈, 제1수용부 및 제2수용부는 각각 전후 방향으로 연통되므로, 일 카트리지에 대하여 전측 또는 후측 방향으로 타 카트리지를 슬라이딩시켜 결합시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 흡착제는 저농도를 가지는 반도체 폐가스를 처리하며, 유기 악취 가스를 흡착하는 제1흡착제, 알칼리 가스를 흡착하는 제2흡착제 및 산 가스를 흡착하는 제3흡착제가를 포함하고,
    상기 바디에 유입된 저농도의 반도체 폐가스가 제1흡착제, 제2흡착제 및 제3흡착제를 차례로 통과한 후 바디에서 배출되며,
    상기 저농도의 반도체 폐가스는 1 내지 5ppm의 농도를 가지며, 메틸 메르캅탄, 암모니아 및 황화수소를 포함하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제1흡착제는 석탄계 활성탄 80 내지 120중량부 및 제올라이트 240 내지 360중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 수산화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하는 수산화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 혼합단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고 분쇄하여 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물 형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 160 내지 240중량부 및 알루미나 240 내지 360중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 형성되며,
    상기 제2흡착제는 석탄계 활성탄 240 내지 360중량부 및 제올라이트 80 내지 120중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 염화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 염화나트륨 용액을 준비하는 염화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 염화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 세척단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 120 내지 180중량부 및 알루미나 280 내지 420중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 염화칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 형성되고,
    상기 제3흡착제는 석탄계 활성탄 240 내지 360중량부 및 제올라이트 80 내지 120중량부를 혼합하여 혼합분말을 형성하는 혼합분말형성단계와, 수산화나트륨 320 내지 480중량부를 증류수 800 내지 1200중량부에 녹여 수산화나트륨 용액을 준비하는 수산화나트륨용액준비단계와, 상기 혼합분말을 상기 수산화나트륨 용액에 혼합교반하고, 감압 여과하여 케이크를 형성하고 증류수로 세척하는 세척단계와, 상기 혼합단계에서 얻은 세척한 케이크를 건조하고 소성하고, 분쇄를 통해 파우더 형태의 분쇄물을 형성하는 분쇄물형성단계와, 상기 분쇄물에 실리카 120 내지 180중량부 및 알루미나 280 내지 420중량부를 혼합하여, 혼합 파우더를 준비하는 혼합파우더준비단계와, 상기 혼합 파우더에 탄산칼슘 용액을 혼합하여 반죽을 형성하고, 상기 반죽을 성형하고 건조하는 성형건조단계를 거쳐 형성되는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1흡착제는 2 내지 2.5nm의 기공 크기를 가지며, 상기 제2흡착제는 5 내지 8nm의 기공 크기를 가지고, 상기 제3흡착제는 2.8 내지 3.4의 기공 크기를 가지며, 상기 제3흡착제는 황화수소를 흡착할뿐만 아니라 암모니아를 흡착하는 것을 특징으로 하는 폐가스 처리장치.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101676466B1 (ko) * 2016-04-25 2016-11-29 길인섭 교체 가능한 활성탄 카트리지를 가진 흡착탑 및 활성탄 카트리지의 교체 방법
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Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20010000418A (ko) * 2000-09-27 2001-01-05 김대승 악취가스 흡착탈취제 및 그의 제조방법
KR102192344B1 (ko) * 2019-04-16 2020-12-17 주식회사 효진엔지니어링 폐가스 처리 스크러버용 조립식 기액접촉수단 단위체 및 이를 이용한 폐가스 처리 스크러버

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101676466B1 (ko) * 2016-04-25 2016-11-29 길인섭 교체 가능한 활성탄 카트리지를 가진 흡착탑 및 활성탄 카트리지의 교체 방법
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