JPH05106888A - 連結式クリーン空間装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 単位室体を順次連結して、全体として一定容
積の清浄空間すなわちクリーン空間を構成するものにお
いて、クリーン空間の構造やレイアウトが変更されて
も、清浄化設備や空調設備の変更が容易かつ迅速に行え
るようにする。 【構成】 各単位室体１毎に、ファンユニットなどの空
気循環手段６および空気フィルタなどの粉塵除去手段７
を備え、さらに、各単位室体１には、クーラーや除湿機
などの空調手段を設置できるように、単位室体１内の清
浄空間と遮断された空調手段設置空間１０，１１を備え
ておく。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、連結式クリーン空間
装置に関し、詳しくは、半導体装置の製造ラインなどに
おいて、空気中の粉塵を嫌う各種処理作業を行うため
に、粉塵などの汚染が極めて少ない清浄空間、いわゆる
クリーン空間を構成するクリーン空間装置のうち、一定
の内部容積を有する単位室体を順次連結することによっ
て、任意の大きさのクリーン空間路を容易に構築できる
ようにした連結式クリーン空間装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置その他の超精密製品の製造を
行う製造ラインにおいては、空気中に微細な粉塵が存在
するだけでも、製品の品質性能に大きな悪影響を与える
ことになる。そのため、このような製造ラインでは、空
気中の粉塵を極めて高いレベルで除去した、いわゆるク
リーンルームの中で各種の処理作業が行われている。

【０００３】通常の製造ラインでは、製品の機種や製造
工程の変更に伴って、製造ラインの配置変更や追加撤去
が頻繁に行われる。製造ラインの変更があると、当然、
クリーンルームも作り直さなければならないが、製造ラ
インがわずかに変更される度に、クリーンルーム全体を
作り直すのは、極めて不経済であるとともに、製造ライ
ンに合わせて、いちいちクリーンルームを設計したり建
築施工したりするのは、時間的にも無駄が多い。

【０００４】そこで、予め、一定の内部容積を有するク
リーンルーム単体を製造しておき、このクリーンルーム
単体を順次連結することによって、必要な容積および配
置形状を備えたクリーン空間を構成することが行われる
ようになってきた。このようにすれば、製造ラインの変
更があっても、クリーンルーム単体の配置を変更するだ
けで、簡単に対応することができ、製造ラインの変更に
伴う経済的、時間的な負担が大きく削減できる。

【０００５】具体的には、両端が開放された筒状のクリ
ーンルーム単体を、順次直線的に連結していって、連続
した長いクリーン空間路を構成し、このクリーン空間路
を処理物品が搬送されながら、所定の処理作業が行われ
るようになっている。このようなクリーン空間装置の構
造は、特開昭６１−１０７７３５号公報などに開示され
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなクリーン
ルーム単体を連結して構成されたクリーン空間の場合、
空間内の粉塵を除去する空気フィルタや、制御された空
気流を循環させる空気循環ファン、あるいは、温度や湿
度を制御する空調装置などは、クリーン空間の端部等の
１個所もしくは数個所にまとめて設置しておくことが行
われていた。したがって、空気循環ファンなどの容量も
しくは能力は、クリーン空間全体の容積や形状をも考慮
して設計する必要があった。

【０００７】ところが、このように、クリーン空間全体
の容積などを考慮して、適当な容量の清浄化設備や空調
設備を設けておくと、製造ラインの変更に伴うクリーン
空間の容積増大や配置変更が生じたときには、清浄化設
備や空調設備を再設計して、新たなクリーン空間に適応
したものに変更する必要がある。クリーン空間では、内
部の気流状態や圧力分布がわずかでも変わると、局部的
に空気が滞留したり、汚染が溜まったりする部分が生じ
る可能性があるので、清浄化設備や空調設備の容量その
他の設計は厳密に行う必要があり、大変に面倒なもので
あった。また、清浄化設備や空調設備は、設備費が非常
に高くつくとともに、製造ラインの変更が確定してから
清浄化設備や空調設備を設計製造するのでは、施工完了
までに長期間がかかってしまうという問題もあった。

【０００８】前記したように、クリーンルーム単体を連
結してクリーン空間を構成すれば、クリーン空間自体の
構造変更は容易かつ能率的に行えるのであるが、前記清
浄化設備等の変更に手間やコストが掛かるのでは、クリ
ーンルーム単体を用いる利点が大幅に減却されてしま
う。

【０００９】そこで、この発明の課題は、クリーンルー
ム単体を連結して任意形状のクリーン空間を構築する連
結式クリーン空間装置において、クリーン空間の構造が
変更されても、清浄化設備や空調設備の変更を容易かつ
迅速に行うことのできるものを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決する、こ
の発明にかかる連結式クリーン空間装置は、単位室体を
順次連結して、全体として一定容積の清浄空間を構成す
る連結式クリーン空間装置において、各単位室体毎に、
空気循環手段および粉塵除去手段を備え、さらに、各単
位室体には、前記清浄空間と遮断された空調手段設備空
間を備えている。

【００１１】単位室体とは、各種の処理操作を行えるだ
けの広さを有する筒状の単位室体を軸方向に順次連結し
ていって、トンネル状もしくはチューブ状のクリーン空
間を構成するもののほか、上記筒状の単位室体の軸方向
と直交する方向にも、別の箱状もしくは筒状の単位室体
を連結できるようにして、屈曲線状あるいは縦横に分岐
合流したりして単位室体をつないでいけるようになった
ものなど、通常の連結式クリーン空間装置におけるクリ
ーンルーム単体と同様の構造を備えたものが使用でき
る。

【００１２】単位室体には、連結した単位室体の内部空
間を連通させるための開口部が設けられる。開口部は、
例えば、単位室体の両端、あるいは、単位室体の両端に
加えて、これと直交する方向にも開口部を設けてもよ
い。クリーン空間全体の端部に配置される単位室体など
において、連結に使用しない開口部には、開口部を閉塞
する遮蔽壁などが取り付けられる。このようにして、ク
リーン空間全体で、ひとつの密閉された空間を構成す
る。但し、クリーン空間に内部で処理を行う物品を搬入
したり、処理を終えた物品を搬出する個所には、開閉自
在な扉部が設けられる。

【００１３】単位室体には、空気循環手段および粉塵除
去手段を備えている。空気循環手段は、通常のクリーン
空間と同様のファンユニット等からなり、単位室体に、
所定の制御された空気の循環流を生成させるものであ
る。この空気循環手段は、それを設けた単位室体の容積
内のみで適当な空気循環を行えるように、容量あるいは
配置構造を設定しておけばよい。粉塵除去手段は、空気
フィルタあるいはＨＥＰＡフィルタ等と呼ばれている、
通常のクリーン空間用の粉塵除去手段が用いられるが、
その他の各種粉塵除去手段を備えておくこともできる。
この粉塵除去手段も、ひとつの単位室体に対応する容量
あるいは構造を有するものでよい。

【００１４】単位室体には、処理物品の搬送手段や各種
処理装置その他、クリーン空間で作業を行うのに必要な
設備類が設置される。これらの処理物品や処理装置が配
置される空間を、前記粉塵除去手段や空気循環手段など
からなる清浄化手段で、粉塵や汚染のない清浄空間に維
持できるようにしておく。

【００１５】単位室体には、上記清浄空間と遮断された
空調手段設備空間を備えている。空調手段は、温度や湿
度を一定範囲に調整制御するものであり、通常のクリー
ン空間と同様の空調手段が用いられる。具体的には、冷
却コイルやドレンパン、冷凍機コンデンサなどからなる
クーラーあるいはヒータなどの温度を調整するための装
置、除湿機や加湿機などの湿度を調整するための装置が
空調手段として用いられる。空調手段設置空間は、上記
のような空調手段を設置できる大きさの空間である。単
位室体の床付近など、単位室体で行われる各種処理作業
の邪魔にならない位置に、処理作業を行う単位室体の清
浄空間との間を、粉塵や汚染空気などが侵入しないよう
に隔壁などで遮断した状態で空調手段設置空間が設けら
れる。但し、空調手段と清浄空間の間で熱交換を行うた
めの熱交換面は清浄空間に露出している。また、空調手
段に外部空気を取り込んだり、排気したりするための換
気口が、空調手段設置空間の単位室体外壁に設けられ
る。また、空調手段設置空間に、各種装置を空調手段設
置空間に設置したり、点検や補修を行ったりするための
開口部を設けておくこともできる。

【００１６】

【作用】連結式クリーン空間を構成する各単位室体毎
に、空気循環手段および粉塵除去手段を備えておくと、
各単位室体内はそれぞれの空気循環手段および粉塵除去
手段で清浄化が行われることになる。したがって、単位
室体をいくら連結したとしても、それぞれの単位室体
は、室内の容積や構造に対しても最も適当な能力の空気
循環手段および粉塵除去手段で適切に清浄化されること
になる。単位室体の連結数や連結構造が変更されても、
各単位室体には同じ仕様の空気循環手段や粉塵除去手段
を設置しておくだけでよい。

【００１７】各単位室体に、各種の処理作業を行うため
に前記空気循環手段や粉塵除去手段で清浄化される清浄
空間とは遮断された空調手段設置空間を備えていれば、
この空調手段設置空間に、空調手段を設置することによ
って、単位室体の温湿度を適切に調整制御することが可
能になる。製造ラインの構成やクリーン空間内で行う処
理作業の種類によって、空調手段が必要な場合と必要の
ない場合があるので単位室体に前記のような空調手段設
置空間を備えていれば、必要に応じて、空調手段の設置
および非設置を選択することができる。すなわち、クリ
ーン空間の構造変更などで、特定の単位室体に空調手段
が必要になった場合でも、クリーン空間あるいは単位室
体の設計変更や改造工事を行うことなく、簡単かつ迅速
に空調手段を追加することができる。

【００１８】そして、空調手段設置空間が、清浄空間と
遮断されていれば、空調手段から発生する粉塵や汚染物
質が清浄空間に侵入する心配がない。また、空調手段を
設置していないときにも、空調手段設置空間を通して、
外部環境の粉塵などが清浄空間に侵入することがない。

【００１９】

【実施例】以下に本発明の一実施例における連結式クリ
ーン空間装置について図面を参照しながら説明する。

【００２０】クリーン空間は筒状の単位室体１が連結さ
れることにより構成される。図１に単位室体１の概略外
観斜視図を示す。

【００２１】単位室体１の両端には、連結する単位室体
１の内部空間を連通させるための開口部２が設けられ
る。開口部２は、単位室体１の両端に加えて、これとは
別の位置である前記連結方向と直交する方向にも開口部
を設けてもよい。クリーン空間全体の端部に配置される
単位室体１などにおいて、連結に使用しない開口部２に
は、開口部２を閉塞する遮蔽壁などが取り付けられる。
このようにして、クリーン空間全体で、ひとつの密閉さ
れた空間を構成する。

【００２２】図２および図３は、単位室体１の構造を示
す図１におけるＡ−Ａ矢視断面およびＢ−Ｂ矢視断面図
である。図において、単位室体１には、空気循環手段６
および粉塵除去手段７を備えている。

【００２３】空気循環手段６は、通常のクリーン空間と
同様のファンユニット等からなり、単位室体１に、所定
の制御された空気の循環流を空気流路２８の矢印のよう
に生成させるものである。この空気循環手段６は、それ
を設けた単位室体の容積内のみで適当な空気循環を行え
るように、容量あるいは配置構造を設定しておく。粉塵
除去手段７は、空気フィルタあるいはＨＥＰＡフィルタ
等と呼ばれている、通常のクリーン空間用の粉塵除去手
段が用いられるが、その他の各種粉塵除去手段を備えて
おくこともできる。この粉塵除去手段７も、ひとつの単
位室体に対応する容量あるいは構造を有するものでよ
い。

【００２４】単位室体１には、処理物品の搬送手段８や
各種処理装置の他、クリーン空間で作業を行うのに必要
な設備類が設置される。これらの処理物品や処理装置が
配置される処理空間２６を、前記粉塵除去手段６や空気
循環手段７などからなる清浄化手段で、粉塵や汚染のな
い清浄空間に維持できるようにしておく。また、処理空
間２６の床面はダクト２７になっている。さらに、単位
室体１には前記清浄空間と、隔壁９により遮断された空
調手段設置空間１０，１１が設けられている。

【００２５】空調手段設置空間１０，１１は、空調手段
１２を設置できる程度の大きさの空間である。そして、
単位室体１で行われる各種処理作業の邪魔にならない単
位室体１の床付近や天井付近などの位置に、処理作業を
行う単位室体１の清浄空間に粉塵や汚染空気などが侵入
しないよう隔壁９などで遮断した状態で設けられる。

【００２６】そして、空調手段設置空間１０，１１に
は、空調手段１２を設置する。空調手段１２は、温度や
湿度を一定範囲に調整制御するものであり、通常のクリ
ーン空間と同様の空調手段が用いられる。具体的には、
冷却コイルやドレンパン、冷凍機コンデンサなどからな
るクーラーあるいはヒータなどの温度を調整するための
装置、除湿機や加湿機などの湿度を調整するための装置
が空調手段１２として用いられる。

【００２７】１３は空調手段１２と清浄空間の間で熱交
換を行うための熱交換面で、清浄空間に露出している。
また、空調手段１２に外部空気を取り込んだり、排気し
たりするための換気口１４が、空調手段設置空間１０，
１１の単位室体１外壁に設けられ、内部の空気を排気す
る手段としては、空調手段設置空間１１に排気手段２１
が設置されている。

【００２８】なお、図示していないが、空調手段１２、
熱交換面１３および排気手段２１はパイプ等により密閉
状態を保つようにして接続されている。

【００２９】単位室体１の外面下部には、移動用のキャ
スタ１９と、固定用の支持脚２０が取り付けられてい
る。図示した状態では、支持脚２０で単位室体１を支え
ており、キャスタ１９は接地していないので、単位室体
１は固定された状態である。クリーン空間の施工時ある
いは配置変更の際には、支持脚２０をはね上げたり縮め
たりして、キャスタ１９を接地させれば、単位室体１は
キャスタ１９で支持された状態で自由に移動でき、単位
室体１の移動が容易に行える。

【００３０】なお、上記した単位室体１は、基本的に、
その内部に備えられている空調手段設置空間１０，１１
に空調手段１２を設置しているが、クリーン空間内で行
う処理作業の種類によって、空調手段の必要のない単位
室体１については図４のように別段空調手段１２を設置
しなくてもよく、加えて処理空間２６のスペースを充分
に確保したい場合などは空調手段設置空間１０，１１を
形成する隔壁９を除去すればよい。

【００３１】図５は、上記構成よりなる単位室体１をそ
の開口部２を連通させて連結して構成した連結式クリー
ン空間装置の様子を示す外観斜視図である。図におい
て、単位室体１の両端に設けた開口部２を連通させて連
結してなる直線的なクリーン空間路と直交する方向には
前記単位室体１とは異なる種類の単位室体（以下、作業
用単位室体と呼ぶ）５が連結されている。

【００３２】これは、処理空間２６にて行う処理の種類
により、比較的大きな処理設備を必要としたり、処理物
品を搬送経路から一旦取り出して各種の処理作業を行う
場合を想定して応用したものである。

【００３３】単位室体１同志および作業用単位室体５の
連結は、図６に示すようにゴム等の合成樹脂３を介して
ボルト等の固定具４により行う。この連結は完全密閉を
実現する必要があるため、その目的を充分に達成できる
よう構成している。

【００３４】ついで、この連結式クリーン空間装置を半
導体装置の製造ラインに適用した実施例について説明す
る。

【００３５】図７は、その半導体装置の製造ラインを実
現した連結式クリーン空間装置の外観斜視図、図８は同
平面図である。

【００３６】図において、５ａは処理物品をクリーン空
間システムのラインに供給する供給搬送手段を配した供
給モジュール、５ｂはスパッタリング装置を配したスパ
ッタモジュール、５ｃはフォトリソグラフィー処理装置
を配したフォトリソモジュール、５ｄはエッチング処理
装置を配したエッチングモジュール、５ｅはこれらの種
々の処理を順次施された後の処理物品を取り出すための
取り出し搬送手段を配した取り出しモジュールで、図に
示すように上述した順に設置されている。

【００３７】以下に、半導体装置の製造ライン全体の流
れについて図面を参照しながら説明する。

【００３８】処理物品は供給モジュール５ａの中に配さ
れた供給搬送手段によりクリーン空間である処理空間２
６ａの中に運び込まれる。

【００３９】処理物品の供給および取り出しを行う供給
モジュール５ａおよび取り出しモジュール５ｅはその際
にクリーン環境を汚染しないように構成されている。す
なわち、外気とクリーン空間との間には、一般的なエア
ーシャワー装置を備えた清浄空間がシャッター等の遮断
設備を隔てて設けられており、処理物品をクリーン空間
に対して出し入れする際には必ずこの清浄空間を介して
行われ、クリーン空間に直接外気が入ることはない。

【００４０】クリーン空間である処理空間２６内に運び
込まれた処理物品は、処理空間２６内に配されたクリー
ン作業ロボット２４により搬送手段２３に移載される。
クリーン作業ロボット２４はクリーン環境を汚染しない
ように構成されているロボットで、作業用単位室体５を
構成する各モジュール５ａ〜５ｅと単位室体１とが連結
された開口部２の位置に配されている。

【００４１】搬送手段２３に移載された処理物品は、単
位室体１と作業用単位室体５であるスパッタモジュール
５ｂとが連結されている開口部２の位置まで搬送され
る。

【００４２】図９はクリーン作業ロボット２４により単
位室体１と作業用単位室体５との間で行われる処理物品
の引き渡しおよび受け取りの様子を示す図、図１０およ
び図１１は図７におけるＡ−Ａ矢視断面図およびＢ−Ｂ
矢視断面図である。図１０および図１１に記載の単位室
体１の構造は図３に示した単位室体１と同様であり、同
一符号を付して説明を省略する。

【００４３】図９に示すように、搬送手段２３により開
口部２の位置まで搬送されてきた処理物品は、クリーン
作業ロボット２４により、単位室体１の処理空間２６ａ
からスパッタモジュール５ｂの処理空間２６ｂへ開口部
２を通して移送される。

【００４４】処理空間２６ｂに移送された処理物品は、
処理装置１６であるスパッタリング装置によりスパッタ
リング処理をされた後、再びクリーン作業ロボット２４
により開口部２を通して搬送手段２３に移送される。

【００４５】その後、上記と同様に搬送と各種処理が順
次行われた後、取り出しモジュール５ｅから処理物品は
取り出され、一連の作業が終了する。

【００４６】次に、作業用単位室体５の構造について、
図１０を参照しながら説明する。作業用単位室体５内に
おいて、２９は処理空間２６ｂの天井近くに設けられた
空気循環手段であり、これらは単位室体１内に設けられ
たものと同様である。１８は処理空間２６ｂ内の圧力を
一定に保つための微差ダンパーで、外部へ微小量の空気
を流出させ、圧力を調整している。

【００４７】ところで、通常、作業用単位室体５内の処
理に空調の必要のある場合、単位室体１に、空調手段１
２および空調手段設置空間１０，１１を備えた作業用単
位室体５を連結し、一方、作業用単位室体５内の処理に
特別、空調の必要のない場合、単位室体１に、空調手段
設置空間１０，１１は備えているが、空調手段１２を設
置しない作業用単位室体５を、あるいは空調手段１２お
よび空調手段設置空間１０，１１を共に備えない作業用
単位室体５を連結するが、図１０はこれらの応用例を示
したものである。

【００４８】すなわち、図１０に示した作業用単位室体
５は、空気循環手段２９および粉塵除去手段３０がある
だけで、空調手段１２および空調手段設置空間１０，１
１がないばかりでなく、下方から上方へ空気が流れる空
気流路が除去されており、単位室体１の空気流路２８を
共用した構成となっている。

【００４９】この構成により、空調手段設置空間および
下方から上方へ空気が流れる空気流路の占める空間がな
くなり、作業用単位室体５内の処理空間２６ｂを最大限
に確保できる。

【００５０】特に、本実施例のような半導体装置の製造
ラインのように大型の処理装置を要するときなどは非常
に効果的である。

【００５１】以下に、上記構成よりなる連結式クリーン
空間装置のクリーン環境の維持作用について図１０を参
照しながら説明する。

【００５２】図１０において、空気循環手段６は単位室
体１内の側方の空気流路２８から空気を吸い込み（２８
ａ）、下方の処理空間２６ａへ一様な気流として吹き出
す（２８ｂ）。この際、空気は粉塵除去手段７であるフ
ァンユニットを通過するので、処理空間２６ａには常に
清浄な空気が供給される。

【００５３】供給された空気は、処理空間２６ａの床で
ある多数の孔を有するダクト２７に吸い込まれ、熱交換
器１３に達し、空調手段１２により適切な温度に調整さ
れて空気流路２８に流れ込む（２８ｃ）。ここで、熱交
換された分の熱量は排気手段２１により、換気口１４か
ら排出される。

【００５４】空気流路２８に流れ込んだ空気の一部は再
び空気循環手段６により処理空間２６ａに供給される
が、残りは作業用単位室体５の処理空間２６ｂに供給さ
れる（２８ｄ）。

【００５５】作業用単位室体５内にも単位室体１と同様
の空気循環手段２９および粉塵除去手段３０が配されて
いるので、これらにより処理空間２６ｂにも常に清浄な
空気が供給される（２８ｅ）ことになる。そして、供給
された空気は吸込口３１を通じて空気流路２８に流れ込
み、上述した空気循環が繰り返されることになる。

【００５６】このように、クリーン空間を構成する各単
位室体１毎に、空気循環手段６および粉塵除去手段７を
備えているので、単位室体１の連結個数や配置を変更し
ても、各単位室体１に対して、常に適切な清浄環境を実
現することができる。

【００５７】

【発明の効果】以上に述べた、この発明にかかる連結式
クリーン空間装置によれば、クリーン空間を構成する各
単位室体毎に、空気循環手段および粉塵除去手段を備え
ているので、単位室体の連結個数や配置を変更しても、
各単位室体に対して、常に適切な清浄環境を実現するこ
とができる。

【００５８】その結果、クリーン空間の構造を変更する
度に、空気循環手段などを設計し直したり、新たに製造
したりする手間およびコストが掛からず、クリーン空間
のレイアウト変更を極めて簡単に、迅速かつ経済的に行
うことができる。

【００５９】さらに、各単位室体には、各種の処理作業
を行う清浄空間とは遮断された空調手段設置空間を備え
ているので、必要に応じて、単位室体の構造変更を行う
ことなく、簡単に空調手段が設置できる。また、空調手
段を設置した状態で、空調手段から発生する粉塵など
が、清浄空間側に侵入するのを防止することができるの
で、清浄空間の環境を損なう心配がない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例における単位室体の概略外観
斜視図

【図２】図１における単位室体のＡ−Ａ矢視断面図

【図３】図１における単位室体のＢ−Ｂ矢視断面図

【図４】本発明の別の実施例における単位室体の断面図

【図５】本発明の一実施例における連結式クリーン空間
装置の外観斜視図

【図６】単位室体同志および作業用単位室体の連結の様
子を示す側面図

【図７】本発明の連結式クリーン空間装置を半導体装置
の製造ラインに適用した例の外観斜視図

【図８】同平面図

【図９】図８における、単位室体と作業用単位室体との
間でのクリーン作業用ロボットによる処理物品の引き渡
しおよび受け取りの様子を示す図

【図１０】図７におけるＡ−Ａ矢視断面図

【図１１】図７におけるＢ−Ｂ矢視断面図

【符号の説明】

１ 単位室体 ２ 開口部 ５ 作業用単位室体 ６ 空気循環手段 ７ 粉塵除去手段 １０，１１ 空調手段設置空間 １２ 空調手段 ２８ 空気流路

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】単位室体を順次連結して、全体として一定
   容積の清浄空間を構成する連結式クリーン空間装置にお
   いて、各単位室体毎に、その内部において清浄な空気を
   循環させる空気循環手段および粉塵除去手段を備え、清
   浄空間と遮断して空調手段設置空間が設けられたことを
   特徴とする連結式クリーン空間装置。
2. 【請求項２】各単位室体の両端に、単位室体を順次連結
   して内部空間を連通させるための開口部を備え、かつこ
   の開口部とは別の位置にも開口部を備えたことを特徴と
   する請求項１記載の連結式クリーン空間装置。
3. 【請求項３】単位室体の両端に設けた開口部とは別の位
   置に設けた開口部に、前記単位室体とは異なる種類の単
   位室体を連結したことを特徴とする請求項１記載の連結
   式クリーン空間装置。
4. 【請求項４】単位室体の空調手段設置空間に空調手段を
   設置した請求項１，２または３記載の連結式クリーン空
   間装置。
5. 【請求項５】連結した単位室体のうち、空調手段が必要
   とされる単位室体に対してのみ、その空調手段設置空間
   に空調手段を設置したことを特徴とする請求項１，２ま
   たは３記載の連結式クリーン空間装置。
6. 【請求項６】連結した単位室体のうち、空調手段を設置
   する必要のない単位室体に対し、空調手段設置空間を除
   去したことを特徴とする請求項５記載の連結式クリーン
   空間装置。
7. 【請求項７】連結した単位室体のうち、空調手段を設置
   する必要のない単位室体に対し、空気の流れる流路の一
   部を除去して、他の空調を行っている単位室体の空気の
   流路を共用するように連結して構成したことを特徴とす
   る請求項５または６記載の連結式クリーン空間装置。