JP7149748B2 - 基板処理システム、基板搬送方法、および制御プログラム - Google Patents
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Description
この基板処理システム1は、基板Wに対して複数の処理を施すものであり、処理部2と、複数の基板Wを保持し、処理部2に対し基板を搬出入する搬出入部3と、制御部4とを有する。基板は特に限定されないが、例えば半導体ウエハである。
搬送制御部121は、搬出入部3の所定のモジュールから複数の基板を順次搬出する際、インターバル設定部122で設定されたインターバルの設定値で、複数の基板Wを順次搬出するように第2の搬送装置24等の搬送機構を制御する。このとき、インターバルは装置パラメータとして設定される。インターバル設定部122は、プロセスに要求されるスループットに応じてインターバルを適宜の値に可変である。
(a)先行基板搬出後、30秒経過したときに、パラメータを100秒に変更した場合、パラメータ変更時点から70秒後(先行基板搬出から100秒後)に後続基板が搬送される。
(b)先行基板搬出後、30秒経過したときに、パラメータを10秒に変更した場合、パラメータ変更時点の直後に後続基板が搬出される。
例えば、インターバル設定部122で設定されたインターバル設定値が280秒のときは以下の通りである。
(a)先行基板の滞留時間が30秒、タイマーの経過時間が100秒の場合
280-100+30=210秒のタイマーを再設定する。
(b)先行基板の滞留時間が300秒、タイマーの経過時間が100秒の場合
280-100+300=480秒であるが、設定値280秒より長いので、280秒のタイマーを再設定する。
2;処理部
3;搬出入部
4;制御部
11;第1の搬送装置
20;FOUP
22;ロードポート
23;アライナーモジュール
24;第2の搬送装置
121;搬送制御部
122;インターバル設定部
123;基板検知部
124;滞留検知部
125;インターバル設定モジュール変更部
LLM1,LLM2;ロードロックモジュール
PM1~PM10;処理モジュール
TM1~TM5;搬送モジュール
W;基板
Claims (14)
- 複数の基板に対して処理を行う基板処理システムであって、
それぞれ所定の処理を行う複数の処理モジュールを有する処理部と、
複数の基板を保持し、前記処理部に対し基板を搬出入する搬出入部と、
前記複数の処理モジュールのそれぞれに対して基板を搬送し、かつ前記搬出入部内および前記搬出入部と前記処理部との間で基板を搬送する搬送部と、
前記処理部、前記搬出入部、および前記搬送部を制御する制御部と、
を具備し、
前記制御部は、
複数の基板が前記搬出入部から前記処理部に順次搬送されるとともに、搬送された基板が、前記複数の処理モジュールに対して、順次シリアルに搬送されるように制御し、かつ、前記搬出入部の所定のモジュールから基板を搬出した後、次の基板を搬出するまでのインターバルを設定し、そのインターバルの設定値で複数の基板を前記所定のモジュールから順次搬出するように制御し、
前記インターバルの設定値を変更可能であり、先行する基板が前記所定のモジュールから搬出後に前記インターバルの設定値が変更された場合に、変更されたインターバルの設定値と、それまでの実測時間との差分の時間後に後続の基板が搬出されるように制御する、基板処理システム。 - 前記制御部は、所定の処理モジュールで基板の滞留が発生した場合に、その基板の滞留を検知し、その結果をフィードバックして、前記インターバルの残り時間を、滞留時間の分延長するように再設定する、請求項1に記載の基板処理システム。
- 前記所定の処理モジュールでの滞留時間が所定時間以上のとき、滞留が発生したとみなす、請求項2に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、滞留が解消されて基板が動き始めたタイミングで、前記所定の処理モジュールからの基板の搬出遅れ時間を滞留時間とする、請求項2または請求項3に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、基板の滞留が解消して複数の基板が動き始めた際に、最初に動き始めた基板のフィードバックのみを受け付ける、請求項4に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、一度滞留結果をフィードバックした際の基板について、その後フィードバックを受け付けない、請求項4に記載の基板処理システム。
- 前記インターバルの残り時間を延長した後の再設定値の最大値は、前記インターバルの設定値である、請求項2から請求項6のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記所定のモジュールにおいて設定されたインターバルが経過して、前記所定のモジュールから基板を搬出する際に、基板の搬送先のモジュールで基板の滞留が発生していることが検知された場合、前記所定のモジュールからの基板の搬出を停止する、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、先行する基板が存在しなくなった場合、前記インターバルの設定値にかかわらず、インターバル設定モジュールから次の基板を即時搬出させる、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記搬出入部は、複数の基板を収容する基板収容容器が載置されるロードポートを有し、前記ロードポートが、前記インターバルが設定される前記所定のモジュールとして機能する、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記処理部の複数の処理モジュールは真空中で処理が行われ、前記搬出入部は、複数の基板を収容する基板収容容器が載置されるロードポートと、基板のアライメントを行うアライナーモジュールと、大気圧と真空との間で圧力可変のロードロックモジュールとを有し、前記インターバルが設定される前記所定のモジュールは、前記ロードポート、前記アライナーモジュール、および前記ロードロックモジュールのいずれかである、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の基板処理システム。
- 前記制御部は、前記インターバルが設定される前記所定のモジュールを変更可能である、請求項11に記載の基板処理システム。
- それぞれ所定の処理を行う複数の処理モジュールを有する処理部と、複数の基板を保持し、前記処理部に対し基板を搬出入する搬出入部とを有する基板処理システムにおいて基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記搬出入部に保持された基板を、前記搬出入部の所定のモジュールから搬出した後、次の基板を搬出するまでのインターバルを設定し、そのインターバルの設定値で複数の基板を前記所定のモジュールから順次搬出する工程と、
前記所定のモジュールから順次搬出された基板を前記処理部へ搬送する工程と、
前記処理部に搬送された基板を、前記複数の処理モジュールに対して、順次シリアルに搬送する工程と、
を有し、
前記インターバルの設定値は変更可能であり、先行する基板が前記所定のモジュールから搬出後に前記インターバルの設定値が変更された場合に、変更されたインターバルの設定値と、それまでの実測時間との差分の時間後に後続の基板が搬出される、基板搬送方法。 - コンピュータ上で動作し、それぞれ所定の処理を行う複数の処理モジュールを有する処理部と、複数の基板を保持し、前記処理部に対し基板を搬出入する搬出入部とを有する基板処理システムにおいて基板の搬送を制御する制御プログラムであって、
前記制御プログラムは、実行時に、
前記搬出入部に保持された基板を、前記搬出入部の所定のモジュールから搬出した後、次の基板を搬出するまでのインターバルを設定し、そのインターバルの設定値で複数の基板を前記所定のモジュールから順次搬出する工程と、
前記所定のモジュールから順次搬出された基板を前記処理部へ搬送する工程と、
前記処理部に搬送された基板を、前記複数の処理モジュールに対して、順次シリアルに搬送する工程と、
を有し、
前記インターバルの設定値は変更可能であり、先行する基板が前記所定のモジュールから搬出後に前記インターバルの設定値が変更された場合に、変更されたインターバルの設定値と、それまでの実測時間との差分の時間後に後続の基板が搬出される、基板搬送方法が実行されるように、コンピュータに前記基板処理システムを制御させる、制御プログラム。
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