JPH06286811A - 移載装置 - Google Patents
移載装置Info
- Publication number
- JPH06286811A JPH06286811A JP16827692A JP16827692A JPH06286811A JP H06286811 A JPH06286811 A JP H06286811A JP 16827692 A JP16827692 A JP 16827692A JP 16827692 A JP16827692 A JP 16827692A JP H06286811 A JPH06286811 A JP H06286811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier box
- load receiving
- transfer device
- arm
- stocker
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Loading Or Unloading Of Vehicles (AREA)
- Auxiliary Methods And Devices For Loading And Unloading (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 移載時間を短縮することができる移載装置を
提供する。 【構成】 走行台車1に着脱自在に設けられたキャリア
ボックス2をストッカ3との間で移載する移載装置であ
って、昇降自在なアーム部5と、このアーム部5に垂下
され、前記キャリアボックス2を受け入れて支持する4
本の荷受けアーム8とを備え、前記4本の荷受けアーム
8を、キャリアボックス2の前後、左右方向の寸法より
もそれぞれ広い間隔を隔てて配置したことを特徴とす
る。
提供する。 【構成】 走行台車1に着脱自在に設けられたキャリア
ボックス2をストッカ3との間で移載する移載装置であ
って、昇降自在なアーム部5と、このアーム部5に垂下
され、前記キャリアボックス2を受け入れて支持する4
本の荷受けアーム8とを備え、前記4本の荷受けアーム
8を、キャリアボックス2の前後、左右方向の寸法より
もそれぞれ広い間隔を隔てて配置したことを特徴とす
る。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はウエハを収納したキャリ
アボックスを搭載して搬送する走行台車とキャリアボッ
クスを保管するストッカとの間で、キャリアボックスの
移載を行なう移載装置に関する。特に、移載時間を短縮
することができる移載装置に関するものである。
アボックスを搭載して搬送する走行台車とキャリアボッ
クスを保管するストッカとの間で、キャリアボックスの
移載を行なう移載装置に関する。特に、移載時間を短縮
することができる移載装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来よりウエハを収納したキャリアボッ
クスは、製造工程において、走行レールに沿って走行す
る走行台車に搭載され、高クリーン度の装置間を搬送さ
れている。このような走行台車とストッカとの間の移載
には、移載ロボットが用いられている。
クスは、製造工程において、走行レールに沿って走行す
る走行台車に搭載され、高クリーン度の装置間を搬送さ
れている。このような走行台車とストッカとの間の移載
には、移載ロボットが用いられている。
【0003】キャリアボックスは、移載ロボットに設け
られた把持機構により、ストッカから走行台車へ、ある
いは走行台車からストッカへ移載されるようになってい
る。
られた把持機構により、ストッカから走行台車へ、ある
いは走行台車からストッカへ移載されるようになってい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の移載装
置には、次のような問題があった。
置には、次のような問題があった。
【0005】キャリアボックスは、把持機構の把持によ
り、左右方向から掴まれて保持されるようになってい
た。このため、キャリアボックスの移載動作において、
把持部によりキャリアボックスを掴む、あるいは離すた
めの時間が必要で、その分、移載に要する時間が長くな
っていた。
り、左右方向から掴まれて保持されるようになってい
た。このため、キャリアボックスの移載動作において、
把持部によりキャリアボックスを掴む、あるいは離すた
めの時間が必要で、その分、移載に要する時間が長くな
っていた。
【0006】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、移載時間を短縮することができる移載装置を提供
することにある。
決し、移載時間を短縮することができる移載装置を提供
することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、走行台車に着脱自在に設けられたキャリア
ボックスをストッカとの間で移載する移載装置であっ
て、昇降自在なアーム部と、このアーム部に垂下され、
前記キャリアボックスを受け入れて支持する4本の荷受
けアームとを備え、前記4本の荷受けアームを、キャリ
アボックスの前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い
間隔を隔てて配置した構成とした。
に本発明は、走行台車に着脱自在に設けられたキャリア
ボックスをストッカとの間で移載する移載装置であっ
て、昇降自在なアーム部と、このアーム部に垂下され、
前記キャリアボックスを受け入れて支持する4本の荷受
けアームとを備え、前記4本の荷受けアームを、キャリ
アボックスの前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い
間隔を隔てて配置した構成とした。
【0008】
【作用効果】本発明の移載装置は上記の構成としたの
で、次のような作用効果を奏する。
で、次のような作用効果を奏する。
【0009】すなわち、4本の荷受けアームは、キャリ
アボックスを受け入れて支持するようになっており、ま
た、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりもそ
れぞれ広い間隔を隔てて配置されているので、4本の荷
受けアームに対して、前後、左右どちらの方向からもキ
ャリアボックスを受け入れて支持することができる。 $ したがって、本発明の移載装置によれば、従来のように
把持部の開閉動作を必要とせず、キャリアボックスを受
け入れて支持することができ、しかも、4本の荷受けア
ームの前後、左右どちらの方向からもキャリアボックス
の受け入れが可能であるので、キャリアボックスのスム
ーズな受け入れ受け渡しを実現することができ、移載時
間を短縮することができる。
アボックスを受け入れて支持するようになっており、ま
た、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりもそ
れぞれ広い間隔を隔てて配置されているので、4本の荷
受けアームに対して、前後、左右どちらの方向からもキ
ャリアボックスを受け入れて支持することができる。 $ したがって、本発明の移載装置によれば、従来のように
把持部の開閉動作を必要とせず、キャリアボックスを受
け入れて支持することができ、しかも、4本の荷受けア
ームの前後、左右どちらの方向からもキャリアボックス
の受け入れが可能であるので、キャリアボックスのスム
ーズな受け入れ受け渡しを実現することができ、移載時
間を短縮することができる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【0011】図1は本発明に係る移載装置の設置例を示
す概略斜視図、図2は移載ロボットの斜視図、図3は主
として移載ロボットを示す平面図、図4は同じく側面
図、図5は走行台車の平面図である。
す概略斜視図、図2は移載ロボットの斜視図、図3は主
として移載ロボットを示す平面図、図4は同じく側面
図、図5は走行台車の平面図である。
【0012】これらの図面において、1は走行台車であ
り、建物の天井より吊設された走行レールRに沿って走
行するようになっている。2はウエハ収納用のキャリア
ボックスであり、図5に示すように、走行台車1の上部
に形成された十字形状の支持部1aに着脱自在な構造と
なっている。
り、建物の天井より吊設された走行レールRに沿って走
行するようになっている。2はウエハ収納用のキャリア
ボックスであり、図5に示すように、走行台車1の上部
に形成された十字形状の支持部1aに着脱自在な構造と
なっている。
【0013】このキャリアボックス2内には、ウエハ収
納キャリアが数セット並べて搭載できるようになってい
る。図4において、2aはキャリアボックス2の開閉自
在な蓋部である。
納キャリアが数セット並べて搭載できるようになってい
る。図4において、2aはキャリアボックス2の開閉自
在な蓋部である。
【0014】3は高クリーン度のストッカであり、キャ
リアボックス2を複数個収容して保持できるようになっ
ている。
リアボックス2を複数個収容して保持できるようになっ
ている。
【0015】4はストッカ3に設けられた移載ロボット
であり、走行台車1とストッカ3との間でキャリアボッ
クス2を移載するようになっている。移載ロボット4
は、アーム部5と、一対の荷受け部6a,6bを有して
いる。
であり、走行台車1とストッカ3との間でキャリアボッ
クス2を移載するようになっている。移載ロボット4
は、アーム部5と、一対の荷受け部6a,6bを有して
いる。
【0016】図2に示すように、アーム部5は、ほぼT
字形状となっており、支軸9に内蔵された回動モータ9
aにより回動自在な構成となっている。10は支軸9の
下部垂直方向に固定されたスプライン軸、11はこのス
プライン軸10を案内するガイド部である。ガイド部1
1は、基部12に固定されている。13はスプライン軸
10の下部に設けられためねじ部であり、ねじ部材14
が螺合している。ねじ部材14の下部には、タイミング
プーリ15が固定されており、タイミングベルト16、
タイミングプーリ17を介して、昇降用モータ18によ
って駆動されるようになっている。
字形状となっており、支軸9に内蔵された回動モータ9
aにより回動自在な構成となっている。10は支軸9の
下部垂直方向に固定されたスプライン軸、11はこのス
プライン軸10を案内するガイド部である。ガイド部1
1は、基部12に固定されている。13はスプライン軸
10の下部に設けられためねじ部であり、ねじ部材14
が螺合している。ねじ部材14の下部には、タイミング
プーリ15が固定されており、タイミングベルト16、
タイミングプーリ17を介して、昇降用モータ18によ
って駆動されるようになっている。
【0017】これにより、昇降用モータ18を作動させ
ると、その回転方向に従って、スプライン軸10が昇降
し、アーム部5が昇降動するようになっている。
ると、その回転方向に従って、スプライン軸10が昇降
し、アーム部5が昇降動するようになっている。
【0018】荷受け部6a,6bは、支持部7と、この
支持部7より垂下され、キャリアボックス2を受け入れ
て支持する4本の荷受けアーム8とからなっている。
支持部7より垂下され、キャリアボックス2を受け入れ
て支持する4本の荷受けアーム8とからなっている。
【0019】4本の荷受けアーム8は、キャリアボック
ス2の前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い間隔を
隔てて配置されており、前後、左右どちらの方向(図2
中矢印X,Y方向)からもキャリアボックス2を出し入
れできるようになっている。8aは荷受けアーム8の下
部を内方に折曲形成した引掛部であり、キャリアボック
ス2の下部四隅に係合可能な大きさに形成されている。
このような荷受けアーム8は、アーム部5に同じ向きに
取り付けられている。
ス2の前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い間隔を
隔てて配置されており、前後、左右どちらの方向(図2
中矢印X,Y方向)からもキャリアボックス2を出し入
れできるようになっている。8aは荷受けアーム8の下
部を内方に折曲形成した引掛部であり、キャリアボック
ス2の下部四隅に係合可能な大きさに形成されている。
このような荷受けアーム8は、アーム部5に同じ向きに
取り付けられている。
【0020】なお、移載ロボット4の作動は、制御部1
9により制御されるようになっている。また、図1に示
すように、ストッカ3の出入庫口3aにおいて、キャリ
アボックス2が出入庫されるようになっている。
9により制御されるようになっている。また、図1に示
すように、ストッカ3の出入庫口3aにおいて、キャリ
アボックス2が出入庫されるようになっている。
【0021】次に、上述した移載装置の動作について、
ストッカから走行台車へキャリアボックスを移載する場
合を例にして説明する。なお、図6はタイムチャートで
ある。
ストッカから走行台車へキャリアボックスを移載する場
合を例にして説明する。なお、図6はタイムチャートで
ある。
【0022】図3,4に示すように、移載ロボット4の
荷受け部6a,6bを配置する。その後、走行台車1を
荷受け部6aの下方に待機させるとともに、ストッカ3
内の図示しないスタッカクレーンを作動させ、キャリア
ボックス2を図4中矢印Y1方向から荷受け部6b内に
受け入れる。
荷受け部6a,6bを配置する。その後、走行台車1を
荷受け部6aの下方に待機させるとともに、ストッカ3
内の図示しないスタッカクレーンを作動させ、キャリア
ボックス2を図4中矢印Y1方向から荷受け部6b内に
受け入れる。
【0023】その後、昇降用モータ18を作動させて、
図4仮想線5′で示すように、アーム部5を一定の高さ
まで上昇させる(図6(イ))。これにより、荷受け部
6bの4本の荷受けアーム8の引掛部8aがキャリアボ
ックス2の下部四隅に係合して、キャリアボックス2が
持ち上げられ、キャリアボックス2が荷受け部6bに受
け渡される。このとき、他方の荷受け部6aの引掛部8
aは、走行台車1の支持部1aよりも上方まで上昇す
る。
図4仮想線5′で示すように、アーム部5を一定の高さ
まで上昇させる(図6(イ))。これにより、荷受け部
6bの4本の荷受けアーム8の引掛部8aがキャリアボ
ックス2の下部四隅に係合して、キャリアボックス2が
持ち上げられ、キャリアボックス2が荷受け部6bに受
け渡される。このとき、他方の荷受け部6aの引掛部8
aは、走行台車1の支持部1aよりも上方まで上昇す
る。
【0024】その後、回動モータ9aを作動させて、ア
ーム部5を回動させ、荷受け部6bを走行台車1上に持
ってくる(図6(ロ))。その後、昇降用モータ18を
作動させて、アーム部5を所定の位置まで下降させる
(図6(ハ))。
ーム部5を回動させ、荷受け部6bを走行台車1上に持
ってくる(図6(ロ))。その後、昇降用モータ18を
作動させて、アーム部5を所定の位置まで下降させる
(図6(ハ))。
【0025】これにより、荷受け部6bのキャリアボッ
クス2が走行台車1の支持部1a上に載置され、荷受け
部6bの引掛部8aがキャリアボックス2の下部四隅か
ら下方へ離れる。これにより、ストッカ3から走行台車
1へのキャリアボックス2の移載が終了する。
クス2が走行台車1の支持部1a上に載置され、荷受け
部6bの引掛部8aがキャリアボックス2の下部四隅か
ら下方へ離れる。これにより、ストッカ3から走行台車
1へのキャリアボックス2の移載が終了する。
【0026】その後、走行台車1を図3中X方向に走行
させてキャリアボックス2を搬送する。
させてキャリアボックス2を搬送する。
【0027】このように、本発明の移載装置によれば、
従来のように把持部の開閉動作を必要とせず、キャリア
ボックスを受け入れて支持することができ、しかも、4
本の荷受けアームの前後、左右どちらの方向からもキャ
リアボックスの受け入れが可能であるので、キャリアボ
ックスのスムーズな受け入れ受け渡しを実現することが
でき、移載時間を短縮することができる。
従来のように把持部の開閉動作を必要とせず、キャリア
ボックスを受け入れて支持することができ、しかも、4
本の荷受けアームの前後、左右どちらの方向からもキャ
リアボックスの受け入れが可能であるので、キャリアボ
ックスのスムーズな受け入れ受け渡しを実現することが
でき、移載時間を短縮することができる。
【0028】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図1】本発明に係る移載装置の設置例を示す概略斜視
図。
図。
【図2】移載ロボットの斜視図。
【図3】主として移載ロボットを示す平面図。
【図4】同じく側面図。
【図5】走行台車の平面図。
【図6】タイムチャート。
1 走行台車 2 キャリアボックス 5 アーム部 8 荷受けアーム
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成5年5月11日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
Claims (1)
- 【請求項1】 走行台車に着脱自在に設けられたキャリ
アボックスをストッカとの間で移載する移載装置であっ
て、昇降自在なアーム部と、このアーム部に垂下され、
前記キャリアボックスを受け入れて支持する4本の荷受
けアームとを備え、前記4本の荷受けアームを、キャリ
アボックスの前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い
間隔を隔てて配置したことを特徴とする移載装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4168276A JP2528416B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4168276A JP2528416B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 移載装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06286811A true JPH06286811A (ja) | 1994-10-11 |
JP2528416B2 JP2528416B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=15865021
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4168276A Expired - Fee Related JP2528416B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 移載装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2528416B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6746197B2 (en) | 1998-09-22 | 2004-06-08 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP2010215099A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
JP2013529383A (ja) * | 2010-05-07 | 2013-07-18 | ナノセミコン カンパニー リミテッド | 一体型半導体処理装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS488860U (ja) * | 1971-06-14 | 1973-01-31 | ||
JPS5720214A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-02 | Misako Takamoto | Cosmetic brush and method |
JPS6341004U (ja) * | 1986-09-02 | 1988-03-17 | ||
JPH01149310U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-16 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP4168276A patent/JP2528416B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS488860U (ja) * | 1971-06-14 | 1973-01-31 | ||
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Cited By (6)
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---|---|---|---|---|
US6746197B2 (en) | 1998-09-22 | 2004-06-08 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate processing method |
KR100646906B1 (ko) * | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
JP2010215099A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Murata Machinery Ltd | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
US8206077B2 (en) | 2009-03-17 | 2012-06-26 | Murata Machinery, Ltd. | Overhead transportation system and method of transferring article |
KR101356569B1 (ko) * | 2009-03-17 | 2014-01-28 | 무라다기카이가부시끼가이샤 | 천장 반송 시스템과 물품의 이동 재치 방법 |
JP2013529383A (ja) * | 2010-05-07 | 2013-07-18 | ナノセミコン カンパニー リミテッド | 一体型半導体処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2528416B2 (ja) | 1996-08-28 |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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