JP2528416B2 - 移載装置 - Google Patents
移載装置Info
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- JP2528416B2 JP2528416B2 JP4168276A JP16827692A JP2528416B2 JP 2528416 B2 JP2528416 B2 JP 2528416B2 JP 4168276 A JP4168276 A JP 4168276A JP 16827692 A JP16827692 A JP 16827692A JP 2528416 B2 JP2528416 B2 JP 2528416B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はウエハを収納したキャリ
アボックスを搭載して搬送する走行台車とキャリアボッ
クスを保管するストッカとの間で、キャリアボックスの
移載を行なう移載装置に関する。特に、移載時間を短縮
することができる移載装置に関するものである。
アボックスを搭載して搬送する走行台車とキャリアボッ
クスを保管するストッカとの間で、キャリアボックスの
移載を行なう移載装置に関する。特に、移載時間を短縮
することができる移載装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来よりウエハを収納したキャリアボッ
クスは、製造工程において、走行レールに沿って走行す
る走行台車に搭載され、高クリーン度の装置間を搬送さ
れている。このような走行台車とストッカとの間の移載
には、移載ロボットが用いられている。
クスは、製造工程において、走行レールに沿って走行す
る走行台車に搭載され、高クリーン度の装置間を搬送さ
れている。このような走行台車とストッカとの間の移載
には、移載ロボットが用いられている。
【０００３】キャリアボックスは、移載ロボットに設け
られた把持機構により、ストッカから走行台車へ、ある
いは走行台車からストッカへ移載されるようになってい
る。
られた把持機構により、ストッカから走行台車へ、ある
いは走行台車からストッカへ移載されるようになってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の移載装
置には、次のような問題があった。
置には、次のような問題があった。
【０００５】キャリアボックスは、把持機構の把持によ
り、左右方向から掴まれて保持されるようになってい
た。このため、キャリアボックスの移載動作において、
把持部によりキャリアボックスを掴む、あるいは離すた
めの時間が必要で、その分、移載に要する時間が長くな
っていた。
り、左右方向から掴まれて保持されるようになってい
た。このため、キャリアボックスの移載動作において、
把持部によりキャリアボックスを掴む、あるいは離すた
めの時間が必要で、その分、移載に要する時間が長くな
っていた。
【０００６】本発明の目的は、以上のような問題点を解
決し、移載時間を短縮することができる移載装置を提供
することにある。
決し、移載時間を短縮することができる移載装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、走行台車に着脱自在に設けられたキャリア
ボックスをストッカとの間で移載し、かつ走行台車側に
おけるキャリアボックスの移載方向とストッカ側におけ
るキャリアボックスの移載方向とが直交する移載装置で
あって、前記走行台車とストッカとの間で回動し、かつ
昇降自在なアーム部と、このアーム部の両端にそれぞれ
垂下され、前記キャリアボックスを受け入れて支持する
４本の荷受けアームとを備え、前記４本の荷受けアーム
を、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりもそ
れぞれ広い間隔を隔てて配置し、これら荷受けアームの
下端に、キャリアボックスを前後左右いずれの方向から
受け入れたときでもキャリアボックスの下部四隅に係合
可能な引掛部を設けた構成とした。
に本発明は、走行台車に着脱自在に設けられたキャリア
ボックスをストッカとの間で移載し、かつ走行台車側に
おけるキャリアボックスの移載方向とストッカ側におけ
るキャリアボックスの移載方向とが直交する移載装置で
あって、前記走行台車とストッカとの間で回動し、かつ
昇降自在なアーム部と、このアーム部の両端にそれぞれ
垂下され、前記キャリアボックスを受け入れて支持する
４本の荷受けアームとを備え、前記４本の荷受けアーム
を、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりもそ
れぞれ広い間隔を隔てて配置し、これら荷受けアームの
下端に、キャリアボックスを前後左右いずれの方向から
受け入れたときでもキャリアボックスの下部四隅に係合
可能な引掛部を設けた構成とした。
【０００８】
【作用効果】本発明の移載装置は上記の構成としたの
で、次のような作用効果を奏する。
で、次のような作用効果を奏する。
【０００９】すなわち、走行台車とストッカとの間で回
動し、かつ昇降自在なアーム部の両端に、キャリアボッ
クスを受け入れて支持する４本の荷受けアームが垂下さ
れているので、アーム部を回動および昇降動させること
により、キャリアボックスを走行台車とストッカとの間
で移載することができる。しかも、４本の荷受けアーム
は、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりもそ
れぞれ広い間隔を隔てて配置され、かつ、これら荷受け
アームの下端には、キャリアボックスを前後左右いずれ
の方向から受け入れたときでもキャリアボックスの下部
四隅に係合可能な引掛部が設けられているので、走行台
車側におけるキャリアボックスの移載方向とストッカ側
におけるキャリアボックスの移載方向とが直交している
にもかかわらず、荷受けアームの向きを変更することな
く、アーム部を回動および昇降動させるだけで、キャリ
アボックスを走行台車とストッカとの間で移載すること
ができる。したがって、本発明の移載装置によれば、従
来のように把持部の開閉動作を必要とせずに、キャリア
ボックスのスムーズな受け入れ受け渡しを実現すること
ができ、移載時間を短縮することができる。しかも、走
行台車側におけるキャリアボックスの移載方向とストッ
カ側におけるキャリアボックスの移載方向とが直交して
いるにもかかわらず、荷受けアームの向きを変更するた
めの機構等を要することなく、アーム部を回動および昇
降動させるだけで、キャリアボックスを走行台車とスト
ッカとの間で移載することができるので、シンプルな構
成で移載を行なうことができる。すなわち、本発明の移
載装置によれば、走行台車側におけるキャリアボックス
の移載方向とストッカ側におけるキャリアボックスの移
載方向とが直交している場合において、シンプルな構成
でしかも短時間でキャリアボックスを移載することがで
きる。
動し、かつ昇降自在なアーム部の両端に、キャリアボッ
クスを受け入れて支持する４本の荷受けアームが垂下さ
れているので、アーム部を回動および昇降動させること
により、キャリアボックスを走行台車とストッカとの間
で移載することができる。しかも、４本の荷受けアーム
は、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりもそ
れぞれ広い間隔を隔てて配置され、かつ、これら荷受け
アームの下端には、キャリアボックスを前後左右いずれ
の方向から受け入れたときでもキャリアボックスの下部
四隅に係合可能な引掛部が設けられているので、走行台
車側におけるキャリアボックスの移載方向とストッカ側
におけるキャリアボックスの移載方向とが直交している
にもかかわらず、荷受けアームの向きを変更することな
く、アーム部を回動および昇降動させるだけで、キャリ
アボックスを走行台車とストッカとの間で移載すること
ができる。したがって、本発明の移載装置によれば、従
来のように把持部の開閉動作を必要とせずに、キャリア
ボックスのスムーズな受け入れ受け渡しを実現すること
ができ、移載時間を短縮することができる。しかも、走
行台車側におけるキャリアボックスの移載方向とストッ
カ側におけるキャリアボックスの移載方向とが直交して
いるにもかかわらず、荷受けアームの向きを変更するた
めの機構等を要することなく、アーム部を回動および昇
降動させるだけで、キャリアボックスを走行台車とスト
ッカとの間で移載することができるので、シンプルな構
成で移載を行なうことができる。すなわち、本発明の移
載装置によれば、走行台車側におけるキャリアボックス
の移載方向とストッカ側におけるキャリアボックスの移
載方向とが直交している場合において、シンプルな構成
でしかも短時間でキャリアボックスを移載することがで
きる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１１】図１は本発明に係る移載装置の設置例を示
す概略斜視図、図２は移載ロボットの斜視図、図３は主
として移載ロボットを示す平面図、図４は同じく側面
図、図５は走行台車の平面図である。
す概略斜視図、図２は移載ロボットの斜視図、図３は主
として移載ロボットを示す平面図、図４は同じく側面
図、図５は走行台車の平面図である。
【００１２】これらの図面において、１は走行台車であ
り、建物の天井より吊設された走行レールＲに沿って走
行するようになっている。２はウエハ収納用のキャリア
ボックスであり、図５に示すように、走行台車１の上部
に形成された十字形状の支持部１ａに着脱自在な構造と
なっている。
り、建物の天井より吊設された走行レールＲに沿って走
行するようになっている。２はウエハ収納用のキャリア
ボックスであり、図５に示すように、走行台車１の上部
に形成された十字形状の支持部１ａに着脱自在な構造と
なっている。
【００１３】このキャリアボックス２内には、ウエハ収
納キャリアが数セット並べて搭載できるようになってい
る。図４において、２ａはキャリアボックス２の開閉自
在な蓋部である。
納キャリアが数セット並べて搭載できるようになってい
る。図４において、２ａはキャリアボックス２の開閉自
在な蓋部である。
【００１４】３は高クリーン度のストッカであり、キャ
リアボックス２を複数個収容して保持できるようになっ
ている。
リアボックス２を複数個収容して保持できるようになっ
ている。
【００１５】４はストッカ３に設けられた移載ロボット
であり、走行台車１とストッカ３との間でキャリアボッ
クス２を移載するようになっている。移載ロボット４
は、アーム部５と、一対の荷受け部６ａ，６ｂを有して
いる。
であり、走行台車１とストッカ３との間でキャリアボッ
クス２を移載するようになっている。移載ロボット４
は、アーム部５と、一対の荷受け部６ａ，６ｂを有して
いる。
【００１６】図２に示すように、アーム部５は、ほぼＴ
字形状となっており、支軸９に内蔵された回動モータ９
ａにより回動自在な構成となっている。１０は支軸９の
下部垂直方向に固定されたスプライン軸、１１はこのス
プライン軸１０を案内するガイド部である。ガイド部１
１は、基部１２に固定されている。１３はスプライン軸
１０の下部に設けられためねじ部であり、ねじ部材１４
が螺合している。ねじ部材１４の下部には、タイミング
プーリ１５が固定されており、タイミングベルト１６、
タイミングプーリ１７を介して、昇降用モータ１８によ
って駆動されるようになっている。
字形状となっており、支軸９に内蔵された回動モータ９
ａにより回動自在な構成となっている。１０は支軸９の
下部垂直方向に固定されたスプライン軸、１１はこのス
プライン軸１０を案内するガイド部である。ガイド部１
１は、基部１２に固定されている。１３はスプライン軸
１０の下部に設けられためねじ部であり、ねじ部材１４
が螺合している。ねじ部材１４の下部には、タイミング
プーリ１５が固定されており、タイミングベルト１６、
タイミングプーリ１７を介して、昇降用モータ１８によ
って駆動されるようになっている。
【００１７】これにより、昇降用モータ１８を作動させ
ると、その回転方向に従って、スプライン軸１０が昇降
し、アーム部５が昇降動するようになっている。
ると、その回転方向に従って、スプライン軸１０が昇降
し、アーム部５が昇降動するようになっている。
【００１８】荷受け部６ａ，６ｂは、支持部７と、この
支持部７より垂下され、キャリアボックス２を受け入れ
て支持する４本の荷受けアーム８とからなっている。
支持部７より垂下され、キャリアボックス２を受け入れ
て支持する４本の荷受けアーム８とからなっている。
【００１９】４本の荷受けアーム８は、キャリアボック
ス２の前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い間隔を
隔てて配置されており、前後、左右どちらの方向（図２
中矢印Ｘ，Ｙ方向）からもキャリアボックス２を出し入
れできるようになっている。８ａは荷受けアーム８の下
部を内方に折曲形成した引掛部であり、キャリアボック
ス２を前後左右いずれの方向から受け入れたときでもキ
ャリアボックス２の下部四隅に係合可能な大きさに形成
されている。このような荷受けアーム８は、アーム部５
に同じ向きに取り付けられている。
ス２の前後、左右方向の寸法よりもそれぞれ広い間隔を
隔てて配置されており、前後、左右どちらの方向（図２
中矢印Ｘ，Ｙ方向）からもキャリアボックス２を出し入
れできるようになっている。８ａは荷受けアーム８の下
部を内方に折曲形成した引掛部であり、キャリアボック
ス２を前後左右いずれの方向から受け入れたときでもキ
ャリアボックス２の下部四隅に係合可能な大きさに形成
されている。このような荷受けアーム８は、アーム部５
に同じ向きに取り付けられている。
【００２０】なお、移載ロボット４の作動は、制御部１
９により制御されるようになっている。また、図１に示
すように、ストッカ３の出入庫口３ａにおいて、キャリ
アボックス２が出入庫されるようになっている。
９により制御されるようになっている。また、図１に示
すように、ストッカ３の出入庫口３ａにおいて、キャリ
アボックス２が出入庫されるようになっている。
【００２１】次に、上述した移載装置の動作について、
ストッカから走行台車へキャリアボックスを移載する場
合を例にして説明する。なお、図６はタイムチャートで
ある。
ストッカから走行台車へキャリアボックスを移載する場
合を例にして説明する。なお、図６はタイムチャートで
ある。
【００２２】図３，４に示すように、移載ロボット４の
荷受け部６ａ，６ｂを配置する。その後、走行台車１を
荷受け部６ａの下方に待機させるとともに、ストッカ３
内の図示しないスタッカクレーンを作動させ、キャリア
ボックス２を図４中矢印Ｙ１方向から荷受け部６ｂ内に
受け入れる。
荷受け部６ａ，６ｂを配置する。その後、走行台車１を
荷受け部６ａの下方に待機させるとともに、ストッカ３
内の図示しないスタッカクレーンを作動させ、キャリア
ボックス２を図４中矢印Ｙ１方向から荷受け部６ｂ内に
受け入れる。
【００２３】その後、昇降用モータ１８を作動させて、
図４仮想線５′で示すように、アーム部５を一定の高さ
まで上昇させる（図６（イ））。これにより、荷受け部
６ｂの４本の荷受けアーム８の引掛部８ａがキャリアボ
ックス２の下部四隅に係合して、キャリアボックス２が
持ち上げられ、キャリアボックス２が荷受け部６ｂに受
け渡される。このとき、他方の荷受け部６ａの引掛部８
ａは、走行台車１の支持部１ａよりも上方まで上昇す
る。
図４仮想線５′で示すように、アーム部５を一定の高さ
まで上昇させる（図６（イ））。これにより、荷受け部
６ｂの４本の荷受けアーム８の引掛部８ａがキャリアボ
ックス２の下部四隅に係合して、キャリアボックス２が
持ち上げられ、キャリアボックス２が荷受け部６ｂに受
け渡される。このとき、他方の荷受け部６ａの引掛部８
ａは、走行台車１の支持部１ａよりも上方まで上昇す
る。
【００２４】その後、回動モータ９ａを作動させて、ア
ーム部５を回動させ、荷受け部６ｂを走行台車１上に持
ってくる（図６（ロ））。その後、昇降用モータ１８を
作動させて、アーム部５を所定の位置まで下降させる
（図６（ハ））。
ーム部５を回動させ、荷受け部６ｂを走行台車１上に持
ってくる（図６（ロ））。その後、昇降用モータ１８を
作動させて、アーム部５を所定の位置まで下降させる
（図６（ハ））。
【００２５】これにより、荷受け部６ｂのキャリアボッ
クス２が走行台車１の支持部１ａ上に載置され、荷受け
部６ｂの引掛部８ａがキャリアボックス２の下部四隅か
ら下方へ離れる。これにより、ストッカ３から走行台車
１へのキャリアボックス２の移載が終了する。
クス２が走行台車１の支持部１ａ上に載置され、荷受け
部６ｂの引掛部８ａがキャリアボックス２の下部四隅か
ら下方へ離れる。これにより、ストッカ３から走行台車
１へのキャリアボックス２の移載が終了する。
【００２６】その後、走行台車１を図３中Ｘ方向に走行
させてキャリアボックス２を搬送する。
させてキャリアボックス２を搬送する。
【００２７】このように、本発明の移載装置によれば、
従来のように把持部の開閉動作を必要とせず、キャリア
ボックスを受け入れて支持することができ、しかも、４
本の荷受けアームの前後、左右どちらの方向からもキャ
リアボックスの受け入れが可能であるので、キャリアボ
ックスのスムーズな受け入れ受け渡しを実現することが
でき、移載時間を短縮することができる。しかも、走行
台車１側におけるキャリアボックス２の移載方向とスト
ッカ３側におけるキャリアボックスの移載方向とが直交
しているにもかかわらず、荷受けアーム８の向きを変更
するための機構等を要することなく、アーム部５を回動
および昇降動させるだけで、キャリアボックスを走行台
車とストッカとの間で移載することができるので、シン
プルな構成で移載を行なうことができる。すなわち、本
発明の移載装置によれば、走行台車側におけるキャリア
ボックスの移載方向とストッカ側におけるキャリアボッ
クスの移載方向とが直交している場合において、シンプ
ルな構成でしかも短時間でキャリアボックスを移載する
ことができる。
従来のように把持部の開閉動作を必要とせず、キャリア
ボックスを受け入れて支持することができ、しかも、４
本の荷受けアームの前後、左右どちらの方向からもキャ
リアボックスの受け入れが可能であるので、キャリアボ
ックスのスムーズな受け入れ受け渡しを実現することが
でき、移載時間を短縮することができる。しかも、走行
台車１側におけるキャリアボックス２の移載方向とスト
ッカ３側におけるキャリアボックスの移載方向とが直交
しているにもかかわらず、荷受けアーム８の向きを変更
するための機構等を要することなく、アーム部５を回動
および昇降動させるだけで、キャリアボックスを走行台
車とストッカとの間で移載することができるので、シン
プルな構成で移載を行なうことができる。すなわち、本
発明の移載装置によれば、走行台車側におけるキャリア
ボックスの移載方向とストッカ側におけるキャリアボッ
クスの移載方向とが直交している場合において、シンプ
ルな構成でしかも短時間でキャリアボックスを移載する
ことができる。
【００２８】以上、本発明の実施例について説明した
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
が、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨の範囲内において適宜変形実施可能である。
【図１】本発明に係る移載装置の設置例を示す概略斜視
図。
図。
【図２】移載ロボットの斜視図。
【図３】主として移載ロボットを示す平面図。
【図４】同じく側面図。
【図５】走行台車の平面図。
【図６】タイムチャート。
１ 走行台車 ２ キャリアボックス ５ アーム部 ８ 荷受けアーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ｈ０１Ｌ 21/68 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】 走行台車に着脱自在に設けられたキャリ
アボックスをストッカとの間で移載し、かつ走行台車側
におけるキャリアボックスの移載方向とストッカ側にお
けるキャリアボックスの移載方向とが直交する移載装置
であって、前記走行台車とストッカとの間で回動し、か
つ昇降自在なアーム部と、このアーム部の両端にそれぞ
れ垂下され、前記キャリアボックスを受け入れて支持す
る４本の荷受けアームとを備え、前記４本の荷受けアー
ムを、キャリアボックスの前後、左右方向の寸法よりも
それぞれ広い間隔を隔てて配置し、これら荷受けアーム
の下端に、キャリアボックスを前後左右いずれの方向か
ら受け入れたときでもキャリアボックスの下部四隅に係
合可能な引掛部を設けたことを特徴とする移載装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4168276A JP2528416B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 移載装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4168276A JP2528416B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 移載装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06286811A JPH06286811A (ja) | 1994-10-11 |
| JP2528416B2 true JP2528416B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=15865021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4168276A Expired - Fee Related JP2528416B2 (ja) | 1992-06-04 | 1992-06-04 | 移載装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2528416B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100646906B1 (ko) | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
| JP4807424B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2011-11-02 | 村田機械株式会社 | 天井搬送システムと物品の移載方法 |
| KR101152271B1 (ko) * | 2010-05-07 | 2012-06-08 | 유정호 | 일체형 반도체 처리 장치 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS488860U (ja) * | 1971-06-14 | 1973-01-31 | ||
| JPS5720214A (en) * | 1980-07-11 | 1982-02-02 | Misako Takamoto | Cosmetic brush and method |
| JPH0318405Y2 (ja) * | 1986-09-02 | 1991-04-18 | ||
| JPH01149310U (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-16 |
-
1992
- 1992-06-04 JP JP4168276A patent/JP2528416B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06286811A (ja) | 1994-10-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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