JP2000150400A - 縦型熱処理装置およびボート搬送方法 - Google Patents
縦型熱処理装置およびボート搬送方法Info
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Abstract
に炉口からの熱影響を防止すると共に、2個のボートを
使用して処理能力を向上させた縦型熱処理装置の小型
化、製造コスト地および維持コストの低減を図る。 【解決手段】 ボート3を載置して熱処理炉4内への搬
入搬出および炉口4aの開閉を行う昇降可能な蓋体17
と、蓋体17が開放された炉口4aを遮蔽する水平方向
に開閉移動可能なシャッター18と、ボート3を載置す
るボート載置部19と、キャリア2を載置するキャリア
載置部11と、キャリア載置部11のキャリア2とボー
ト載置部19のボート3との間で被処理体Wの移替えを
行う移載機構22と、ボート載置部19と蓋体17との
間でボート3の搬送を行うボート搬送機構21とを備
え、ボート搬送に際し移載機構22がボート3との干渉
を避けるべく横方向へ退避可能に構成する。
Description
よびボート搬送方法に関する。
である半導体ウエハに例えば酸化、拡散、CVD等の各
種の処理を施す工程があり、このような処理を行う装置
として例えば縦型熱処理装置が用いられている。この縦
型熱処理装置は、オペレータや自動搬送機構が複数枚の
半導体ウエハを収容したキャリアを持ち運ぶキャリア搬
送領域と、キャリア内の半導体ウエハを熱処理の保持具
であるボートに移替えて熱処理炉への搬入搬出を行うロ
ーディングエリアとを備えている。
ーディングエリアをより清浄な雰囲気とすると共に半導
体ウエハの自然酸化膜の発生等を防止するために、大気
側のキャリア搬送領域とローディングエリアを隔壁で仕
切り、ローディングエリア内を不活性ガス例えば窒素
(N2)ガスで満たした不活性ガス雰囲気とすることが
好ましい。また、前記縦型熱処理装置には、半導体ウエ
ハのパーティクル汚染を抑えるために半導体ウエハの取
出口が蓋で密閉されている密閉型のキャリア(クローズ
型キャリアともいう)を適用することが更に好ましい。
グエリアを仕切る隔壁にキャリアをキャリア搬送領域側
から当接させるための開口部を有するキャリア載置部を
設け、その開口部を閉鎖する扉をローディングエリア側
に設ける。処理を行う場合には、前記キャリア載置部に
キャリアをセットし、その開口部の扉および前記キャリ
アの蓋を開けてキャリア内をローディングエリア側に開
放し、開口部からキャリア内の半導体ウエハをローディ
ングエリア側に搬送してボートへの移替えを行い、この
ボートを熱処理炉内に搬入して所定の熱処理を行うよう
にすればよい。
の炉口を開閉する昇降可能な蓋体上に一方のボートを載
置し、このボートを熱処理炉内に搬入し、炉口を蓋体で
密閉して熱処理している間に、他方のボートに対する半
導体ウエハの移替えを行うようにすれば、スループット
の向上が図れる。
処理装置においては、直径が例えば300mmと大きい
半導体ウエハを対象とする場合、熱処理炉が大容量のも
のとなると共に炉口も大口径のものとなる。このため、
熱処理後炉口の蓋体を開放しつつボートを搬出してから
次のボートを搬入して蓋体を閉めるまでの間、炉内の熱
が炉口からローディングエリアに多量に放出し、ローデ
ィングエリア内の温度を上昇させ、機器等に熱影響を与
えることが考えられる。更に、炉内は、一定の温度以上
に保つ必要があるため、余計なエネルギーを消費してし
まう。
直径300mm)により縦型熱処理装置の幅、奥行きお
よび高さ寸法が増大している。また同様に、設置するた
めの床面積や天井高さも増大している。これらは全て縦
型熱処理装置の生産コストや維持コストの増加を招いて
いることから、これらを解消すべく縦型熱処理装置をで
きるだけ小型化する必要性が生じている。
ートによる熱処理中に他方のボートに対する半導体ウエ
ハの移替えを行うために該ボートを載置するボート載置
部と、このボート載置部のボートと前記キャリア載置部
のキャリアとの間で半導体ウエハの移替えを行う移載機
構と、前記ボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬
送を行うボート搬送機構とを設けることが縦型熱処理装
置による半導体ウエハの処理能力を向上するために望ま
れる。この場合、縦型熱処理装置を小型化するために
は、ボートの移動軌跡と移載機構の占有空間をオーバー
ラップさせることが有効であるが、一部においてボート
と移載機構が干渉する恐れがある。
の搬送を行う場合、熱処理前のボートが熱処理後のボー
トの風下になる場合があるが、この場合、熱処理後のボ
ートに付着しているパーティクルの飛散やアウトガスに
より風下の熱処理前のボートに保持された半導体ウエハ
が汚染される恐れがある。
のであり、本発明の目的は、熱処理後蓋体を開放してボ
ートを搬出した際に炉口からの熱影響を防止することが
できる縦型熱処理装置を提供することにある。また、本
発明の他の目的は、ボートの移動軌跡と被処理体の移載
機構の占有空間をオーバーラップさせる一方、ボートの
搬送時にボートの移動軌跡から移載機構を横方向に退避
させてボートと移載機構の干渉を防ぐことにより、ボー
ト2個を使用して処理能力の向上が図れる小型の縦型熱
処理装置を提供することにある。更に、本発明の目的
は、キャリア載置部の上下方向の中心線上にノッチ整列
機構を配置することにより、高さ寸法を増加させること
なく幅および奥行き寸法を減少させて、小型化を可能と
した縦型熱処理装置を提供することにある。更にまた、
本発明の目的は、ボート搬送時における被処理体の汚染
を防止することができるボート搬送方法を提供すること
にある。
に係る発明は、被処理体を上下方向に多段に保持するボ
ートを2個使用し、熱処理炉の炉口を開閉する昇降可能
な蓋体上に一方のボートを載置し、このボートを熱処理
炉内に搬入し、炉口を蓋体で密閉して熱処理している間
に、他方のボートに対する被処理体の移替えを行うよう
にした縦型熱処理装置において、前記炉口の近傍に、熱
処理後蓋体が開放されてボートが搬出された際に炉口を
遮蔽するシャッターを水平方向に開閉移動可能に設けた
ことを特徴とする。
向に多段に保持したボートを載置して熱処理炉内への搬
入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な蓋体と、この
蓋体が開放された炉口を遮蔽する水平方向に開閉移動可
能なシャッターと、一方のボートによる熱処理中に他方
のボートに対する被処理体の移替えを行うために該ボー
トを載置するボート載置部と、複数枚の被処理体が収容
されて蓋体で密閉されたキャリアを載置するキャリア載
置部と、このキャリア載置部のキャリアと前記ボート載
置部のボートとの間で被処理体の移替えを行う移載機構
と、前記ボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬送
を行うボート搬送機構とを備え、ボート搬送に際し前記
移載機構がボートの搬送に際しボートとの干渉を避ける
べく横方向へ退避可能に構成されていることを特徴とす
る。
型熱処理装置において、前記キャリア載置部の上下方向
の中心線上に、被処理体に設けられたノッチを一方向に
整列させるためのノッチ整列機構が配置されていること
を特徴とする。
型熱処理装置において、前記ボート搬送機構が水平旋回
および昇降可能な第1アームと、この第1アームの先端
部に水平旋回可能に軸支され一つのボートを垂直に支持
可能な開口を有する支持アームとを備え、この支持アー
ムの開口中心が第1アームの旋回中心を通り、第1アー
ムと支持アームの水平旋回動作を同期させることによ
り、水平直線方向への搬送が可能に構成されていること
を特徴とする。
型熱処理装置において、前記支持アームの開口内に前記
移載機構の突出部が収納可能に構成されていることを特
徴とする。
向に多段に保持したボートを載置して熱処理炉内への搬
入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な蓋体と、一方
のボートによる熱処理中に他方のボートに対する被処理
体の移替えを行うために該ボートを載置するボート載置
部と、このボート載置部と前記蓋体との間でボートの搬
送を行うボート搬送機構と、前記ボート載置部の近傍に
設けられ側方から水平に清浄雰囲気を送風する送風部と
を備えた縦型熱処理装置における前記ボート載置部と蓋
体との間でボートの搬送を行うに際して、熱処理前のボ
ートが熱処理後のボートの風下にならないようにボート
を搬送することを特徴とする。
付図面に基いて詳述する。図1は本発明を縦型熱処理装
置に適用した実施の形態を示す概略的斜視図、図2は同
縦型熱処理装置の概略的横断面図、図3は同縦型熱処理
装置の概略的縦断面図、図4はキャリア載置部とノッチ
整列機構の配置構造を示す概略的正面図、図5はボート
搬送機構を示す斜視図、図6はボート搬送方法を説明す
る平面図、図7は従来のボート搬送方法を説明する平面
図である。
内に設置される縦型熱処理装置の外郭を形成する筐体で
ある。この筐体1内は、キャリア2の搬入搬出、保管等
を行うためのキャリア搬送領域Saと、キャリア2内に
収容された被処理体(被処理基板ともいう)である半導
体ウエハWのボート(ウエハボートともいう)3への移
替え(移載)、熱処理炉4へのボート3の搬入搬出等を
行うためのローディングエリアSbとに隔壁(バルクヘ
ッド)5により仕切られている。
いは搬送ロボットによりキャリア2を搬入搬出するため
の搬入出口6が設けられ、この搬入出口6には上下に開
閉移動するドア7が設けられている。キャリア搬送領域
Saには、搬入出口6近傍にキャリア2を置くための置
き台8が設けられ、この置き台8の後部にはキャリア2
の蓋(図示省略)を開けて半導体ウエハWの位置および
枚数を検出するセンサ機構9が設けられている。また、
置き台8の上方および隔壁5側の上方には、複数個のキ
ャリア2を保管しておくための棚状の保管部10が設け
られている。
に、キャリア2を載置するためのキャリア載置部(トラ
ンスファステージともいう)11が設けられている。キ
ャリア載置部11は、一方のキャリア載置部で半導体ウ
エハWの移載を行っている間に、他方のキャリア載置部
でキャリア2の交換を行ってスループットの向上を図る
ために、上下方向に複数例えば2つ(2段)設けられて
いることが好ましい。キャリア搬送領域Saには、前記
置き台8、保管部10およびキャリア載置部11の間で
キャリア2の搬送を行うためのキャリア搬送機構12が
設けられている。このキャリア搬送機構12は、キャリ
ア搬送領域Saの一側部に設けられた昇降機構12aに
より昇降移動される昇降アーム12bと、この昇降アー
ム12bに設けられ、キャリア2の底部を支持して水平
方向に搬送する搬送アーム12cとから主に構成されて
いる。
ャリアであり、複数枚の半導体ウエハWを収容すると共
に図示しない蓋で密閉されている。キャリア2は、所定
口径例えば直径300mmの半導体ウエハを水平状態で
上下方向に所定間隔で多段に複数枚例えば13枚もしく
は25枚程度収容可能で持ち運び可能なプラスチック製
の容器からなり、その前面部に開口形成されたウエハ取
出口にこれを気密に塞ぐための蓋が着脱可能に備えてい
る(図示省略)。
ルタを介して清浄な空気が供給されていて大気雰囲気と
されている。ローディングエリアSbは、清浄な空気が
供給される大気雰囲気または不活性ガス例えば窒素ガス
が供給されていて不活性ガス雰囲気とされている。前記
隔壁5には、キャリア載置部11に載置されたキャリア
2を大気側であるキャリア搬送領域Sa側から当接させ
てキャリア2内とローディングエリアSb内を連通する
ための開口部13がキャリア載置部11と対応して上下
に2つ設けられていると共に、各開口部13をローディ
ングエリアSb側から閉鎖する扉14が開閉可能に設け
られている。開口部13は、キャリア2のウエハ取出口
とほぼ同口径に形成されており、開口部13からキャリ
ア2内の半導体ウエハWの出し入れが可能になってい
る。
る図示しない蓋開閉機構および扉14をローディングエ
リアSb側から開閉する図示しない扉開閉機構が設けら
れ、この扉開閉機構により扉14および蓋がローディン
グエリアSb側に開放移動され、更に半導体ウエハWの
移替えの邪魔にならないように上方または下方へ移動
(退避)されるようになっている。前記キャリア載置部
11の下方には、結晶方向を揃えるために半導体ウエハ
Wの周縁部に設けられているノッチ(切欠部)を一方向
に整列させるためのノッチ整列機構15が設けられてい
る。このノッチ整列機構15は、ローディングエリアS
b側に臨んで開放されており、後述する移載機構22に
よりキャリア載置部11上のキャリア2から移載された
半導体ウエハWのノッチを整列させるように構成されて
いる。
半導体ウエハWのノッチ整列が可能なものを上下に2段
配置してなり、一方がノッチ整列を行っている間に、他
方のノッチ整列の終了した半導体ウエハWをボート3に
移載してスループットの向上を図るように構成されてい
る。なお、ノッチ整列機構15としては、例えば3枚も
しくは5枚の半導体ウエハのノッチ整列が可能なものを
上下に2段配置してなるものであってもよい。前記ノッ
チ整列機構15は、同機構内でノッチを整列させる半導
体ウエハWの中心線が図4に概略的に示すように、キャ
リア載置部11に載置されたキャリア内の半導体ウエハ
Wの中心線16上に配置されていることが、縦型熱処理
装置の幅の縮小化および半導体ウエハWの移載時間の短
縮化を図る上で好ましい。
には、多数枚例えば100枚もしくは150枚程度の半
導体ウエハWを上下方向に所定間隔で多段に保持した例
えば石英製のボート3を載置して熱処理炉4内への搬入
搬出および炉口4aの開閉を行う蓋体17が図示しない
昇降機構により昇降可能に設けられている。炉口4aの
近傍には、蓋体17が開放されて熱処理後のボート3が
搬出された際に炉口4aを遮蔽するためのシャッター1
8が水平方向に開閉移動可能に設けられている。このシ
ャッター18は、これを水平方向に旋回移動させて開閉
させるシャッター駆動機構18aを有している。
体ウエハWの移替え等のためにボート3を載置しておく
ためのボート載置部(ボートステージともいう)19が
設けられている。このボート載置部19は、前後に配置
された第1載置部19aと第2載置部19bを有してい
る。前記ボート載置部19の近傍には、ローディングエ
リアSb内の雰囲気(清浄な空気または不活性ガス雰囲
気)をフィルターを介して清浄化しつつ側方から循環送
風する送風部20が設けられている。
リア載置部11と熱処理炉4との間には、ボート載置部
19と蓋体17との間、具体的にはボート載置部19の
第1載置部19aもしくは第2載置部19bと降下され
た蓋体17との間、および第1載置部19aと第2載置
部19bとの間でボート3の搬送を行うボート搬送機構
21が設けられている。また、このボート搬送機構21
の上方には、キャリア載置部11のキャリア2とボート
載置部19のボート3との間、具体的にはキャリア載置
部11上のキャリア2とノッチ整列機構15との間、ノ
ッチ整列機構15とボート載置部19の第1載置部19
a上のボート3との間、および第1載置部19a上の熱
処理後のボート3とキャリア載置部11上の空のキャリ
ア2との間で半導体ウエハWの移替えを行う移載機構2
2が設けられている。
3を垂直に支持して水平に伸縮可能なアームを有してい
る。すなわち、ボート搬送機構21は、図5にも示すよ
うに、水平旋回および昇降可能な第1アーム21aと、
この第1アーム21aの先端部に水平旋回可能に軸支さ
れボート3を垂直に支持可能な平面略C字状の開口21
cを有する支持アーム21bとを備え、この支持アーム
21bの開口21c中心が第1アーム21aの旋回中心
を通るように設計し、第1アーム21aと支持アーム2
1bの水平旋回動作を同期させることにより、水平直線
方向の搬送が可能に構成されている。このようにしてア
ームを伸縮させることによりボート3を搬送するエリア
を必要最小限にすることが可能で、装置幅と奥行き寸法
を減少できる。図5において、矢印はボート搬送機構2
1の動作方向を示している。ボート3の搬送を行う場合
には、図6に示すように、熱処理後ボート3を炉内から
ローディングエリアSbに搬出したなら、先ず第1載置
部19a上に待機している熱処理前のボート3を第2載
置部19bに搬送し()、次に熱処理後のボート3を
蓋体17上から第1載置部19aに搬送し()、最後
に第2載置部19b上の熱処理前のボート3を蓋体17
上に搬送する()。すなわち、熱処理前のボート3が
熱処理後のボート3の風下にならないようにボート3を
搬送するように構成されており、これによりボート搬送
時に熱処理後のボート側から熱処理前の半導体ウエハを
搭載したボート側へ及ぼすパーティクルおよびアウトガ
スの汚染を防止することができる。
22a上に半導体ウエハを載置する複数枚例えば2枚も
しくは5枚の薄板フォーク状の支持アーム22bを進退
可能に設けてなり、搬送時のボート3との干渉を避ける
ために、図2に仮想線で示す作業位置Aから実線で示す
退避位置Bに旋回アーム23を介して横方向に退避可能
に構成されている。旋回アーム23の基部側は、ローデ
ィングエリアSbの他側に設けられた図示しない昇降機
構に連結されており、これにより移載機構22が昇降可
能とされている。移載機構22が下限に降下したとき
に、基台22a下部の突出部22cが降下待機位置のボ
ート搬送機構21の支持アーム21bの開口21c内に
収容されるようにしてあり、これにより移載機構22と
ボート搬送機構21との干渉を避けると共に移載機構2
2の下限ストロークを稼いでいる。
の作用およびボート搬送方法について述べる。キャリア
2を搬入出口6から置き台8上に載置すると、センサ機
構9によりキャリア2の蓋が開けられ、キャリア2内の
半導体ウエハWの位置および枚数が検出された後、キャ
リア2は蓋が閉められた状態でキャリア搬送機構12に
より保管部10に搬送される。また、キャリア搬送機構
12により、保管部10のキャリア2はキャリア載置部
11に搬送される。
よび隔壁5の開口部13の扉14が開放されると、移載
機構22がキャリア2内から半導体ウエハWを取出し、
ノッチ整列機構15を経由してボート載置部19の第1
載置部19a上で待機する空のボート3に順次移載す
る。この間、ボート搬送機構21は、下方に降下されて
退避しているため、移載機構22がボート搬送機構21
と干渉することがない。また、前記キャリア載置部11
の中心線16上にノッチ整列機構15が配置されている
ため、縦型熱処理装置の幅を縮小化でき、縦型熱処理装
置のコンパクト化が図れると共に、半導体ウエハWを効
率よく移載でき、移載時間の短縮化によるスループット
の向上が図れる。半導体ウエハWの移載が終了すると、
移載機構22は、旋回アーム23により作業位置Aから
横方向の筐体1側部側の退避位置Bに退避する。
下により熱処理後のボート3が熱処理炉4内からローデ
ィングエリアSbに搬出され、蓋体17が開放された炉
口4aは、シャッター18によって直ちに遮蔽される。
このため、熱処理炉4の炉口4aからローディングエリ
アSbに熱が多量に放出されることがなく、ローディン
グエリアSb内の機器への熱影響を防止することができ
る。熱処理後のボート3が搬出されると、ボート搬送機
構21が先ず第1載置部19a上に待機している熱処理
前のボート3を第2載置部19bに搬送し()、次に
熱処理後のボート3を蓋体17上から第1載置部19a
に搬送し()、最後に第2載置部19b上の熱処理前
のボート3を蓋体17上に搬送する()。すなわち、
熱処理前のボート3が熱処理後のボート3の風下になら
ないようにボート3を搬送するため、ボート搬送時に熱
処理後のボート側から熱処理前のボート側へ及ぼすパー
ティクルおよびアウトガスによる汚染を防止することが
できる。また、熱処理後のボート3を搬出した直後に
は、熱処理前のボート3が熱処理後のボート3から遠く
離れた位置にあるため、熱処理後のボート3から熱処理
前のボート3への熱影響を抑制ないし防止することがで
きる。
図7に示すように、熱処理後のボート3が搬出される
と、先ず熱処理後のボート3を蓋体17上から第2載置
部19bに搬送し()、次に第1載置部19a上の熱
処理前のボート3を蓋体17上に搬送し()、最後に
第2載置部19b上の熱処理後のボート3を第1載置部
19aに搬送していた()。このため、熱処理前のボ
ート3が熱処理後のボート3の風下になってしまい、ボ
ート搬送時に熱処理後のボート側から熱処理前のボート
側へパーティクル汚染を及ぼす恐れがあった。
がボート搬送機構21の上方ではなく、横方向に退避し
ているため、搬送中のボート3と移載機構22とが干渉
することを防止することができる。また、移載機構22
が上方向に退避するのではなく、横方向に退避するよう
に構成されているため、水平方向に開閉移動するシャッ
ター18と移載機構22とが互いに干渉することもな
い。
ート3をシャッター18が開放された炉口4aから熱処
理炉4内に搬入して熱処理を開始する一方、第1載置部
上19aに搬送された熱処理後のボート3からキャリア
載置部11上の空のキャリア2内に移載機構22により
熱処理後の半導体ウエハWを戻し、前述したサイクルを
繰り返せばよい。
述してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるも
のではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲での種々の
設計変更等が可能である。例えば、被処理体としては、
半導体ウエハ以外に、例えばガラス基板やLCD基板等
が適用可能である。
な効果を奏することができる。
理体を上下方向に多段に保持するボートを2個使用し、
熱処理炉の炉口を開閉する昇降可能な蓋体上に一方のボ
ートを載置し、このボートを熱処理炉内に搬入し、炉口
を蓋体で密閉して熱処理している間に、他方のボートに
対する被処理体の移替えを行うようにした縦型熱処理装
置において、前記炉口の近傍に、熱処理後蓋体が開放さ
れてボートが搬出された際に炉口を遮蔽するシャッター
を水平方向に開閉移動可能に設けているため、熱処理後
蓋体を開放してボートを搬出した際に炉口からの熱影響
を防止することができる。また、炉内の温度降下を防止
でき、余計なエネルギーを消費しなくて済む。
理体を上下方向に多段に保持したボートを載置して熱処
理炉内への搬入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な
蓋体と、この蓋体が開放された炉口を遮蔽する水平方向
に開閉移動可能なシャッターと、一方のボートによる熱
処理中に他方のボートに対する被処理体の移替えを行う
ために該ボートを載置するボート載置部と、複数枚の被
処理体が収容されて蓋体で密閉されたキャリアを載置す
るキャリア載置部と、このキャリア載置部のキャリアと
前記ボート載置部のボートとの間で被処理体の移替えを
行う移載機構と、前記ボート載置部と前記蓋体との間で
ボートの搬送を行うボート搬送機構とを備え、前記移載
機構がボートとの干渉を避けるべく横方向へ退避可能に
構成されているため、移載機構とボートおよびシャッタ
ーとの干渉を防止することができ、縦型熱処理装置の小
型化が可能となる。
キャリア載置部の上下方向の中心線上にノッチ整列機構
が配置されているため、縦型熱処理装置の幅、奥行き寸
法および高さの縮小化が可能であり、更に半導体ウエハ
の移載時間の短縮化が図れる。
ボート搬送機構が水平旋回および昇降可能な第1アーム
と、この第1アームの先端部に水平旋回可能に軸支され
一つのボートを垂直に支持可能な開口を有する支持アー
ムとを備え、この支持アームの開口中心が第1アームの
旋回中心を通り、第1アームと支持アームの水平旋回動
作を同期させることにより、水平直線方向への搬送が可
能に構成されているため、ボートを搬送するエリアを必
要最小限にすることでき、縦型熱処理装置の幅および奥
行き寸法を縮小することができる。
支持アームの開口内に前記移載機構の突出部が収納可能
に構成されているため、縦型熱処理装置の高さを増加す
ることなく移載機構の上下ストロークを増加することが
できる。
理体を上下方向に多段に保持したボートを載置して熱処
理炉内への搬入搬出および炉口の開閉を行う昇降可能な
蓋体と、一方のボートによる熱処理中に他方のボートに
対する被処理体の移替えを行うために該ボートを載置す
るボート載置部と、このボート載置部と前記蓋体との間
でボートの搬送を行うボート搬送機構と、前記ボート載
置部の近傍に設けられ側方から清浄雰囲気を送風する送
風部とを備えた縦型熱処理装置における前記ボート載置
部と蓋体との間でボートの搬送を行うに際して、熱処理
前のボートが熱処理後のボートの風下にならないように
ボートを搬送するため、ボート搬送時の汚染を防止する
ことができる。
を示す概略的斜視図である。
示す概略的正面図である。
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 被処理体を上下方向に多段に保持するボ
ートを2個使用し、熱処理炉の炉口を開閉する昇降可能
な蓋体上に一方のボートを載置し、このボートを熱処理
炉内に搬入し、炉口を蓋体で密閉して熱処理している間
に、他方のボートに対する被処理体の移替えを行うよう
にした縦型熱処理装置において、前記炉口の近傍に、熱
処理後蓋体が開放されてボートが搬出された際に炉口を
遮蔽するシャッターを水平方向に開閉移動可能に設けた
ことを特徴とする縦型熱処理装置。 - 【請求項2】 被処理体を上下方向に多段に保持したボ
ートを載置して熱処理炉内への搬入搬出および炉口の開
閉を行う昇降可能な蓋体と、この蓋体が開放された炉口
を遮蔽する水平方向に開閉移動可能なシャッターと、一
方のボートによる熱処理中に他方のボートに対する被処
理体の移替えを行うために該ボートを載置するボート載
置部と、複数枚の被処理体が収容されて蓋で密閉された
キャリアを載置するキャリア載置部と、このキャリア載
置部のキャリアと前記ボート載置部のボートとの間で被
処理体の移替えを行う移載機構と、前記ボート載置部と
前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機構と
を備え、ボート搬送に際し前記移載機構がボートとの干
渉を避けるべく横方向へ退避可能に構成されていること
を特徴とする縦型熱処理装置。 - 【請求項3】 前記キャリア載置部の上下方向の中心線
上に、被処理体に設けられたノッチを一方向に整列させ
るためのノッチ整列機構が配置されていることを特徴と
する請求項2記載の縦型熱処理装置。 - 【請求項4】 前記ボート搬送機構が水平旋回および昇
降可能な第1アームと、この第1アームの先端部に水平
旋回可能に軸支され一つのボートを垂直に支持可能な開
口を有する支持アームとを備え、この支持アームの開口
中心が第1アームの旋回中心を通り、第1アームと支持
アームの水平旋回動作を同期させることにより、水平直
線方向への搬送が可能に構成されていることを特徴とす
る請求項2記載の縦型熱処理装置。 - 【請求項5】 前記支持アームの開口内に前記移載機構
の突出部が収納可能に構成されていることを特徴とする
請求項4記載の縦型熱処理装置。 - 【請求項6】 被処理体を上下方向に多段に保持したボ
ートを載置して熱処理炉内への搬入搬出および炉口の開
閉を行う昇降可能な蓋体と、一方のボートによる熱処理
中に他方のボートに対する被処理体の移替えを行うため
に該ボートを載置するボート載置部と、このボート載置
部と前記蓋体との間でボートの搬送を行うボート搬送機
構と、前記ボート載置部の近傍に設けられ側方から水平
に清浄雰囲気を送風する送風部とを備えた縦型熱処理装
置における前記ボート載置部と蓋体との間でボートの搬
送を行うに際して、熱処理前のボートが熱処理後のボー
トの風下にならないようにボートを搬送することを特徴
とするボート搬送方法。
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