CN109935540A - 一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备，所述夹取器包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；夹取手通过横杆与搬送机构相连接。本发明夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，然后便可以将干晶圆盒搬送至目标位置，由原来配置干湿两个夹取器减少为一个夹取器，减小了生产成本。

Description

一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备

技术领域

本发明涉及湿法清洗技术领域，尤其涉及一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备。

背景技术

在全球半导体产业向大陆转移的过程中，半导体设备国产化具有重要战略意义。随着国家政策与资金的持续支持，国产化设备持续的、高强度的研发投入和核心技术的自主掌握日益提升，其中尤其是湿法槽式清洗设备，凭借着国内资深工程师的多年经验，各种新设计、新创意的设备产品也应需而生。

目前湿法槽式清洗设备中，主要采用两种方式对干、湿晶圆盒进行搬送：一种是采用两只夹取器，分别对湿晶圆盒和干晶圆盒进行搬送，即采用一只夹取器取出湿晶圆盒，湿晶圆盒干燥后，再使用另一夹取器搬送干晶圆盒；另一种是采用夹取器将清洗后的湿晶圆盒取出，之后采用吹干装置将其吹干。这两种方式生产成本较高，生产效率低，且整个夹取搬运设备体积较大，需要占用较大的生产空间。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种具有加热功能的夹取器及应用该夹取器的湿法槽式清洗设备，用以解决上述背景技术中存在的问题。

一种具有加热功能的夹取器，包括用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒的夹取手，以及用以带动夹取手动作的搬送机构；其中，所述夹取手通过横杆与搬送机构相连接，夹取手包括固定组件和具有加热功能的夹杆，所述固定组件安装在横杆上，夹杆安装在固定组件上。

优选的，所述固定组件包括支撑块和固定块，所述支撑块上开设有第一卡槽，固定块上开设有第二卡槽，支撑块和固定块通过紧固件固定为一体从而使第一卡槽与第二卡槽组合成一个用以使横杆穿过的槽孔，所述固定块上纵向开设有一个固定槽，夹杆的端部固定在所述固定槽内。

优选的，所述夹杆为加热棒，所述加热棒的外侧套设有一层防护层。

优选的，所述防护层采用的是PFA塑料。

优选的，所述加热棒包括从外向内依次设置的不锈钢外壳、绝缘内胆、发热丝和密封材料层，所述密封材料层内设置有热电偶合金丝和用于与发热丝连接的连接导线。

优选的，所述加热棒呈U字形。

优选的，夹取手上还设置有限位开关，所述限位开关通过支撑架固定在支撑块上。

优选的，所述限位开关的底部还固定有限位棒。

优选的，所述搬送机构包括升降机构、固定在升降机构上的联动夹紧机构，所述升降机构和联动夹紧机构均匀所述湿法清洗设备的控制系统电连接。

一种湿法槽式清洗设备，包括具有加热功能的夹取器。

本发明的有益效果是：

1、本申请的夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，然后便可以将干晶圆盒搬送至目标位置，由原来配置干湿两个夹取器减少为一个夹取器，减少了湿晶圆盒的干燥时间，提高了干燥效率，减小了生产成本。

2、减少了现场生产过程中，夹取器的使用数量，避免同一夹取器在不同工艺洗涤槽内的夹取操作，对洗涤槽内的液体造成交叉感染。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是具有加热功能的夹取器的结构示意图。

图2是支撑块的结构示意图。

图3是固定块的结构示意图。

图4是夹杆的端面视图。

图5是夹杆的纵剖图。

图中标号的含义为：

1为湿晶圆盒，2为夹取手，3为横杆，4为夹杆，5为支撑块，6为固定块，7为第一卡槽，8为第二卡槽，9为固定槽，10为不锈钢外壳，11为绝缘内胆，12为发热丝，13为密封材料层,14为热电偶合金丝，15为连接导线,16为限位开关，17为支撑架，18为限位棒,19为升降机构，20为联动夹紧机构。

具体实施方式

为了更好的理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明实施例进行详细描述。

应当明确，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“第一”、“第二”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；除非另有规定或说明，术语“多个”是指两个或两个以上；术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接，或电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。

本发明实施例给出一种具有加热功能的夹取器，及应用该种夹取器的湿法槽式清洗设备。本申请的夹取器自带加热功能，当夹取器夹取湿晶圆盒时，夹取器能够在搬送过程中，依靠其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发掉，将干晶圆盒搬送至目标位置。

参照图1、图2，图1为本发明的具有加热功能的夹取器的结构示意图，图2是夹取手的结构示意图。如图所示，所述夹取器包括夹取手2和搬送机构，夹取手2通过横杆3与搬送机构相连接。夹取手2用于夹取清洗槽内的湿晶圆盒1；搬送机构用于根据湿法槽式清洗设备的控制系统的控制，带动夹取手2上、下移动，并使夹取手2进行夹取动作。

具体地，所述搬送机构为一个搬送机，其由升降机构19和联动夹紧机构20组成，联动夹紧机构20固定在升降机构19上，所述升降机构19和联动夹紧机构20均匀所述湿法清洗设备的控制系统电连接。由于夹取手2通过横杆3固定在联动夹紧机构20上，因此，升降机构19在控制系统的指令下，可带动联动夹紧机构20和夹取手2上、下移动。联动夹紧机构20用于带动夹取手2动作，以实现夹取动作。

所述夹取手2包括固定组件和具有加热功能的夹杆4，所述固定组件安装在横杆3上，夹杆4安装在固定组件上。

所述固定组件包括支撑块5和固定块6，所述支撑块5上开设有第一卡槽7，固定块6上开设有第二卡槽8，支撑块5和固定块6通过紧固件固定为一体从而使第一卡槽7与第二卡槽8组合成一个用以使横杆3穿过的槽孔，所述固定块6上纵向开设有固定槽9，夹杆4的端部固定在所述固定槽9内。

所述夹杆4具有加热功能，其可为内部设有加热装置的机械手柄，也可为一个加热棒。本实施例中，所述夹杆4为一个加热棒，所述加热棒的外侧套设有一层防护层。该防护层可采用PFA塑料，PFA塑料表面张力很小，能够减小液体在夹杆表面的附着量，从而减小夹杆4的干燥时间，提高干燥工作效率。所述加热棒呈U字形，加热棒的两端部分别穿插固定在固定块6的固定槽9内。

所述加热棒包括从外向内依次设置的不锈钢外壳10、绝缘内胆11、发热丝12和密封材料层13。所述密封材料层13可采用陶瓷或耐高温的金属密封材料层。密封材料层13内设置有热电偶合金丝14和连接导线15，连接导线15与发热丝12相连接，其中热电偶合金丝14设置有两个，热电偶合金丝14用于感应加热棒的加热温度，连接导线15包括正极导线和负极导线。

本实施例中，联动夹紧机构20上安装有两根相平行的横杆3，每根横杆上均设有两个支撑块5，左侧横杆上的支撑块与右侧横杆上的支撑块一一对应设置。每个支撑块均配备有至少一个固定块，支撑块与固定块相配合，从而固定在横杆上。联动夹紧机构20可使左、右两个横杆移动以调整左、右两个夹杆之间的间隙，从而实现夹取动作。

本申请的夹取手2上还可设置限位开关16，限位开关16通过支撑架17固定在支撑块5上。限位开关16的底部还固定有限位棒18。

在使用时，湿法槽式清洗设备的控制系统的控制下，升降机构19可调整夹取手2的高度位置，将夹取手2调整到合适的夹取高度，然后，联动夹紧机构20调整左、右两个夹杆4之间的间隙，以实现夹取动作。夹取手2在对湿晶圆盒进行搬送的过程中，其自身的加热温度将湿晶圆盒表面的水分蒸发，这样便可直接将干晶圆盒搬送至目标位置（夹取手的内部加热温度控制在80℃-100℃）。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明保护的范围之内。

Claims (10)

1.一种具有加热功能的夹取器，其特征在于，包括

用以夹取清洗槽内的湿晶圆盒（1）的夹取手（2），

以及用以带动夹取手（2）动作的搬送机构；

其中，所述夹取手（2）通过横杆（3）与搬送机构相连接，夹取手（2）包括固定组件和具有加热功能的夹杆（4），所述固定组件安装在横杆（3）上，夹杆（4）安装在固定组件上。

2.根据权利要求1所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述固定组件包括支撑块（5）和固定块（6），所述支撑块（5）上开设有第一卡槽（7），固定块（6）上开设有第二卡槽（8），支撑块（5）和固定块（6）通过紧固件固定为一体从而使第一卡槽（7）与第二卡槽（8）组合成一个用以使横杆（3）穿过的槽孔，

所述固定块（6）上纵向开设有固定槽（9），夹杆（4）的端部固定在所述固定槽（9）内。

3.根据权利要求1或2所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述夹杆（4）为加热棒，所述加热棒的外侧套设有一层防护层。

4.根据权利要求3所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述防护层采用的是PFA塑料。

5.根据权利要求3所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述加热棒包括从外向内依次设置的不锈钢外壳（10）、绝缘内胆（11）、发热丝（12）和密封材料层（13），所述密封材料层（13）内设置有热电偶合金丝（14）和用于与发热丝（12）连接的连接导线（15）。

6.根据权利要求5所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述加热棒呈U字形。

7.根据权利要求6所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，夹取手（2）上还设置有限位开关（16），所述限位开关（16）通过支撑架（17）固定在支撑块（5）上。

8.根据权利要求7所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述限位开关（16）的底部还固定有限位棒（18）。

9.根据权利要求1所述的具有加热功能的夹取器，其特征在于，所述搬送机构包括升降机构（19）、固定在升降机构（19）上的联动夹紧机构（20），所述升降机构（19）和联动夹紧机构（20）均匀所述湿法清洗设备的控制系统电连接。

10.一种湿法槽式清洗设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的具有加热功能的夹取器。