CN108649009A - 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪 - Google Patents

用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪 Download PDF

Info

Publication number
CN108649009A
CN108649009A CN201810653373.7A CN201810653373A CN108649009A CN 108649009 A CN108649009 A CN 108649009A CN 201810653373 A CN201810653373 A CN 201810653373A CN 108649009 A CN108649009 A CN 108649009A
Authority
CN
China
Prior art keywords
wafer cassette
size
jaw components
sizes
card slot
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810653373.7A
Other languages
English (en)
Inventor
卡尔·罗伯特·休斯特
王溯
史蒂文·贺·汪
金金明
刘毅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Silicon (changzhou) Electronic Equipment Co Ltd
Xinyang Silicon (shanghai) Semiconductor Technology Co Ltd
Original Assignee
Silicon (changzhou) Electronic Equipment Co Ltd
Xinyang Silicon (shanghai) Semiconductor Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Silicon (changzhou) Electronic Equipment Co Ltd, Xinyang Silicon (shanghai) Semiconductor Technology Co Ltd filed Critical Silicon (changzhou) Electronic Equipment Co Ltd
Priority to CN201810653373.7A priority Critical patent/CN108649009A/zh
Publication of CN108649009A publication Critical patent/CN108649009A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。机械爪包括两卡爪组件、传动机构和驱动机构。卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手。传动机构传动连接于两卡爪组件，驱动机构作用于传动机构，以使两卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换。当两卡爪组件位于打开状态时，两卡爪组件相远离；当两卡爪组件位于关闭状态时，两卡爪组件相靠近，以夹取晶圆盒。该机械手的卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取多尺寸的晶圆盒，扩大了机械设备的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。

Description

用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪
技术领域
本发明涉及半导体领域，特别一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。
背景技术
在半导体行业中，集成电路的加工制造离不开大量晶圆的使用，所用集成电路的设计和加工最终均需要集成在晶圆片上。晶圆片很薄，通常只有零点几个毫米，而且脆性较大，操作上稍有不当将可能直接导致晶片破损报废，另一方面考虑到晶圆片制备过程复杂，价格昂贵，因而晶圆片的制备和运输时的安全性和可靠性一直都是各大半导体行业所关注的重点。晶圆片在制备过程中，需要参与多个不同的工序才能得到最终的成品，而在不同工序之间流转时，其运输和保管都需要用到晶圆盒，起到防尘防碰的作用。晶圆盒一般是由白色透明、韧性较好的材料制成，其外部结构设有晶圆盒把手，以方便对其搬运。
随着自动化程度的提高，通常采用机械爪对晶圆盒搬运以代替传统人工进行作业。因晶圆具有不同的尺寸，如4寸、8寸、12寸和16寸，晶圆盒的尺寸也与之相对应，即4寸、8寸、12寸和16寸晶圆盒。但是，在现有技术中，用来搬运晶圆盒的机械爪通常仅能搬运一种尺寸的晶圆盒，适用范围较窄，容易影响晶圆片的生产效率。
综上，现有技术中用来搬运晶圆盒的机械爪通常具有适用范围较窄、易影响晶圆片的生产效率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中用来搬运晶圆盒的机械爪通常具有适用范围较窄、易影响晶圆片的生产效率，提供一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特点在于，其包括：
相对设置的两卡爪组件，所述卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两所述卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两所述卡爪组件的第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手；
传动机构，所述传动机构传动连接于两所述卡爪组件；
驱动机构，所述驱动机构作用于所述传动机构，以使两所述卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换；
其中，当两所述卡爪组件位于打开状态时，两所述卡爪组件相远离；
当两所述卡爪组件位于关闭状态时，两所述卡爪组件相靠近，以夹取所述晶圆盒。
在本方案中，卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取两种尺寸的晶圆盒，扩大了机械爪的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。
较佳地，所述卡爪组件具有：
支撑架，所述支撑架的顶部连接于所述传动机构；
两卡爪板，两所述卡爪板相对设置且连接于所述支撑架的底部，每一所述卡爪板具有第一卡槽和第二卡槽，两所述卡爪板的第一卡槽围成所述第一夹紧部，两所述卡爪板的第二卡槽围成所述第二夹紧部；
其中，相对于所述第一卡槽，所述第二卡槽远离所述支撑架。
较佳地，所述第一卡槽和所述第二卡槽均具有水平部，两所述第一卡槽的两所述水平部用于支撑所述第一尺寸晶圆盒的把手的两端，两所述第二卡槽的两所述水平部用于支撑所述第二尺寸晶圆盒的把手的两端。
在本方案中，第一卡槽和第二卡槽的结构基本相同，仅是尺寸上有所不同。其中，水平部支撑晶圆盒的把手，相当于晶圆盒通过两把手挂在两水平部上，通过较为简单的结构便能实现对晶圆盒的夹取。
较佳地，所述第一卡槽和所述第二卡槽还具有倾斜部，所述水平部的两端均连接有所述倾斜部；
其中，两所述倾斜部一一对应抵接于对应的所述把手的两端。
在本方案中，倾斜部具有导向作用，当晶圆盒在两卡爪板之间发生倾斜时，通过倾斜部能够使得晶圆盒的轴线方向平行于卡爪板，有利于提高夹取晶圆盒的可靠性。
较佳地，所述倾斜部与所述水平部之间形成有夹角，且所述夹角的范围为30°～75°。
在本方案中，倾斜部与水平部之间的夹角的大小与对应的晶圆盒的规格相适配，也就是说，当夹取不同规格的晶圆盒时，对应的倾斜部与水平部之间的夹角可以相应地设置。
较佳地，所述第二尺寸晶圆盒的尺寸小于所述第一尺寸晶圆盒的尺寸，两所述第一卡槽的两所述水平部之间具有第一间隙，两所述第二卡槽的两所述水平部之间具有第二间隙，且所述第一间隙大于所述第二间隙。
在本方案中，第二卡槽中对应放置的是较小尺寸的晶圆盒(第二尺寸晶圆盒)，晶圆盒的把手的长度相对较短，使第二间隙小于第一间隙，有利于进一步提高夹取晶圆盒的可靠性。
较佳地，所述机械爪还包括传感器，所述传感器设于所述支撑架的底部，且所述传感器位于两所述卡爪板之间；
其中，所述传感器远离所述支撑架的一端连接有传感器杆，所述传感器杆延伸至所述第二卡槽的水平部的下方，所述传感器杆用于与所述第一尺寸晶圆盒和第二尺寸晶圆盒的侧壁相贴合。
在本方案中，当传感器触碰到晶圆盒的侧壁时，表示卡爪板已夹紧晶圆盒，有利于较为可靠、高效地将晶圆盒转移到下一个加工部位。
较佳地，所述第二尺寸晶圆盒的尺寸小于所述第一尺寸晶圆盒的尺寸，所述传感器杆中与所述第二卡槽相对应的部分具有弯折部，所述弯折部用于朝着靠近所述第二尺寸晶圆盒的方向弯折，且所述弯折部用于与所述第二尺寸晶圆盒的侧壁相贴合。
在本方案中，由于第一卡槽中对应的是较大尺寸的晶圆盒，当通过传感器检测第一卡槽中是否夹取有第一尺寸晶圆盒时，传感器杆与第一尺寸晶圆盒的侧壁相贴合。此时，若将传感器杆设置为竖直的杆状结构，则当需要检测第二卡槽中是否夹取有第二尺寸晶圆盒时，传感器杆与第二尺寸晶圆盒的侧壁之间形成有间隙，传感器杆无法与第二尺寸晶圆盒的侧壁相贴合。也就是说，弯折部能够使得传感器杆较为可靠地与第二尺寸晶圆盒的侧壁相接触，能够增加由第二尺寸晶圆盒的尺寸引起的角偏转，并能够减少或避免传感器杆今日未对齐的晶圆盒的顶部，从而，有利于进一步提高夹取晶圆盒的可靠性。
较佳地，所述传动机构包括：
旋转臂，所述旋转臂沿长度方向具有首端和尾端；
凸轮，所述凸轮连接于所述驱动机构，且所述凸轮作用于所述旋转臂的首端；
其中，所述支撑架的顶部设有连接块，所述旋转臂的尾端穿设于所述连接块。
在本方案中，凸轮在驱动机构的作用下带动旋转臂旋转，从而使得卡爪组件旋转，以实现卡爪组件的打开或关闭。
较佳地，所述凸轮具有：
连接杆，所述连接杆的一端作用于所述驱动机构；
变径头，所述变径头连接于所述连接杆的另一端，且所述变径头的外表面沿轴线方向依次为第一平面、第一曲面和第二平面，所述第一平面相较于所述第二平面更加靠近所述连接杆，且自所述第一平面至所述第二平面，所述第一曲面的截面尺寸逐渐减小。
在本方案中，当卡爪组件处于关闭状态时，变径头的曲面和平面有利于实现两卡爪组件实现完全关闭状态，以防止晶圆盒脱落，以将晶圆盒抓牢。
较佳地，所述变径头的外表面沿轴线方向具有多组面单元，每组所述面单元依次包括平面、曲面和平面，其中，多组所述面单元中靠近所述连接杆的一组所述面单元包括所述第一平面、所述第一曲面和所述第二平面。
较佳地，所述驱动机构包括气缸。
在本方案中，驱动机构既可以通过气动方式驱动卡爪组件的状态转换，也可以通过电动方式驱动卡爪组件的状态转换。
在符合本领域常识的基础上，上述各优选条件，可任意组合，即得本发明各较佳实例。
本发明的积极进步效果在于：
在该用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪中，卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取多种尺寸的晶圆盒，扩大了机械设备的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。
附图说明
图1为本发明一较佳实施例的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪的结构示意图。
图2为本发明一较佳实施例的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪夹取第一尺寸晶圆盒时的示意图。
图3为本发明一较佳实施例的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪中卡爪组件的结构示意图。
图4为本发明一较佳实施例的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪中凸轮的结构示意图。
附图标记说明：
10卡爪组件
101支撑架
102卡爪板
103第一卡槽
104第二卡槽
105水平部
106倾斜部
107连接块
108第一附加倾斜部
109第二附加倾斜部
20传动机构
201旋转臂
202凸轮
2021连接杆
2022变径头
2023第一平面
2024第一曲面
2025第二平面
2026第二曲面
2027第三平面
30驱动机构
40传感器
401传感器杆
402弯折部
50第一尺寸晶圆盒
501把手
具体实施方式
下面通过实施例的方式并结合附图来更清楚完整地说明本发明，但并不因此将本发明限制在的实施例范围之中。
本实施例揭示一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，参照图1-4予以理解，机械爪包括相对设置的两卡爪组件10，卡爪组件10具有第一夹紧部和第二夹紧部，两卡爪组件10的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒50的两把手501，两卡爪组件10的第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手。传动机构20传动连接于两卡爪组件10。驱动机构30作用于传动机构20，以使两卡爪组件10在打开状态和关闭状态之间切换。其中，当两卡爪组件10位于打开状态时，两卡爪组件10相远离；当两卡爪组件10位于关闭状态时，两卡爪组件10相靠近，以夹取晶圆盒。
在本实施方式中，卡爪组件10具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件10能够夹取多种尺寸的晶圆盒，扩大了机械设备的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。
进一步地，参照图1-3予以理解，卡爪组件10具有支撑架101和卡爪板102。支撑架101的顶部连接于传动机构20。两卡爪板102相对设置且连接于支撑架101的底部，每一卡爪板102具有第一卡槽103和第二卡槽104，两卡爪板102的第一卡槽103围成第一夹紧部，两卡爪板102的第二卡槽104围成第二夹紧部。其中，相对于第一卡槽103，第二卡槽104远离支撑架101。
更进一步地，继续参照图1-3予以理解，第一卡槽103和第二卡槽104均具有水平部105，两第一卡槽103的两水平部105用于支撑第一尺寸晶圆盒50的把手的两端，两第二卡槽104的两水平部105用于支撑第二尺寸晶圆盒的把手的两端。其中，第一卡槽103和第二卡槽104的结构基本相同，仅是尺寸上有所不同。其中，水平部105支撑晶圆盒的把手，相当于晶圆盒通过两把手挂在两水平部105上，通过较为简单的结构便能实现对晶圆盒的夹取。
需要说明的是，水平部105不仅可以用来支撑第一尺寸晶圆盒、第二尺寸晶圆盒，还可以用来支撑与第一尺寸晶圆盒、第二尺寸晶圆盒的尺寸相近的另外尺寸的晶圆盒，也就是说，只要某一尺寸的晶圆盒能够放入第一卡槽103或第二卡槽104，则相应的卡槽内的水平部便能够支撑该尺寸的晶圆盒。
更进一步地，第一卡槽103和第二卡槽104还具有倾斜部106，水平部105的两端均连接有倾斜部106；其中，两倾斜部106一一对应抵接于对应的把手的两端。
在实施方式中，倾斜部106具有导向作用，当晶圆盒在两卡爪板102之间发生倾斜时，通过倾斜部106能够使得晶圆盒的轴线方向平行于卡爪板102，有利于提高夹取晶圆盒的可靠性。
需要说明的是，水平部与倾斜部之间形成有夹角，此夹角可以根据对应夹取的晶圆盒的规格进行设置，如根据需要在30°～75°的范围内设置。
另外，参照图3予以理解，第一卡槽和第二卡槽中还设有第一附加倾斜部108和第二附加倾斜部109，第一附加倾斜部108和第二附加倾斜部109能够在夹取晶圆盒的过程中以及运输的过程中，防止灰尘以及颗粒等污染晶圆及晶圆盒。
更进一步地，第二尺寸晶圆盒的尺寸小于第一尺寸晶圆盒50的尺寸，继续参照图1-3予以理解，两第一卡槽103的两水平部105之间具有第一间隙，两第二卡槽104的两水平部105之间具有第二间隙，且第一间隙大于第二间隙。其中，第二卡槽104中对应放置的是较小尺寸的晶圆盒(第二尺寸晶圆盒)，晶圆盒的把手的长度相对较短，使第二间隙小于第一间隙，有利于进一步提高夹取晶圆盒的可靠性。
需要说明的是，在本实施方中，第一尺寸晶圆盒50为12尺寸的晶圆盒，第二尺寸晶圆盒为8尺寸的晶圆盒。在其他可替代的实施方式中，也可以通过调整结构的尺寸，使得机械爪用于夹取其他尺寸的晶圆盒，如可以在4寸、8寸、12寸、16寸的规格范围内按需选择。
更进一步地，参照图1和图2予以理解，机械爪还包括传感器40，传感器40设于支撑架101的底部，且传感器40位于两卡爪板102之间。其中，传感器40远离支撑架101的一端连接有传感器杆401，传感器杆401延伸至第二卡槽104的水平部105的下方，传感器杆401用于与第一尺寸晶圆盒50和第二尺寸晶圆盒的侧壁相接触。
其中，当传感器40触碰到晶圆盒的侧壁时，表示卡爪板102已夹紧晶圆盒，有利于较为可靠、高效地将晶圆盒转移到下一个加工部位。
需要说明的是，在本实施方式中，参照图2予以理解，传感器40的数量为两个，两个传感器相对设置于第一尺寸晶圆盒50的两侧。通过两个传感器同时进行检测，能够进一步提高夹取晶圆盒的可靠性。
另外，需要说明的是，图2中传感器杆401与第一尺寸晶圆盒50的相对位置仅仅是示意，实际上，传感器杆401是贴在第一尺寸晶圆盒50的壁面上，而不是凹进第一尺寸晶圆盒内。
更进一步地，继续参照图1和图2予以理解，传感器杆401中与第二卡槽104相对应的部分具有弯折部402，弯折部402用于朝着靠近第二尺寸晶圆盒的方向弯折，且弯折部402用于与第二尺寸晶圆盒的侧壁相接触。
其中，由于第一卡槽103中对应的是较大尺寸的晶圆盒，当通过传感器40检测第一卡槽103中是否夹取有第一尺寸晶圆盒50时，传感器杆401与第一尺寸晶圆盒50的侧壁相接触。此时，若将传感器杆401设置为竖直的杆状结构，则当需要检测第二卡槽104中是否夹取有第二尺寸晶圆盒时，传感器杆401与第二尺寸晶圆盒的侧壁之间形成有间隙，传感器杆401无法与第二尺寸晶圆盒的侧壁相接触。也就是说，弯折部402能够使得传感器杆401较为可靠地与第二尺寸晶圆盒的侧壁相接触，能够增加由第二尺寸晶圆盒的尺寸引起的角偏转，并能够减少或避免传感器杆401今日未对齐的晶圆盒的顶部，从而，有利于进一步提高夹取晶圆盒的可靠性。
更进一步地，参照图1和图2予以理解，传动机构20包括旋转臂201和凸轮202。其中，旋转臂201沿长度方向具有首端和尾端，凸轮202连接于驱动机构30，且凸轮202作用于旋转臂201的首端。其中，支撑架101的顶部设有连接块107，旋转臂201的尾端穿设于连接块107。其中，凸轮202在驱动机构30的作用下带动旋转臂201旋转，从而使得卡爪组件10旋转，以实现卡爪组件10的打开或关闭。
参照图1、图4予以理解，凸轮202具有连接杆2021和变径头2022。连接杆2021的一端作用于驱动机构30。变径头连接于连接杆2021的另一端，且变径头2022的外表面沿轴线方向依次为第一平面2023、第一曲面2024和第二平面2025，第一平面2023相较于第二平面2025更加靠近连接杆2021，且自第一平面2023至第二平面2025，第一曲面2024的截面尺寸逐渐减小。
其中，当卡爪组件10处于关闭状态时，变径头2022的曲面2024和平面2025有利于实现两卡爪组件10实现完全关闭状态，以防止晶圆盒脱落，以将晶圆盒抓牢。
另外，继续参照图1和图4予以理解，与第一夹紧部和第二夹紧部相对应，变径头的外表面对应设有两组面单元，每组面单元均包括平面、曲面和平面。其中一组包括：第一平面2023、第一曲面2024和第二平面2025，另一组包括第二平面2025、第二曲面2026和第三平面2027。其中，变径头2022上第三平面2027后的部分为变径头的末端，此末端是在加工过程中形成的，实际上，该末端能够保护第三平面，有利于提高机械爪的夹取可靠性。
更进一步地，参照图1、图4予以理解，在本实施方式中，驱动机构30包括气缸，且气缸为线性气缸，通过气动方式驱动卡爪组件10的状态转换。气缸作用于凸轮，使得凸轮移动，凸轮与旋转臂之间连接有连接件，在连接件的作用下，凸轮的移动使得旋转臂旋转，从而实现卡爪组件的状态，即在打开状态和关闭状态之间切换。
需要说明，第一平面2023、第一曲面2024和第二平面2025对应于夹取第二尺寸晶圆盒时使用，第二平面2025、第二曲面2026和第三平面2027对应于夹取第一尺寸晶圆盒。当使用机械爪夹取第一尺寸晶圆盒时，连接件相对于凸轮自第三平面2027朝向第一平面2023的方向移动，当连接件位于第三平面2027时，两卡爪组件之间的距离最远，卡爪组件处于打开状态，当连接件位于第二曲面2026时，两卡爪组件之间的距离逐渐减小，卡爪组件依然处于打开状态，当连接件位于第二平面2025时，卡爪组件处于关闭状态，能够夹取第一尺寸晶圆盒，并且在第二平面2025处夹取晶圆盒，能够防止连接件相对于凸轮滑移，有利于抓牢第一尺寸晶圆盒。相应地，当使用机械爪夹取第二尺寸晶圆盒时，连接件相对于凸轮自第二平面2025运动到第一平面2023，并在第一平面2023处夹取第二尺寸晶圆盒。
在其他可替代的实施方式中，也可以使得变径头2022的外表面沿轴线方向具有三组或三组以上的面单元，其中，靠近所述连接杆的一组面单元包括第一平面2023、第一曲面2024和第二平面2025。一方面，变径头2022外表面沿轴线方向具有三组或三组以上的面单元，使得凸轮202能够用来夹取更多尺寸的晶圆盒；另一方面，由于两卡爪组件之间相对距离是通过改变连接件位于变径头上的位置调节的，变径头2022外表面沿轴线方向具有三组或三组以上的面单元，相当于加长了变径头的轴向长度，有利于较为可靠地调节两卡爪组件之间的相对位置。
在该用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪中，卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取两种尺寸的晶圆盒，扩大了机械爪的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。
另外，利用该机械爪在搬运晶圆盒的过程中(如使得晶圆完成清洗、电镀和蚀刻时搬运晶圆盒)，依然用原来的晶圆盒，晶圆不会中途更换晶圆盒，有利于提高晶圆的均匀度。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，其包括：
相对设置的两卡爪组件，所述卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两所述卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两所述卡爪组件的第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手；
传动机构，所述传动机构传动连接于两所述卡爪组件；
驱动机构，所述驱动机构作用于所述传动机构，以使两所述卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换；
其中，当两所述卡爪组件位于打开状态时，两所述卡爪组件相远离；
当两所述卡爪组件位于关闭状态时，两所述卡爪组件相靠近，以夹取所述晶圆盒。
2.如权利要求1所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述卡爪组件具有：
支撑架，所述支撑架的顶部连接于所述传动机构；
两卡爪板，两所述卡爪板相对设置且连接于所述支撑架的底部，每一所述卡爪板具有第一卡槽和第二卡槽，两所述卡爪板的第一卡槽围成所述第一夹紧部，两所述卡爪板的第二卡槽围成所述第二夹紧部；
其中，相对于所述第一卡槽，所述第二卡槽远离所述支撑架。
3.如权利要求2所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述第一卡槽和所述第二卡槽均具有水平部，两所述第一卡槽的两所述水平部用于支撑所述第一尺寸晶圆盒的把手的两端，两所述第二卡槽的两所述水平部用于支撑所述第二尺寸晶圆盒的把手的两端。
4.如权利要求3所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述第一卡槽和所述第二卡槽还具有倾斜部，所述水平部的两端均连接有所述倾斜部；
其中，两所述倾斜部一一对应抵接于对应的所述把手的两端。
5.如权利要求4所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述倾斜部与所述水平部之间形成有夹角，且所述夹角的范围为30°～75°。
6.如权利要求3所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述第二尺寸晶圆盒的尺寸小于所述第一尺寸晶圆盒的尺寸，两所述第一卡槽的两所述水平部之间具有第一间隙，两所述第二卡槽的两所述水平部之间具有第二间隙，且所述第一间隙大于所述第二间隙。
7.如权利要求3所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述机械爪还包括传感器，所述传感器设于所述支撑架的底部，且所述传感器位于两所述卡爪板之间；
其中，所述传感器远离所述支撑架的一端连接有传感器杆，所述传感器杆延伸至所述第二卡槽的水平部的下方，所述传感器杆用于与所述第一尺寸晶圆盒和第二尺寸晶圆盒的侧壁相贴合。
8.如权利要求7所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述第二尺寸晶圆盒的尺寸小于所述第一尺寸晶圆盒的尺寸，所述传感器杆中与所述第二卡槽相对应的部分具有弯折部，所述弯折部用于朝着靠近所述第二尺寸晶圆盒的方向弯折，且所述弯折部用于与所述第二尺寸晶圆盒的侧壁相贴合。
9.如权利要求2所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述传动机构包括：
旋转臂，所述旋转臂沿长度方向具有首端和尾端；
凸轮，所述凸轮连接于所述驱动机构，且所述凸轮作用于所述旋转臂的首端；
其中，所述支撑架的顶部设有连接块，所述旋转臂的尾端穿设于所述连接块。
10.如权利要求9所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述凸轮具有：
连接杆，所述连接杆的一端作用于所述驱动机构；
变径头，所述变径头连接于所述连接杆的另一端，且所述变径头的外表面沿轴线方向依次为第一平面、第一曲面和第二平面，所述第一平面相较于所述第二平面更加靠近所述连接杆，且自所述第一平面至所述第二平面，所述第一曲面的截面尺寸逐渐减小。
11.如权利要求10所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述变径头的外表面沿轴线方向具有多组面单元，每组所述面单元依次包括平面、曲面和平面，其中，多组所述面单元中靠近所述连接杆的一组所述面单元包括所述第一平面、所述第一曲面和所述第二平面。
12.如权利要求1-11中任意一所述的用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特征在于，所述驱动机构包括气缸。
CN201810653373.7A 2018-06-22 2018-06-22 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪 Pending CN108649009A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810653373.7A CN108649009A (zh) 2018-06-22 2018-06-22 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810653373.7A CN108649009A (zh) 2018-06-22 2018-06-22 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108649009A true CN108649009A (zh) 2018-10-12

Family

ID=63753125

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810653373.7A Pending CN108649009A (zh) 2018-06-22 2018-06-22 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108649009A (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109935540A (zh) * 2019-03-12 2019-06-25 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备
CN109941739A (zh) * 2019-04-26 2019-06-28 昆山基侑电子科技有限公司 晶舟夹取机构
CN111470308A (zh) * 2019-01-23 2020-07-31 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种夹持机械手及自动搬运装置
CN112820663A (zh) * 2019-11-15 2021-05-18 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一种自动复位的对开型晶圆盒托架
CN117059541A (zh) * 2023-10-12 2023-11-14 沈阳元创半导体有限公司 一种设有硅晶片盒夹紧与到位检测装置的晶圆装载机

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07221160A (ja) * 1994-02-04 1995-08-18 Mitsubishi Electric Corp ウエハ搬送治具
JPH09270449A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Mitsubishi Electric Corp ウエハカセット運搬治具
JPH10277981A (ja) * 1997-04-07 1998-10-20 Nittetsu Semiconductor Kk ロボットハンド
KR20050042679A (ko) * 2003-11-04 2005-05-10 동부아남반도체 주식회사 웨이퍼 반송장치
KR20050045153A (ko) * 2003-11-10 2005-05-17 동부아남반도체 주식회사 웨이퍼 카세트 이송장치
KR20060075908A (ko) * 2004-12-29 2006-07-04 동부일렉트로닉스 주식회사 Ｓｍｉｆ 그리퍼 아암의 인터록 장치 및 그 제어방법
KR100791671B1 (ko) * 2006-08-24 2008-01-03 동부일렉트로닉스 주식회사 웨이퍼카세트 이송용 그립퍼장치 및 이송방법
CN208706601U (zh) * 2018-06-22 2019-04-05 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07221160A (ja) * 1994-02-04 1995-08-18 Mitsubishi Electric Corp ウエハ搬送治具
JPH09270449A (ja) * 1996-03-29 1997-10-14 Mitsubishi Electric Corp ウエハカセット運搬治具
JPH10277981A (ja) * 1997-04-07 1998-10-20 Nittetsu Semiconductor Kk ロボットハンド
KR20050042679A (ko) * 2003-11-04 2005-05-10 동부아남반도체 주식회사 웨이퍼 반송장치
KR20050045153A (ko) * 2003-11-10 2005-05-17 동부아남반도체 주식회사 웨이퍼 카세트 이송장치
KR20060075908A (ko) * 2004-12-29 2006-07-04 동부일렉트로닉스 주식회사 Ｓｍｉｆ 그리퍼 아암의 인터록 장치 및 그 제어방법
KR100791671B1 (ko) * 2006-08-24 2008-01-03 동부일렉트로닉스 주식회사 웨이퍼카세트 이송용 그립퍼장치 및 이송방법
CN208706601U (zh) * 2018-06-22 2019-04-05 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111470308A (zh) * 2019-01-23 2020-07-31 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种夹持机械手及自动搬运装置
TWI731549B (zh) * 2019-01-23 2021-06-21 大陸商上海微電子裝備（集團）股份有限公司 一種夾持機械手及自動搬運裝置
CN109935540A (zh) * 2019-03-12 2019-06-25 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一种具有加热功能的夹取器及湿法槽式清洗设备
CN109941739A (zh) * 2019-04-26 2019-06-28 昆山基侑电子科技有限公司 晶舟夹取机构
CN112820663A (zh) * 2019-11-15 2021-05-18 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 一种自动复位的对开型晶圆盒托架
CN117059541A (zh) * 2023-10-12 2023-11-14 沈阳元创半导体有限公司 一种设有硅晶片盒夹紧与到位检测装置的晶圆装载机
CN117059541B (zh) * 2023-10-12 2023-12-08 沈阳元创半导体有限公司 一种设有硅晶片盒夹紧与到位检测装置的晶圆装载机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108649009A (zh) 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪
CN110125970A (zh) 变距夹爪机构
CN104440746B (zh) 盘匣式螺丝取放装置
CN105057222A (zh) 一种物料柔性分拣系统
CN103787075A (zh) 一种自动移载机构
CN113664598B (zh) 自动上料机械臂
CN208706601U (zh) 用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪
CN108127679A (zh) 直线电机式片材运载装置
CN107696019B (zh) 能斜向夹持并升降的机械手
CN208027906U (zh) 一种电感磁环绕线机的自动分线机构
CN214454963U (zh) 一种取料装置
WO2020198969A1 (zh) 上导针装置及电池机
CN110026975A (zh) 一种工业自动化装配线用万向机械手
CN211929455U (zh) 一种湿式花篮翻转搬运机构
CN207890060U (zh) 一种微元件摆料机
CN208714022U (zh) 新型夹爪装置
CN208867200U (zh) 一种夹持工具
CN207548738U (zh) 能斜向夹持并升降的机械手
CN207915499U (zh) 直线电机式片材运载装置
CN214933997U (zh) 一种夹取搬运装置
CN208664236U (zh) 一种用于数据线加工的机械臂
CN210668252U (zh) 光等离子管压封系统
CN206898900U (zh) 一种夹爪夹空检测机构
CN206567231U (zh) 一种异型产品检测机
CN220702508U (zh) 一种带有精准定位机构的码垛抓手

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20181012