CN109941739A - 晶舟夹取机构 - Google Patents

Abstract

为了解决夹取机构向下夹取晶舟时常发生夹取不到或者碰伤晶舟的技术问题，本发明提供了一种包括丝杆步进电机、轴套、连接轴、两根轴杆和一对夹持臂的晶舟夹取机构，连接轴与丝杆轴垂直，轴套在沿丝杆轴升降时带着连接轴一起升降；两根轴杆与连接轴平行并分别设于连接轴的两侧，轴杆的一端设置有活动套装在连接轴上的连接板；一对夹持臂分别固定于两根轴杆的另一端；每个夹持臂中均设置有拨杆开关，拨杆开关的拨杆向下延伸至夹持臂的下方。丝杆步进电机和轴套带动一对夹持臂向内旋转收缩、向外旋转打开，不仅能够稳固地夹持晶舟，而且拨杆开关在夹持机构下行之前始终位于晶舟的上方，能有效识别晶舟的位置和高度。

Description

晶舟夹取机构

技术领域

本发明设计半导体制造技术领域，主要是涉及晶圆制造设备，特别是用于晶舟夹取机构。

背景技术

在半导体产业的制造工厂中通常配置有多台的湿式工艺设备用于批次式的处理大量的晶圆。为了因应电子产品的种类会使用不同形状和尺寸的晶圆或基板。因此在进行湿式工艺时，使用的晶舟(cas sette)种类也会有所不同。举例来说，当以4寸或6寸的基板进行湿式工艺时，一般采用对应尺寸的晶舟来承载基板。

现有的晶舟夹取机构是采用以垂直于晶舟方向的夹持力来夹持晶舟，但是在实际使用中发现，夹取机构向下夹取晶舟常发生夹取不到或者碰伤晶舟的情况，究其原因，与夹取机构在下行之前不能有效识别晶舟的位置和高度有关。

有鉴于此，有必要提出一种晶舟夹取机构，用以解决现有技术中存在的问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可在夹取下行之前或者过程中能有效识别晶舟的位置和高度的晶舟夹取机构。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案如下：

晶舟夹取机构，包括丝杆步进电机、轴套、连接轴、两根轴杆和一对夹持臂，所述轴套安装在所述丝杆步进电机的丝杆轴上，所述连接轴与所述丝杆轴垂直，所述轴套在沿所述丝杆轴升降时带着所述连接轴一起升降；两根轴杆与所述连接轴平行并分别设于所述连接轴的两侧，所述轴杆的一端设置有活动套装在所述连接轴上的连接板；一对夹持臂分别固定于两根轴杆的另一端；每个夹持臂中均设置有拨杆开关，所述拨杆开关的拨杆向下延伸至所述夹持臂的下方。

在本技术方案中，丝杆步进电机作为动力源带动轴套上升或者下降，连接轴随轴套上升或者下降；当丝杆步进电机的丝杆轴朝上时，连接轴上升带动两根轴杆向内旋转，即两个夹持臂向内旋转与晶舟的夹取孔位脱离，连接轴下降带动两根轴杆向外旋转，即两个夹持臂向外旋转卡入晶舟的夹持孔位中。两个夹持臂向内旋转的角度为7°-8°之间，拨杆开关在不夹取状态下也基本位于晶舟的正上方，因此，拨杆开关能够在夹取下行之前或者过程中能有效识别晶舟的位置和高度。

在一个实施例中，所述夹持臂由两块与所述轴杆固定的夹板组成。

进一步的是，所述拨杆开关位于两块夹板之间；所述拨杆开关的外部设置对其主体密封保护的壳体。

进一步的是，所述夹板由通过螺栓固连的上板和下板组成，所述上板固定在所述轴杆上，下板的外侧设置有用于卡扣在晶舟中卡扣件。

在一个实施例中，所述丝杆步进电机的旁侧设置有光电开关，所述轴套上设置有与所述光电开关配合使用的定位挡片。

在一个实施例中，所述丝杆步进电机固定在一块底板上，该底板上设置有两个平行的轴承座，所述轴杆插入所述轴承座的轴承孔内。

进一步的是，所述底板上安装有保护所述丝杆步进电机的罩壳。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1.本发明采用丝杆步进电机和轴套带动一对夹持臂向内旋转收缩、向外旋转打开，不仅能够稳固地夹持晶舟，而且拨杆开关在夹持机构下行之前始终位于晶舟的上方，实现了在夹取下行之前或者过程中有效识别晶舟的位置和高度的目的。

2.本发明的丝杆步进电机于PLC内读取定位脉冲，并与光电开关配合，可有效及精准夹取晶舟及提篮，并可实现极限自动报警功能及安全停机。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是实施例一中公开的晶舟夹取机构的结构图；

图2是实施例一中公开的晶舟夹取机构的俯视图；

图3是实施例二中公开的晶舟夹取机构的局部侧视图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一

图1和2所示的晶舟夹取机构，包括丝杆步进电机10、轴套20、连接轴30、两根轴杆40和一对夹持臂50，丝杆步进电机10固定在一块底板60上，该底板60上设置有两个平行的轴承座70。轴套20安装在丝杆步进电机10的丝杆轴上，连接轴30与丝杆轴垂直，轴套20在沿丝杆轴升降时带着连接轴30一起升降；两根轴杆40与连接轴30平行并分别设于连接轴30的两侧，且轴杆40插入轴承座70的轴承孔内，轴杆40的一端设置有活动套装在连接轴30上的连接板80，一对夹持臂50分别固定于两根轴杆40的另一端。丝杆步进电机10作为动力源带动轴套20上升或者下降，连接轴30随轴套20上升或者下降；当丝杆步进电机10的丝杆轴朝上时，连接轴30上升带动两根轴杆40向内旋转，即两个夹持臂50向内旋转与晶舟的夹取孔位脱离，连接轴30下降带动两根轴杆40向外旋转，即两个夹持臂50向外旋转卡入晶舟的夹持孔位中。

每个夹持臂50中均设置有拨杆开关90，拨杆开关90的拨杆向下延伸至夹持臂50的下方。两个夹持臂50向内旋转的角度为7°-8°之间，拨杆开关90在不夹取状态下也基本位于晶舟的正上方，因此，拨杆开关90能够在夹取下行之前或者过程中能有效识别晶舟的位置和高度。

夹持臂50由两块与轴杆40固定的夹板组成，拨杆开关90位于两块夹板之间。夹板由通过螺栓固连的上板51和下板52组成，上板51固定在轴杆40上，下板52的外侧设置有用于卡扣在晶舟中卡扣件53。

可在底板60上安装保护丝杆步进电机10的罩壳120。可在拨杆开关90的外部套装一个对其主体密封保护的壳体。

实施例二

本实施例基于实施例一。

丝杆步进电机10的旁侧设置有光电开关100，轴套20上设置有与光电开关100配合使用的定位挡片110。丝杆步进电机10于PLC内读取定位脉冲，并与光电开关100配合，可有效及精准夹取晶舟及提篮，并可实现极限自动报警功能及安全停机。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.晶舟夹取机构，其特征在于，包括丝杆步进电机(10)、轴套(20)、连接轴(30)、两根轴杆(40)和一对夹持臂(50)，所述轴套(20)安装在所述丝杆步进电机(10)的丝杆轴上，所述连接轴(30)与所述丝杆轴垂直，所述轴套(20)在沿所述丝杆轴升降时带着所述连接轴(30)一起升降；两根轴杆(40)与所述连接轴(30)平行并分别设于所述连接轴(30)的两侧，所述轴杆(40)的一端设置有活动套装在所述连接轴(30)上的连接板(80)；一对夹持臂(50)分别固定于两根轴杆(40)的另一端；每个夹持臂(50)中均设置有拨杆开关(90)，所述拨杆开关(90)的拨杆向下延伸至所述夹持臂(50)的下方。

2.根据权利要求1所述的晶舟夹取机构，其特征在于，所述夹持臂(50)由两块与所述轴杆(40)固定的夹板组成。

3.根据权利要求2所述的晶舟夹取机构，其特征在于，所述拨杆开关(90)位于两块夹板之间；所述拨杆开关(90)的外部设置对其主体密封保护的壳体。

4.根据权利要求2所述的晶舟夹取机构，其特征在于，所述夹板由通过螺栓固连的上板(51)和下板(52)组成，所述上板(51)固定在所述轴杆(40)上，下板(52)的外侧设置有用于卡扣在晶舟中卡扣件(53)。

5.根据权利要求1所述的晶舟夹取机构，其特征在于，所述丝杆步进电机(10)的旁侧设置有光电开关(100)，所述轴套(20)上设置有与所述光电开关(100)配合使用的定位挡片(110)。

6.根据权利要求1所述的晶舟夹取机构，其特征在于，所述丝杆步进电机(10)固定在一块底板(60)上，该底板(60)上设置有两个平行的轴承座(70)，所述轴杆(40)插入所述轴承座(70)的轴承孔内。

7.根据权利要求6所述的晶舟夹取机构，其特征在于，所述底板(60)上安装有保护所述丝杆步进电机(10)的罩壳。