CN202638832U - 半导体清洗设备中的机械手夹持机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置分别驱动的两根旋转轴，旋转轴上各固定有机械臂，机械臂上具有拾取器，还包括检测旋转轴旋转角度的位置传感器、与晶圆花篮接触的检测开关以及控制动力装置的控制单元，所述的动力装置为可正反转的电机，所述的检测开关固定连接在机械臂上，位置传感器和检测开关通过信号线与控制单元相连接。本实用新型结构简单，能够夹取不同规格的晶圆花篮并且能够辨别是否夹空。

Description

半导体清洗设备中的机械手夹持机构

技术领域

本实用新型涉及一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构。

背景技术

目前，半导体清洗设备中的机械手不能识别两种不同规格的晶圆花篮，只能夹取单一批次的一种规格晶圆花篮，将这一批次的相同规格的产品做完，才能做另外一种规格；而且机械手也不能判断是否夹取了晶圆花篮，常常有夹空现象发生，需要人为的干预来解决问题，降低了生产效率。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单，能够自动识别并抓取不同规格的晶圆花篮以及能够辨别是否夹空的半导体清洗设备中的机械手夹持机构。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置分别驱动的两根旋转轴，旋转轴上各固定有机械臂，机械臂上具有拾取器，还包括检测旋转轴旋转角度的位置传感器、与晶圆花篮接触的检测开关以及控制动力装置的控制单元，所述的动力装置为可正反转的电机，所述的检测开关固定连接在机械臂上，位置传感器和检测开关分别通过信号线与控制单元相连接。

进一步，所述的机械臂的拾取器上套有PFA管。

采用了上述技术方案后，位置传感器可以设置为三个，分别为第一位置传感器、第二位置传感器和空位位置传感器，将晶圆花篮放到指定位置后，机械手当要抓取晶圆花篮时，启动电机使机械臂向内旋转，当第一位置传感器检测到达指定角度后，如果晶圆花篮是两种规格中较大规格的，此时检测开关与晶圆花篮接触，检测开关检测到晶圆花篮已经处在被夹持状态，第一位置传感器给控制单元反馈信息，停止电机转动，即控制单元根据第一位置传感器发出的信号来确认所抓取的晶圆花篮是第一种规格；如果机械手做夹持动作时运行到第一位置传感器时，检测开关并没有检测到晶圆花篮，则会反馈信号给控制单元，继续做夹持动作，当到达第二位置传感器时且检测开关检测到晶圆花篮，此时控制单元收到信号，说明机械手已夹住晶圆花篮并且根据第二位置传感器来确认了所抓取的晶圆花篮是另一种规格的；当要放下晶圆花篮时，电机反转，机械臂向外旋转，空位位置传感器检测到达指定角度后，反馈信号给控制单元，停止电机转动，而此时检测开关与晶圆花篮很远，没有接触，检测开关会把信号反馈给控制单元，完成放开花篮动作。本实用新型可以满足在设备特定范围内抓取不同规格的晶圆花篮，自动识别晶圆花篮大小，无需人工更换夹具，可以自动切换清洗不同型号的晶圆花篮，且还具有防呆夹空功能，最大的减少了人工干预，自动化程度极高，提高了生产效率；PFA管，具有很强的抗腐蚀和耐高温性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蚀，提高了机械手夹持机构的寿命。

附图说明

图1为本实用新型的半导体清洗设备中的机械手夹持机构的结构立体图；

图2为本实用新型的松开状态的结构示意图；

图3为本实用新型的抓紧状态的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明：

如图1~3所示，一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置6分别驱动的两根旋转轴1，旋转轴1上各固定有机械臂2，机械臂2上具有拾取器2-1，还包括检测旋转轴1旋转角度的位置传感器3、与晶圆花篮4接触的检测开关5以及控制动力装置6的控制单元，动力装置6为可正反转的电机，所述的检测开关5固定连接在机械臂2上，位置传感器3和检测开关5通过信号线与控制单元相连接。

机械臂2的拾取器2-1上套有PFA管。

PFA指的是可溶性聚四氟乙烯。

本实用新型的工作原理如下：

位置传感器3可以设置为三个，分别为第一位置传感器、第二位置传感器和空位位置传感器，将晶圆花篮4放到指定位置后，机械手当要抓取晶圆花篮4时，启动电机使机械臂向2内旋转，当第一位置传感器3检测到达指定角度后，如果晶圆花篮4是两种规格中较大规格的，此时检测开关5与晶圆花篮4接触，检测开关5检测到晶圆花篮4已经处在被夹持状态，第一位置传感器给控制单元反馈信息，停止电机转动，即控制单元根据第一位置传感器发出的信号来确认所抓取的晶圆花篮4是第一种规格；如果机械手做夹持动作时运行到第一位置传感器3时，检测开关5并没有检测到晶圆花篮4，则会反馈信号给控制单元，继续做夹持动作，当到达第二位置传感器3时且检测开关5检测到晶圆花篮4，此时控制单元收到信号，说明机械手已夹住晶圆花篮4并且根据第二位置传感器3来确认了所抓取的晶圆花篮4是另一种规格的；当要放下晶圆花篮4时，电机反转，机械臂向外旋转，空位位置传感器3检测到达指定角度后，反馈信号给控制单元，停止电机转动，而此时检测开关5与晶圆花篮4很远，没有接触，检测开关5会把信号反馈给控制单元，完成放开晶圆花篮4的动作。本实用新型可以满足在设备特定范围内抓取不同规格的晶圆花篮，自动识别晶圆花篮大小，无需人工更换夹具，可以自动切换清洗另一种晶圆花篮，且还具有防呆夹空功能，最大的减少了人工干预，自动化程度极高，提高了生产效率；PFA管，具有很强的抗腐蚀和耐高温性能，使用它，可防止拾取器被清洗液腐蚀，提高了机械手夹持机构的寿命。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (2)

1. 一种半导体清洗设备中的机械手夹持机构，包括由动力装置（6）分别驱动的两根旋转轴（1），旋转轴（1）上各固定有机械臂（2），机械臂（2）上具有拾取器（2-1），其特征在于：还包括检测旋转轴（1）旋转角度的位置传感器（3）、与晶圆花篮（4）接触的检测开关（5）以及控制动力装置（6）的控制单元，所述的动力装置（6）为可正反转的电机，所述的检测开关（5）固定连接在机械臂（2）上，位置传感器（3）和检测开关（5）分别通过信号线与控制单元相连接。

2.根据权利要求1所述的半导体清洗设备中的机械手夹持机构，其特征在于：所述的机械臂（2）的拾取器（2-1）上套装有PFA管。

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