CN112397438B - 半导体清洗设备及其夹持机构 - Google Patents
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Abstract
本申请公开一种半导体清洗设备及其夹持机构，所公开的夹持机构包括基部、转轴、支架和驱动装置，其中：转轴可转动地设置于基部上，驱动装置和支架均设置于基部上，驱动装置与转轴驱动相连，且驱动装置驱动转轴在第一位置与第二位置之间转动，转轴与支架中，一者设置有检测部，另一者设置有触发部，检测部的数量为至少两个，在检测部与触发部相对的情况下，检测部处于触发状态；在转轴转动至第一位置的情况下，至少两个检测部中的一者与触发部相对，在转轴转动至第二位置的情况下，至少两个检测部中的另一者与触发部相对。上述方案能够解决夹持机构因无法检测其状态而存在撞碎晶片的问题。
Description
技术领域
本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种半导体清洗设备及其夹持机构。
背景技术
槽式清洗机的夹持机构位于设备前部，用于将花篮放入和取出槽体。目前常见的夹持机构的夹持状态仅靠工作人员肉眼观察，在抓取花篮前，如果夹持机构未处于张开状态，则存在撞击花篮的风险，且会撞碎晶片。
发明内容
本申请公开一种半导体清洗设备及其夹持机构，能够解决夹持机构因无法检测其状态而存在撞碎晶片的问题。
为解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
本申请实施例公开一种半导体清洗设备的夹持机构，包括基部、转轴、支架和驱动装置，其中：
所述转轴可转动地设置于所述基部上，所述驱动装置和所述支架均设置于所述基部上，所述驱动装置与所述转轴驱动相连，且所述驱动装置驱动所述转轴在第一位置与第二位置之间转动，所述转轴与所述支架中，一者设置有检测部，另一者设置有触发部，所述检测部的数量为至少两个，在所述检测部与所述触发部相对的情况下，所述检测部处于触发状态；
在所述转轴转动至所述第一位置的情况下，至少两个所述检测部中的一者与所述触发部相对，在所述转轴转动至所述第二位置的情况下，至少两个所述检测部中的另一者与所述触发部相对。
本申请实施例还公开一种半导体清洗设备，包括上述的夹持装置。
本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：
本申请公开的半导体清洗设备的夹持机构中，转轴可转动地设置于基部上，驱动装置能够驱动转轴在第一位置与第二位置之间转动，在转轴转动至第一位置的情况下，夹持机构处于张开状态，在转轴转动至第二位置的情况下，夹持机构处于夹持状态，基部上还设置有支架，转轴与支架中，一者设置有至少两个检测部，另一者设置有触发部，在转轴转动至第一位置的情况下，至少两个检测部中的一者与触发部相对，由于在检测部与触发部相对的情况下，检测部处于触发状态，因此，此时至少两个检测部中的一者被触发，夹持机构可以根据被触发的检测部反馈得到其处于张开状态；在转轴转动至第二位置的情况下，至少两个检测部中的另一者与触发部相对，此时至少两个检测部中的另一者被触发，夹持机构可以根据被触发的检测部反馈得到其处于夹持状态。此种情况下，夹持机构能够根据至少两个检测部检测得到其状态信息，以使夹持机构的状态信息有传感器反馈，避免夹持机构的状态信息仅靠工作人员肉眼观察，从而使得在夹持机构抓取花篮时，能够精准地控制夹持机构处于张开状态，防止因夹持机构处于张开状态而撞击花篮，进而避免夹持机构撞碎晶片。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或背景技术中的技术方案，下面将对实施例或背景技术中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请实施例公开的夹持机构的示意图；
图2为本申请实施例公开的夹持机构的局部示意图；
图3为本申请实施例公开的夹持机构中的转轴转动至第一位置时的示意图，图中箭头表示转动方向；
图4为本申请实施例公开的夹持机构中的转轴转动至第二位置时的示意图，图中箭头表示转动方向；
图5为本申请实施例公开的气缸的示意图；
图6为本申请实施例公开的夹持机构的部分结构示意图。
附图标记说明：
10-左侧转动轴、11-右侧转动轴、12-轴承座、13-底板、14-夹紧块、15-连接杆、16-转接块、17-压缩弹簧、18-凸轮轴承随动器、19-斜滑块、20-气缸、21-左侧夹持杆、22-右侧夹持杆；
100-基部；
200-转轴；
300-支架、310-避让豁口；
400-驱动装置、410-气缸、411-第一磁性开关、412-第二磁性开关、420-传动结构；
510-检测部、511-第一检测部、512-第二检测部、520-触发部、521-第一触发部、522-第二触发部；
600-夹持杆；
710-本体部、720-拨杆；
810-斜滑块、811-工作面、811a-斜面、811b-平面、820-随动件。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请各个实施例公开的技术方案进行详细地说明。
请参考图1至图6，本申请实施例公开一种半导体清洗设备的夹持机构，所公开的夹持机构可用于在半导体清洗设备中夹取用于放置晶片的花篮，夹持机构包括基部100、转轴200、支架300和驱动装置400。
其中，基部100为夹持机构的基础构件，基部100能够为夹持机构的其他部件提供安装基础。转轴200可转动地设置于基部100上，转轴200可以通过轴承座可转动地设置于基部100。驱动装置400设置于基部100上，且驱动装置400与转轴200驱动相连，以使驱动装置400能够驱动转轴200在第一位置与第二位置之间转动，在转轴200转动至第一位置的情况下，夹持机构处于张开状态，在转轴200转动至第二位置的情况下，夹持机构处于夹持状态。
驱动装置400驱动转轴200转动的方式可以有多种，例如，驱动装置400可以为马达，马达与转轴200相连；或者，马达与转轴200通过传动部件相连，传动部件可以为减速器、齿轮机构、齿轮齿条机构、蜗轮蜗杆机构和链传动机构等；再或者，驱动装置400驱动转轴200转动的方式可以采用如下方案：
请再次参考图1，左侧转动轴10和右侧转动轴11通过轴承座12固定在底板13的左右两侧，夹紧块14分别夹紧左侧转动轴10和右侧转动轴11，夹紧块14随转动轴转动，连接杆15与转接块16安装在夹紧块14上表面，也随夹紧块14转动，压缩弹簧17压缩后安装在连接杆15与底板13之间，位于夹紧块14外侧，凸轮轴承随动器18固定在转接块16上，由于压缩弹簧17的推力作用，凸轮轴承随动器18的随动轮表面压紧在斜滑块19的上表面上，位于夹紧块14内侧，斜滑块19安装在气缸20驱动相连。安装完毕后，随着气缸20的收缩与伸出，斜滑块19相对于凸轮轴承随动器18的斜面高度发生变化，凸轮轴承随动器18带动夹紧块14上下摆动，从而带动左侧转动轴10和右侧转动轴11转动，进而实现左侧夹持杆21与右侧夹持杆22夹紧或张开。本申请实施例中对驱动装置400驱动转轴200转动的方式不做限制。
基部100上还设置有支架300，转轴200与支架300中，一者设置有检测部510，另一者设置有触发部520，也就是说，在转轴200上设置有检测部510的情况下，支架300上可以设置有触发部520；在转轴200上设置有触发部520的情况下，支架300上可以设置有检测部510。检测部510的数量为至少两个，也就是说，在转轴200上设置有至少两个检测部510的情况下，支架300上可以设置有至少一个触发部520；在支架300上设置有至少两个检测部510的情况下，转轴200上可以设置有至少一个触发部520。本申请实施例中对检测部510和触发部520的设置位置不做限制。
在转轴200转动至第一位置的情况下，也就是夹持机构处于张开状态时，至少两个检测部510中的一者与触发部520相对，由于在检测部510与触发部520相对的情况下，检测部510处于触发状态，因此，此时至少两个检测部510中的一者被触发，夹持机构可以根据被触发的检测部510反馈得到其处于张开状态；在转轴200转动至第二位置的情况下，也就是夹持机构处于夹持状态时，至少两个检测部510中的另一者与触发部520相对，此时至少两个检测部510中的另一者被触发，夹持机构可以根据被触发的检测部510反馈得到其处于夹持状态，从而使得夹持机构能够检测其状态信息，通过至少两个检测部510的反馈得到具体的状态信息，需要说明的是，夹持机构的状态信息指的是夹持机构处于张开状态和夹持状态中的哪一种工作状态下。
通过上述工作过程可知，夹持机构能够根据至少两个检测部510检测得到其状态信息，以使夹持机构的状态信息有传感器反馈，避免夹持机构的状态信息仅靠工作人员肉眼观察，从而使得在夹持机构抓取花篮时，能够精准地控制夹持机构处于张开状态，防止因夹持机构处于张开状态而撞击花篮，进而避免夹持机构撞碎晶片。
在夹持机构处于张开状态时的张开夹角较小时，也就是转轴200转动的角度较小，就需要两个检测部510之间的距离较小，以分别对应夹持机构的张开状态和夹持状态，但是，在两个检测部510之间的距离较小时，存在两个检测部510因安装空间较小而导致其不便于安装，且两个检测部510之间的夹角需要与转轴200转动的角度相等，在两个检测部510不便于安装的情况下较难保证其安装精度，进而导致两个检测部510所反馈的状态信息不够准确。基于此，可选地，至少两个检测部510可以包括第一检测部511和第二检测部512，且第一检测部511与第二检测部512可以绕转轴200间隔分布，触发部520可以包括第一触发部521和第二触发部522，且第一触发部521与第二触发部522可以绕转轴200间隔分布。
在具体的工作过程中，在转轴200转动至第一位置的情况下，第一检测部511可以与第一触发部521相对设置，在转轴200转动至第二位置的情况下，第二检测部512可以与第二触发部522相对设置。此种情况下，仅需调节第一检测部511与第一触发部521之间的夹角，调节第二检测部512与第二触发部522之间的夹角便能够使第一检测部511为夹持机构反馈张开状态，第二检测部512为夹持机构反馈夹持状态，因此，两个检测部510之间的距离和角度不受转轴200转动的角度的限制，两个检测部510之间的距离可以较大，从而使得两个检测部510的安装空间较大，以方便其安装，且能够较好地控制安装精度，进而使得两个检测部510所反馈的状态信息较为准确。
请再次参考图2，在第一检测部511或第二检测部512位于第一触发部521与第二触发部522之间的情况下，在转轴200转动的过程中，可能存在第一检测部511或第二检测部512均被触发的情况，导致夹持机构的状态信息混乱。基于此，在一种可选地实施例中，第一检测部511与第二检测部512可以绕转轴200以第一间隔分布，第一触发部521与第二触发部522可以绕转轴200以第二间隔分布，在第一间隔大于第二间隔的情况下，第一触发部521与第二触发部522均可以位于第一检测部511与第二检测部512之间；在第一间隔小于第二间隔的情况下，第一检测部511与第二检测部512均可以位于第一触发部521与第二触发部522之间。上述两种情况均能够避免第一检测部511或第二检测部512位于第一触发部521与第二触发部522之间，从而避免在转轴200转动的过程中存在第一检测部511或第二检测部512均被触发的情况，以使检测部510和触发部520能够稳定有序地工作，避免出现状态信息混乱的现象，进而使得夹持机构能够可靠地得到其状态信息，提高夹持机构后续工作的可靠性。
在具体使用过程中，夹持机构的夹持角度需要可调节，也就是夹持机构处于张开状态时的张开夹角需要可调节，因此，第一检测部511与第一触发部521之间的夹角以及第二检测部512与第二触发部522之间的夹角均需要可调节。在一种可选的实施例中，第一检测部511与第二检测部512中的至少一者可以活动设置于转轴200或支架300，以调节二者之间的间隔，也就是调节第一间隔，此种情况下，第一检测部511与第二检测部512之间的角度可以被调节，从而使得第一检测部511与第一触发部521之间的夹角以及第二检测部512与第二触发部522之间的夹角均能够被调节，以适应夹持机构夹持角度的调节，进而使得该夹持机构的通用性较高，最终能够提升产品竞争力。
如上文所述，第一检测部511与第二检测部512中的至少一者可以活动设置于转轴200或支架300，可选地，转轴200或支架300上可以开设有第一条形孔，第一检测部511与第二检测部512中的至少一者能够通过第一连接件(例如螺纹连接件)与第一条形孔的配合以活动设置，此种活动设置的方式简单可靠，且方便驱动第一检测部511或第二检测部512沿第一条形孔运动，从而方便调节第一检测部511与第二检测部512之间的角度，提高夹持机构的使用便捷性。
另一种可选的实施例中，第一触发部521与第二触发部522中的至少一者可以活动设置于转轴200或支架300，以调节二者之间的间隔，也就是调节第二间隔，相似地，第一触发部521与第二触发部522之间的角度可以被调节，从而使得第一检测部511与第一触发部521之间的夹角以及第二检测部512与第二触发部522之间的夹角均能够被调节，以适应夹持机构夹持角度的调节，进而使得该夹持机构的通用性较高，最终能够提升产品竞争力。
如上文所述，第一触发部521与第二触发部522中的至少一者可以活动设置于转轴200或支架300，可选地，转轴200或支架300上开设有第二条形孔，第一触发部521与第二触发部522中的至少一者通过第二连接件(例如螺纹连接件)与第二条形孔的配合以活动设置，此种活动设置的方式简单可靠，且方便驱动第一触发部521与第二触发部522沿第二条形孔运动，从而方便调节第一触发部521与第二触发部522之间的角度，提高夹持机构的使用便捷性。
进一步地，本申请实施例中可以同时采用上述两种方案，即第一检测部511与第二检测部512中的至少一者可以活动设置于转轴200或支架300，且第一触发部521与第二触发部522中的至少一者可以活动设置于转轴200或支架300，更便于根据夹持机构夹持角度的调节而调节第一检测部511与第一触发部521之间的夹角以及第二检测部512与第二触发部522之间的夹角，有利于提高调节第一检测部511与第一触发部521之间的夹角以及第二检测部512与第二触发部522之间的夹角的灵活性。需要说明的是，在第一检测部511与第二检测部512设置于转轴200的情况下，第一触发部521与第二触发部522需要设置在支架300上；在第一检测部511与第二检测部512设置于支架300的情况下，第一触发部521与第二触发部522需要设置在转轴200上。
在一种可选的实施例中，支架300可以开设有避让豁口310，转轴200至少部分位于避让豁口310内，检测部510或触发部520可以设置于避让豁口310的边缘，以使检测部510能够靠近触发部520，避免检测部510或触发部520的尺寸需要设置较大，防止夹持机构的结构不够紧凑，体积较大。
进一步地，避让豁口310的形状可以为弧形，以使设置在避让豁口310边缘的检测部510或触发部520能够与转轴200同心设置，从而使得检测部510能够直接通过转轴200的转动角度反馈夹持机构的状态信息，简化检测部510的检测方式，便于设计人员设计，降低设计难度。
在本申请实施例中，检测部510与触发部520相对的情况下，检测部510处于触发状态，可选地，检测部510为反射型光电传感器，触发部520为反射件，在检测部510与触发部520相对的情况下，反射型光电传感器发出的光线能够被反射件反射，且反射光线反射回反射型光电传感器，在反射型光电传感器接收到反射回来的光线时，反射型光电传感器被触发。反射型光电传感器翻边设置，且检测可靠。
为了避免转轴200将检测部510发出的光线反射至检测部510，导致检测部510误触发，可选地，反射型光电传感器的检测方向可以与转轴200的延伸方向相同，且反射件的反射方向可以与延伸方向相同，也就是说，反射型光电传感器发出的光线与转轴200平行，避免检测部510误触发，从而使得检测部510所反馈的状态信息较为准确，进而提高夹持机构的可靠性。
在夹持机构处于夹持状态夹持待夹持件(花篮)时，现有夹持机构无法确定其是否夹紧待夹持件，在夹持机构没有夹紧待夹持件时，可能导致待夹持件掉落，进而导致待夹持件损坏。基于此，在一种可选的实施例中，夹持机构还可以包括夹持杆600，夹持杆600可以与转轴200相连，转轴200在转动过程中带动夹持杆600转动，实现夹持杆600夹持待夹持件的目的。夹持杆600上可以设置有拨杆检测装置，拨杆检测装置可以包括本体部710和拨杆720，本体部710可以设置于夹持杆600上，拨杆720可转动地设置于本体部710上，在拨杆720转动时，本体部710中的传感器被触发；在夹持机构通过夹持杆600夹持待夹持件时，待夹持件推动拨杆720转动。
在具体的使用过程中，夹持机构通过夹持杆600夹持待夹持件时，待夹持件能够推动拨杆720转动，由于在拨杆720转动时，本体部710中的传感器会被触发，因此，夹持机构可以根据本体部710中的传感器是否被触发而判断出夹持机构是否夹紧待夹持件，从而避免夹持机构没有夹紧待夹持件的情况下传送待夹持件，进而防止因待夹持件掉落而导致待夹持件损坏，最终提高夹持机构传送待夹持件的可靠性。
在一种可选的实施例中，驱动装置400可以包括气缸410和传动结构420，气缸410通过传动结构420与转轴200驱动相连，气缸410设置有第一磁性开关411和第二磁性开关412；在转轴200转动至第一位置的情况下，第一磁性开关411能够被触发，在转轴200转动至第二位置的情况下，第二磁性开关412能够被触发。利用气缸410的磁性开关实现检测夹持机构状态信息的目的，磁性开关是气缸410可选配件，可以安装于气缸410缸体预留的安装槽内，磁性开关能够感应金属材质的活塞是否到达预定位置，活塞收缩第一磁性开关411被触发，此时夹持机构处于张开状态；活塞伸出第二磁性开关412被触发，此时夹持机构处于夹持状态，以此初次判断夹持机构处于夹紧状态或张开状态。此种方式简单可靠，便于设置。
如上文所述，本申请实施例中不限制驱动装置400驱动转轴200转动的方式，在一种可选的实施例中，驱动装置400可以包括驱动源、斜滑块810和随动件820，斜滑块810可以与驱动源相连，以驱动斜滑块810移动，随动件820与转轴200相连，且随动件820抵接于斜滑块810的工作面811上，在斜滑块810移动的情况下，随动件820随工作面811摆动，以驱动转轴200转动，此种设置方式简单，便于设置。
在随动件820运动至工作面811的高点的情况下，若此时驱动源断电或断气，随动件820会沿工作面811缓慢向下滑动，导致夹持机构不能稳定地保持在该状态，从而导致夹持机构由夹持状态逐渐切换至张开状态，待夹持件存在掉落的风险。基于此，在一种可选的实施例中，工作面811可以包括斜面811a和与斜面811a相连的平面811b，平面811b与斜滑块810的安装面之间的距离大于斜面811a与安装面之间的距离，安装面与工作面811相背设置；在转轴200转动至第一位置或第二位置的情况下，也就是夹持机构处于夹持状态的情况下，随动件820抵接于平面811b，在随动件820抵接于平面811b时，即使驱动源断电或断气，随动件820没有沿斜面811a向下的分力，因此，随动件820能够保持在该位置，避免随动件820会沿斜面811a缓慢向下滑动，防止夹持机构不能稳定地保持在该状态，从而避免夹持机构由夹持状态逐渐切换至张开状态，进而使得夹持机构能够稳定地夹持待夹持件，防止待夹持件存在掉落。
基于本申请实施例公开的夹持机构，本申请还公开一种半导体清洗设备，所公开的半导体清洗设备包括上文任意实施例所述的夹持机构。
本申请上文实施例中重点描述的是各个实施例之间的不同，各个实施例之间不同的优化特征只要不矛盾，均可以组合形成更优的实施例，考虑到行文简洁，在此则不再赘述。
以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。
Claims (10)
1.一种半导体清洗设备的夹持机构，其特征在于，包括基部(100)、转轴(200)、支架(300)和驱动装置(400)，其中：
所述转轴(200)可转动地设置于所述基部(100)上，所述驱动装置(400)和所述支架(300)均设置于所述基部(100)上，所述驱动装置(400)与所述转轴(200)驱动相连，且所述驱动装置(400)驱动所述转轴(200)在第一位置与第二位置之间转动，所述转轴(200)与所述支架(300)中，一者设置有检测部(510)，另一者设置有触发部(520)，所述检测部(510)的数量为至少两个，在所述检测部(510)与所述触发部(520)相对的情况下，所述检测部(510)处于触发状态；
在所述转轴(200)转动至所述第一位置的情况下，至少两个所述检测部(510)中的一者与所述触发部(520)相对，在所述转轴(200)转动至所述第二位置的情况下，至少两个所述检测部(510)中的另一者与所述触发部(520)相对；
所述夹持机构还包括夹持杆(600)，所述夹持杆(600)与所述转轴(200)相连，所述夹持杆(600)上设置有拨杆检测装置，所述拨杆检测装置包括本体部(710)和拨杆(720)，所述本体部(710)设置于所述夹持杆(600)上，所述拨杆(720)可转动地设置于所述本体部(710)上，在所述拨杆(720)转动时，所述本体部(710)中的传感器被触发；
在所述夹持机构通过所述夹持杆(600)夹持待夹持件时，所述待夹持件推动所述拨杆(720)转动。
2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述至少两个检测部(510)包括第一检测部(511)和第二检测部(512)，且所述第一检测部(511)与所述第二检测部(512)绕所述转轴(200)间隔分布，所述触发部(520)包括第一触发部(521)和第二触发部(522)，且所述第一触发部(521)与所述第二触发部(522)绕所述转轴(200)间隔分布；
在所述转轴(200)转动至所述第一位置的情况下，所述第一检测部(511)与所述第一触发部(521)相对，在所述转轴(200)转动至所述第二位置的情况下，所述第二检测部(512)与所述第二触发部(522)相对。
3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，所述第一检测部(511)与所述第二检测部(512)中的至少一者活动设置于所述转轴(200)或所述支架(300)，以调节二者之间的间隔；和/或，
所述第一触发部(521)与所述第二触发部(522)中的至少一者活动设置于所述转轴(200)或所述支架(300)，以调节二者之间的间隔。
4.根据权利要求3所述的夹持机构，其特征在于，所述转轴(200)或所述支架(300)上开设有第一条形孔，所述第一检测部(511)与所述第二检测部(512)中的至少一者通过第一连接件与所述第一条形孔的配合以活动相连；和/或，所述转轴(200)或所述支架(300)上开设有第二条形孔，所述第一触发部(521)与所述第二触发部(522)中的至少一者通过第二连接件与所述第二条形孔的配合以活动相连。
5.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述支架(300)开设有避让豁口(310)，所述转轴(200)至少部分位于所述避让豁口(310)内，所述检测部(510)或所述触发部(520)设置于所述避让豁口(310)的边缘。
6.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述检测部(510)为反射型光电传感器，所述触发部(520)为反射件。
7.根据权利要求6所述的夹持机构，其特征在于，所述反射型光电传感器的检测方向与所述转轴(200)的延伸方向相同，且所述反射件的反射方向与所述延伸方向相同。
8.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述驱动装置(400)包括气缸(410)和传动结构(420)，所述气缸(410)通过所述传动结构(420)与所述转轴(200)驱动相连，所述气缸(410)设置有第一磁性开关(411)和第二磁性开关(412)；
在所述转轴(200)转动至所述第一位置的情况下，所述第一磁性开关(411)被触发，在所述转轴(200)转动至所述第二位置的情况下，所述第二磁性开关(412)被触发。
9.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，所述驱动装置(400)包括驱动源、斜滑块(810)和随动件(820)，所述斜滑块(810)与所述驱动源相连，以驱动所述斜滑块(810)移动，所述随动件(820)与所述转轴(200)相连，且所述随动件(820)抵接于所述斜滑块(810)的工作面(811)上，在所述斜滑块(810)移动的情况下，所述随动件(820)随所述工作面(811)摆动，且驱动所述转轴(200)转动；
所述工作面(811)包括斜面(811a)和与所述斜面(811a)相连的平面(811b)，所述平面(811b)与所述斜滑块(810)安装面之间的距离大于所述斜面(811a)与所述安装面之间的距离，所述安装面与所述工作面(811)相背设置；在所述转轴(200)转动至所述第一位置或所述第二位置的情况下，所述随动件(820)抵接于所述平面(811b)。
10.一种半导体清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1至9中任一项所述的夹持机构。
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