JP2010165706A - ウェハのアライメント装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハを保持して旋回させる機構が、ウェハが載置されるパッド5と、前記ウェハの側面を把持可能なクランプ14と、パッド5とクランプ14の両方を支持して回転する旋回ベース2と、を備え、クランプ14が、パッド5に載置されたウェハに対して、上昇位置でウェハの側面を把持し、下降位置でウェハの裏面よりも低い位置に移動するよう、旋回ベース2に対して昇降自在に支持されるよう構成した。
【選択図】図1
Description
ここで、半導体製造装置もしくは検査装置(以下、まとめて製造装置と呼ぶ)において、ウェハを処理(ロード)する場合を考える。本ロードを行う前に処理された製造装置の都合や、装置間の輸送などにより、ウェハのノッチ位置は、任意の位置になっている状態で製造装置にロードされる。したがって、製造装置にて装置内の処理を進めるにあたってはノッチ位置を所定の位置に合わせる(アライメントする)必要があり、その位置あわせを行う装置をプリアライナもしくは単にアライナと呼んでいる。プリアライナは、ウェハ搬送ロボットの近傍に配置され、製造装置においてウェハ搬送装置として利用され、ウェハ搬送ロボットが搬送してきたウェハに対して少なくともノッチ位置を所定の位置に合わせる。
プリアライナでウェハを旋回させるためには、ウェハをプリアライナの旋回部分に対して固定(把持)する必要があり、その固定する方式の違いにより、プリアライナのタイプがいくつかある。
ところが、真空吸着式のプリアライナは、ウェハを真空経路を形成したパッドにて吸着するため、比較的広い範囲がウェハと接触しており、ウェハ裏面のパーティクル汚染が多いなどの問題があった。また、大気開放時の流入エアがプリアライナ内部に収納されている真空機器を通過することで、油分などを含んだエアにより、ウェハ裏面にパーティクルが付着するなども問題もあった。さらに、ノッチを検出して所定の位置にアライメントした後のウェハに、大気開放時にエアが瞬時に突入することでウェハが僅かに動き、アライメント精度が悪くなるなどの問題もあった。
このタイプのプリアライナの具体的な動きとしては、先述のようにウェハのノッチはプリアライナの任意の位置に置かれる。そして、把持部が動きウェハを固定した後、旋回動作を行い外部に設けたノッチ検出センサでノッチを検出して所定の位置にさらに旋回してアライメントを完了する。ところが、アライメント後はウェハの把持部は任意の位置であるためアライメント後のウェハをロボットが受け取るためには、グリップ把持部が機械的に干渉する可能性がありアクセスすることができない。そこで、ウェハの下方に設けられたリフト機構によりアライメント後のウェハを一旦持ち上げて、把持部をロボットがアクセスできる位置である待機位置に退避させた後、リフタ機構によりウェハを下降させて、一連のアライメント動作が完了する。
エッジグリップ方式のプリアライナは、ウェハ裏面のパーティクル付着の問題を鑑みており、ウェハ裏面に接触部を設けない観点で考えられているので、把持部だけでなく、ウェハ昇降時のリフト機構のウェハ接触部もウェハエッジ部(外周部分であり、一般的に外周の縁より1〜2mm以内)となっており、把持部とリフト機構の接触部もウェハの同じ領域であることから、ノッチ位置やアライメント位置によって、リフト昇降動作をさせる場合に昇降動作領域内に把持部があり、機械的な干渉から動作できない場合がある。この場合は、ノッチ位置、アライメント後の把持部の位置は事前に演算にて干渉領域内であることが算出できるため、事前に回避動作を行うことになる。具体的には、ウェハのノッチ位置検出後アライメント位置まで動作する途中で、一旦停止し、リフト機構にてウェハを昇降させて、ノッチ位置と把持部の位置関係をアライメント後に干渉しないような位置関係となるように把持部のみを旋回させて、一連のアライメント動作を行う。
また、先述のように、ノッチが任意の位置でプリアライナに置かれるため、ノッチに把持部がきてしまう場合もある。この場合は、把持部がノッチ部を覆い隠すためノッチ検出センサは、ノッチを見つけることができない。ウェハを一周旋回させてノッチが未検出の場合は、リフト部にてウェハを昇降させて、その間にノッチ位置と把持部の位置関係を変えるために特定の角度だけ把持部分のみを旋回して、再び一連のアライメント動作を行うようにする。
一方エッジグリップ方式のプリアライナは、把持部を待機位置に待避させるためウェハの昇降動作が必要となり、その動作時間が必要なことから、一連のアライメントの完了までの動作に時間がかかるという課題がある。特にリフト機構との干渉回避動作がある場合や、把持部がノッチ部にきた場合などは、一連のアライメント時間に対して、さらに余計な時間がかかることになり、半導体製造装置や検査装置のスループットを大幅に低下させる課題があった。また、一連の動作の中で、アライメント後のウェハをリフタで昇降させるため、その昇降動作によりウェハが僅かながら動くことで、アライメント精度が悪くなるなどの課題もあった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、ウェハ裏面のパーティクル付着が極めて少なく、アライメント時間が短いプリアライナを提供することを目的とする。
請求項1に記載の発明は、ウェハを保持して旋回させ、前記ウェハの周囲の形状を認識し、前記ウェハを任意の方向に回転させるとともに前記ウェハの中心位置を目的の位置に合わせるプリアライメント装置において、前記ウェハを保持して旋回させる機構が、前記ウェハが載置されるパッドと、前記ウェハの側面を把持可能なクランプと、前記パッドと前記クランプの両方を支持して回転する旋回ベースと、を備え、前記クランプが、前記パッドに載置された前記ウェハに対して、上昇位置で前記ウェハの側面を把持し、下降位置で前記ウェハの裏面よりも低い位置に移動するよう、前記旋回ベースに対して昇降自在に支持されたことを特徴としたプリアライメント装置とするものである。
請求項2に記載の発明は、前記クランプは、リニアガイドを介して前記旋回ベースに昇降可能に支持された昇降ベースに対して複数設けられ、前記旋回ベースの回転中心の軸心に向かって動作可能に支持され、前記昇降ベースが上昇したときに前記軸心に向かって移動して前記パッドに載置された前記ウェハの側面を把持し、前記昇降ベースが下降したときに前記軸心から離れて前記パッドに載置された前記ウェハの裏面よりも低い位置に移動することを特徴とした請求項1記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項3に記載の発明は、前記昇降ベースは、昇降駆動源に対してローラで上下から狭持されることによって昇降可能であって、かつ旋回可能に支持されたことを特徴とする請求項2記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項4に記載の発明は、前記昇降駆動源はエアシリンダであることを特徴とする請求項3記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項5に記載の発明は、前記クランプは、前記昇降ベースに固定されたクランプ駆動源によって前記軸心に向かって駆動されることを特徴とする請求項2記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項6に記載の発明は、前記クランプ駆動源がエアシリンダであることを特徴とする請求項5記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項7に記載の発明は、前記エアシリンダに接続される配管は、前記パッドを支持する旋回シャフト内に収容され、前記旋回ベースを通り、前記旋回ベースを回転させるプーリに接続されたロータリ継手に接続されることを特徴とした請求項6記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項8に記載の発明は、前記クランプは、前記昇降ベースに対してバネ手段によって常に前記軸心に向かって移動するように構成され、前記旋回ベースに固定されたローラと接触することによって、前記昇降ベースが上昇したときに前記軸心に向かって移動し、前記昇降ベースが下降したときに前記軸心から離れるよう移動することを特徴とした請求項2記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項9に記載の発明は、前記パッドが前記ウェハと接触する部分が、弾性体もしくは樹脂からなることを特徴とした請求項1記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項10に記載の発明は、前記クランプが前記ウェハと接触する部分が、樹脂からなることを特徴とした請求項1記載のプリアライメント装置とするものである。
請求項11に記載の発明は、請求項1記載のプリアライメント装置と、前記プリアライメント装置に前記ウェハを載置可能なウェハ搬送ロボットと、を備えたことを特徴とするウェハ搬送装置とするものである。
請求項12に記載の発明は、請求項11記載のウェハ搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置とするものである。
請求項13に記載の発明は、請求項11記載のウェハ搬送装置を備えたことを特徴とする検査装置とするものである。
さらに、ウェハの外周部を把持しているので、高速での旋回が可能な上、把持部はロボットアクセス時には干渉しない位置に退避するため大幅なアライメント時間の短縮が図れる。
また、昇降ベース12は、昇降ベース12の外周を上下方向から挟み込んだローラ15を介して、プリアライナ本体ベース1に固定してある昇降用シリンダ16と回転自在に接続している。
シリンダ20は、単動型のシリンダとしており、シリンダに供給されるエアは、旋回シャフト14の一部を中空構造とし、端部の旋回中心位置にロータリ継手22を配設することで供給することができる。このような配管とすることで、旋回ベースは、配管により旋回範囲が限定されることなく、無制限に回転することができる。
また、バネベース23とクランプアーム14の間に、ローラ25があり、ローラ25は、旋回ベース2に固定されている。クランプアーム14は、ローラ25に係合する溝26が形成されており、バネ24によりローラ24と溝26は、常に当接している。溝24は、昇降用シリンダ16の昇降動作に連動し、下降位置ではクランプアーム14が外側に動き、上昇位置では内側に動くような溝形状を形成している。これにより昇降シリンダ16の昇降動作によりクランプパッド21がウェハをクランプする構成となっている。
図示していないウェハ搬送ロボットが、ウェハをパッド5に載置する。ロボットがプリアライナにアクセスする際は、クランプアーム14は下降状態となっている。パッド5にウェハが載置されると、昇降シリンダ16が上昇し、クランプパッド21がウェハ側面に上昇する。
実施例1においては、昇降シリンダ16が上昇後、シリンダ20の引込動作によりクランプパッド21は内側に動き、ウェハをクランプする。実施例2においては、昇降動作とともにクランプパッド21は内側に動き、ウェハをクランプする。このときウェハの中心位置がプリアライナの旋回中心に合わせられる。
そして、旋回用サーボモータ9の駆動により、ウェハおよびパッド5およびクランプパッド21とも旋回し、ノッチ検出センサ17によりノッチを検出するとともに、モータ9の回転位置情報から、図示していないプリアライナ演算部によりノッチ位置を所定の向きに揃えることができる。この旋回の際、パッド5のラバーピン18の摩擦力のほかにクランプパッド21のクランプ力によりウェハは把持されているので、高速で回転することができる。また、この旋回の際、当然ながら、昇降ベース12およびクランプアーム14らは昇降軸リニアガイドレール10Aの規制と、ローラ15の作用によって旋回が可能になっている。
ノッチ位置を所定の位置に移動すると、実施例1においては、シリンダ20の押引動作によりクランプパッド21は、外側に動きウェハのクランプを開放する。そして、昇降シリンダ16が下降する。実施例2においては、昇降シリンダ16の下降動作とともにクランプパッド21は外側に動き、ウェハのクランプを開放する。
その後、図示していないウェハ搬送ロボットがパッド5からウェハを取り出す。ノッチ位置のアライメントにより、クランプアーム14は、ウェハ搬送ロボットに対して任意の位置であるが、クランプアーム14は下降しているので、本発明によればウェハ搬送ロボットのウェハ受け渡しに際しての機械的な干渉はない。
2 旋回ベース
4 旋回シャフト
5 パッド
9 旋回用サーボモータ
10A 昇降軸リニアガイドレール
10B スライダ
12 昇降ベース
13A クランプ用リニアガイドレール
13B スライダ
14 クランプアーム
15 ローラ
16 昇降用シリンダ
18 ラバーピン
19 シリンダベース
20 シリンダ
21 クランプパッド
22 ロータリ継ぎ手
24 バネ
25 ローラ
Claims (13)
- ウェハを保持して旋回させ、前記ウェハの周囲の形状を認識し、前記ウェハを任意の方向に回転させるとともに前記ウェハの中心位置を目的の位置に合わせるプリアライメント装置において、
前記ウェハを保持して旋回させる機構が、前記ウェハが載置されるパッドと、前記ウェハの側面を把持可能なクランプと、前記パッドと前記クランプの両方を支持して回転する旋回ベースと、を備え、
前記クランプが、前記パッドに載置された前記ウェハに対して、上昇位置で前記ウェハの側面を把持し、下降位置で前記ウェハの裏面よりも低い位置に移動するよう、前記旋回ベースに対して昇降自在に支持されたことを特徴としたプリアライメント装置。 - 前記クランプは、リニアガイドを介して前記旋回ベースに昇降可能に支持された昇降ベースに対して複数設けられ、前記旋回ベースの回転中心の軸心に向かって動作可能に支持され、前記昇降ベースが上昇したときに前記軸心に向かって移動して前記パッドに載置された前記ウェハの側面を把持し、前記昇降ベースが下降したときに前記軸心から離れて前記パッドに載置された前記ウェハの裏面よりも低い位置に移動することを特徴とした請求項1記載のプリアライメント装置。
- 前記昇降ベースは、昇降駆動源に対してローラで上下から狭持されることによって昇降可能であって、かつ旋回可能に支持されたことを特徴とする請求項2記載のプリアライメント装置。
- 前記昇降駆動源はエアシリンダであることを特徴とする請求項3記載のプリアライメント装置。
- 前記クランプは、前記昇降ベースに固定されたクランプ駆動源によって前記軸心に向かって駆動されることを特徴とする請求項2記載のプリアライメント装置。
- 前記クランプ駆動源がエアシリンダであることを特徴とする請求項5記載のプリアライメント装置。
- 前記エアシリンダに接続される配管は、前記パッドを支持する旋回シャフト内に収容され、前記旋回ベースを通り、前記旋回ベースを回転させるプーリに接続されたロータリ継手に接続されることを特徴とした請求項6記載のプリアライメント装置。
- 前記クランプは、前記昇降ベースに対してバネ手段によって常に前記軸心に向かって移動するように構成され、前記旋回ベースに固定されたローラと接触することによって、前記昇降ベースが上昇したときに前記軸心に向かって移動し、前記昇降ベースが下降したときに前記軸心から離れるよう移動することを特徴とした請求項2記載のプリアライメント装置。
- 前記パッドが前記ウェハと接触する部分が、弾性体もしくは樹脂からなることを特徴とした請求項1記載のプリアライメント装置。
- 前記クランプが前記ウェハと接触する部分が、樹脂からなることを特徴とした請求項1記載のプリアライメント装置。
- 請求項1記載のプリアライメント装置と、前記プリアライメント装置に前記ウェハを載置可能なウェハ搬送ロボットと、を備えたことを特徴とするウェハ搬送装置。
- 請求項11記載のウェハ搬送装置を備えたことを特徴とする半導体製造装置。
- 請求項11記載のウェハ搬送装置を備えたことを特徴とする検査装置。
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