JP5005904B2 - 転着装置及び転着方法 - Google Patents

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Description

本発明は転着装置及び転着方法に係り、特に、リングフレームにダイシングテープを介して支持されたダイシング済みの半導体チップを、転着用シートに転着させることに適した転着装置及び転着方法に関する。
従来より、半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と称する)は、ダイシングカッターを用いて賽の目状にダイシングを行い、これにより個片化された多数のチップをリードフレームやパッケージに搭載して電気的に接続して利用されている。これらのチップは、コレットを用いてダイシングテープからピックアップされるが、このピックアップの前段階において、各チップの支持面となるダイシングテープをエキスパンドしてチップ端縁間に隙間を形成する場合がある(例えば、特許文献1参照)。
特許第3064979号公報
しかしながら、特許文献1に開示されたダイシングテープのエキスパンド、すなわち平面内におけるテープの延伸は、無効チップを有効チップと区別するために一部の転着を行うものであり、微少サイズに個片化されたチップに対してコレットを正確に位置決めするための隙間寸法の管理はなされていない。そのため、各チップの位置認識にずれを生じやすくなり、チップを一つずつ精度良くピックアップする際の妨げとなり易い。
[発明の目的]
本発明は、前述した不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、半導体チップ等の転着対象物を転着する際に、当該転着対象物の端縁間の隙間を予め設定された寸法にして転着を行うことのできる転着装置及び転着方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明は、平面内に位置するとともに相互に略密着する複数の転着対象物を支持する支持面を含む第1の支持体と、前記転着対象物の転着面を含む第2の支持体とを用いた転着装置において、
前記転着対象物の端縁間に隙間を形成するエキスパンド装置と、前記隙間を検出する隙間検出装置と、当該隙間検出装置が設定された隙間の寸法に達したことを検出したときに前記エキスパンド装置を停止させる制御装置と、前記転着面に転着対象物を転着させる転着部とを備え
前記転着部は、前記第1の支持体と前記第2の支持体とを支持するテーブルと、このテーブルを移動可能に支持するガイドレールとを備える、という構成を採っている。
本発明における転着装置において、第1の支持体は第1のリングフレームと、当該第1のリングフレームの内周領域に張設されて前記支持面を構成するダイシングテープとにより構成される一方、前記第2の支持体は第2のリングフレームと、当該第2のリングフレームの内周領域に張設されて前記転着面を構成する転着用シートにより構成され、前記転着対象物は、ダイシングされたチップ状の電子部品とすることができる。
また、前記隙間検出装置によって転着対象物の端縁間寸法が予め設定された寸法に達したことを条件に前記転着が行われることが好ましい。ここで、予め設定された寸法とは、設定寸法に対する許容範囲内の寸法を含む。
更に、前記ダイシングテープ及び転着用シートの少なくとも一方は、エネルギー線硬化型接着シートにより構成することができる。
また、本発明は、平面内に位置するとともに相互に略密着する複数の転着対象物を第1の支持体に支持させた状態で、前記転着対象物の端縁間に隙間を形成するようにエキスパンドを行い、隙間検出装置が設定された隙間の寸法に達したことを検出したときに制御装置を介して前記エキスパンドを停止させ、前記第1の支持体の支持面に第2支持体の転着面対向させた状態でテーブルを転着位置に移動し、前記転着対象物を第2の支持体に転着させる、という方法を採っている。
本発明の転着装置及び転着方法によれば、エキスパンド装置によって転着対象物の端縁間に隙間が形成されたときに、当該隙間が隙間検出装置によって検出される構成であるため、予め設定した隙間寸法を検出したことを条件に転着を行うことができるようになり、これにより、転着対象物を一つずつ確実にピックアップすることが可能となる。
また、特に、転着対象物がチップ状の電子部品で極薄化されたものである場合には、一定の隙間を確保することで、ピックアップに際して端縁損傷等も効果的に防止することが可能となる。
更に、前記ダイシングテープや転着用シートの少なくとも一方をエネルギー線硬化型接着シートとした構成では、例えば、ダイシングテープがエネルギー線硬化型の接着テープの場合は、転着前に硬化処理しておくことで転着用シートへの転着をスムースに行うことができる。この一方、転着用シートがエネルギー線硬化型の接着シートの場合は、転着された対象物の取り出しに先だって硬化処理しておくことで、前記転着対象物のピックアップをスムースに行うことができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1には、本発実施形態に係る転着装置の概略正面図が示されている。この図において、転着装置10は、第1の支持体11及び第2の支持体12を用いて転着を行う装置として構成されている。第1の支持体11には転着対象物となる電子部品としての多数のチップCが支持されており、これら第1の支持体11と前記第2の支持体12を相互に平行に位置させた後に、各支持体11,12を重ね合わせるように相対接近させることで転着が行えるようになっている。
前記転着装置10は、第1の支持体11を収容するストッカ15と、第2の支持体12を形成する支持体形成装置16と、前記チップCを第1の支持体11から第2の支持体12に転着させる転着部17とを備えて構成されている。
前記第1の支持体11は、第1のリングフレーム20と、当該第1のリングフレーム20の内周領域に張設されて支持面を構成するダイシングテープDTとからなる。ダイシングテープDTは、紫外線硬化型接着剤層を備えており、当該接着剤層にチップCが接着されている。第1の支持体11は、チップCを支持した状態でストッカ15に収容されており、図示しないロボットを介して一つずつ取り出されて転着部17の後述する第1のテーブル35に移載される。なお、前記チップCは、図2に示されるように、前工程において、一枚のウエハをダイシングして個片化されたものであり、これらチップCは各端縁が相互に略密着した状態で第1の支持体11に支持されている。
前記第2の支持体12は、第2のリングフレーム24と、当該第2のリングフレーム24の内周領域に張設された転着用シートSとにより構成されている。この第2の支持体12は、前記支持体形成装置16により形成され、当該支持体形成装置16は、第2のリングフレーム24を収容するストッカ26と、当該ストッカ26に併設されたシート貼付部27と、前記ストッカ26から第2のリングフレーム24を一つずつ取り出す図示しないロボットと、当該ロボットによって取り出された第2のリングフレーム24が移載されてこれを支持する貼付用テーブル30と、この貼付用テーブル30を図1中Y方向に移動可能に支持するガイドレール32とを含む。そして、貼付用テーブル30がストッカ26から移載された第2のリングフレーム24を支持し、シート貼付部27の下方を通過するときに、当該第2のリングフレーム24の内周領域に転着用シートSが貼付されるようになっている。ここで、転着用シートSは、紫外線硬化型接着剤層を備えたものが採用されており、シート貼付部27は、帯状の剥離シートに略円形の転着用シートSが仮着された原反を繰り出す際にピールプレートで剥離しつつ第2のリングフレーム24に貼付する公知の構造が採用されている。そして、移載ロボット98によって第2の支持体12は後述する第1のテーブル35側つまり第1の支持体11の上方に移載される(図6参照)。
前記転着部17は、第1の支持体11と第2の支持体12とを支持する第1のテーブル35と、この第1のテーブル35を図1中Y方向に移動可能に支持するガイドレール36と、第1のテーブル35の上方に位置するとともに、各チップCの端縁間の隙間寸法を検出する隙間検出装置としてのカメラ37と、第2の支持体12の転着用シートSを第1の支持体11に支持された多数のチップCに押圧する転着力付与装置38と、前記第1のリングフレーム20に対するダイシングテープDTの貼付領域に紫外線を照射する紫外線照射装置40と、ダイシングテープDTを第1のリングフレーム20から除去するシート除去装置41とを備えて構成されている。
前記第1のテーブル35は、図2及び図3に示されるように、テーブル本体43と、当該テーブル本体43に設けられたエキスパンド装置44とを含む。テーブル本体43は、ベースプレート46と、当該ベースプレート46に支柱47を介して平行に支持された上部プレート48とからなる。また前記ベースプレート46は、支持プレート75上に回転体77を介して支持されている。この支持プレート75は、下面側にスライダ76を備え、当該スライダ76がガイドレール36に沿って移動可能に設けられている。上部プレート48の面内には、第1及び第2の支持体11,12をそれぞれ昇降可能に保持する第1の保持装置50及び第2の保持装置51が設けられている。
第1の保持装置50は、図3に示されるように、前記上部プレート48を貫通して上下方向に延びる4本のねじ軸54と、前記上部プレート48の下面にプーリ58が回転可能に固定されるとともに当該プーリ58の回転により各ねじ軸54を昇降可能に支持する軸受部55と、前記ねじ軸54が2本ずつ固定された左右一対の第1のフレームホルダ56,56とにより構成されている。また、各プーリ58は、エンドレスベルト59によってモータM1の出力軸に固定された駆動用プーリ61に掛け回されている。これにより、モータM1の回転によって前記第1のフレームホルダ56、56に支持された第1の支持体11が昇降可能となっている。なお、前記モータM1は前記上部プレート48の下面側に吊持されている。
前記第2の保持装置51は、実質的に第1の保持装置50と同様の構成となっている。すなわち、第2の保持装置51は、図3に示されるように、前記上部プレート48を貫通して上下方向に延びる4本の外側ねじ軸62と、前記上部プレート48の下面にプーリ65が回転可能に固定されるとともに当該プーリ65の回転により各外側ねじ軸62を昇降可能に支持する軸受部63と、前記外側ねじ軸62が2本ずつ固定された左右一対の第2のフレームホルダ64,64とにより構成されている。また、各プーリ65は、エンドレスベルト66によってモータM2の出力軸に固定された駆動用プーリ68に掛け回されている(図2参照)。これにより、モータM2の回転によって前記第2のフレームホルダ64,64に支持された第2の支持体12が昇降可能となっている。なお、モータM2も前記モータM1と同様に上部プレート48の下面側に吊持されている。
前記上部プレート48の中央部には、全チップCの平面積よりも大きい平面積を上面に備えた円形の受け台70が配置され、フレームホルダ56が下降すると、ダイシングテープDTが放射方向に延伸され、当該ダイシングテープDTに接着されている各チップCの端縁が相互に離間することとなる。ここにおいて、前記第1の保持装置50及び前記受け台70によりエキスパンド装置44が構成されている。
前記隙間検出装置を構成するカメラ37は、図1中符号P1で示す実線位置にある第1のテーブル35の上方において、図示しない支持アームを介して配置されている。このカメラ37は、前記エキスパンド装置44によってチップC間の隙間寸法が予め設定された寸法に達しているか否かを検出するものであり、設定隙間寸法に達したことを検出したときに、図示しない制御装置に信号を出力するようになっている。なお、本実施形態ではチップC間の隙間寸法が設定値の許容範囲内に入ったことを「設定された寸法に達した」と表現することとし、その許容範囲は適宜変更することができる。
前記転着力付与装置38は、X軸ロボット72及びY軸ロボット73と、X軸ロボット72の下面側に支持されたZ軸シリンダ74(図7参照)の下端に設けられたブロック状の押圧部材74Aとを備えて構成されている。転着力付与装置38は、第1のテーブル35が図1中符号P2で示す位置に移動したときに、前記転着用シートSの上面側から押圧力を付与しつつ押圧部材74Aが平面内でX、Y方向に少しずつ移動可能に設けられ、転着用シートSの接着面をチップCの上面に押圧して接着するように設けられている。
前記転着用シートSに各チップCの上面が接着された後に、前記第1のテーブル35は図1中符号P3で示す位置に移動するとともに、平面内で略90度回転するようになっており、当該P3ポイント近傍にはロボット80が配置されている。このロボット80の第1のテーブル35の他端側には、第2のテーブル81が配置されており、ロボット80によって第1及び第2の支持体11,12が第2のテーブル81に移載されるようになっている。第2のテーブル81の上部構造は、第1のテーブル35における第1及び第2のフレームホルダ56,64と同様のフレームホルダを備えて構成されている。従って、図1では、同一符号を用いて説明を省略する。また、第2のテーブル81は、反転装置85を介して上部プレート48を含む上部側の天地が反対となるように構成されており、第1のテーブル35から第1及び第2の支持体11,12が移載された後に、図1中符号P4で示す位置で天地反転し、当該反転した状態で、第1のリングフレーム20上に、前記紫外線照射装置40が位置するように構成されている。この紫外線照射装置40は、ダイシングテープDTと第1のリングフレーム20との接着領域に紫外線を照射し、以後のダイシングテープDTの剥離が容易に行えるようになっている。
前記シート除去装置41は、移動用ロボット86と、この移動用ロボット86に支持された左右一対の剥離部材87、87とからなる。剥離部材87は、アーム88の先端に取り付けられて第1のリングフレーム20の内周縁に略沿う形状となる翼状の片部材89を備えており、この片部材89は、先端側がアーム88の軸線を回転中心として回転可能に設けられている。各片部材89は、第1のリングフレーム20と第2のリングフレーム24との間に位置する動作位置と、当該動作位置より退避して第2のテーブル81の移動を妨げることのない退避位置との間で図示しない移動機構によって移動可能に設けられ、第2のテーブル81が図1中符号P5で示される位置にあるときに、第1のリングフレーム20に対してダイシングテープDTの剥離きっかけ部を形成し、第1のリングフレーム20から浮き上がったダイシングテープDT部分が図示しないチャックによって掴まれ、その後に第2のテーブル81が図1中符号P6で示される位置に移動することでダイシングテープDTが第1のリングフレーム20から完全に剥離されるようになっている。
ダイシングテープDTが剥離された状態で、第2のテーブル81がガイドレール90に沿って移動し、隣接位置に設けられたロボット91を介して第1のリングフレーム20がフレームストッカ97に収容され、また、各チップCが転着された第2の支持体12は、図示しないロボットを介してストッカ15の空き領域に再び収容されるようになっている。
次に、本実施形態における転着動作について、図4ないし図7をも参照しながら説明する。ここでは、ダイシングテープDTに接着された各チップCは、ダイシングテープDT側から予め紫外線照射されて接着力が消失若しくは低下した状態にあるものとする。
図4に示されるように、第1のテーブル35上において、左右一対の第1のフレームホルダ56,56間に、チップCを支持する第1の支持体11が図示しないロボットを介してストッカ15から移載された後に、図5に示されるように、モータM1の回転によりベルト59が回行して第1のフレームホルダ56,56が下降する。この下降により、ダイシングテープDTが延伸され、これに支持されている各チップCは、それらの端縁間に隙間を形成するようになる。この隙間は、上方に位置するカメラ37によって検出され、予め設定された寸法に達したときに、図示しない制御装置に信号を出力して第1のフレームホルダ56,56の下降を停止させる。
次いで、図6に示されるように、第2のフレームホルダ64,64間に移載ロボット98を介して前記貼付用テーブル30から第2の支持体12が移載される。この際、第1のテーブル35は図1中P1位置にて反時計方向に90度一時的に回転するようになっており、第2の支持体12の移載を完了した後に、第1のテーブル35が時計方向に90度回転して再び元の状態に復帰する。
このようにして第1及び第2の支持体11,12が上下に位置した状態で、第1のテーブル35が図1中符号P2位置に移動して転着力付与装置38の下方に位置する。そして、図7に示されるように、モータM2(図2参照)の回転によりベルト66が回行して第2のフレームホルダ64,64が下降し、転着用シートSの接着面(下面)にチップCの上面を接触させ、押圧部材74Aによって平面内でX、Y方向に少しずつ移動して転着シートSの完全接着を行い、この後、第1のテーブル35が図1中符号P3位置に移動して時計方向に回転する。
転着用シートSにチップCを接着させた後の第1及び第2の支持体11,12は、その相対姿勢を保った状態で、ロボット80を介して図1中符号P4位置に待機している第2のテーブル81に移載され、当該第2のテーブル81が反転装置85を介して天地反転して第1の支持体11が第2の支持体12の上方に位置するように保たれる。そして、この状態で、第1の支持体11を構成する第1のリングフレームと20とダイシングテープDTの接着領域に紫外線照射装置40が位置するように接近して紫外線照射を行い、当該部位における接着力を消失若しくは低下させる。
次いで、第2のテーブル81が図1中符号P5で示される位置に移動する。ここで、シート除去装置41の片部材89がダイシングテープDTの下面側における第1のリングフレーム20の内周縁に沿うように入り込み、アーム88の軸線を回転中心として回転し、ダイシングテープDTを第1のリングフレームDTから浮き上がらせて当該浮き上がった部分が図示しないチャックで掴まれる。そして、第2のテーブル82が図1中符号P6で示される位置に移動することで、第1のリングフレーム20からダイシングテープDTが剥離、除去され、これにより、転着用シートSに対するチップCの転着動作を完了することとなる。
このようにしてダイシングテープDTが除去された後の第1のリングフレーム20は、ロボット91を介してストッカ97に収容され、チップCが転着された第2の支持体は、ストッカ15の空き領域に図示しないロボットを介して再び収容される。
従って、このような実施形態によれば、チップCの端縁間が予め設定された寸法に達したことを条件に各チップCが転着用シートSに転着されるので、転着後のチップCをコレットで一つずつピックアップするときの相対位置を高精度に維持することができる、という効果を得る。
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
例えば、前記実施形態では、ダイシングテープDT及び転着用シートSの接着面が紫外線硬化型である場合を示したが、何れか一方の接着面が紫外線硬化型である場合も含む。
また、エキスパンド装置44は、第1のフレームホルダ56が下降することでダイシングテープDTをエキスパンドする構成としたが、受け台70が上昇することでエキスパンドするようにしてもよい。要するに、本発明は、チップCの端縁間の隙間寸法を設定値に保つようにエキスパンドできればよく、その手段、構成は特に限定されるものではない。
更に、転着対象物はチップに限らず、発光ダイオード等、その他の電子部品も含む。
本実施形態に係る転着装置の概略平面図。 転着を行うための第1のテーブルの平面図。 図2の正面図。 第1のフレームホルダ間に第1の支持体が支持された初期状態を示す正面図。 ダイシングテープをエキスパンドしてチップ間に隙間を形成した状態を示す正面図。 第2のフレームホルダ間に第2の支持体を支持させた状態を示す正面図。 チップ上面に第2の支持体を押圧する状態を示す正面図。
符号の説明
10 転着装置
11 第1の支持体
12 第2の支持体
17 転着部
20 第1のリングフレーム
24 第2のリングフレーム
37 カメラ(隙間検出装置)
44 エキスパンド装置
DT ダイシングテープ(支持面)
S 転着用シート(転着面)
C チップ(転着対象物)

Claims (4)

  1. 平面内に位置するとともに相互に略密着する複数の転着対象物を支持する支持面を含む第1の支持体と、前記転着対象物の転着面を含む第2の支持体とを用いた転着装置において、
    前記転着対象物の端縁間に隙間を形成するエキスパンド装置と、前記隙間を検出する隙間検出装置と、当該隙間検出装置が設定された隙間の寸法に達したことを検出したときに前記エキスパンド装置を停止させる制御装置と、前記転着面に転着対象物を転着させる転着部とを備え
    前記転着部は、前記第1の支持体と前記第2の支持体とを支持するテーブルと、このテーブルを移動可能に支持するガイドレールとを備えたことを特徴とする転着装置。
  2. 前記第1の支持体は第1のリングフレームと、当該第1のリングフレームの内周領域に張設されて前記支持面を構成するダイシングテープとにより構成される一方、前記第2の支持体は第2のリングフレームと、当該第2のリングフレームの内周領域に張設されて前記転着面を構成する転着用シートにより構成され、前記転着対象物は、ダイシングされたチップ状の電子部品であることを特徴とする請求項1記載の転着装置。
  3. 前記ダイシングテープ及び転着用シートの少なくとも一方は、エネルギー線硬化型接着シートにより構成されていることを特徴とする請求項2記載の転着装置。
  4. 平面内に位置するとともに相互に略密着する複数の転着対象物を第1の支持体に支持させた状態で、前記転着対象物の端縁間に隙間を形成するようにエキスパンドを行い、隙間検出装置が設定された隙間の寸法に達したことを検出したときに制御装置を介して前記エキスパンドを停止させ、前記第1の支持体の支持面に第2支持体の転着面対向させた状態でテーブルを転着位置に移動し、前記転着対象物を第2の支持体に転着させることを特徴とする転着方法。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5912274B2 (ja) * 2011-03-28 2016-04-27 株式会社東京精密 チップ分割離間装置、及びチップ分割離間方法
US9714462B2 (en) * 2014-10-08 2017-07-25 Applied Materials, Inc. Vacuum pre-wetting apparatus and methods
CN110335846B (zh) * 2019-06-26 2021-05-11 青岛航天半导体研究所有限公司 芯片绷紧手动捡取的装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54161882A (en) * 1978-06-12 1979-12-21 Matsushita Electronics Corp Manufacture of semiconductor device
JPH07105404B2 (ja) * 1986-03-25 1995-11-13 株式会社東芝 ダイボンディング装置
JPH0729855A (ja) * 1993-07-12 1995-01-31 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体ウエハのエキスパンデイング方法
JP3064979B2 (ja) * 1997-08-19 2000-07-12 日本電気株式会社 半導体ウェハのダイシング方法
JP2001110757A (ja) * 1999-10-06 2001-04-20 Toshiba Corp 半導体装置の製造方法
JP2001118860A (ja) * 1999-10-20 2001-04-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体素子の認識方法、装置、これらによるピックアップ方法、装置、および移載方法、装置
JP4197874B2 (ja) * 2002-02-14 2008-12-17 ヒューグルエレクトロニクス株式会社 低拡張率エキスパンダおよび拡張フィルムシート固定方法
US20060243710A1 (en) * 2003-05-22 2006-11-02 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Dicing device
JP2005251986A (ja) * 2004-03-04 2005-09-15 Disco Abrasive Syst Ltd ウエーハの分離検出方法および分離検出装置

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